CN113740005A - 流体流路切换装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种能够判断流体泄漏为内部泄漏还是外部泄漏的流体流路切换装置。流体流路切换装置具备:切换阀、供给流路、排出流路、供给侧流量传感器、排出侧流量传感器、压力传感器以及泄漏判断部。所述泄漏判断部执行判断有无内部泄漏的内部泄漏判断处理以及判断有无外部泄漏的外部泄漏判断处理。在压力传感器未检测出压力,且排出侧流量传感器未检测出流量的情况下,判断为没有内部泄漏。在压力传感器未检测出压力,且排出侧流量传感器检测出流量的情况下,判断为有内部泄漏。在外部泄漏判断处理中,在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下判断为没有外部泄漏。在累计供给流量大于累计排出流量的情况下判断为有外部泄漏。

Description

流体流路切换装置
技术领域
本发明涉及一种流体流路切换装置。
背景技术
流体切换装置具备:切换阀,其为了对流体压力缸的压力作用室进行流体的供给和排出而切换流路;供给流路,其将流体供给至切换阀;以及排出流路,其将来自切换阀的流体向外部排出。专利文献1中,通过安装在供给流路的流量传感器对流经供给流路的流体的流量进行检测,并基于由流量传感器检测出的流量来判断有无泄漏。
然而,在上述结构中,存在发生如下的内部泄漏的情况。具体而言,存在以下情况:由于切换阀的阀芯的密封件(packing)的劣化,从供给流路供给至切换阀的流体的一部分未被供给至流体压力缸的压力作用室而向排出流路泄漏。此外,还存在以下情况:由于流体压力缸的活塞的密封件的劣化,供给至压力作用室的流体的一部分从压力作用室泄漏。此外,存在发生如下的外部泄漏的情况。具体而言,存在以下情况:由于供给流路与切换阀之间的密封不良,流经供给流路的流体的一部分向外部泄漏。此外,还存在以下情况:由于连接切换阀和流体压力缸的配管的密封不良,流经配管的流体的一部分向外部泄漏。
如上所述,在专利文献1中,藉由利用流量传感器对流经供给流路的流体的流量进行检测,能够判断是否发生流体泄漏。然而,无法判断该流体泄漏为内部泄漏还是外部泄漏。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利第3695381号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明的目的在于,提供一种能够判断流体泄漏为内部泄漏还是外部泄漏的流体流路切换装置。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题,根据本发明的第一方式,流体流路切换装置具备:切换阀,其为了对流体压力缸的压力作用室进行流体的供给和排出而切换流路;供给流路,其将流体供给至上述切换阀;排出流路,其将来自上述切换阀的流体向外部排出;供给侧流量传感器,其检测流经上述供给流路的流体的流量;排出侧流量传感器,其检测流经上述排出流路的流体的流量;压力传感器,其检测上述排出流路的压力;以及泄漏判断部,其判断流体是否泄漏。上述泄漏判断部执行如下处理:判断有无内部泄漏的内部泄漏判断处理以及判断有无外部泄漏的外部泄漏判断处理。上述内部泄漏判断处理中,在由上述压力传感器未检测出压力,且由上述排出侧流量传感器未检测出流量的情况下,上述泄漏判断部判断没有上述内部泄漏。此外,在由上述压力传感器未检测出压力,且由上述排出侧流量传感器检测出流量的情况下,上述泄漏判断部判断有上述内部泄漏。上述外部泄漏判断处理中,上述泄漏判断部基于由上述供给侧流量传感器检测出的流量对供给至上述压力作用室的流体的累计供给流量进行计算,并且基于由上述排出侧流量传感器检测出的流量对从上述压力作用室排出的流体的累计排出流量进行计算。在上述累计供给流量与上述累计排出流量相同的情况下,上述泄漏判断部判断没有上述外部泄漏。此外,在上述累计供给流量大于上述累计排出流量的情况下,上述泄漏判断部判断有上述外部泄漏。
为了解决上述课题,根据本发明的第二方式,流体流路切换装置具备:切换阀,其连接于具有第1压力作用室及第2压力作用室的流体压力缸,且对流路进行切换,以便向上述第1压力作用室及上述第2压力作用室的一方压力作用室供给流体并且从另一方压力作用室排出流体;供给流路,其将流体供给至上述切换阀;排出流路,其将来自上述切换阀的流体向外部排出;供给侧流量传感器,其检测流经上述供给流路的流体的流量;排出侧流量传感器,其检测流经上述排出流路的流体的流量;压力传感器,其检测上述排出流路的压力;以及泄漏判断部,其判断流体的泄漏。上述泄漏判断部执行如下处理:判断有无内部泄漏的内部泄漏判断处理;以及判断有无外部泄漏的外部泄漏判断处理。上述内部泄漏判断处理中,在由上述压力传感器未检测出压力,且由上述排出侧流量传感器未检测出流量的情况下,上述泄漏判断部判断没有上述内部泄漏。此外,在由上述压力传感器未检测出压力,且由上述排出侧流量传感器检测出流量的情况下,上述泄漏判断部判断有上述内部泄漏。上述外部泄漏判断处理中,上述泄漏判断部基于由上述供给侧流量传感器检测出的流量对供给至上述第1压力作用室及上述第2压力作用室中的一方的流体的累计供给流量进行计算,并且基于由上述排出侧流量传感器检测出的流量对从上述第1压力作用室及上述第2压力作用室中的另一方排出的流体的累计排出流量进行计算。在上述累计供给流量与上述累计排出流量之间的流量差为预定值的情况下,上述泄漏判断部判断没有上述外部泄漏。此外,在上述累计供给流量与上述累计排出流量之间的流量差大于预定值的情况下,上述泄漏判断部判断有上述外部泄漏。
