CN113731202A - 全自动智能配气设备 - Google Patents

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熊小茜
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Abstract

本发明公开了全自动智能配气设备,包括智能配气系统,智能配气系统包括配气控制模块、系统采集模块、控制系统模块和紧急控制模块;配气控制模块包括开机吹气模块、气体输入模块和气体储存模块;系统采集模块包括压力采集模块、温度检测模块、湿度检测模块、泄气检测模块和信息储存模块;紧急控制模块包括数据读取模块、信息判断模块、智能报警模块和紧急停车模块。本发明利用系统采集模块的设置方式,系统采集模块包括压力采集模块、温度采集模块、湿度采集模块和泄气检测模块可以对氟气混合加工的压力、温度、湿度和泄气状态指标进行采集,从而便于得到氟气混合加工的各项数据,从而便于对氟气混合加工精确控制。

Description

全自动智能配气设备
技术领域
本发明涉及混合系统领域,特别涉及全自动智能配气设备。
背景技术
氟是一种化学元素,符号为F,其原子序数为9,是最轻的卤素。其单质在标准状况下为浅黄色的双原子气体,有剧毒,作为电负性最强的元素,氟极度活泼,几乎与所有其它元素,包括某些惰性气体元素,都可以形成化合物,氟在生产制造时,通常与氮气混合加工在一起,从而保证其稳定性,在氟气加工的时候需要对其压力、温度、湿度等因素进行检测,从而保证氟气混合加工的的安全性,从而提出全自动智能配气设备来保证氟气混合加工的安全性能。
发明内容
本发明的目的在于提供全自动智能配气设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:全自动智能配气设备,包括智能配气系统,所述智能配气系统包括配气控制模块、系统采集模块、控制系统模块和紧急控制模块;
所述配气控制模块包括开机吹气模块、气体输入模块和气体储存模块;
所述系统采集模块包括压力采集模块、温度检测模块、湿度检测模块、泄气检测模块和信息储存模块;
所述紧急控制模块包括数据读取模块、信息判断模块、智能报警模块和紧急停车模块。
优选的,所述开机吹气模块,用于首次开机时吹出设备及管道内的空气,需连续吹扫一定的规定时间,二是用于设备长时间停机时,将设备及管道内氟气吹除,吹扫步骤同置换空气,废气排空需接至集中排放管道或安全处。
优选的,所述所述系统采集模块,用于氟气混合加工各项指标的采集;
所述压力采集模块、温度检测模块、湿度检测模块和泄气检测模块,分别用于氟气混合加工压力、温度、湿度和仪器是否泄气的信息采集,从而便于后续判断氟气加工环境是否安全正常;
所述智能报警模块和紧急停车模块,用于氟气混合加工仪器出现问题时,及时发出警报,并且对氟气混合加工仪器进行紧急停车,从而保证其工作的安全性能。
优选的,所述气体输入模块包括氮气输入模块、氟气输入模块和流速控制模块;
所述氮气输入模块和氟气输入模块,分别用于氮气和氟气输入的控制;
所述流速控制模块,用于氮气和氟气输入流速的控制。
优选的,所述控制系统模块包括信息读取模块、处理控制模块、显示控制模块、电源控制模块和储存控制模块。
优选的,所述信息读取模块,用于氟气混合加工压力、温度、湿度和气体是否泄漏信息的读取;
所述显示控制模块,用于氟气混合加工各项信息数据的显示,且对氟气混合加工一起的控制;
储存控制模块,用于气体储存模块部件的控制,从而控制仪器是否储存氟气混合加工的产品。
优选的,所述电源控制模块包括电器控制模块、阀门控制模块、电子仪器控制模块和处理器控制模块;
所述电源控制模块,用于氟气混合加工仪器中的电器、压力检测器、温度检测器、湿度检测器、泄气检测器、阀门仪器、处理器等电源控制。
优选的,所述信息判断模块包括压力判断模块、温度判断模块、湿度判断模块、泄气判断模块和数值输入模块;
所述数值输入模块,用于压力判断模块、温度判断模块、湿度判断模块和泄气判断模块判断数值的输入,从而便于判断氟气混合加工是否处于稳定安全状态。
优选的,所述智能配气系统与配气控制模块、系统采集模块、控制系统模块和紧急控制模块建立连接,所述配气控制模块与开机吹气模块、气体输入模块和气体储存模块建立连接,所述系统采集模块与压力采集模块、温度检测模块、湿度检测模块、泄气检测模块和信息储存模块建立连接,所述控制系统模块与信息读取模块、处理控制模块、显示控制模块、电源控制模块和储存控制模块建立连接,所述信息判断模块与压力判断模块、温度判断模块、湿度判断模块、泄气判断模块和数值输入模块建立连接。
本发明的技术效果和优点:
