CN113913785A - 一种化学气相沉积设备的清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种化学气相沉积设备的清洁装置，涉及沉积设备清洁技术领域，包括沉积设备本体和门体，所述沉积设备本体的正面活动安装有门体，所述沉积设备本体内腔的一侧设置有清洁装置，所述清洁装置内腔的顶部设置有压缩机构，所述清洁装置的内腔设置有调节机构。本发明通过一号汽缸和二号汽缸的配合，带动清洁刷在设备内腔的底部移动，同时通过电机带动清洁刷清理设备内腔的底部，再通过导管和吸力泵的配合，将灰尘和杂质吸入清理箱的内腔，保证设备内腔的清洁性，避免了现有的沉积设备在使用之后，其内腔的底部会存留较多的灰尘，清洁较为麻烦，导致降低设备的使用效率的问题，使得快速清洁设备内腔，提高设备的使用效率。
Description
技术领域
本发明涉及沉积设备清洁技术领域，具体涉及一种化学气相沉积设备的清洁装置。
背景技术
化学气相沉积设备是一种用于统计学领域的分析仪器，是利用气相中发生的物理、化学过程，改变工件表面成分，在表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层的新技术，沉积设备在使用时需要定期进行清洁。针对现有技术存在以下问题：
1、现有的沉积设备在使用之后，其内腔的底部会存留较多的灰尘，清洁较为麻烦，不仅劳动强度大，而且浪费工人较多的时间，导致降低设备的使用效率的问题；
2、现有沉积设备的清洁装置在使用时，由于其内腔的容量较小，需要及时反复的进行清理其内腔的灰尘和杂质，导致降低装置的工作效率的问题。
发明内容
本发明提供一种化学气相沉积设备的清洁装置，其中一种目的是为了具备快速清洁设备内腔的特点，解决现有的沉积设备在使用之后，其内腔的底部会存留较多的灰尘，清洁较为麻烦，不仅劳动强度大，而且浪费工人较多的时间，导致降低设备的使用效率的问题；其中另一种目的是为了解决现有沉积设备的清洁装置在使用时，由于其内腔的容量较小，需要及时反复的进行清理其内腔的灰尘和杂质，导致降低装置的工作效率的问题，以达到提高装置的工作效率。
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：
一种化学气相沉积设备的清洁装置，包括沉积设备本体和门体，所述沉积设备本体的正面活动安装有门体，所述沉积设备本体内腔的一侧设置有清洁装置，所述清洁装置内腔的顶部设置有压缩机构，所述清洁装置的内腔设置有调节机构。
所述清洁装置包括有清理箱，所述清理箱的底部固定连接有保护槽，所述清理箱的一侧固定连接有导管。
所述压缩机构包括有支撑板，所述支撑板的底部固定连接有缓冲杆，所述缓冲杆的外壁活动套接有压板。
所述调节机构包括有推板，所述推板的一侧设置有吸盘。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述保护槽内腔的顶部固定连接有二号汽缸，所述二号汽缸的底部固定连接有清理罩，所述清理罩内腔的一侧活动连接有清洁刷，所述清理罩的一侧固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至清理罩的内腔且固定连接在清洁刷的一侧。
采用上述技术方案，该方案中的保护槽、二号汽缸、清理罩、电机和清洁刷的配合，便于快速清理设备内腔的底部。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述导管的一侧固定连接有吸力泵，所述导管的一端延伸至保护槽的内腔且固定连接有吸尘罩。
采用上述技术方案，该方案中的导管、吸力泵和吸尘罩的配合，将灰尘和杂质吸入清理箱的内腔，保证设备内腔的清洁性。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述沉积设备本体内腔的一侧固定连接有一号汽缸，所述一号汽缸的一端固定连接有支撑架，所述支撑架一侧的顶部固定连接有一号支撑杆，所述一号汽缸的一端固定连接在清理箱的一侧，所述支撑架一侧的底部固连接有二号支撑杆，所述二号支撑杆的一端固定连接在保护槽的一侧。
采用上述技术方案，该方案中的清理箱、一号支撑杆、支撑架、一号汽缸、保护槽和二号支撑杆的配合，便于带动清洁刷移动，提高清洁刷清理的面积。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述缓冲杆的一端延伸至压板的内腔且固定连接有连接板，所述连接板的顶部活动连接有弧形软杆，所述弧形软杆的两端活动连接在压板内腔的顶部。