附图说明
图1是用于说明本发明的一实施方式的流体流路切换装置的图。
图2是用于说明关于内部泄漏判断处理的图。
图3是用于说明关于内部泄漏判断处理的图。
图4是用于说明关于内部泄漏判断处理的图。
图5是用于说明关于内部泄漏判断处理的图。
图6是用于说明关于内部泄漏判断处理的时序图。
图7是用于说明关于外部泄漏判断处理的图。
图8是用于说明关于外部泄漏判断处理的图。
图9是用于说明关于外部泄漏判断处理的时序图。
图10是用于说明另一实施方式的流体流路切换装置的图。
具体实施方式
以下,根据图1~图9对将流体流路切换装置具体化的实施方式进行说明。
如图1所示,流体流路切换装置10具备供给排出块11、多个歧管基座21、以及多个切换阀30。多个歧管基座21并排设置于供给排出块11。各切换阀30被放置于各歧管基座21。因此,各切换阀30被放置于各歧管基座21。多个切换阀30并排设置于供给排出块11。
各切换阀30具有供给口、第1输出口、第2输出口、第1排出口、以及第2排出口。各切换阀30是公知的5端口电磁阀,随着阀芯通过向螺线管的通电的导通与断开而进行往复运动,而对各端口之间的连通进行切换。在阀芯安装有用于密封各端口之间的密封件。各切换阀30根据阀芯的切换位置切换各端口之间的连通,从而切换流路,以便对各流体压力缸40的第1压力作用室41及第2压力作用室42进行流体的供给和排出。各切换阀30将流路切换成,向流体压力缸40的第1压力作用室41供给流体,并且从流体压力缸40的第2压力作用室42排出流体。此外,各切换阀30将流路切换成,向流体压力缸40的第2压力作用室42供给流体,并且从流体压力缸40的第1压力作用室41排出流体。
各流体压力缸40具备缸筒(cylinder tube)43、收纳于缸筒43内的活塞44以及安装于活塞44的活塞杆45。缸筒43内由活塞44分隔为第1压力作用室41与第2压力作用室42。第1压力作用室41与第2压力作用室42之间密封有安装于活塞44的未图示的密封件。
活塞杆45随着活塞44的往复运动而与活塞44一体地移动。活塞杆45能够经过第2压力作用室42而相对于缸筒43突出和没入。第2压力作用室42的最大容积比第1压力作用室41的最大容积小了活塞杆45所经过的量。因此,第1压力作用室41的最大容积大于第2压力作用室42的最大容积。
供给排出块11具有第1集中供给口12a及第2集中供给口12b。此外,供给排出块11具有集中供给流路13。集中供给流路13具有主集中供给流路13a及从主集中供给流路13a分支并绕过主集中供给流路13a的一部分的副集中供给流路13b。主集中供给流路13a的第1端连接于第1集中供给口12a。主集中供给流路13a的第2端连接于第2集中供给口12b。副集中供给流路13b的流路截面积小于主集中供给流路13a的流路截面积。第1集中供给口12a经由外部供给流路14连接于流体压力装置15。外部供给流路14例如为配管。
供给排出块11具有第1集中排出口16a、第2集中排出口16b及集中外部排出口16c。此外,供给排出块11具有集中排出流路17。集中排出流路17具有主集中排出流路17a及从主集中排出流路17a分支并绕过主集中排出流路17a的一部分的副集中排出流路17b。主集中排出流道17a的第1端部分被分支为连接于第1集中排出口16a的第1分支连接流路171a以及连接于第2集中排出口16b的第2分支连接流路172a。主集中排出流路17a的第2端部连接于集中外部排出口16c。副集中排出流路17b的流路截面积小于主集中排出流路17a的流路截面积。集中外部排出口16c经由外部排出流路18与外部连接。外部排出流路18例如为配管。
各歧管基座21具有基座供给流路22、第1基座输出流路23、第2基座输出流路24、第1基座排出流路25及第2基座排出流路26。各歧管基座21的基座供给流路22、第1基座输出流路23、第2基座输出流路24、第1基座排出流路25及第2基座排出流路26与各切换阀30连接。具体而言,基座供给流路22连接于切换阀30的供给口,第1基座输出流路23连接于切换阀30的第1输出口连接。第2基座输出流路24连接于切换阀30的第2输出口。第1基座排出流路25连接于切换阀30的第1排出口。第2基座排出流路26连接于切换阀30的第2排出口。
配置于最接近供给排出块11的位置处的歧管基座21的基座供给流路22连接于供给排出块11的第2集中供给口12b。相邻的歧管基座21的各基座供给流路22彼此连通。因此,各歧管基座21的基座供给流路22连接于供给排出块11的第2集中供给口12b。
被流体压力装置15压缩的流体经由外部供给流路14、第1集中供给口12a、集中供给流路13、第2集中供给口12b以及各基座供给流路22而被供给至各切换阀30。因此,外部供给流路14、第1集中供给口12a、集中供给流路13、第2集中供给口12b以及各基座供给流路22构成向各切换阀30供给流体的供给流路27。供给流路27的一部分形成于供给排出块11。此外,在各歧管基座21形成有供给流路27的一部分。供给流路27具有:主集中供给流路13a,其作为主供给流路;以及副集中供给流路13b,其作为从主供给流路分支并绕过主供给流路的一部分的副供给流路。
配置于最接近供给排出块11的位置处的歧管基座21的第1基座排出流路25连接于供给排出块11的第1集中排出口16a。相邻的歧管基座215的各第1基座排出流路25彼此连通。因此,各歧管基座21的各第1基座排出流路25连接于供给排出块11的第1集中排出口16a。
