CN113772777B - 一种半导体行业废磷酸的回收工艺 - Google Patents

一种半导体行业废磷酸的回收工艺 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种半导体行业废磷酸的回收工艺，所述工艺包括如下步骤：(1)制备树脂柱；(2)废磷酸经过树脂柱进行吸附，收集吸附尾液；所述树脂柱中的树脂为改性大孔强酸阳树脂。本发明可以有效地剥离磷酸中的重金属离子，回收合格的磷酸产品(满足行标/国标)，又可以回收磷酸中的重金属离子。

Description

一种半导体行业废磷酸的回收工艺
技术领域
本发明涉及资源再利用技术领域，尤其是涉及一种半导体行业废磷酸的回收工艺。
背景技术
半导体行业产生的磷酸中含有铜镍以及其他一类污染物，其中的重金属难以去除，使得难以回收纯净的磷酸产品；目前常用的处理方法为中和制取磷酸盐、加重金属捕捉剂、树脂吸附方法、扩散渗析法。其中，中和制取磷酸盐的方法存在处置成本较高、处置效率低的问题；加重金属捕捉剂存在一定局限性，并且价格高，药剂使用量大；现有树脂吸附方法均需对磷酸进行大量稀释后再进行吸附(磷酸酸度20-30％)，且针对性的吸附单个类别的重金属，吸附尾液还需再浓缩成高含量的磷酸，蒸馏成本很高；无法适用于高磷酸体系；扩散渗析法，成本高，回收率低，不适合磷酸体系。
因此，目前没有很好的方法和技术能对高酸度磷酸进行直接回收，且产品可直接满足行业标准；现有技术中，树脂吸附重金属方法已很常见，但却没有相关方法和技术能够对高酸度废磷酸进行直接回收，且市面上现有树脂中即能够吸附重金属，又耐高酸度磷酸的树脂几乎没有。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题，本发明提供了一种半导体行业废磷酸的回收工艺。本发明可以有效地剥离磷酸中的重金属离子，回收合格的磷酸产品(满足行标/国标)，又可以回收磷酸中的重金属离子。
本发明的技术方案如下：
一种半导体行业废磷酸的回收工艺，所述工艺包括如下步骤：
(1)制备树脂柱；
(2)废磷酸经过树脂柱进行吸附，收集吸附尾液；
所述树脂柱中的树脂为改性大孔强酸阳树脂。
优选地，步骤(1)中，树脂柱内填充有树脂和惰性PP球，惰性PP球位于树脂的上方确保树脂压实；树脂的填充高度与惰性PP球的填充高度比为8-10:1。
进一步优选，所述树脂柱上设有两个透明视镜，两个透明视镜在树脂柱的高度方向平行排布；所述惰性PP球的直径为1.2-1.5mm；所述树脂为改性大孔强酸阳树脂，直径为0.3-1.25mm。
优选地，树脂柱的高径比为10:3-3.5。
优选地，步骤(2)中，吸附的具体方法为：
a、使用自来水对树脂柱进行反洗、正洗，清洗至洗液为无色清液；过流速度2-3BV/h，水量1BV；
b、将废磷酸的酸度调整为65％-70％，在温度＜80℃的条件下，过滤除去废液中的杂质，制得滤液1；废磷酸的酸度一般在70-80％，将其打至预处理罐，每次打料5m3，加水进行稀释至磷酸酸度65％-70％；若原废磷酸的酸度＜65％则直接树脂吸附，无需稀释；
c、将步骤b所得滤液1通过计量泵打入树脂柱A进行吸附，滤液1上进下出，得到吸附尾液2；进料速度0.8-1.5BV/h；
d、对吸附尾液2取样检测各重金属含量，若满足铜＜1ppm，镍＜1ppm，其它一类污染物重金属离子总和＜1ppm，磷酸酸度≥65％，可直接进磷酸成品罐，作为磷酸产品出售。
进一步优选，步骤(2)d中，若吸附尾液2中各重金属含量超过上述的标准，则使用计量泵将吸附尾液2再打进新的树脂柱B进行吸附，溶液上进下出，循环吸附直至吸附尾液中重金属含量满足上述要求。
进一步优选，步骤(2)d中，若吸附尾液2中磷酸酸度＜65％，则对吸附尾液2进行蒸馏浓缩至磷酸酸度≥65％；所述蒸馏浓缩的条件为：125℃，-0.08～0.09MPa。