(1)本发明利用系统采集模块的设置方式,系统采集模块包括压力采集模块、温度采集模块、湿度采集模块和泄气检测模块可以对氟气混合加工的压力、温度、湿度和泄气状态指标进行采集,从而便于得到氟气混合加工的各项数据,从而便于对氟气混合加工精确控制,进而提高其加工的稳定性;
(2)本发明利用紧急控制模块的设置方式,紧急控制模块包括数据读取模块、信息判断模块、智能报警模块和紧急停车模块,当氟气混合加工出现问题时,对混合气体装置进行紧急停车并发出警报,从而提高氟气加工的安全性能。
附图说明
图1为本发明气体混合流程框图。
图2为本发明智能配气系统框图。
图3为本发明配气控制模块框图。
图4为本发明气体输入模块框图。
图5为本发明系统采集模块框图。
图6为本发明控制系统模块框图。
图7为本发明电源控制模块框图。
图8为本发明紧急控制模块框图。
图9为本发明信息判断模块框图。
图10为本发明系统流程框图。
图中:1、智能配气系统;11、配气控制模块;111、开机吹气模块;112、气体输入模块;1121、氮气输入模块;1122、氟气输入模块;1123、流速控制模块;113、气体储存模块;12、系统采集模块;121、压力采集模块;122、温度检测模块;123、湿度检测模块;124、泄气检测模块;125、信息储存模块;13、控制系统模块;131、信息读取模块;132、处理控制模块;133、显示控制模块;134、电源控制模块;1341、电器控制模块;1342、阀门控制模块;1343、电子仪器控制模块;1344、处理器控制模块;135、储存控制模块;14、紧急控制模块;142、数据读取模块;143、信息判断模块;1431、压力判断模块;1432、温度判断模块;1433、湿度判断模块;1434、泄气判断模块;1435、数值输入模块;144、智能报警模块;145、紧急停车模块;21、制氟设备;22、低压进氟口;23、压力检测仪;24、隔膜网;25、氮吹扫气进口;26、缓冲罐一;27、压缩机;28、缓冲罐二;29、去配气进口。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明提供了如图1-10所示的全自动智能配气设备,包括智能配气系统1,智能配气系统1包括配气控制模块11、系统采集模块12、控制系统模块13和紧急控制模块14。
配气控制模块11包括开机吹气模块111、气体输入模块112和气体储存模块113,系统采集模块12包括压力采集模块121、温度检测模块122、湿度检测模块123、泄气检测模块124和信息储存模块125,紧急控制模块14包括数据读取模块142、信息判断模块143、智能报警模块144和紧急停车模块145,开机吹气模块111,用于首次开机时吹出设备及管道内的空气,需连续吹扫一定的规定时间,二是用于设备长时间停机时,将设备及管道内氟气吹除,吹扫步骤同置换空气,废气排空需接至集中排放管道或安全处。
系统采集模块12,用于氟气混合加工各项指标的采集,压力采集模块121、温度检测模块122、湿度检测模块123和泄气检测模块124,分别用于氟气混合加工压力、温度、湿度和仪器是否泄气的信息采集,从而便于后续判断氟气加工环境是否安全正常,智能报警模块144和紧急停车模块145,用于氟气混合加工仪器出现问题时,及时发出警报,并且对氟气混合加工仪器进行紧急停车,从而保证其工作的安全性能,气体输入模块112包括氮气输入模块1121、氟气输入模块1122和流速控制模块1123,氮气输入模块1121和氟气输入模块1122,分别用于氮气和氟气输入的控制,流速控制模块1123,用于氮气和氟气输入流速的控制。
控制系统模块13包括信息读取模块131、处理控制模块132、显示控制模块133、电源控制模块134和储存控制模块135,信息读取模块131,用于氟气混合加工压力、温度、湿度和气体是否泄漏信息的读取,显示控制模块133,用于氟气混合加工各项信息数据的显示,且对氟气混合加工一起的控制,储存控制模块135,用于气体储存模块113部件的控制,从而控制仪器是否储存氟气混合加工的产品。
电源控制模块134包括电器控制模块1341、阀门控制模块1342、电子仪器控制模块1343和处理器控制模块1344,电源控制模块134,用于氟气混合加工仪器中的电器、压力检测器、温度检测器、湿度检测器、泄气检测器、阀门仪器、处理器等电源控制。
信息判断模块143包括压力判断模块1431、温度判断模块1432、湿度判断模块1433、泄气判断模块1434和数值输入模块1435,数值输入模块1435,用于压力判断模块1431、温度判断模块1432、湿度判断模块1433和泄气判断模块1434判断数值的输入,从而便于判断氟气混合加工是否处于稳定安全状态。