配置于最靠近供给排出块11的位置处的歧管基座21的第2基座排出流路26连接于供给排出块11的第2集中排出口16b。相邻的歧管基座21的各第2基座排出流路26彼此连通。因此,各歧管基座21的各第2基座排出流路26连接于供给排出块11的第2集中排出口16b。
从各切换阀30向各第1基座排出流路25排出的流体是经由第1基座排出流路25、第1集中排出口16a、集中排出流路17、集中外部排出口16c以及外部排出流路18向外部排出。此外,从各切换阀30向各第2基座排出流路26排出的流体经由各第2基座排出流路26、第2集中排出口16b、集中排出流路17、集中外部排出口16c及外部排出流路18向外部排出。因此,各第1基座排出口25、第1集中排出口16a、各第2基座排出流路26、第2集中排出口16b、集中排出流路17、集中外部排出口16c以及外部排出流路18构成为将来自各切换阀30的流体向外部排出的排出流路28。排出流路28的一部分形成于供给排出块11。此外,在各歧管基座21分别形成有排出流路28的一部分。排出流路28具有:主集中排出流路17a,其作为主排出流路;以及副集中排出流路17b,其作为从主排出流路分支并绕过主排出流路的一部分的副排出流路。
在外部排出流路18设有止回阀18a。止回阀18a允许流体从集中外部排出口16c经由外部排出流路18向外部流动,并且阻断流体从外部经由外部排出流路18向集中外部排出口16c流动。因此,止回阀18a允许流体从切换阀30向外部流动,并且阻断流体从外部向切换阀30流动。
各歧管基座21的第1基座输出流路23经由各第1外部输出流路46而与各流体压力缸40的第1压力作用室41连接。各第1外部输出流路46例如为配管。此外,各歧管基座21的第2基座输出流路24经由各第2外部输出流路47而与各流体压力缸40的第2压力作用室42连接。各第2外部输出流路47例如为配管。
若切换阀30向螺线管的通电导通,则切换阀30的阀芯切换至第一切换位置,上述第一切换位置是连通供给口与第1输出口且连通第2输出口与第2排出口的位置。若切换阀30的阀芯被切换至第一切换位置,则供给口与第2输出口之间以及第1输出口与第1排出口之间被阀芯的密封件密封。
从切换阀30经由第1输出口向第1基座输出流路23输出的流体,经由第1外部输出流路46供给至流体压力缸40的第1压力作用室41。这样,流体压力缸40的活塞44以使第1压力作用室41的容积增加的方式移动。藉此,由于第2压力作用室42的容积减小,流体压力缸40的第2压力作用室42的流体经由第2外部输出流路47、第2输出口及第2排出口排出至第2基座排出流路26。
若切换阀30向螺线管的通电断开,则切换阀30的阀芯切换至第二切换位置,上述第二切换位置是连通供给口与第2输出口且连通第1输出口与第1排出口的位置。若切换阀30的阀芯被切换至第二切换位置,则供给口与第1输出口之间以及第2输出口与第2排出口之间被阀芯的密封件密封。
从切换阀30经由第2输出口向第2基座输出流路24输出的流体,经由第2外部输出流路47供给至流体压力缸40的第2压力作用室42。这样,流体压力缸40的活塞44以使第2压力作用室42的容积增加的方式移动。藉此,由于第1压力作用室41的容积减小,流体压力缸40的第1压力作用室41的流体经由第1外部输出流路46、第1输出口及第1排出口排出至第1基座排出流路25。
流体流路切换装置10包括微型计算机50(MPU)。微型计算机50内置于供给排出块11。微型计算机50与外部控制装置51电连接。
流体流路切换装置10具备供给侧流量传感器61。供给侧流量传感器61设于集中供给流路13的副集中供给流路13b。供给侧流量传感器61对流经副集中供给流路13b的流体的流量进行检测。因此,供给侧流量传感器61对流经供给流路27的流体的流量进行检测。供给侧流量传感器61内置于供给排出块11。因此,供给侧流量传感器61与供给排出块11一体化。供给侧流量传感器61与微型计算机50电连接。由供给侧流量传感器61检测出的有关流量的信息被发送至微型计算机50。
流体流路切换装置10具备排出侧流量传感器62。排出侧流量传感器62设于集中排出流路17的副集中排出流路17b。排出侧流量传感器62对流经副集中排出流路17b的流体的流量进行检测。因此,排出侧流量传感器62对流经排出流路28的流体的流量进行检测。排出侧流量传感器62内置于供给排出块11中。因此,排出侧流量传感器62与供给排出块11一体化。排出侧流量传感器62与微型计算机50电连接。由排出侧流量传感器62检测出的有关流量的信息被发送至微型计算机50。
排出流路28具有压力检测流路19。压力检测流路19形成于供给排出块11。压力检测流路19从主集中排出流路17a的与副集中排出流路7b的连接处及主集中排出流路17a的第1端部之间的部位分支。
流体流路切换装置10具备压力传感器63。压力传感器63设于压力检测流路19。压力传感器63检测压力检测流路19的压力。因此,压力传感器63检测排出流路28的压力。压力传感器63内置于供给排出块11。因此,压力传感器63与供给排出块11一体化。压力传感器63与微型计算机50电连接。由压力传感器63检测出的有关压力的信息被发送至微型计算机50。
在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:根据压力传感器63检测的排出流路28的压力的变化,判断流体压力缸40的活塞44的移动是否为过渡状态。在压力传感器63检测出压力的情况下,微型计算机50判断流体压力缸40的活塞44的移动为过渡状态。压力传感器63未检测出压力的情况下,微型计算机50判断流体压力缸40的活塞44已经到达行程末端(stroke end)而活塞44为停止状态。