优选地，所述废磷酸的酸度为50％-80％；其中各金属元素含量为：铜离子10ppm-500ppm，镍10ppm-150ppm，铬10ppm-50ppm，一类污染物的含量＜10ppm。
本申请中树脂柱A与树脂B均是将制备的树脂柱(树脂为大孔强酸阳性树脂)进行水洗后的树脂柱；树脂柱中的树脂为一种氢型，官能团为-SO3-H+的大孔强酸阳树脂，装柱前经过了改性，改性的方法为：将树脂在甲醇乙醇混合醇中(甲醇:乙醇体积比为1-3:1，优选2.5:1)进行浸泡，混合醇与树脂体积比为1.7-5:1，优选3.5:1，之后向浸泡过的树脂通入氮气进行处理，经过洗涤后，再使用盐酸进行活化、清洗、低温烘干得到改性后的树脂；从而可以增加树脂的官能基团容量，促进树脂官能团与重金属的交换结合能力，提高树脂的稳定性。
树脂解析再生工艺：
(1)树脂吸附饱和后，将树脂柱中磷酸沥干，再用压缩空气进行吹扫(自上向下吹扫)，将树脂柱中的磷酸尽可能吹干，使用水进行反洗，过流速度0.8-1.5BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停反应，得到清洗水1，进行正洗，过流速度0.8-1.5BV/h，进0.5BV的水后使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水2；
(2)调配好6-11％盐酸，使用计量泵打料进树脂柱进行解析操作，过流速度0.8-1.5BV/h，使用水量4-6BV，使用使用压缩空气吹扫干净，得到解析水3
(3)对步骤(2)得到的解析水3进行中和过滤，得到重金属污泥和氯化钠溶液4(氯化钠溶液4可通过蒸馏浓缩至氯化钠产品，也可配置蚀刻液子液)
(4)使用水进行反洗，过流速度0.8-1.5BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停反洗，进行正洗，过流速度0.8-1.5BV/h，进0.5BV的水后使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水5；
(5)步骤(4)清洗过后的树脂可继续进行吸附操作。
本发明有益的技术效果在于：
本发明采用的回用水在预处理步骤中可对酸度达到＞70％的磷酸进行稀释至需要的磷酸酸度(65％-70％)；回用水在解析前清洗树脂，将树脂上残余的磷酸和少量杂质去除，避免给解析液引入磷酸根；回用水在解析后清洗树脂，将树脂上残余的盐酸洗净，避免再生后再吸附时使得磷酸中引入氯离子，造成产品的污染。
本发明选用一种氢型，官能团为-SO3-H+的大孔强酸阳树脂，本树脂具有耐高酸度磷酸的特性，但是树脂吸附重金属效率一般，无法达到预期效果；所以对树脂进行改性：将树脂在一定比例甲醇乙醇混合醇中进行浸泡，后向浸泡过的树脂通入氮气进行处理，经过洗涤后，再使用一定浓度的盐酸进行活化、清洗、低温烘干得到改性后的树脂。通过改性，提高树脂的官能基团容量；提高树脂的比表面积，树脂吸附的稳定性、促进官能团与重金属离子的结合能力，提高重金属透过捕捉效果。
本发明树脂解析过程中产生的所有清洗水均可回用到不同的系统中，起到循环再利用的目的。本发明工艺操作更加便捷，处置成本降低，适用于工业连续化生产；且本发明可以做到零排放、零污染。
附图说明
图1为本发明工艺中吸附过程示意图。
图2为本发明工艺中解析过程示意图。
图3为本发明工艺中采用树脂柱的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明进行具体描述。
下述实施例中使用树脂均为改性树脂；该树脂改性前为市场够买的一种氢型，官能团为-SO3-H+的大孔强酸阳树脂，具有耐高酸度磷酸的特性，但是树脂吸附重金属效率一般，吸附量有限，无法达到预期效果；通过以下工艺对树脂进行改性：
