CN113859969A - 传输机构 - Google Patents

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CN113859969A
CN113859969A CN202111143262.XA CN202111143262A CN113859969A CN 113859969 A CN113859969 A CN 113859969A CN 202111143262 A CN202111143262 A CN 202111143262A CN 113859969 A CN113859969 A CN 113859969A
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CN
China
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adsorption
substrate
mechanical arm
supporting structure
assembly
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潘忠怀
张文平
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Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
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Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
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Abstract

本申请实施例提供了一种传输机构。该传输机构包括:机械臂、支撑结构、第一吸附组件和第二吸附组件;机械臂固定设置,支撑结构与机械臂连接,机械臂用于带动支撑结构移动或旋转;第一吸附组件和第二吸附组件均设置于支撑结构的同一面上,第一吸附组件和第二吸附组件均用于在支撑结构由机械臂的带动下伸入基板存储箱内抓取基板,第二吸附组件能够相对支撑结构伸缩运动,用于带动抓取的基板的至少一侧边发生形变,以使抓取的基板与基板存储箱内的基板分离;第一吸附组件和第二吸附组件还用于在机械臂的带动下将基板传送至预设位置后释放基板。本申请实施例能够避免由于基板相互吸附导致抓取失败,从而大幅提高基板抓取的成功率以及提高传输良率。

Description

传输机构
技术领域
本申请涉及基板传输技术领域,具体而言,本申请涉及一种传输机构。
背景技术
目前,机械行业自动化利用率越来越高,人们对液晶行业的要求也不断提升,在国家跟政府的大力支持下,液晶行业迎来重大变革。在液晶屏生产中,为了降低人工成本、提高效率、增加产量,经常需要机器人来代替人工。
现有技术方案为机械手上分布有吸盘,当取出玻璃基板时将吸盘移动到玻璃基板上方,让吸盘吸附住玻璃基板,然后机械手提将玻璃基板取出。但是现有机械手为吸盘直接吸附玻璃基板向上抓取,由于层叠存储的玻璃基板之间吸附力过大可能导致玻璃基板无法取出的情况,并且因为玻璃基板的尺寸为2600mm×2250mm(毫米),长宽尺寸比较大,玻璃基板与玻璃基板之间形成了密闭真空环境,玻璃基板两侧受到大气挤压,导致吸附力过大无法成功抓取基板。
发明内容
本申请针对现有方式的缺点,提出一种传输机构,用以解决现有技术存在的玻璃基板无法成功抓取的技术问题。
第一个方面,本申请实施例提供了一种传输机构,用于传输基板,包括:机械臂、支撑结构、第一吸附组件和第二吸附组件;所述机械臂固定设置,所述支撑结构与所述机械臂活动连接,所述机械臂用于带动所述支撑结构移动或旋转;所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均设置于所述支撑结构的同一面上,所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均用于在所述支撑结构由所述机械臂的带动下伸入基板存储箱内抓取所述基板,所述第二吸附组件能够相对所述支撑结构伸缩运动,用于带动抓取的所述基板的至少一侧边发生形变,以使抓取的所述基板与所述基板存储箱内的基板分离;所述第一吸附组件和所述第二吸附组件还用于在所述机械臂的带动下将所述基板传送至预设位置后释放所述基板。