在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:判断有无内部泄漏的内部泄漏判断处理及判断有无外部泄漏的外部泄漏判断处理。因此,微型计算机50作为判断流体泄漏的泄漏判断部发挥功能。
“内部泄漏”是指例如,因切换阀30的阀芯的密封件的劣化,导致从供给流路27被供给至切换阀30的流体的一部分未被供给至流体压力缸40的压力作用室41、42而向排出流路28泄漏的情况。此外,“内部泄漏”是指例如,因流体压力缸40的活塞44的密封件的劣化,导致被供给至第1压力作用室41的流体的一部分向第2压力作用室42泄漏,或是供给至第2压力作用室42的流体的一部分向第1压力作用室41泄漏的情况。
“外部泄漏”是指例如,因供给流路27与切换阀30之间的密封不良,导致流经供给流路27的流体的一部分向外部泄漏,或是因连接切换阀30与流体压力缸40之间的配管的密封不良,导致流经配管的流体的一部分向外部泄漏的情况。
在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在内部泄漏判断处理中,在压力传感器63未检测出压力,且排出侧流量传感器62未检测出流量的情况下,判断没有内部泄漏。此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在内部泄漏判断处理中,在压力传感器63未检测出压力,且排出侧流量传感器62检测出流量的情况下,判断有内部泄漏。
作为压力传感器63,为了避免有关排出流路28的压力检测的误判,例如采用以下传感器,其不会对流体因内部泄漏而向排出流路28泄漏时的排出流路28的压力的微小变化进行检测。
在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在压力传感器63检测出压力而判断流体压力缸40的活塞44的移动为过渡状态的情况下,不执行内部泄漏判断处理。此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在压力传感器63未检测出压力而判断流体压力缸40的活塞44为停止状态的情况下,执行内部泄漏判断处理。
在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在内部泄漏判断处理中判断有内部泄漏的情况下,将由排出侧流量传感器62检测出的流量作为内部泄漏量进行储存。
在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断处理中,基于由供给侧流量传感器61检测出的流量,对供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量进行计算,并且基于由排出侧流量传感器62检测出的流量,对从第1压力作用室41排出的流体的累计排出流量进行计算。此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下,判断没有外部泄漏,并且在累计供给流量大于累计排出流量的情况下,判断有外部泄漏。
具体而言,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断处理中,在切换阀30向螺线管的通电导通后,基于由供给侧流量传感器61所检测出的流量,对供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量进行计算。此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断处理中,在切换阀30向螺线管的通电断开后,基于由排出侧流量传感器62所检测出的流量,对从第1压力作用室41排出的流体的累计排出流量进行计算。微型计算机50分别储存有所算出的累计供给流量和累计排出流量。在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断处理中,将在切换阀30向螺线管的通电导通后供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量与在切换阀30向螺线管的通电断开后从第1压力作用室41排出的流体的累计排出流量进行比较。在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下,判断没有外部泄漏。此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在累计供给流量大于累计排出流量的情况下,判断有外部泄漏。
此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断处理中,基于由供给侧流量传感器61所检测出的流量,对供给至第2压力作用室42的流体的累计供给流量进行计算,并且基于由排出侧流量传感器62所检测出的流量,对从第2压力作用室42排出的流体的累计排出流量进行计算。在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下,判断没有外部泄漏,并且在累计供给流量大于累计排出流量的情况下,判断有外部泄漏。