将树脂浸泡在加乙混合醇中浸泡24-36h，温度维持40-50℃；其中甲醇、乙醇比例1-3:1，最优比例2.5:1；混合醇与树脂体积比：1.7-5:1，最优比例：3.5:1；
向浸泡后的树脂中通入氮气，氮气流速：1.5-3m3/h，维持温度60-120℃，维持氮气压力：0.3-1.5MPa(氮气压力每24h上调0.3MPa，直至1.5MPa)，待压力1.5MPa，维持48h，停氮气；
使用10％盐酸进行活化，活化3h后，使用清水对树脂进行清洗，先反洗后正洗，待清洗至滤液中氯含量＜5ppm即合格。
表1：改性前与改性后树脂参数对比：
实施例1-3中采用的改性树脂为经过甲醇甲醇乙醇体积比2.5:1，混合醇与树脂体积比3.5:1，处理的改性树脂。
实施例1
一种半导体行业废磷酸的回收工艺，所述工艺包括如下步骤：
(1)使用自来水对树脂柱进行反洗、正洗，清洗至洗液为无色清液；过流速度2-3BV/h，水量1BV；
(2)向搅拌罐中打入5m3废磷酸，搅拌均匀后检测磷酸酸度53％，将搅拌罐内废磷酸通过泵经过滤器过滤，收集至滤液收集罐中；
(3)将步骤(2)所得滤液通过树脂柱进行树脂吸附，吸附尾液收集至尾液收集罐内，废磷酸经树脂柱的过流速度1BV/h，待废磷酸完全过滤结束后，对吸附尾液进行蒸馏浓缩：125℃，-0.08—0.09MPa，待浓缩液磷酸酸度＞65％，结束蒸馏，放料冷却，成品含量满足行业产品标准；馏分水进入中水回用系统。
待废磷酸过滤结束后，对树脂柱进行解析再生；使用压缩空气对树脂柱进行吹扫，将残余磷酸液去除，废液收至磷酸原料罐内；使用回用水进行反洗，过流速度：1BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停反洗，进行正洗，过流速度1BV/h，进0.5BV的水后使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水测磷酸酸度：5.57％，水量2.2BV，作为高酸度磷酸稀释水使用；调配好6％酸度的盐酸，对树脂进行解析再生，过流速度1BV/h，解析水量5BV，使用压缩空气吹扫，将残余盐酸去除，解析液进入无机盐系统制备氯化钠产品；使用回用水进行正洗，过流速度：1BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停清洗，使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水测盐酸酸度：2.13％，水量1.8BV，清洗水做为高含量盐酸稀释水使用。
所述树脂柱内填充有树脂(氢型，官能团为-SO3-H+的大孔强酸阳树脂)和惰性PP球，惰性PP球位于树脂的上方确保树脂压实；树脂的填充高度与惰性PP球的填充高度比为9:1。所述树脂柱上设有两个透明视镜，两个透明视镜在树脂柱的高度方向平行排布；所述惰性PP球的直径为1.2-1.5mm；树脂直径：0.3-1.25mm。树脂柱中树脂的高径比为10:3.3。
表2为本实施例废磷酸过柱前后各成分的检测结果：
表2
实施例2
一种半导体行业废磷酸的回收工艺，所述工艺包括如下步骤：
(1)使用自来水对树脂柱进行反洗、正洗，清洗至洗液为无色清液；过流速度3BV/h，水量1BV；
(2)向搅拌罐中打入5m3废磷酸，搅拌均匀后检测磷酸酸度66.1％，将搅拌罐内磷酸通过泵经过滤器过滤，收集至滤液收集罐中，通过树脂柱进行树脂吸附，吸附尾液收集至尾液收集罐内，废磷酸经树脂柱的过流速度为1BV/h，待磷酸完全过滤结束后，测吸附尾液磷酸酸度＝65.8％，满足行业产品标准(无需蒸馏)。