智能配气系统1与配气控制模块11、系统采集模块12、控制系统模块13和紧急控制模块14建立连接,配气控制模块11与开机吹气模块111、气体输入模块112和气体储存模块113建立连接,系统采集模块12与压力采集模块121、温度检测模块122、湿度检测模块123、泄气检测模块124和信息储存模块125建立连接,控制系统模块13与信息读取模块131、处理控制模块132、显示控制模块133、电源控制模块134和储存控制模块135建立连接,信息判断模块143与压力判断模块1431、温度判断模块1432、湿度判断模块1433、泄气判断模块1434和数值输入模块1435建立连接。
图1为气体配置流程图,首先通入氮气对设备内部空气除去,之后原料氟气和氮气通入缓冲罐一中,氟气和氮气在缓冲罐一中充分混合,然后通过压缩机输入缓冲罐二中,从缓冲罐二中排出就可以对储存收纳。
本发明工作原理:当对氟气混合加工的时候,首先开机使用氮吹扫气进口25将仪器内部的空气吹出,然后使用制氟设备21制氟,并通过低压进氟口将氟通入到缓冲罐一26中,将氮气和氟气按照一定的比例和压强输送到混合缓冲罐一26中对其混合,然后对混合完成的气体通过压缩机27输送到缓冲罐二28中再次混合,最后通过去配气进口29排出收集储存即可,低压进氟口22和氮吹气扫气进口25与缓冲罐一26之间均设置有隔膜网24,对气体中的杂质进行过滤,低压进氟口22与缓冲罐一26之间、缓冲罐一26与压缩机27之间和缓冲罐二28和去配气进口29之间均设置有压力检测仪23,对气体混合加工的压强进行检测。
在氟气混合的时候,压力采集模块121、温度检测模块122、湿度检测模块123和泄气检测模块124对氟气混合加工压力、温度、湿度和仪器是否泄气的信息采集,然后根据其采集数据判断其工作是否正常,正常则继续生产混合气体,不正常判断是否需要停机,需要停机则报警停机结束,正常则返回重新对混合气体加工。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.全自动智能配气设备,包括智能配气系统(1),其特征在于,所述智能配气系统(1)包括配气控制模块(11)、系统采集模块(12)、控制系统模块(13)和紧急控制模块(14);
所述配气控制模块(11)包括开机吹气模块(111)、气体输入模块(112)和气体储存模块(113);
所述系统采集模块(12)包括压力采集模块(121)、温度检测模块(122)、湿度检测模块(123)、泄气检测模块(124)和信息储存模块(125);
所述紧急控制模块(14)包括数据读取模块(142)、信息判断模块(143)、智能报警模块(144)和紧急停车模块(145)。
2.根据权利要求1所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述开机吹气模块(111),用于首次开机时吹出设备及管道内的空气,需连续吹扫一定的规定时间,二是用于设备长时间停机时,将设备及管道内氟气吹除,吹扫步骤同置换空气,废气排空需接至集中排放管道或安全处。
3.根据权利要求1所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述所述系统采集模块(12),用于氟气混合加工各项指标的采集;
所述压力采集模块(121)、温度检测模块(122)、湿度检测模块(123)和泄气检测模块(124),分别用于氟气混合加工压力、温度、湿度和仪器是否泄气的信息采集,从而便于后续判断氟气加工环境是否安全正常;
所述智能报警模块(144)和紧急停车模块(145),用于氟气混合加工仪器出现问题时,及时发出警报,并且对氟气混合加工仪器进行紧急停车,从而保证其工作的安全性能。
4.根据权利要求1所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述气体输入模块(112)包括氮气输入模块(1121)、氟气输入模块(1122)和流速控制模块(1123);
所述氮气输入模块(1121)和氟气输入模块(1122),分别用于氮气和氟气输入的控制;
所述流速控制模块(1123),用于氮气和氟气输入流速的控制。
5.根据权利要求1所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述控制系统模块(13)包括信息读取模块(131)、处理控制模块(132)、显示控制模块(133)、电源控制模块(134)和储存控制模块(135)。
6.根据权利要求5所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述信息读取模块(131),用于氟气混合加工压力、温度、湿度和气体是否泄漏信息的读取;