具体而言,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断中,基于在切换阀30向螺线管的通电断开之后由供给侧流量传感器61所检测出的流量,对供给至第2压力作用室42的流体的累计供给流量进行计算。此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断处理中,在切换阀30向螺线管的通电导通后,基于由排出侧流量传感器62所检测出的流量,对从第2压力作用室42排出的累计排出流量进行计算。微型计算机50分别储存所算出的累计供给流量以及累计排出流量。在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断过程中,将在切换阀30向螺线管的通电断开后供给至第2压力作用室42的流体的累计供给流量与在切换阀30向螺线管的通电导通后从第2压力作用室42排出的流体的累计排出流量进行比较。在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下,判断没有外部泄漏。此外,在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:在累计供给流量大于累计排出流量的情况下,判断有外部泄漏。
在微型计算机50预先储存有执行如下处理的程序:无论有无由压力传感器63进行的检测,始终执行外部泄漏判断处理。因此,无论流体压力缸40的活塞44的移动为过渡状态还是流体压力缸40的活塞44为停止状态,微型计算机50始终执行外部泄漏判断处理。
微型计算机50预先存储有执行如下处理的程序:在外部泄漏判断处理中判断有外部泄漏的情况下,算出累计供给流量与累计排出流量的差,并将所算出的流量作为外部泄漏量进行储存。
接着,针对本实施方式的作用进行说明。
在以下的作用说明中,为了简化说明,仅针对与一组切换阀30及流体压力缸40有关的作用进行说明。从图2以后,简化供给流路27及排出流路28的图示。
首先,针对由微型计算机50进行的内部泄漏的有无的判断方法,与本实施方式的作用一起进行说明。
如图2所示,若切换阀30向螺线管的通电断开,则切换阀30从第一切换位置切换至第二切换位置。这样,第1压力作用室41中的流体经过排出流路28而向外部排出,并且已经经过供给流路27的流体被供给至第2压力作用室42。其结果是,活塞杆45成为相对于缸筒43最没入的状态。
如图3所示,若切换阀30向螺线管的通电导通,则切换阀30从第二切换位置切换至第一切换位置。这样,已经经过供给流路27的流体被供给至第1压力作用室41,并且第2压力作用室42的流体经过排出流路28而向外部排出。其结果是,活塞杆45相对于缸筒43的突出量逐渐增加。
此时,由于压力传感器63检测到压力,因此微型计算机50判断流体压力缸40的活塞44的移动为过渡状态。因此,微型计算机50不执行内部泄漏判断处理。
如图4所示,若活塞杆45成为相对于缸筒43最突出的状态,则流体压力缸40的活塞44到达行程末端,活塞44停止。此时,由于压力传感器63未检测出压力,因此微型计算机50判断流体压力缸40的活塞44为停止状态,而执行内部泄漏判断处理。在此,在压力传感器63未检测出压力且排出侧流量传感器62未检测出流量的情况下,微型计算机50判断没有内部泄漏。
如图5所示,在内部泄漏判断处理中,在压力传感器63未检测出压力且排出侧流量传感器62检测出流量的情况下,微型计算机50判断有内部泄漏。在该情况下,可以认为:尽管流体压力缸40的活塞44停止,但例如因切换阀30的阀芯的密封件劣化,导致从供给流路27被供给至切换阀30的流体的一部分未被供给至流体压力缸40的第1压力作用室41,而是向排出流路28泄漏。此外,可以认为:尽管流体压力缸40的活塞44停止,但例如因流体压力缸40的活塞44的密封件劣化,导致第1压力作用室41的流体的一部分泄漏至第2压力作用室42,而从第2压力作用室42向排出流路28泄漏。因此,可以认为发生了内部泄漏。
如图6所示,在内部泄漏判断处理中判断有内部泄漏的情况下,微型计算机50将由排出侧流量传感器62所检测出的流量Qx作为内部泄漏量进行储存。微型计算机50将由排出侧流量传感器62所检测出的流量Qx发送至外部控制装置51。外部控制装置51将流量Qx作为内部泄漏量接收,从而向操作者通知异常。
接着,针对由微型计算机50进行的外部泄漏的有无的判断方法,与本实施方式的作用一起进行说明。
如图7所示,若切换阀30向螺线管的通电导通,则切换阀30切换至第一切换位置,经过供给流路27的流体被供给至第1压力作用室41,并且第2压力作用室42的流体经过排出流路28向外部排出。藉此,活塞杆45成为相对于缸筒43最突出的状态。
此时,微型计算机50基于在外部泄漏判断处理中由供给侧流量传感器61所检测出的流量,对供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量进行计算。此外,微型计算机50基于在外部泄漏判断处理中由排出侧流量传感器62所检测出的流量,对从第2压力作用室42排出的流体的累计排出流量进行计算。这样,微型计算机50分别算出在切换阀30向螺线管的通电导通后,供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量、以及从第2压力作用室42排出的流体的累计排出流量。微型计算机50分别储存所算出的累计供给流量和累计排出流量。
如图8所示,若切换阀30向螺线管的通电断开,则切换阀30从第一切换位置切换至第二切换位置,第1压力作用室41的流体排出流路28向外部排出,并且经过供给流路27的流体被供给至第2压力作用室42。藉此,活塞杆45成为相对于缸筒43最没入的状态。