待废磷酸过滤结束后，对树脂柱进行解析再生；使用压缩空气对树脂柱进行吹扫，将残余磷酸液去除，废液收至磷酸原料罐内；使用回用水进行反洗，过流速度为1BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停反洗，进行正洗，过流速度为1BV/h，进0.5BV的水后使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水测磷酸酸度：5.13％，水量2.3BV，作为高酸度磷酸稀释水使用；调配好10％酸度的盐酸，对树脂进行解析再生，过流速度1BV/h，解析水量4BV，使用压缩空气吹扫，将残余盐酸去除，解析液进入无机盐系统制备氯化钠产品；使用回用水进行正洗，过流速度：1BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停清洗，使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水测盐酸酸度：2.91％，水量2BV，清洗水做为高含量盐酸稀释水使用。
所述树脂柱内填充有树脂(氢型，官能团为-SO3-H+的大孔强酸阳树脂)和惰性PP球，惰性PP球位于树脂的上方确保树脂压实；树脂的填充高度与惰性PP球的填充高度比为10:1。所述树脂柱上设有两个透明视镜，两个透明视镜在树脂柱的高度方向平行排布；所述惰性PP球的直径为1.2-1.5mm；树脂直径：0.3-1.25mm。树脂柱的高径比为10:3.3。
表3为本实施例废磷酸过柱前后各成分的检测结果：
表3
实施例3
一种半导体行业废磷酸的回收工艺，所述工艺包括如下步骤：
(1)使用自来水对树脂柱进行反洗、正洗，清洗至洗液为无色清液；过流速度2BV/h，水量1BV；
(2)向搅拌罐中打入5m3废磷酸，搅拌均匀后检测磷酸酸度77.3％，向搅拌罐中加回用水对废磷酸进行稀释，稀释放热，检测温度＜75℃，待搅拌均匀，检测磷酸酸度68.3％，共计使用回用水0.66m3，将搅拌罐内废磷酸通过泵经过滤器过滤，收集至滤液收集罐中，通过树脂柱进行树脂吸附，吸附尾液收集至尾液收集罐内，废磷酸经树脂柱的过流速度为BV/h，待废磷酸完全过滤结束后，测吸附尾液磷酸酸度＝68.1％，满足行业产品标准(无需蒸馏)。
待磷酸过滤结束后，对树脂进行解析再生；使用压缩空气对树脂柱进行吹扫，将残余磷酸液去除，废液收至磷酸原料罐内；使用回用水进行反洗，过流速度为1BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停反洗，进行正洗，过流速度1BV/h，进0.5BV的水后使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水测磷酸酸度：5.97％，水量2.2BV，作为高酸度磷酸稀释水使用；调配好10％酸度的盐酸，对树脂柱进行解析再生，过流速度1BV/h，解析水量4BV，使用压缩空气吹扫，将残余盐酸去除，解析液进入无机盐系统制备氯化钠产品；使用回用水进行正洗，过流速度为1BV/h，每进0.5BV水，吹扫一次，直至吹扫后的清洗液pH＝6-7暂停清洗，使用压缩空气吹扫干净，得到清洗水测盐酸酸度：3.37％，水量2BV，清洗水做为高含量盐酸稀释水使用。
所述树脂柱内填充有树脂(氢型，官能团为-SO3-H+的大孔强酸阳树脂)和惰性PP球，惰性PP球位于树脂的上方确保树脂压实；树脂的填充高度与惰性PP球的填充高度比为9:1。所述树脂柱上设有两个透明视镜，两个透明视镜在树脂柱的高度方向平行排布；所述惰性PP球的直径为1.2-1.5mm；树脂直径：0.3-1.25mm。树脂柱的高径比为10:3.3。
表4为本实施例废磷酸过柱前后各成分的检测结果：
表4
实施例3 铜/ppm 镍/ppm 铬/ppm 其余一类污染物/ppm 磷酸酸度％
稀释后溶液 397 131.7 42.9 8.71 77.3
吸附尾液 0.913 0.57 0.57 0.43 68.1
解析液 558.36 185.018 58.81 11.116 /
由表2-4数据可以看出，本发明树脂柱可以对酸度50-70％酸度磷酸直接吸附，可以降低处置成本；解析液使用10％左右的盐酸，效果更好，也可减少解析液的用量，盐酸解析率超过98％。