采用上述技术方案，该方案中的缓冲杆、压板、连接板和弧形软杆的配合，使得增加压板的韧性。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述支撑板的顶部固定连接有液压杆，所述液压杆的顶部固定连接在清理箱内腔的顶部。
采用上述技术方案，该方案中的支撑板、液压杆和清理箱的配合，快速压缩灰尘和杂质的体积，同时提高集尘槽内腔的容量。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述吸盘的背面固定连接有二号气管，所述二号气管的背面固定连接有一号气管，所述一号气管的外壁固定套接在推板的内腔，所述一号气管的外壁固定连接有气泵。
采用上述技术方案，该方案中的一号气管、气泵、二号气管和吸盘的配合，将集尘槽吸在吸盘的正面，便于后续将集尘槽推出清理箱。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述推板的背面固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接在清理箱内腔的正面。
采用上述技术方案，该方案中的推板和电动伸缩杆的配合，将集尘槽推出清理箱，提高装置的使用时的便捷性。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述清理箱的正面活动活动套接有集尘槽，所述集尘槽的背面搭接在吸盘的正面。
采用上述技术方案，该方案中的清理箱、吸盘和集尘槽的配合，便于工作人员收取集尘槽。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述弧形软杆的顶部固定连接有弹性球，所述弹性球的顶部固定连接在压板内腔的顶部。
采用上述技术方案，该方案中的弧形软杆、弹性球和压板的配合，增加压板的韧性，使得压板快速压缩灰尘和杂质的体积。
由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：
1、本发明提供一种化学气相沉积设备的清洁装置，通过采用清理箱、一号支撑杆、支撑架、一号汽缸、保护槽、二号支撑杆、导管、吸力泵、吸尘罩、二号汽缸、清理罩、电机和清洁刷的配合，通过一号汽缸和二号汽缸的配合，带动清洁刷在设备内腔的底部移动，同时通过电机带动清洁刷清理设备内腔的底部，再通过导管和吸力泵的配合，将灰尘和杂质吸入清理箱的内腔，保证设备内腔的清洁性，避免了现有的沉积设备在使用之后，其内腔的底部会存留较多的灰尘，清洁较为麻烦，导致降低设备的使用效率的问题，使得快速清洁设备内腔，提高设备的使用效率。
2、本发明提供一种化学气相沉积设备的清洁装置，通过采用支撑板、液压杆、缓冲杆、压板、连接板、弧形软杆和弹性球的配合，通过液压杆和支撑板的配合，带动压板向下挤压集尘槽内腔的灰尘和杂质，同时通过弧形软杆和弹性球的软弹性，增加压板的韧性，使得压板压缩灰尘和杂质的体积，同时提高集尘槽内腔的容量，避免了现有沉积设备的清洁装置在使用时，由于其内腔的容量较小，需要及时反复的进行清理其内腔的灰尘和杂质，导致降低装置的工作效率的问题，以达到减少清理灰尘和杂质的次数，提高装置的工作效率。
3、本发明提供一种化学气相沉积设备的清洁装置，通过采用推板、电动伸缩杆、集尘槽、一号气管、气泵、二号气管和吸盘的配合，通过气泵、一号气管、二号气管和吸盘的配合，将集尘槽吸在吸盘的正面，再通过电动伸缩杆和推板的配合，将集尘槽推出清理箱，使得便于工作人员取出集尘槽，对集尘槽进行清理，避免了现有的清洁装置在使用之后，工作人员不便收取集尘槽的问题，使得提高装置的使用时的便捷性。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明沉积设备本体的局部结构剖视图；
图3为本发明保护槽的结构剖视图；
图4为本发明清理箱的结构剖视图；
图5为本发明压板的结构剖视图；
图6为本发明调节机构的结构示意图；
图7为本发明吸盘的结构示意图。
图中：1、沉积设备本体；2、门体；3、清洁装置；4、压缩机构；5、调节机构；
31、清理箱；32、一号支撑杆；33、支撑架；34、一号汽缸；35、保护槽；36、二号支撑杆；
311、导管；312、吸力泵；313、吸尘罩；
351、二号汽缸；352、清理罩；353、电机；354、清洁刷；
41、支撑板；42、液压杆；43、缓冲杆；44、压板；441、连接板；442、弧形软杆；443、弹性球；
