CN114060723A - 一种外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备，该系统用于调节外延设备反应腔内的气压，所述外延工艺设备用安全保护泄压系统包括:主动泄压管路，与所述反应腔出口连接；被动泄压管路，与所述反应腔出口连接，所述被动泄压管路上设置有爆破阀，所述爆破阀用于在所述反应腔内压力异常且所述主动泄压管路失效时进行泄压；控制器，与所述主动泄压管路电性连接，用于获取反应腔内的压力信息，并根据所述压力信息控制所述主动泄压管路的开关以调节所述反应腔内的气压。通过设计主动泄压管路和被动泄压管路实现反应腔中气压异常时的双重防护,有效保障人员与设备的人身财产安全。
Description
技术领域
本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备。
背景技术
外延生长工艺通过在高温低压的环境下进行，反应腔常为带水冷的石英腔，并且参与化学反应的气体多为易燃易爆有毒气体。在工艺过程中，反应腔前端通入一定量的反应气体，后端真空泵维持一定的抽速抽取真空，两者达到一个平衡时保持了反应腔压力的稳定。但是设备运行时，可能会发生意外情况，例如真空泵或者真空阀门突然发生故障，气体无法排出，则反应腔的压力就会迅速升高，石英反应腔耐压能力不够，就会发生爆管的危险。一旦爆管，易燃易爆有毒气体与空气接触，将会产生更严重的次生灾害。因此对于外延生长工艺设备，须特别考虑安全泄爆方面的设计。
现有的一些泄爆装置仅设置有泄压管路，当气压过高时能将气体排出，然而若该泄压管路上的阀失效时，也会产生严重的危害，严重影响到人员及设备的安全。
针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。
发明内容
本申请的目的在于提供一种外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备，旨在解决在外延工艺过程中由于压力异常导致的安全问题，从而保证生产效率。
第一方面，本申请提供了一种外延工艺设备的安全保护泄压系统，用于调节外延设备反应腔内的气压，所述外延工艺设备用安全保护泄压系统包括:
主动泄压管路，与所述反应腔出口连接；
被动泄压管路，与所述反应腔出口连接，所述被动泄压管路上设置有爆破阀，所述爆破阀用于在所述反应腔内压力异常且所述主动泄压管路失效时进行泄压；
控制器，与所述主动泄压管路电性连接，用于获取反应腔内的压力信息，并根据所述压力信息控制所述主动泄压管路的开关以调节所述反应腔内的气压。
本申请提供的外延工艺设备用安全保护泄压系统，可以在反应腔压力异常时通过主动泄压管路或被动泄压管路自动控制反应腔中的气压。当反应腔中气体压力过高时，控制器控制主动泄压管路工作，使反应腔内气压保持在稳定的范围内，而当主动泄压管路失效或反应腔内气压激增，主动泄压管路无法及时控制反应腔内气压时，被动泄压管路中的爆破阀打开，反应腔内的气体可同时通过主动泄压管路和被动泄压管路排出，控制反应腔中的气压大小保持在稳定范围内，从而避免反应腔内气体持续增大而损坏设备，影响设备和人员的安全。
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述被动泄压管路上设置有开闭阀，所述开闭阀用于在维修所述爆破阀时关闭所述被动泄压管路。
本申请通过在被动泄压管路上设置开闭阀，可以在维修爆破阀时关闭被动泄压管路，防止维修过程中有气体泄漏，影响设备及人员的安全。
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述开闭阀的数量不少于2个。
本申请通过设置不少于2个开闭阀，保证被动泄压管路防泄漏效果良好，进一步保障设备及人员的安全。
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述爆破阀两侧均设有所述开闭阀。
本申请在爆破阀两侧均设置有开闭阀，开闭阀的设置可以防止维修人员在维修爆破阀时，爆破阀两侧的管路中有气体泄漏。
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述开闭阀上设置有用于检测开闭阀开闭状态的开闭检测传感器，所述开闭检测传感器与所述控制器电性连接，用于将所述开闭阀的开闭状态信号传输至所述控制器。