Claims (3)

1.一种半导体行业废磷酸的回收工艺，其特征在于，所述工艺包括如下步骤：
（1）制备树脂柱；
（2）废磷酸经过树脂柱进行吸附，收集吸附尾液；
所述树脂柱中的树脂为改性大孔强酸阳树脂；
树脂柱内填充有树脂和惰性PP球，惰性PP球位于树脂的上方确保树脂压实；树脂的填充高度与惰性PP球的填充高度比为8-10:1；
树脂柱中的树脂改性的方法为：将树脂在甲醇和乙醇的混合醇中进行浸泡，之后向浸泡过的树脂通入氮气进行处理，经过洗涤后，再使用盐酸进行活化、清洗、低温烘干得到改性后的树脂；所述甲醇:乙醇体积比为1-3:1；混合醇与树脂体积比为1.7-5:1；树脂为一种氢型、官能团为-SO3-H+的大孔强酸阳树脂；
所述废磷酸的酸度为50%-80%；其中各重金属元素含量为：铜离子10ppm-500ppm，镍10ppm-150ppm，铬10ppm-50ppm，其余一类污染物的含量＜10ppm；
步骤（2）中，吸附的具体方法为：
a、使用自来水对树脂柱进行反洗、正洗，清洗至洗液为无色清液；过流速度2-3BV/h，水量1BV；
b、将废磷酸的酸度调整为65%-70%，在温度＜80℃的条件下，过滤除去废液中的杂质，制得滤液1；
c、将步骤b所得滤液1通过计量泵打入树脂柱A进行吸附，滤液1上进下出，得到吸附尾液2；进料速度0.8-1.5BV/h；
d、对吸附尾液2取样检测各重金属含量，若满足铜＜1ppm，镍＜1ppm，其余一类污染物＜1ppm，磷酸酸度≥65%，可直接进磷酸成品罐，作为磷酸产品出售。
2.根据权利要求1所述的回收工艺，其特征在于，所述树脂柱上设有两个透明视镜，两个透明视镜在树脂柱的高度方向平行排布；所述惰性PP球的直径为1.2-1.5mm；所述树脂为改性大孔强酸阳树脂，直径为0.3-1.25mm。
3.根据权利要求1所述的回收工艺，其特征在于，树脂柱的高径比为10:3-3.5。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108117217A (zh) * 2017-12-29 2018-06-05 南通波涛化工有限公司 一种bta/tta高盐废水优化处理工艺
CN109160491A (zh) * 2017-06-30 2019-01-08 中国石油化工股份有限公司 一种双氧水的纯化方法
CN109319876A (zh) * 2018-12-24 2019-02-12 安徽国星生物化学有限公司 一种树脂吸附法处理乙酸废水工艺

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2779408B2 (ja) * 1993-12-09 1998-07-23 日本合成アルコール株式会社 りん酸の回収再利用方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109160491A (zh) * 2017-06-30 2019-01-08 中国石油化工股份有限公司 一种双氧水的纯化方法
CN108117217A (zh) * 2017-12-29 2018-06-05 南通波涛化工有限公司 一种bta/tta高盐废水优化处理工艺
CN109319876A (zh) * 2018-12-24 2019-02-12 安徽国星生物化学有限公司 一种树脂吸附法处理乙酸废水工艺

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
北京市卫生局.离子交换树脂的处理方法.《中草药制剂技术》.化学工业出版社,1978,第29-30页. *

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