CN113910060A - 一种半导体打磨装置 - Google Patents

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胡长文
陈贵林
柳天勇
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Abstract

本发明属于半导体打磨装置技术领域，具体的说是一种半导体打磨装置，包括：支撑架、活动架、定位杆、气缸、连接架、PLC处理器和安装座，所述支撑架的顶侧竖直焊装有定位杆，所述定位杆的顶端焊装有连接架，所述连接架上安装有气缸，所述气缸的作用端固接有活动架，实现需要打磨时自动启动，在不进行打磨作业时，能够停止作业，避免长期持续的开机作业，节约电能，生产过程更佳环保；在警示灯通电后，信号被传输到PLC处理器上，实现停机，便于对磨砂辊更换，在对磨砂辊更换后在正常作业，保证磨砂辊的打磨能力，保证坯料的打磨效果，通过多组打磨装置和检测触发结构配合作业，能够在保证在打磨作业完成的前提下，实现能源节约，节省生产成本。

Description

一种半导体打磨装置
技术领域
本发明属于半导体打磨装置技术领域，具体的说是一种半导体打磨装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种；
现有技术中也出现了一些关于半导体生产的技术方案，如申请公布号为CN111702655 B的一项中国专利公开了一种新型用于半导体生产的打磨装置，通过卡槽的分布方式提高了半导体片的安装量，使得同理的打磨范围下能够安装更多半导体片，从而提高了半导体片的打磨效率，半导体片打磨完成后，接通电动伸缩杆的收缩工作电源，利用电动伸缩杆带动打磨盘离开半导体片，再关闭电机的电源，之后将安装主体取下，再将半导体片由卡槽内抠出取下即可，通过第一固定座将齿环和电机固定安装在一起，固定板通过支撑杆固定安装在齿环的上侧，通过限位杆沿滑孔内活动，利用滑孔限制限位杆公转，利用限位杆限制打磨盘自转，从而使得打磨盘只能上下移动，提高了打磨盘打磨工作的稳定性，通过滑块连接拉力弹簧和第二固定座，通过轴承减小齿轮盘的转动阻力，通过插杆连接第二固定座与滑块，通过把手方便了手动提拿操作安装主体，在以上发明中，通过手动关闭电源，需要往复的人工操作，操作不佳时的话，容易造成电能的浪费，提高生产成本，生产工艺不环保。
针对上述发明中的问题，在打磨过程中，通过手动关闭电源，需要往复的人工操作，操作不佳时的话，容易造成电能的浪费，提高生产成本，生产工艺不环保，在打磨过程中，对打磨辊的更新不及时，导致打磨效果不佳，在打磨过程中，不能实现多层次作业，单机长时间作业，耗费大量电能，不节能。
为此，本发明提供一种半导体打磨装置。
发明内容
为了弥补现有技术的不足，解决现有生产设备通过手动关闭电源，需要往复的人工操作，操作不佳时的话，容易造成电能的浪费，提高生产成本，生产工艺不环保，在打磨过程中，对打磨辊的更新不及时，导致打磨效果不佳，在打磨过程中，不能实现多层次作业，单机长时间作业，耗费大量电能，不节能的问题，本发明提出的一种半导体打磨装置。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种半导体打磨装置，包括：支撑架、活动架、定位杆、气缸、连接架、PLC处理器和安装座，所述支撑架的顶侧竖直焊装有定位杆，所述定位杆的顶端焊装有连接架，所述连接架上安装有气缸，所述气缸的作用端固接有活动架，所述活动架上开设有定位孔，所述定位杆贯穿定位孔设置，所述活动架的顶侧面上安装有PLC处理器；其特征在于，所述活动架的底侧焊装有安装座，所述摆动架的顶端通过销轴配合安装在安装座内，所述销轴的两端套装发条，所述摆动架的底端通过辊轴配合安装有磨砂辊，所述摆动架上安装有动力电机，所述动力电机的输出轴与磨砂辊的辊轴通过联轴器配合连接；
所述摆动架的底部固定有固定板，所述固定板上开设有杆孔，所述杆孔内穿插有检测杆，所述检测杆的底端开设有豁口，所述豁口内配合安装有滚轮，所述检测杆的顶端固接有限位帽，所述限位帽与固定板之间固接有第一弹簧，所述固定板的顶侧面上设置有第一电极板，所述限位帽上固定有第一电极球。
优选的，所述第一电极球设置在第一电极板的上方，所述固定板的顶侧面安装有警示灯，所述第一电极球、第一电极板和警示灯通过导线电性连接。
优选的，所述滚轮的滚动方向与磨砂辊的滚动方向相同，所述滚轮的圆周面与磨砂辊的圆周面相切。