所述显示控制模块(133),用于氟气混合加工各项信息数据的显示,且对氟气混合加工一起的控制;
储存控制模块(135),用于气体储存模块(113)部件的控制,从而控制仪器是否储存氟气混合加工的产品。
7.根据权利要求5所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述电源控制模块(134)包括电器控制模块(1341)、阀门控制模块(1342)、电子仪器控制模块(1343)和处理器控制模块(1344);
所述电源控制模块(134),用于氟气混合加工仪器中的电器、压力检测器、温度检测器、湿度检测器、泄气检测器、阀门仪器、处理器等电源控制。
8.根据权利要求1所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述信息判断模块(143)包括压力判断模块(1431)、温度判断模块(1432)、湿度判断模块(1433)、泄气判断模块(1434)和数值输入模块(1435);
所述数值输入模块(1435),用于压力判断模块(1431)、温度判断模块(1432)、湿度判断模块(1433)和泄气判断模块(1434)判断数值的输入,从而便于判断氟气混合加工是否处于稳定安全状态。
9.根据权利要求1所述的全自动智能配气设备,其特征在于,所述智能配气系统(1)与配气控制模块(11)、系统采集模块(12)、控制系统模块(13)和紧急控制模块(14)建立连接,所述配气控制模块(11)与开机吹气模块(111)、气体输入模块(112)和气体储存模块(113)建立连接,所述系统采集模块(12)与压力采集模块(121)、温度检测模块(122)、湿度检测模块(123)、泄气检测模块(124)和信息储存模块(125)建立连接,所述控制系统模块(13)与信息读取模块(131)、处理控制模块(132)、显示控制模块(133)、电源控制模块(134)和储存控制模块(135)建立连接,所述信息判断模块(143)与压力判断模块(1431)、温度判断模块(1432)、湿度判断模块(1433)、泄气判断模块(1434)和数值输入模块(1435)建立连接。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115337803A (zh) * 2022-08-29 2022-11-15 福建德尔科技股份有限公司 全自动、安全型氟/惰性气体动态混合系统
CN115430302A (zh) * 2022-08-29 2022-12-06 福建德尔科技股份有限公司 用于氟/氮动态混合的氟气安全动态供给装置及方法
CN115445459A (zh) * 2022-08-29 2022-12-09 福建德尔科技股份有限公司 氟氮在线动态配气方法及装置

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101839817A (zh) * 2010-05-27 2010-09-22 抚顺市计量测试所 有毒有害气体报警器智能检测实验方法及其装置
CN102369591A (zh) * 2009-04-03 2012-03-07 中央硝子株式会社 氟气的当场气体混合及稀释系统
CN102841613A (zh) * 2012-08-29 2012-12-26 兰州理工大学 配气过程中气体浓度的控制系统
CN102913757A (zh) * 2011-08-05 2013-02-06 上海梦地仪器制造有限公司 压力体积自动配气系统及其控制方法
CN105466647A (zh) * 2015-11-18 2016-04-06 长春轨道客车股份有限公司 一种转向架气密性检测装置及其检测方法
CN107459020A (zh) * 2016-06-03 2017-12-12 和立气体(上海)有限公司 一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法和生产装置
CN108176324A (zh) * 2017-12-29 2018-06-19 和立气体(上海)有限公司 一种氢气与磷烷的自动配气装置
CN108193221A (zh) * 2018-01-18 2018-06-22 洛阳森蓝化工材料科技有限公司 一种含氟混合气的制备方法
CN207709001U (zh) * 2017-10-17 2018-08-10 重庆凯益特种气体有限公司 一种适用于大型容器的混合气体安全配气系统