于本申请的一实施例中,所述第一吸附组件包括多个第一吸附件,多个所述第一吸附件呈矩形阵列状均匀排布于所述支撑结构的侧面上;所述第二吸附组件包括多个第二吸附件和多个伸缩件,多个所述第二吸附件呈直线状排布于多个所述第一吸附件的一侧,多个所述伸缩件与多个所述第二吸附件一一对应设置,并且所述伸缩件位于所述支撑结构与对应的所述第一吸附件之间,用于带动对应的所述第一吸附件相对所述支撑结构伸缩运动。
于本申请的一实施例中,所述支撑结构宽度方向的一端与所述机械臂连接,多个所述第二吸附件沿所述支撑结构长度方向排布,并且靠近所述支撑结构相对较长的侧边设置,用于吸附所述基板相对较长的侧边。
于本申请的一实施例中,所述传输机构还包括设置于所述支撑结构上的多个压力开关,其中,每个所述压力开关均通过管路与多个所述第一吸附件或者第二吸附件连接,所述压力开关用于控制及监测对应的所述第一吸附件或所述第二吸附件的吸附压力值,以及用于当所述吸附压力值未达到预设压力值时发出报警信号。
于本申请的一实施例中,所述传输机构还包括有控制器,所述控制器与所述压力开关及所述机械臂电连接,用于根据所述报警信号控制所述机械臂及所述第一吸附组件及第二吸附组件再次抓取所述基板。
于本申请的一实施例中,所述传输机构还包括有检测器,所述检测器设置于所述支撑结构上,并且与所述控制器电连接,用于检测所述第一吸附件与所述第二吸附件是否成功抓取所述基板,并且将检测信号发送至所述控制器;所述控制器还用于根据检测信号控制所述机械臂及所述第一吸附组件及所述第二吸附组件是否再次抓取所述基板。
于本申请的一实施例中,所述检测器包括漫反射式检测器。
于本申请的一实施例中,所述第一吸附件及所述第二吸附件均为真空吸盘,所述伸缩件为伸缩气缸。
于本申请的一实施例中,所述支撑结构包括安装板及支撑杆,所述安装板的一侧与所述机械臂连接,另一侧用于安装所述支撑杆;多个所述支撑杆沿所述安装板的长度方向并列设置,并且一端与所述安装板连接,另一端沿所述安装板的宽度方向延伸设置。
于本申请的一实施例中,所述安装板采用铝合金材质制备,所述支撑杆采用碳纤维材质制备。
本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是:
本申请实施例通过将机械臂固定设置,以及将支撑结构设置于机械臂上,并且将第一吸附组件及第二吸附组件均设置于支撑结构的一侧面上,以及第二吸附组件能相对于支撑结构作伸缩运动,由机械臂带动支撑结构移动或旋转,以带动第一吸附组件及第二吸附组件由基板存储箱内抓取基板。由于第二吸附组件能带动基板的一侧边发生形变,以使得抓取的基板的一端翘起,而空气由翘起的一端进入层叠的基板之间,破坏了层叠基板之间的真空密封性,避免由于基板相互吸附导致抓取失败,从而大幅提高基板抓取的成功率以及提高传输良率。
本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出,这些将从下面的描述中变得明显,或通过本申请的实践了解到。
附图说明
本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1为本申请实施例提供的一种传输机构与基板配合结构示意图;
图2为本申请实施例提供的一种传输机构的部分结构与基板存储箱配合结构示意图;
图3为本申请实施例提供的一种传输机构的部分结构与基板配合结构示意图;
图4为本申请实施例提供的一种支撑结构与吸附组件配合的局部放大示意图;
图5为本申请实施例提供的一种支撑结构与检测器配合的局部放大示意图。
具体实施方式
下面详细描述本申请,本申请的实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外,如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的,则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本申请,而不能解释为对本申请的限制。
本技术领域技术人员可以理解,除非另外定义,这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语),具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是,诸如通用字典中定义的那些术语,应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义,并且除非像这里一样被特定定义,否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。