优选的，所述活动架的底侧安装有检测触发结构，所述检测触发结构包括有连接板，所述连接板的底侧焊装有安装板，所述安装板上开设有通孔，所述通孔内穿插有拉杆，所述拉杆的底端安装有辊架，所述辊架内通过辊轴配合安装有检测辊，所述拉杆的顶端固定有定位帽，所述定位帽与安装板之间固接有第二弹簧，所述定位帽上固接有第二触电球，所述连接板的一侧固定有第一触电球。
优选的，所述连接板焊装在活动架的底侧，所述连接板的另一侧设置有信号处理器，所述信号处理器与第一触电球和第二触电球通过导线电性连接。
优选的，所述支撑架的横板内部开设有安装孔，所述安装孔内部通过旋转轴配合安装有摆动板，所述旋转轴的两端套装有簧片，所述摆动板的一侧固定有第三电极球，所述安装孔的孔壁上固定有第二电极球。
优选的，所述第二电极球设置在与第三电极球的摆动区间内，所述第二电极球设置在与第三电极球与PLC处理器电性连接。
优选的，所述支撑架的横板顶侧并列安装有多个输送结构，所述输送结构包括安装架，所述安装架上安装有马达，所述马达的作用端安装有驱动轮。
优选的，所述PLC处理器与气缸、动力电机、警示灯和信号处理器通过信号线连接。
本发明的有益效果如下：
本发明所述的一种半导体打磨装置，将坯料沿支撑架的表面推进，在推进过程中，实现对摆动板顶部的挤压，在挤压后，摆动板的顶端下摆，在下摆后，第三电极球和第二电极球接触，能够实现整体的通电作业，实现需要打磨时自动启动，在不进行打磨作业时，能够停止作业，避免长期持续的开机作业，节约电能，生产过程更佳环保；
在抛光打磨过程中，磨砂辊自身也会有消耗，当磨砂辊过渡使用后，磨砂辊的直径会缩小，滚轮在第一弹簧的配合下，能够保证滚轮与磨砂辊相切，在磨砂辊消耗后，滚轮的圆心与磨砂辊的圆心间距逐步缩小，带动活动杆下沉，带动第一电极球与第一电极板接触，实现警示灯通电，在警示灯通电后，信号被传输到PLC处理器上，实现停机，便于对磨砂辊更换，在对磨砂辊更换后在正常作业，保证磨砂辊的打磨能力，保证坯料的打磨效果；
检测辊在第二弹簧的配合和作用下，检测辊与坯料的的上表面接触，能够对坯料的厚度是否合格进行判定，在坯料打磨合格后，检测辊处于最低端，第二触电球和第一触电球接触，能够对警报器通电，警报信号传输到PLC处理器上，在活动架的底侧间隔式设置有多组打磨装置和检测触发结构，在检测触发结构不能发出警报，下一组的打磨装置持续进行打磨作业，在发出警报后，下一组的打磨装置不作业，通过多组打磨装置和检测触发结构配合作业，能够在保证在打磨作业完成的前提下，实现能源节约，节省生产成本。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的整体立体图；
图2是本发明的整体半剖结构图；
图3是本发明中的打磨结构图；
图4是本发明中的检测触发结构图；
图5是本发明中图2中的A区域结构图；
图6是本发明中图2中的B区域结构图；
图7是本发明中图2中的C区域结构图；
图中：1、支撑架；2、活动架；3、定位杆；4、气缸；5、连接架；6、PLC处理器；7、安装座；8、输送结构；9、摆动架；10、动力电机；11、磨砂辊；101、固定板；102、滚轮；103、第一弹簧；104、限位帽；105、第一电极球；106、第一电极板；107、警示灯；201、簧片；202、摆动板；203、旋转轴；204、安装孔；205、第二电极球；206、第三电极球；301、连接板；302、安装板；303、第一触电球；304、第二触电球；305、定位帽；306、第二弹簧；307、拉杆；308、辊架；309、检测辊。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例
如图1至图7所示，本发明所述的一种半导体打磨装置，包括：支撑架1、活动架2、定位杆3、气缸4、连接架5、PLC处理器6和安装座7，支撑架1的顶侧竖直焊装有定位杆3，定位杆3的顶端焊装有连接架5，连接架5上安装有气缸4，气缸4的作用端固接有活动架2，活动架2上开设有定位孔，定位杆3贯穿定位孔设置，活动架2的顶侧面上安装有PLC处理器6；其特征在于，活动架2的底侧焊装有安装座7，摆动架9的顶端通过销轴配合安装在安装座7内，销轴的两端套装发条，摆动架9的底端通过辊轴配合安装有磨砂辊11，摆动架9上安装有动力电机10，动力电机10的输出轴与磨砂辊11的辊轴通过联轴器配合连接；