此时,微型计算机50基于在外部泄漏判断处理中由供给侧流量传感器61所检测出的流量,对供给至第2压力作用室42的流体的累计供给流量进行计算。此外,微型计算机50基于在外部泄漏判断处理中由排出侧流量传感器62所检测出的流量,对从第1压力作用室41排出的流体的累计排出流量进行计算。这样,微型计算机50分别算出在切换阀30向螺线管的通电断开后,被供给至第2压力作用室42的流体的累计供给流量、以及从第1压力作用室41排出的流体的累计排出流量。微型计算机50分别储存所算出的累计供给流量及累计排出流量。
如图9所示,微型计算机50在外部泄漏判断处理中,将在切换阀30向螺线管的通电导通后供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量与在切换阀30向螺线管的通电断开后从第1压力作用室41排出的流体的累计排出流量进行比较。在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下,微型计算机50判断没有外部泄漏。另一方面,如图9的双点划线所示,在累计供给流量大于累计排出流量的情况下,微型计算机50判断有外部泄漏。
微型计算机50在外部泄漏判断处理中,将在切换阀30向螺线管的通电断开之后供给至第2压力作用室42的流体的累计供给流量与在切换阀30向螺线管的通电导通后从第2压力作用室42排出的流体的累计排出流量进行比较。在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下,微型计算机50判断没有外部泄漏。另一方面,如图9中的点划线所示,在累计供给流量大于累计排出流量的情况下,微型计算机50判断有外部泄漏。也就是说,可以认为:例如因供给流路27与切换阀30之间的密封不良,导致流经供给流路27的流体的一部分向外部泄漏,或是因连接切换阀30与流体压力缸40的配管的密封不良,导致流经配管的流体的一部分向外部泄漏。
在外部泄漏判断过程中判断有外部泄漏的情况下,微型计算机50算出累计供给流量与累计排出流量之间的差,将所算出的流量作为外部泄漏量进行储存。微型计算机50将所算出的外部泄漏量发送至外部控制装置51。外部控制装置51接收外部泄漏量而向操作者通知异常。
上述实施方式能够获得以下效果。
(1)在内部泄漏判断处理中,在压力传感器63未检测出压力且排出侧流量传感器62未检测出流量的情况下,微型计算机50判断为没有内部泄漏。此外,在压力传感器63未检测出压力且排出侧流量传感器62检测出流量的情况下,微型计算机50判断为有内部泄漏。此外,微型计算机50基于在外部泄漏判断处理中由供给侧流量传感器61检测出的流量,对供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量进行检测,并且基于由排出侧流量传感器62检测出的流量,对从第1压力作用室41排出的流体的累计排出流量进行检测。在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下,微型计算机50判断为没有外部泄漏。此外,在累计供给流量大于累计排出流量的情况下,微型计算机50判断为有外部泄漏。由此,在流体流路切换装置10中,能够判断流体泄漏为内部泄漏还是外部泄漏。
(2)供给侧流量传感器61、排出侧流量传感器62以及压力传感器63与供给排出块11一体化。由此,与将供给侧流量传感器61、排出侧流量传感器62以及压力传感器63与各歧管基座21分别一体化的情况相比,能够使流体流路切换装置10整体更为紧凑。
(3)副集中供给流路13b的流路截面积小于主集中供给流路13a的流路截面积。供给侧流量传感器61设于副集中供给流路13b。由此,因为能够采用小型传感器作为供给侧流量传感器61,因此,能够使流体流路切换装置10整体更为紧凑。
(4)副集中排出流路17b的流路截面积小于主集中排出流路17a的流路截面积。排出侧流量传感器62设于副集中排出流路17b。由此,因为能够采用小型传感器作为排出侧流量传感器62,因此,能够使流体流路切换装置10整体更为紧凑。
(5)在外部排出流路18设有止回阀18a,该止回阀18a允许流体从切换阀30向外部流动,并且阻断流体从外部向切换阀30流动。由此,即使在多个流体流路切换装置10并排设置而各流体流路切换装置10的外部排出流路18彼此连接的情况下,也能够利用止回阀18a避免其他流体流路切换装置10的排出至外部排出流路18的流体经过自身流体流路切换装置10的外部排出流路18而向切换阀30逆流。
能够以如下方式变更而实施上述实施方式。能够在技术上不矛盾的范围内将上述实施方式及以下的变更例彼此组合而实施。
微型计算机50在外部泄漏判断处理中基于供给侧流量传感器61所检测出的流量,对供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量进行计算,并基于排出侧流量传感器62所检测出的流量,对从第2压力作用室42排出的流体的累计排出流量进行计算。然后,在累计供给流量与累计排出流量之间的流量差为预定值的情况下,微型计算机50能够判断为没有外部泄漏。在累计供给流量与累计排出流量之间的流量差大于预定值的情况下,微型计算机50能够为判断有外部泄漏。