本申请实施例提供了一种传输机构,用于传输基板,该传输机构的结构示意图如图1及图2所示,包括:机械臂1、支撑结构2、第一吸附组件31及第二吸附组件32;机械臂1固定设置,支撑结构 2与机械臂1活动连接,机械臂1用于带动支撑结构2移动或旋转;第一吸附组件31和第二吸附组件32均设置于支撑结构2的同一面上,第一吸附组件31和第二吸附组件32均用于在支撑结构2由机械臂1的带动下伸入基板存储箱200内抓取基板100,第二吸附组件32 能够相对支撑结构2伸缩运动,用于带动抓取的基板100的至少一侧边发生形变,以使抓取的基板100与基板存储箱200内的基板100 分离;第一吸附组件31和第二吸附组件32还用于在机械臂1的带动下将基板100传送至预设位置后释放基板100。
如图1及图2所示,传输机构可以固定设置于输送线(图中未示出)的一侧,用于从基板存储箱200内取抓取基板100,传送至输送线的预设位置上,并且将基板100放置至输送线上,由输送线传输以进行一下道工序。机械臂1具体可以采用六轴机械臂,以扩展运动范围。机械臂1的固定端11例如通过安装底座13设置于输送线的一侧位置,机械臂1的活动端12用于安装支撑结构2。支撑结构2整体可以采用一矩形结构,用于与矩形的基板100配合,该基板100 例如可以是玻璃材质或者其它柔性材质,只要基板100满足柔性变形条件即可。支撑结构2的一端与机械臂1的活动端12连接,用于在机械臂1带动下移动或旋转。第一吸附组件31及第二吸附组件32 均设置于支撑结构2同一面上,例如当支撑结构2整体呈一板状结构时两者可以同时设置于两个侧面中的任一侧面上,用于在机械臂1 及支撑结构2的带动下,第一吸附组件31及第二吸附组件31均可以移动至基板存储箱200的开口处,并且可以伸入基板存储箱200内以抓取基板100。在实际应用时,第一吸附组件31及第二吸附组件32均可以吸附基板100的表面,并且第二吸附组件32能相对于支撑结构2伸缩运动,带动抓取的基板100的至少一侧边发生形变,使得基板100的一端翘起,例如使基板100的顶端翘起,此时空气可以由翘起的一端进入层叠的基板100之间,破坏层叠的基板100之间的真空密封性,减小了抓取的基板100与基板存储箱200内的基板100之间的吸附力,以使抓取的基板100与基板存储箱200内的基板100分离,从而使得传输机构更容易的抓取基板100,避免由于基板100层叠设置吸附力过大,而导致无法成功抓取基板100或者基板100炸裂。
本申请实施例通过将机械臂固定设置,以及将支撑结构设置于机械臂上,并且将第一吸附组件及第二吸附组件均设置于支撑结构的一侧面上,以及第二吸附组件能相对于支撑结构作伸缩运动,由机械臂带动支撑结构移动或旋转,以带动第一吸附组件及第二吸附组件由基板存储箱内抓取基板。由于第二吸附组件能带动基板的一侧边发生形变,以使得抓取的基板的一端翘起,而空气由翘起的一端进入层叠的基板之间,破坏了层叠基板之间的真空密封性,避免由于基板相互吸附导致抓取失败,从而大幅提高基板抓取的成功率以及提高传输良率。
需要说明的是,本申请实施例并不限定机械臂1的具体类型及位置,只要其能带动支撑结构2移动或旋转即可。因此本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中,如图1至图3所示,第一吸附组件31 包括多个第一吸附件311,多个第一吸附件311呈矩形阵列状均匀排布于支撑结构2的侧面上,第二吸附组件32包括多个第二吸附件321 和多个伸缩件322,多个第二吸附件321呈直线状排布于多个第一吸附件311的一侧,多个伸缩件322与多个第二吸附件321一一对应设置,并且伸缩件322位于支撑结构2与对应的第二吸附件321之间,用于带动对应的第二吸附件321相对支撑结构2伸缩运动。
如图1至图3所示,第一吸附件311可以固定设置于支撑结构2 的底侧面上,并且多个第一吸附件311呈矩形阵列排布。具体的,多个第一吸附件311呈五行五列的方式均匀排布,由于将多个第一吸附件311尽量的分散开来,因此可以保证吸附力均匀性的同时,还能更好地减小基板100的变形量,从而避免在取放基板100时造成损坏。多个第二吸附件321呈直线状排布,并且位于多个第一吸附件311 的底侧面,具体如图3所示。多个第二吸附件321可以与多列第一吸附件311一一对应设置,即第二吸附件321的具体数量为五个,但是本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。进一步的,多个第二吸附件321可伸缩地设置于支撑结构 2上,当多个第一吸附件311吸附于基板100的表面时,多个第二吸附件321处于伸出状态,以用于同时吸附基板100的表面,此时控制多个第二吸附件321收缩即可带动基板100的底部侧边变形,从而使得基板100的底端翘起,具体参照如图3所示。由于基板100的一端翘起,以使抓取的基板100与基板存储箱200内的基板100分离。采用上述设计,不仅使得基板100受力均匀,从而避免基板100损坏;并且采用上述排布方式,使得本申请实施例结构简单,从而大幅降低应用及维护成本。