摆动架9的底部固定有固定板101，固定板101上开设有杆孔，杆孔内穿插有检测杆，检测杆的底端开设有豁口，豁口内配合安装有滚轮102，检测杆的顶端固接有限位帽104，限位帽104与固定板101之间固接有第一弹簧103，固定板101的顶侧面上设置有第一电极板106，限位帽104上固定有第一电极球105，第一电极球105设置在第一电极板106的上方，固定板101的顶侧面安装有警示灯107，第一电极球105、第一电极板106和警示灯107通过导线电性连接，滚轮102的滚动方向与磨砂辊11的滚动方向相同，滚轮102的圆周面与磨砂辊11的圆周面相切，作业时，在抛光打磨过程中，磨砂辊11自身也会有消耗，当磨砂辊11过渡使用后，磨砂辊11的直径会缩小，滚轮102在第一弹簧103的配合下，能够保证滚轮102与磨砂辊11相切，在磨砂辊11消耗后，滚轮102的圆心与磨砂辊11的圆心间距逐步缩小，带动活动杆下沉，带动第一电极球105与第一电极板106接触，实现警示灯107通电，在警示灯107通电后，信号被传输到PLC处理器6上，实现停机，便于对磨砂辊11更换，在对磨砂辊11更换后在正常作业，保证磨砂辊11的打磨能力，保证坯料的打磨效果。
活动架2的底侧安装有检测触发结构，检测触发结构包括有连接板301，连接板301的底侧焊装有安装板302，安装板302上开设有通孔，通孔内穿插有拉杆307，拉杆307的底端安装有辊架308，辊架308内通过辊轴配合安装有检测辊309，拉杆307的顶端固定有定位帽305，定位帽305与安装板302之间固接有第二弹簧306，定位帽305上固接有第二触电球304，连接板301的一侧固定有第一触电球303，连接板301焊装在活动架2的底侧，连接板301的另一侧设置有信号处理器，信号处理器与第一触电球303和第二触电球304通过导线电性连接，工作时，检测辊309在第二弹簧306的配合和作用下，检测辊309与坯料的的上表面接触，能够对坯料的厚度是否合格进行判定，在坯料打磨合格后，检测辊309处于最低端，第二触电球304和第一触电球303接触，能够对警报器通电，警报信号传输到PLC处理器6上，在活动架2的底侧间隔式设置有多组打磨装置和检测触发结构，在检测触发结构不能发出警报，下一组的打磨装置持续进行打磨作业，在发出警报后，下一组的打磨装置不作业，通过多组打磨装置和检测触发结构配合作业，能够在保证在打磨作业完成的前提下，实现能源节约，节省生产成本。
支撑架1的横板内部开设有安装孔204，安装孔204内部通过旋转轴203配合安装有摆动板202，旋转轴203的两端套装有簧片201，摆动板202的一侧固定有第三电极球206，安装孔204的孔壁上固定有第二电极球205，第二电极球205设置在与第三电极球206的摆动区间内，第二电极球205设置在与第三电极球206与PLC处理器6电性连接，支撑架1的横板顶侧并列安装有多个输送结构8，输送结构8包括安装架，安装架上安装有马达，马达的作用端安装有驱动轮，PLC处理器6与气缸4、动力电机10、警示灯107和信号处理器通过信号线连接，将坯料沿支撑架1的表面推进，在推进过程中，实现对摆动板202顶部的挤压，在挤压后，摆动板202的顶端下摆，在下摆后，第三电极球206和第二电极球205接触，能够实现整体的通电作业，实现需要打磨时自动启动，在不进行打磨作业时，能够停止作业，避免长期持续的开机作业，节约电能，生产过程更佳环保。
工作原理，在使用时，在进行芯片坯料表面打磨时，将坯料沿支撑架1的表面推进，在推进过程中，实现对摆动板202顶部的挤压，在挤压后，摆动板202的顶端下摆，在下摆后，第三电极球206和第二电极球205接触，能够实现整体的通电作业，实现需要打磨时自动启动，在不进行打磨作业时，能够停止作业，避免长期持续的开机作业，节约电能，生产过程更佳环保；
在打磨过程中，气缸4作业，实现活动架2沿定位杆3的下推，在活动架2下推过程中，磨砂辊11与坯料表面进行接触，通过动力电机10作业，带动磨砂辊11旋转，实现对坯料的抛光打磨，在抛光打磨过程中，磨砂辊11自身也会有消耗，当磨砂辊11过渡使用后，磨砂辊11的直径会缩小，滚轮102在第一弹簧103的配合下，能够保证滚轮102与磨砂辊11相切，在磨砂辊11消耗后，滚轮102的圆心与磨砂辊11的圆心间距逐步缩小，带动活动杆下沉，带动第一电极球105与第一电极板106接触，实现警示灯107通电，在警示灯107通电后，信号被传输到PLC处理器6上，实现停机，便于对磨砂辊11更换，在对磨砂辊11更换后在正常作业，保证磨砂辊11的打磨能力，保证坯料的打磨效果；
在打磨过程中，随着坯料的打磨推进，在推进过程中，检测辊309在第二弹簧306的配合和作用下，检测辊309与坯料的的上表面接触，能够对坯料的厚度是否合格进行判定，在坯料打磨合格后，检测辊309处于最低端，第二触电球304和第一触电球303接触，能够对警报器通电，警报信号传输到PLC处理器6上，在活动架2的底侧间隔式设置有多组打磨装置和检测触发结构，在检测触发结构不能发出警报，下一组的打磨装置持续进行打磨作业，在发出警报后，下一组的打磨装置不作业，通过多组打磨装置和检测触发结构配合作业，能够在保证在打磨作业完成的前提下，实现能源节约，节省生产成本。