51、推板；52、电动伸缩杆；53、集尘槽；511、一号气管；512、气泵；513、二号气管；514、吸盘。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步详细说明：
实施例1
如图1-7所示，本发明提供了一种化学气相沉积设备的清洁装置，包括沉积设备本体1和门体2，沉积设备本体1的正面活动安装有门体2，沉积设备本体1内腔的一侧设置有清洁装置3，清洁装置3包括有清理箱31，清理箱31的底部固定连接有保护槽35，清理箱31的一侧固定连接有导管311，保护槽35内腔的顶部固定连接有二号汽缸351，二号汽缸351的底部固定连接有清理罩352，清理罩352内腔的一侧活动连接有清洁刷354，清理罩352的一侧固定连接有电机353，电机353的输出端延伸至清理罩352的内腔且固定连接在清洁刷354的一侧，导管311的一侧固定连接有吸力泵312，导管311的一端延伸至保护槽35的内腔且固定连接有吸尘罩313，沉积设备本体1内腔的一侧固定连接有一号汽缸34，一号汽缸34的一端固定连接有支撑架33，支撑架33一侧的顶部固定连接有一号支撑杆32，一号汽缸34的一端固定连接在清理箱31的一侧，支撑架33一侧的底部固连接有二号支撑杆36，二号支撑杆36的一端固定连接在保护槽35的一侧。
在本实施例中，通过二号汽缸351的伸缩端向下移动，同时带动清洁刷354移动到设备内腔的底部，再通过电机353带动清洁刷354转动，使得清洁刷354对设备内腔的底部进行清理，再通过一号汽缸34带动清洁刷354在设备内腔的底部移动进行清理，同时通过吸力泵312产生吸力，将灰尘和杂质通过吸尘罩313和导管311吸入清理箱31，使得保证设备内腔的清洁性，提高设备的使用效率。
实施例2
如图1-7所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，清洁装置3内腔的顶部设置有压缩机构4，压缩机构4包括有支撑板41，支撑板41的底部固定连接有缓冲杆43，缓冲杆43的外壁活动套接有压板44，缓冲杆43的一端延伸至压板44的内腔且固定连接有连接板441，连接板441的顶部活动连接有弧形软杆442，弧形软杆442的两端活动连接在压板44内腔的顶部，支撑板41的顶部固定连接有液压杆42，液压杆42的顶部固定连接在清理箱31内腔的顶部，弧形软杆442的顶部固定连接有弹性球443，弹性球443的顶部固定连接在压板44内腔的顶部。
在本实施例中，通过液压杆42带动支撑板41和压板44向下移动，使得压板44挤压集尘槽53内腔的灰尘和杂质，同时压板44挤压灰尘时，压板44在缓冲杆43的外壁向上移动，同时缓冲杆43带动连接板441拉伸弧形软杆442和弹性球443，使得弧形软杆442和弹性球443产生形变，并利用自身的软弹性，增加压板44的韧性，使得压板44快速压缩灰尘和杂质的体积，提高集尘槽53内腔的容量，同时提高装置的工作效率。
实施例3
如图1-7所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，清洁装置3的内腔设置有调节机构5，调节机构5包括有推板51，推板51的一侧设置有吸盘514，吸盘514的背面固定连接有二号气管513，二号气管513的背面固定连接有一号气管511，一号气管511的外壁固定套接在推板51的内腔，一号气管511的外壁固定连接有气泵512，推板51的背面固定连接有电动伸缩杆52，电动伸缩杆52的一端固定连接在清理箱31内腔的正面，清理箱31的正面活动活动套接有集尘槽53，集尘槽53的背面搭接在吸盘514的正面。
在本实施例中，通过气泵512产生吸力，并将吸力通过一号气管511、二号气管513和传递到吸盘514上，使得将集尘槽53吸在吸盘514的正面，再通过电动伸缩杆52带动推板51和吸盘514移动，将集尘槽53推出清理箱31，使得便于工作人员取出集尘槽53，对集尘槽53进行清理，提高装置的使用时的便捷性。
下面具体说一下该化学气相沉积设备的清洁装置的工作原理。
如图1-7所示，使用时，通过一号汽缸34和二号汽缸351带动清洁刷354在设备内腔的底部移动，再通过电机353带动清洁刷354转动清理设备内腔的底部，再通过吸力泵312将灰尘和杂质吸入清理箱31，并落入集尘槽53的内腔，清理之后，再通过液压杆42带动压板44向下挤压集尘槽53内腔的灰尘和杂质，使得压板44压缩灰尘和杂质的体积，同时提高集尘槽53内腔的容量，需要清理集尘槽53内腔的灰尘和杂质时，通过气泵512产生吸力，将集尘槽53吸在吸盘514的正面，再通过电动伸缩杆52将集尘槽53推出清理箱31，使得便于工作人员取出集尘槽53，对集尘槽53进行清理。