需要说明的是,本申请实施例并不限定第一吸附件311及第二吸附件321的具体排布方式,例如第二吸附件321可以排布于第二吸附件321的左侧、右侧或者顶侧,同样能实现上述技术效果。因此本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
如图1至图4所示,伸缩件322具体可以采用伸缩气缸,伸缩件322的数量具体为五个,与五个第二吸附件321一一对应设置。伸缩件322的缸体可以安装于支撑结构2的一侧,而伸缩件322的伸缩杆底端可以安装有第二吸附件321,通过控制伸缩件322的伸缩杆相对于缸体伸缩,使得第二吸附件321能相对于支撑结构2的底部侧面伸缩。可选地,伸缩件322的缸体还可以安装于支撑结构2的底部,因此本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。采用上述设计,由于采用伸缩件322来带动第二吸附件321相对于支撑结构2伸缩,不仅使得本申请实施例结构简单易于实现,从而大幅降低应用及维护成本;而且由于多个伸缩件322与多个第二吸附件321一一对应设置,使得各第二吸附件321可以单独控制,从而使得基板100的一端更容易翘起,进而进一步提高抓取效率。
需要说明的是,本申请实施例并不限定伸缩件322的具体类型,例如伸缩件322还可以采用电缸。因此本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中,如图1至图3所示,支撑结构2宽度方向的一端与机械臂1连接,多个第二吸附件321沿支撑结构2长度方向排布,并且靠近支撑结构2相对较长的侧边设置,用于吸附基板 100相对较长的侧边。
如图1至图3所示,支撑结构2整体可以呈长方形结构,支撑结构2的宽度方向上的一端与机械臂1的活动端12连接,即支撑结构2相对较短的侧边与机械臂1的活动端12连接。多个第二吸附件 321可以沿支撑结构2的长度方向呈直线状排布,由于多个第一吸附件311呈矩形排列,多个第二吸附件321可以靠近支撑结构2的相对较长的侧边设置。在实际应用时,支撑结构2相对较长的侧边与基板 100相对较长的侧边配合,使多个第二吸附件321与基板100的较长侧边配合吸附。通过控制多个伸缩件322收缩使得基板100较长的侧边翘起,使更多的空气进入抓取的基板100与基板存储箱200内的基板100之间,以使得抓取的基板100更加容易分离出来,从而进一步提高本申请实施例的抓取基板100的成功率及提高传输良率。
需要说明的是,本申请实施例并不限定支撑结构2的具体形状以及多个第二吸附件321的排布位置,例如支撑结构2也可以采用正方形结构,而多个第二吸附件321可以排布于靠近支撑结构2的任意一侧边。因此本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中,如图1及图3所示,传输机构还包括设置于支撑结构2上的多个压力开关41,其中,每个压力开关41均通过管路与多个第一吸附件311或者第二吸附件321连接,压力开关 41用于控制及监测对应的第一吸附件311或第二吸附件321的吸附压力值,以及用于当吸附压力值未达到预设压力值时发出报警信号。如图1及图3所示,多个压力开关41具体可以设置于支撑结构2的一端,并且靠近机械臂1的活动端12。压力开关41可以通过管路(图中未示出)与多个第一吸附件311及多个第二吸附件321连接,并且通过管路与一抽气装置(图中未示出)连接,该管路例如可以柔性材质制成的管路,但是本申请实施例并不以此为限。压力开关41的具体数量为六个,其中五个压力开关41分别对应五行第一吸附件311,即一个压力开关41对应一行第一吸附件311,并且压力开关41通过多条管路分别与多个第一吸附件311连接,或者压力开关41通过一条管路与多个第一吸附件311连接;另外一个压力开关41则对应多个第二吸附件321,即与呈直线排列的多个第二吸附件321对应设置,并且压力开关41通过多条管路分别与多个第二吸附件321连接,或者压力开关41通过一条管路与多个第二吸附件321连接。可选地,多个压力开关41与多个第一吸附件311及多个第二吸附件321一一对应设置,即多个压力开关41可以分别与多个第一吸附件311及第二吸附件321对应设置,从而提高检测的精确性。进一步的,当压力开关41检测到吸附压力值达到预设压力值时,说明所有吸附件均吸附于基板100的表面上;而当压力开关41检测到吸附压值未达到预设压力值时,说明部分吸附件未吸附于基板100的表面上,此时压力开关41可以发出报警信号,以便于进行人工干预或者执行其它动作。报警信号例如可以为声、光、电等报警信号,但是本申请实施例并不以此为限。采用上述设计,不仅可以实现对第一吸附件311及第二吸附件321的状态进行监测,从而提高抓取成功率,而且还能降低人力成本。另外,还能降低本申请实施例的应用及维护成本,而且还使得本申请实施例结构简单,从而降低故障率延长使用寿命。