CN209630999U (zh) * 2019-01-04 2019-11-15 青岛塑之源包装科技有限公司 一种氟氮混合气自动配气装置
CN209673463U (zh) * 2018-12-27 2019-11-22 中核四0四有限公司 氟气、六氟化铀及氮气混合标准样品配制系统
CN111005032A (zh) * 2019-12-26 2020-04-14 福建德尔科技有限公司 一种便携式全自动高纯氟气生产装置系统
CN111850326A (zh) * 2020-06-19 2020-10-30 上海交通大学 一种用于铝熔体净化的氮-氯气体混合系统和方法
CN212188979U (zh) * 2020-05-18 2020-12-22 四川莱峰流体设备制造有限公司 一种检测仪表校准用配气装置
CN113309978A (zh) * 2021-05-24 2021-08-27 科翼莱智能电器(昆山)有限公司 自动化混气充气方法

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102369591A (zh) * 2009-04-03 2012-03-07 中央硝子株式会社 氟气的当场气体混合及稀释系统
CN101839817A (zh) * 2010-05-27 2010-09-22 抚顺市计量测试所 有毒有害气体报警器智能检测实验方法及其装置
CN102913757A (zh) * 2011-08-05 2013-02-06 上海梦地仪器制造有限公司 压力体积自动配气系统及其控制方法
CN102841613A (zh) * 2012-08-29 2012-12-26 兰州理工大学 配气过程中气体浓度的控制系统
CN105466647A (zh) * 2015-11-18 2016-04-06 长春轨道客车股份有限公司 一种转向架气密性检测装置及其检测方法
CN107459020A (zh) * 2016-06-03 2017-12-12 和立气体(上海)有限公司 一种高纯氟气和含氟混合气的生产方法和生产装置
CN207709001U (zh) * 2017-10-17 2018-08-10 重庆凯益特种气体有限公司 一种适用于大型容器的混合气体安全配气系统
CN108176324A (zh) * 2017-12-29 2018-06-19 和立气体(上海)有限公司 一种氢气与磷烷的自动配气装置
CN108193221A (zh) * 2018-01-18 2018-06-22 洛阳森蓝化工材料科技有限公司 一种含氟混合气的制备方法
CN209673463U (zh) * 2018-12-27 2019-11-22 中核四0四有限公司 氟气、六氟化铀及氮气混合标准样品配制系统
CN209630999U (zh) * 2019-01-04 2019-11-15 青岛塑之源包装科技有限公司 一种氟氮混合气自动配气装置
CN111005032A (zh) * 2019-12-26 2020-04-14 福建德尔科技有限公司 一种便携式全自动高纯氟气生产装置系统
CN212188979U (zh) * 2020-05-18 2020-12-22 四川莱峰流体设备制造有限公司 一种检测仪表校准用配气装置
CN111850326A (zh) * 2020-06-19 2020-10-30 上海交通大学 一种用于铝熔体净化的氮-氯气体混合系统和方法
CN113309978A (zh) * 2021-05-24 2021-08-27 科翼莱智能电器(昆山)有限公司 自动化混气充气方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115337803A (zh) * 2022-08-29 2022-11-15 福建德尔科技股份有限公司 全自动、安全型氟/惰性气体动态混合系统
CN115430302A (zh) * 2022-08-29 2022-12-06 福建德尔科技股份有限公司 用于氟/氮动态混合的氟气安全动态供给装置及方法
CN115445459A (zh) * 2022-08-29 2022-12-09 福建德尔科技股份有限公司 氟氮在线动态配气方法及装置
CN115445459B (zh) * 2022-08-29 2023-03-10 福建德尔科技股份有限公司 氟氮在线动态配气方法及装置
CN115430302B (zh) * 2022-08-29 2024-03-01 福建德尔科技股份有限公司 用于氟/氮动态混合的氟气安全动态供给装置及方法

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