上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (9)

1.一种半导体打磨装置，包括：支撑架(1)、活动架(2)、定位杆(3)、气缸(4)、连接架(5)、PLC处理器(6)和安装座(7)，所述支撑架(1)的顶侧竖直焊装有定位杆(3)，所述定位杆(3)的顶端焊装有连接架(5)，所述连接架(5)上安装有气缸(4)，所述气缸(4)的作用端固接有活动架(2)，所述活动架(2)上开设有定位孔，所述定位杆(3)贯穿定位孔设置，所述活动架(2)的顶侧面上安装有PLC处理器(6)；其特征在于，所述活动架(2)的底侧焊装有安装座(7)，摆动架(9)的顶端通过销轴配合安装在安装座(7)内，所述销轴的两端套装发条，所述摆动架(9)的底端通过辊轴配合安装有磨砂辊(11)，所述摆动架(9)上安装有动力电机(10)，所述动力电机(10)的输出轴与磨砂辊(11)的辊轴通过联轴器配合连接；
所述摆动架(9)的底部固定有固定板(101)，所述固定板(101)上开设有杆孔，所述杆孔内穿插有检测杆，所述检测杆的底端开设有豁口，所述豁口内配合安装有滚轮(102)，所述检测杆的顶端固接有限位帽(104)，所述限位帽(104)与固定板(101)之间固接有第一弹簧(103)，所述固定板(101)的顶侧面上设置有第一电极板(106)，所述限位帽(104)上固定有第一电极球(105)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述第一电极球(105)设置在第一电极板(106)的上方，所述固定板(101)的顶侧面安装有警示灯(107)，所述第一电极球(105)、第一电极板(106)和警示灯(107)通过导线电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述滚轮(102)的滚动方向与磨砂辊(11)的滚动方向相同，所述滚轮(102)的圆周面与磨砂辊(11)的圆周面相切。
4.根据权利要求1所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述活动架(2)的底侧安装有检测触发结构，所述检测触发结构包括有连接板(301)，所述连接板(301)的底侧焊装有安装板(302)，所述安装板(302)上开设有通孔，所述通孔内穿插有拉杆(307)，所述拉杆(307)的底端安装有辊架(308)，所述辊架(308)内通过辊轴配合安装有检测辊(309)，所述拉杆(307)的顶端固定有定位帽(305)，所述定位帽(305)与安装板(302)之间固接有第二弹簧(306)，所述定位帽(305)上固接有第二触电球(304)，所述连接板(301)的一侧固定有第一触电球(303)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述连接板(301)焊装在活动架(2)的底侧，所述连接板(301)的另一侧设置有信号处理器，所述信号处理器与第一触电球(303)和第二触电球(304)通过导线电性连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述支撑架(1)的横板内部开设有安装孔(204)，所述安装孔(204)内部通过旋转轴(203)配合安装有摆动板(202)，所述旋转轴(203)的两端套装有簧片(201)，所述摆动板(202)的一侧固定有第三电极球(206)，所述安装孔(204)的孔壁上固定有第二电极球(205)。
7.根据权利要求6所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述第二电极球(205)设置在与第三电极球(206)的摆动区间内，所述第二电极球(205)设置在与第三电极球(206)与PLC处理器(6)电性连接。
8.根据权利要求1所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述支撑架(1)的横板顶侧并列安装有多个输送结构(8)，所述输送结构(8)包括安装架，所述安装架上安装有马达，所述马达的作用端安装有驱动轮。
9.根据权利要求1所述的一种半导体打磨装置，其特征在于：所述PLC处理器(6)与气缸(4)、动力电机(10)、警示灯(107)和信号处理器通过信号线连接。
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