需要说明的是,本申请实施例并不限定压力开关41的具体位置及数量,例如压力开关41的具体数量可以设置为一个,或者多个压力开关41分别设置于各吸附件上。因此本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中,如图1及图3所示,传输机构还包括有控制器(图中未示出),控制器与压力开关41及机械臂1电连接,用于根据报警信号控制机械臂1及第一吸附组件31及第二吸附组件 32再次抓取基板100。具体来说,控制器例如采用单片机或者可编程控制器,但是本申请实施例并不限定控制器的具体类型。控制器与压力开关41及机械臂1电连接,例如可以通过有线或无线方式进行连接,但是本申请实施例对此并不限定。在实际应用时,当控制器接收压力开关41发送的报警信号时,控制器可以控制机械臂1移动,以及通过压力开关41控制第一吸附组件31及第二吸附组件32再次对基板100进行抓取,从而提高抓取的成功率。进一步的,控制器还可以设定为,当压力开关41重复向控制器发送报警信号时,控制器控制压力开关41再次发出声光报警信号,以便于进行人工干预。采用上述设计,有效提高了本申请实施例的自动化控制水平,从而降低人工成本。
于本申请的一实施例中,如图1及图5所示,传输机构还包括有检测器5,检测器5设置于支撑结构2上,并且与控制器电连接,用于检测第一吸附件311与第二吸附件321是否成功抓取基板100,并且将检测信号发送至控制器;控制器还用于根据检测信号控制机械臂1及第一吸附组件31及第二吸附组件32是否再次抓取基板100。可选地,检测器5包括漫反射式检测器。
如图1及图5所示,检测器5可以采用漫反射式检测器5,检测器5可以通过支架51设置于支撑结构2上,并且可以远离机械臂1 的活动端12设置,但是本申请实施例并不以此为限。检测器5的数量可以为多个,分别靠近第一吸附件311或者第二吸附件321设置,但是本申请实施例并不限定检测器5的具体数量,本领域技术人可以自行调整设置。检测器5可以与控制器电连接,当基板100被吸附后,检测器5发出的光束被基板100挡住反射至检测器5上,检测器5 可以将该检测信号发送至控制器,此时控制器可以根据检测信号控制机械臂1及压力开关41是否再次进行抓取基板100,或者控制机械臂1开始动作以搬运基板100。采用上述设计,使得本申请实施例可以具备双重检测机制,从而进一步提高抓取成功率以提高工作效率。
需要说明的是,本申请实施例并不限定检测器5的具体类型,例如检测器5还可以采用接触式检测器5。因此本申请实施例并不以此为限,本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。
于本申请的一实施例中,如图1及图4所示,第一吸附件311 及第二吸附件321均为真空吸盘,伸缩件322为伸缩气缸。第一吸附件311及第二吸附件321均采用真空吸盘,可以大幅降低应用及维护成本,并且还能延长使用寿命;并且由于其吸附效果较佳且不局限被吸附的材质,因此不仅能有效提高工作效率,而且还能大幅提高适用性及适用范围。伸缩件322采用伸缩气缸,可以实现快速伸缩第二吸附组件3,以提高工作效率,而且由于伸缩气缸结构简单不易损坏,还能大幅降低应用及维护成本。
于本申请的一实施例中,如图1及图3所示,支撑结构2包括安装板21及支撑杆22,安装板21的一侧与机械臂1连接,另一侧用于安装支撑杆22;多个支撑杆22沿安装板21的长度方向并列设置,并且一端与安装板21连接,另一端沿安装板21的宽度方向延伸设置。可选地,安装板21采用铝合金材质制备,支撑杆22采用碳纤维材质制备。
如图1及图3所示,安装板21可以采用铝合金材质制成的长方向板状结构,采用铝合金材质不仅能提高安装板21强度,而且还能大幅降低重量,以满足轻量化的需求,但是本申请实施例并不限定安装板21的具体材质。安装板21的左侧具有梯形凸块,以便于与机械臂1的活动端12连接,两者例如采用可拆卸方式连接,从而提高拆装维护效率。支撑杆22可以采用碳纤维材质制成的杆状结构,采用碳纤维材质不仅能提高支撑杆22强度,而且还能大幅降低重量,以满足轻量化的需求,但是本申请实施例并不限定支撑杆22的具体材质。六个支撑杆22沿安装板21的长度方向均匀间隔分布,并且支撑杆22的左端与安装板21之间采用可拆卸方式连接,另一端可以沿安装板21的宽度方向延伸设置,每个支撑杆22的底部可以设置有多个第一吸附件311或多个第二吸附件321。采用上述设计,多个支撑杆 22与安装板21连接,可以有效降低支撑结构2的整体重量,从而降低机械臂1的负重,进而降低故障率以及延长使用寿命。