本申请在开闭阀上设置有用于检测开闭阀开闭状态的开闭检测传感器，可以防止在维修爆破阀结束后忘记重新将开闭阀打开，导致被动泄压管路失效。
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述主动泄压管路上设置有:
电磁阀，与所述控制器电性连接，所述电磁阀用于控制所述主动泄压管路的开闭；
压力检测装置，与所述控制器电性连接；
所述控制器通过所述压力检测装置获取所述压力信息，并用于根据所述压力信息控制所述电磁阀开闭，以调节外延设备反应腔内的气压。
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述电磁阀为常开电磁阀。
本申请将电磁阀设置为常开电磁阀，可以在设备停电或断电时，反应腔内的气体通过主动泄压管路排出，实现自动安全排空。
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述主动泄压管路上设有单向阀，所述单向阀设置在所述电磁阀出口一侧。
本申请将单向阀设置在电磁阀后可防止通过电磁阀排出的气体回流至反应腔中
可选地，本申请所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，当所述压力信息超过第一设定阈值时，所述控制器控制所述电磁阀打开，当所述压力信息低于第二设定阈值时，所述控制器控制所述电磁阀关闭，所述第一设定阈值大于或等于所述第二设定阈值，当所述压力信息大于第三设定阈值时，所述爆破阀打开，所述第三设定阈值大于所述第一设定阈值。
本申请第一设定阈值大于或等于第二设定阈值可使反应腔内的气体压力逐渐稳定在一定范围内，第三设定阈值（即上述爆破阀7打开的压力值）大于第一设定阈值可以保证主动泄压管路和被动泄压管路皆可生效。
第二方面，本申请还提供了一种外延工艺设备，所述外延工艺设备包括：
供气组件，用于向反应腔中提供外延工艺所需气体；
所述反应腔，所述反应腔入口与所述供气组件连接，所述反应腔中设置有加热装置，所述加热装置用于加热反应腔；
尾气处理装置，所述尾气处理装置用于处理从所述反应腔中排出的气体；
所述外延工艺设备还包括：外延工艺设备用安全保护泄压系统，所述尾气处理装置入口与所述外延工艺设备用安全保护泄压系统的出口连接，所述外延工艺设备用安全保护泄压系统包括:
主动泄压管路，与所述反应腔出口连接；
被动泄压管路，与所述反应腔出口连接，所述被动泄压管路上设置有爆破阀，所述爆破阀用于在所述反应腔内压力异常且所述主动泄压管路失效时进行泄压；
控制器，与所述主动泄压管路电性连接，用于获取反应腔内的压力信息，并根据所述压力信息控制所述主动泄压管路的开关以调节所述反应腔内的气压。
本申请提供的外延工艺设备，供气组件为反应腔内提供外延工艺所需的气体，通过反应腔内的加热装置将反应腔内温度上升至外延工艺所需温度，开始进行外延工艺，当反应腔内气压异常时，通过外延工艺设备用安全保护泄压系统将反应腔内的气压调整到正常稳定的范围内，反应腔内的气体通过外延工艺设备用安全保护泄压系统排出至尾气处理装置。通过整套外延工艺设备，满足外延工艺进行的环境条件，且在外延工艺过程中若出现气压异常的情况，反应腔内的气体可以通过，外延工艺设备用安全保护泄压系统排出，并通过尾气处理装置将尾气收集处理，避免反应腔内气体持续增大而损坏设备，造成危险，并防止尾气污染空气。
由上可知，本申请提供的外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备，通过设置主动泄压管路和被动泄压管路，实现当断电或压力检测装置检测到反应腔中压力异常时，主动泄压管路上的电磁阀自动打开，排出反应腔中的气体，完成泄压；而当主动泄压管路失效时，反应腔中的气体进入被动泄压管路中，当气压超过爆破阀中爆破片的承压值，爆破片损坏，爆破阀打开，反应腔中的气体从爆破阀中排出，实现泄压，在进行爆破阀维修时，可以通过关闭爆破阀两侧的开闭阀，实现无需停止外延工艺即可进行爆破阀维修，提高生产效率，从主动泄压管路和被动泄压管路排出的气体进入尾气处理装置，保证了外延工艺过程中的安全，也提高了生产效率。
本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
附图说明
图1为本申请实施例提供的外延工艺设备用安全保护泄压系统结构示意图。
图2为本申请实施例提供的主动泄压管路阀门控制流程图。