具体而言,微型计算机50在外部泄漏判断过程中,将在切换阀30向螺线管的通电导通后供给至第1压力作用室41的流体的累计供给流量与从第2压力作用室42排出的流体的累计排出流量的流量差进行比较。在累计供给流量与累计排出流量的流量差为预定值的情况下,微型计算机50判断为无外部泄漏。另一方面,在累计供给流量与累计排出流量的流量差大于预定值的情况下,微型计算机50判断为有外部泄漏。由此,即使第1压力作用室41的最大容积与第2压力作用室42的最大容积为不同结构,也能够使用同一定时下的第1压力作用室41的累计供给流量以及第2压力作用室42的累计排出流量来判断外部泄漏,因此能够有效率地进行外部泄漏的判断。
如图10所示,供给侧流量传感器61、排出侧流量传感器62及压力传感器63也可以与各歧管基座21分别一体化。在该情况下,各供给侧流量传感器61设于各歧管基座21的基座供给流路22。此外,各排出侧流量传感器62及各压力传感器63分别设于各歧管基座21的第1基座排出流路25及第2基座排出流路26。由此,能够判断出在哪个歧管基座21发生流体泄漏,并且能够判断出该流体泄漏为内部泄漏还是外部泄漏。
也可以将供给侧流量传感器61设于主集中供给流路13a。在该情况下,集中供给流路13也可以不具有副集中供给流路13b。
也可以将排出侧流量传感器62设于主集中排出流路17a。在该情况下,集中排出流路17也可以不具有副集中排出流路17b。
也可以不在流体流路切换装置10的外部排出流路18设置止回阀18a。
各切换阀30也可以为3端口电磁阀。在该情况下,各切换阀30为了仅对各流体压力缸40的第1压力作用室41进行流体的供给和排出而切换流路。因此,在该情况下,各流体压力缸40为弹簧型的单向驱动缸。
符号说明
10 流体流路切换装置
11 供给排出块
12a 第1集中供给口
12b 第2集中供给口
13 集中供给流路
13a 主集中供给流路
13b 副集中供给流路
14 外部供给流路
15 流体压力装置
16a 第1集中排出口
16b 第2集中排出口
16c 集中外部排出口
17 集中排出流路
17a 主集中排出流路
17b 副集中排出流路
18 外部排出流路
18a 止回阀
19 压力检测流路
21 歧管基座
22 基座供给流路
23 第1基座输出流路
24 第2基座输出流路
25 第1基座排出流路
26 第2基座排出流路
27 供给流路
28 排出流路
30 切换阀
40 流体压力缸
41 第1压力作用室
42 第2压力作用室
43 缸筒
44 活塞
45 活塞杆
46 第1外部输出流路
47 第2外部输出流路
50 微型计算机
51 外部控制装置
61 供给侧流量传感器
62 排出侧流量传感器
63 压力传感器
171a 第1分支连接流路
172a 第2分支连接流路

Claims (7)

1.一种流体流路切换装置,其特征在于,具备:
切换阀,其为了对流体压力缸的压力作用室进行流体的供给和排出而切换流路;
供给流路,其将流体供给至所述切换阀;
排出流路,其将来自所述切换阀的流体向外部排出;
供给侧流量传感器,其检测流经所述供给流路的流体的流量;
排出侧流量传感器,其检测流经所述排出流路的流体的流量;
压力传感器,其检测所述排出流路的压力;以及
泄漏判断部,其判断流体的泄漏;
所述泄漏判断部执行如下处理:
判断有无内部泄漏的内部泄漏判断处理;以及
判断有无外部泄漏的外部泄漏判断处理,
在所述内部泄漏判断处理中,在由所述压力传感器未检测出压力,且由所述排出侧流量传感器未检测出流量的情况下,判断为没有所述内部泄漏,并且在由所述压力传感器未检测出压力,且由所述排出侧流量传感器检测出流量的情况下,判断为有所述内部泄漏,
在所述外部泄漏判断处理中,基于由所述供给侧流量传感器检测出的流量对供给至所述压力作用室的流体的累计供给流量进行计算,并且基于由所述排出侧流量传感器检测出的流量对从所述压力作用室排出的流体的累计排出流量进行计算,在所述累计供给流量与所述累计排出流量相同的情况下,判断为没有所述外部泄漏,并且在所述累计供给流量大于所述累计排出流量的情况下,判断为有所述外部泄漏。
2.一种流体流路切换装置,其特征在于,具备:
切换阀,其连接于具有第1压力作用室及第2压力作用室的流体压力缸,对流路进行切换,以便向所述第1压力作用室及所述第2压力作用室中的一方压力作用室供给流体并且从另一方压力作用室排出流体;
供给流路,其将流体供给至所述切换阀;
排出流路,其将来自所述切换阀的流体向外部排出;
供给侧流量传感器,其检测流经所述供给流路的流体的流量;
排出侧流量传感器,其检测流经所述排出流路的流体的流量;
压力传感器,其检测所述排出流路的压力;以及
泄漏判断部,其判断流体的泄漏;
所述泄漏判断部执行如下处理:
判断有无内部泄漏的内部泄漏判断处理;以及
判断有无外部泄漏的外部泄漏判断处理,
在所述内部泄漏判断处理中,在由所述压力传感器未检测出压力,且由所述排出侧流量传感器未检测出流量的情况下,判断为没有所述内部泄漏,并且在由所述压力传感器未检测出压力,且由所述排出侧流量传感器检测出流量的情况下,判断为有所述内部泄漏,
在所述外部泄漏判断处理中,基于由所述供给侧流量传感器检测出的流量算出供给至所述第1压力作用室及所述第2压力作用室中的一方的流体的累计供给流量,并且基于由所述排出侧流量传感器检测出的流量对从所述第1压力作用室及所述第2压力作用室中的另一方排出的流体的累计排出流量进行计算,在所述累计供给流量与所述累计排出流量之间的流量差为预定值的情况下,判断为没有所述外部泄漏,并且在所述累计供给流量与所述累计排出流量之间的流量差大于预定值的情况下,判断为有所述外部泄漏。
3.如权利要求1或2所述的流路切换装置,其进一步具备:
供给排出块,其形成有所述供给流路的一部分以及所述排出流路的一部分,
在所述供给排出块并排设置有多个所述切换阀,
所述供给侧流量传感器、所述排出侧流量传感器以及所述压力传感器与所述供给排出块一体化。