应用本申请实施例,至少能够实现如下有益效果:
本申请实施例通过将机械臂固定设置,以及将支撑结构设置于机械臂上,并且将第一吸附组件及第二吸附组件均设置于支撑结构的一侧面上,以及第二吸附组件能相对于支撑结构作伸缩运动,由机械臂带动支撑结构移动或旋转,以带动第一吸附组件及第二吸附组件由基板存储箱内抓取基板。由于第二吸附组件能带动基板的一侧边发生形变,以使得抓取的基板的一端翘起,而空气由翘起的一端进入层叠的基板之间,破坏了层叠基板之间的真空密封性,避免由于基板相互吸附导致抓取失败,从而大幅提高基板抓取的成功率以及提高传输良率。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中,具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述仅是本申请的部分实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种传输机构,用于传输基板,其特征在于,包括:机械臂、支撑结构、第一吸附组件和第二吸附组件;
所述机械臂固定设置,所述支撑结构与所述机械臂活动连接,所述机械臂用于带动所述支撑结构移动或旋转;
所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均设置于所述支撑结构的同一面上,所述第一吸附组件和所述第二吸附组件均用于在所述支撑结构由所述机械臂的带动下伸入基板存储箱内抓取所述基板,所述第二吸附组件能够相对所述支撑结构伸缩运动,用于带动抓取的所述基板的至少一侧边发生形变,以使抓取的所述基板与所述基板存储箱内的基板分离;
所述第一吸附组件和所述第二吸附组件还用于在所述机械臂的带动下将所述基板传送至预设位置后释放所述基板。
2.如权利要求1所述的传输机构,其特征在于,所述第一吸附组件包括多个第一吸附件,多个所述第一吸附件呈矩形阵列状均匀排布于所述支撑结构的侧面上;所述第二吸附组件包括多个第二吸附件和多个伸缩件,多个所述第二吸附件呈直线状排布于多个所述第一吸附件的一侧,多个所述伸缩件与多个所述第二吸附件一一对应设置,并且所述伸缩件位于所述支撑结构与对应的所述第一吸附件之间,用于带动对应的所述第一吸附件相对所述支撑结构伸缩运动。
3.如权利要求2所述的传输机构,其特征在于,所述支撑结构宽度方向的一端与所述机械臂连接,多个所述第二吸附件沿所述支撑结构长度方向排布,并且靠近所述支撑结构相对较长的侧边设置,用于吸附所述基板相对较长的侧边。
4.如权利要求2所述的传输机构,其特征在于,所述传输机构还包括设置于所述支撑结构上的多个压力开关,其中,每个所述压力开关均通过管路与多个所述第一吸附件或者第二吸附件连接,所述压力开关用于控制及监测对应的所述第一吸附件或所述第二吸附件的吸附压力值,以及用于当所述吸附压力值未达到预设压力值时发出报警信号。
5.如权利要求4所述的传输机构,其特征在于,所述传输机构还包括有控制器,所述控制器与所述压力开关及所述机械臂电连接,用于根据所述报警信号控制所述机械臂及所述第一吸附组件及第二吸附组件再次抓取所述基板。
6.如权利要求5所述的传输机构,其特征在于,所述传输机构还包括有检测器,所述检测器设置于所述支撑结构上,并且与所述控制器电连接,用于检测所述第一吸附件与所述第二吸附件是否成功抓取所述基板,并且将检测信号发送至所述控制器;所述控制器还用于根据检测信号控制所述机械臂及所述第一吸附组件及所述第二吸附组件是否再次抓取所述基板。
7.如权利要求6所述的传输机构,其特征在于,所述检测器包括漫反射式检测器。
8.如权利要求2所述的传输机构,其特征在于,所述第一吸附件及所述第二吸附件均为真空吸盘,所述伸缩件为伸缩气缸。
9.如权利要求1至8的任一所述的传输机构,其特征在于,所述支撑结构包括安装板及支撑杆,所述安装板的一侧与所述机械臂连接,另一侧用于安装所述支撑杆;多个所述支撑杆沿所述安装板的长度方向并列设置,并且一端与所述安装板连接,另一端沿所述安装板的宽度方向延伸设置。
10.如权利要求9所述的传输机构,其特征在于,所述安装板采用铝合金材质制备,所述支撑杆采用碳纤维材质制备。
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