上文一般性的对本发明做了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本发明思想精神的修改或改进，均在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种化学气相沉积设备的清洁装置，包括沉积设备本体（1）和门体（2），所述沉积设备本体（1）的正面活动安装有门体（2），其特征在于：所述沉积设备本体（1）内腔的一侧设置有清洁装置（3），所述清洁装置（3）内腔的顶部设置有压缩机构（4），所述清洁装置（3）的内腔设置有调节机构（5）；
所述清洁装置（3）包括有清理箱（31），所述清理箱（31）的底部固定连接有保护槽（35），所述清理箱（31）的一侧固定连接有导管（311）；
所述压缩机构（4）包括有支撑板（41），所述支撑板（41）的底部固定连接有缓冲杆（43），所述缓冲杆（43）的外壁活动套接有压板（44）；
所述调节机构（5）包括有推板（51），所述推板（51）的一侧设置有吸盘（514）。
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述保护槽（35）内腔的顶部固定连接有二号汽缸（351），所述二号汽缸（351）的底部固定连接有清理罩（352），所述清理罩（352）内腔的一侧活动连接有清洁刷（354），所述清理罩（352）的一侧固定连接有电机（353），所述电机（353）的输出端延伸至清理罩（352）的内腔且固定连接在清洁刷（354）的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述导管（311）的一侧固定连接有吸力泵（312），所述导管（311）的一端延伸至保护槽（35）的内腔且固定连接有吸尘罩（313）。
4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述沉积设备本体（1）内腔的一侧固定连接有一号汽缸（34），所述一号汽缸（34）的一端固定连接有支撑架（33），所述支撑架（33）一侧的顶部固定连接有一号支撑杆（32），所述一号汽缸（34）的一端固定连接在清理箱（31）的一侧，所述支撑架（33）一侧的底部固连接有二号支撑杆（36），所述二号支撑杆（36）的一端固定连接在保护槽（35）的一侧。
5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述缓冲杆（43）的一端延伸至压板（44）的内腔且固定连接有连接板（441），所述连接板（441）的顶部活动连接有弧形软杆（442），所述弧形软杆（442）的两端活动连接在压板（44）内腔的顶部。
6.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述支撑板（41）的顶部固定连接有液压杆（42），所述液压杆（42）的顶部固定连接在清理箱（31）内腔的顶部。
7.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述吸盘（514）的背面固定连接有二号气管（513），所述二号气管（513）的背面固定连接有一号气管（511），所述一号气管（511）的外壁固定套接在推板（51）的内腔，所述一号气管（511）的外壁固定连接有气泵（512）。
8.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述推板（51）的背面固定连接有电动伸缩杆（52），所述电动伸缩杆（52）的一端固定连接在清理箱（31）内腔的正面。
9.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述清理箱（31）的正面活动活动套接有集尘槽（53），所述集尘槽（53）的背面搭接在吸盘（514）的正面。
10.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积设备的清洁装置，其特征在于：所述弧形软杆（442）的顶部固定连接有弹性球（443），所述弹性球（443）的顶部固定连接在压板（44）内腔的顶部。
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