4.如权利要求1或2所述的流路切换装置,其进一步具备:
歧管基座,其形成有所述供给流路的一部分以及所述排出流路的一部分,
在所述歧管基座放置有所述切换阀,
所述供给侧流量传感器、所述排出侧流量传感器以及所述压力传感器与所述歧管基座一体化。
5.如权利要求1或2所述的流路切换装置,其中,
所述供给流路具有主供给流路以及从所述主供给流路分支并且绕过所述主供给流路的一部分的副供给流路,
所述副供给流路的流路截面积小于所述主供给流路的流路截面积,
所述供给侧流量传感器设置于所述副供给流路。
6.如权利要求1或2所述的流路切换装置,其中,
所述排出流路具有主排出流路以及从所述主排出流路分支并且绕过所述主排出流路的一部分的副排出流路,
所述副排出流路的流路截面积小于所述主排出流路的流路截面积,
所述排出侧流量传感器设置于所述副排出流路。
7.如权利要求1或2所述的流路切换装置,其中,
在所述排出流路设置有止回阀,所述止回阀允许流体从所述切换阀向外部流动,并且阻断流体从所述外部向所述切换阀流动。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1227918A (zh) * 1998-11-30 1999-09-08 浙江大学 液压系统泄漏故障诊断方法
JP2004212128A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Nippon Steel Corp 油圧装置の異常監視方法
CN102636321A (zh) * 2012-04-12 2012-08-15 三一重型装备有限公司 液压支架的泄漏诊断系统和诊断方法、液压支架
CN104704337A (zh) * 2012-10-05 2015-06-10 伊顿公司 自动漏油检测系统
CN105298820A (zh) * 2014-06-10 2016-02-03 Dypower株式会社 用于测量从液压缸固有地泄漏的油的设备
CN105465101A (zh) * 2014-10-23 2016-04-06 徐州重型机械有限公司 一种液压油缸内泄漏检测设备及装置
WO2017187934A1 (ja) * 2016-04-27 2017-11-02 Smc株式会社 シリンダの動作状態監視装置
CN108374815A (zh) * 2017-02-01 2018-08-07 纳博特斯克有限公司 流体压驱动装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3870814B2 (ja) 2002-03-29 2007-01-24 株式会社デンソー 圧縮エア監視システム
DK1812718T3 (da) 2004-11-19 2008-11-24 Festo Ag & Co Kg Diagnoseanordning til mindst én pneumatisk ventilaktuatoranordning
CN101220875B (zh) * 2008-01-28 2011-04-13 李家聪 流量信息阀
JP5331986B2 (ja) 2009-01-06 2013-10-30 Smc株式会社 流体圧機器の駆動検出回路及び駆動検出方法
US9841122B2 (en) * 2014-09-09 2017-12-12 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic valve proving system
US10648842B2 (en) * 2016-06-22 2020-05-12 Benoit & Cote Inc. Fluid flow measuring and control devices and method
CN107976223B (zh) * 2017-11-16 2019-07-16 哈尔滨工业大学 一种高精度泄漏量检测装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1227918A (zh) * 1998-11-30 1999-09-08 浙江大学 液压系统泄漏故障诊断方法
JP2004212128A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Nippon Steel Corp 油圧装置の異常監視方法
CN102636321A (zh) * 2012-04-12 2012-08-15 三一重型装备有限公司 液压支架的泄漏诊断系统和诊断方法、液压支架
CN104704337A (zh) * 2012-10-05 2015-06-10 伊顿公司 自动漏油检测系统
CN105298820A (zh) * 2014-06-10 2016-02-03 Dypower株式会社 用于测量从液压缸固有地泄漏的油的设备
CN105465101A (zh) * 2014-10-23 2016-04-06 徐州重型机械有限公司 一种液压油缸内泄漏检测设备及装置
WO2017187934A1 (ja) * 2016-04-27 2017-11-02 Smc株式会社 シリンダの動作状態監視装置
CN108374815A (zh) * 2017-02-01 2018-08-07 纳博特斯克有限公司 流体压驱动装置

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