图3为本申请实施例提供的外延工艺设备结构图。
标号说明：1、反应腔；2、电磁阀；3、单向阀；4、压力检测装置；5、开闭阀；6、开闭检测传感器；7、爆破阀；8、控制器；110、供气组件；120、加热装置；200、外延工艺设备用安全保护泄压系统；210、主动泄压管路；220、被动泄压管路；300、尾气处理装置。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在一般情况下，在外延工艺过程中可能会出现压力异常的情况，若反应腔中的气体无法及时排出，则对人员与设备来说是一个很大的安全隐患。
第一方面，参考图1，图1为本申请提供的外延工艺设备用安全保护泄压系统的结构示意图，图1所示的一种外延工艺设备用安全保护泄压系统，用于调节外延设备反应腔1内的气压，外延工艺设备用安全保护泄压系统包括:
主动泄压管路210，与反应腔1出口连接；
被动泄压管路220，与反应腔1出口连接，被动泄压管路220上设置有爆破阀7，爆破阀7用于当主动泄压管路210失效导致反应腔1内压力异常时对反应腔1进行泄压；
控制器8，与主动泄压管路210电性连接，用于获取反应腔1内的压力信息，并根据压力信息控制主动泄压管路210的开关以调节反应腔1内的气压。
具体的，压力异常是指反应腔1内的压力超出外延工艺要求的反应腔1内压力范围。
具体的，若主动泄压管路210中的电磁阀2损坏，或是控制器8接收不到压力信息，或单向阀3堵塞损坏，则主动泄压管路210失效，此时当外延工艺反应腔1内压力将逐渐升高，反应腔1内的气体不会通过主动泄压管路210排出。
具体的，在本实施例中，压力信息指外延工艺反应腔1中气体的压力大小，也可以是反应腔1中的气体压力与外界空气压力的差值大小,也可以是反应腔1中的气体压力与反应腔1中的标准气体压力的差值。
本申请实施例中的外延工艺设备用安全保护泄压装置，可以在反应腔1压力异常时通过主动泄压管路210或被动泄压管路220自动控制反应腔1中的气压。当反应腔1中气体压力过高时，控制器8控制主动泄压管路210工作，使反应腔1内气压保持在稳定的范围内；当主动泄压管路210失效时，反应腔1内气压逐渐升高，达到爆破阀7打开的压力值，此时爆破阀7打开，被动泄压管路220工作，反应腔1内气体通过被动泄压管路220排出，从而避免反应腔1内气体持续增大而损坏设备，影响设备和人员的安全。
在一些优选的实施方式中，被动泄压管路220上设置有开闭阀5，开闭阀5用于在更换爆破阀7时关闭被动泄压管路220。
具体的，当外延工艺反应腔1中的压力异常时，反应腔1中的气体需通过外延工艺设备用安全保护泄压系统200排出，而当外延工艺设备用安全保护泄压系统200中的主动泄压管路210失效，气体则需要通过被动泄压管路220排出，开闭阀5则用于连通和切断被动泄压管路220。
具体的，当被动泄压管路220工作后，由于爆破阀7为一次性阀，使用过后需要更换爆破阀7中的爆破片，因此需要对爆破阀7进行拆卸维修，而为了提高外延工艺的生产效率，实现在维修的过程中继续进行外延工艺，在维修爆破阀7之前需要先恢复主动泄压管路210正常工作，使得被动泄压管路220在维修过程中，外延工艺设备可以恢复使用，防止在维修爆破阀7的过程中反应腔1中气压再次异常而主动泄压管路210无法实现泄压，避免影响设备及人员的安全；在维修爆破阀7时需要关闭开闭阀5使被动泄压管路220断开，优选的，由于开闭阀5仅需在维修爆破阀7时使用，使用次数较少，因此开闭阀5可以选用成本较低的手动阀。
在一些优选的实施方式中，开闭阀5的数量不少于2个。
具体的，在维修人员对爆破阀7进行维修时，若反应腔1中的高温气体泄漏，会危害到维修人员的人身安全，因此，为保证被动泄压管路220的防泄漏效果良好，在被动泄压管路220中设置开闭阀5的数量应不少于2个。
在一些优选的实施方式中，爆破阀7两侧均设有开闭阀5。
具体的，在维修人员对爆破阀7进行维修时，需将爆破阀7进行拆卸，因此，为保证维修人员的安全，防止拆卸过程中有气体漏出，需在爆破阀7前后均设置有开闭阀5，保证维修人员在拆卸爆破阀7时，爆破阀7前后无气体泄漏。优选的，由于反应腔1内压力较大，温度较高，在反应腔1与爆破阀7之间可设置多个开闭阀5，更好的保证维修时的安全，而在爆破阀7后的管路上气体压力较小，仅需防止管路内气体反涌，因此为节约成本，可选择设置一个开闭阀5。
在一些优选的实施方式中，开闭阀5上设置有用于检测开闭阀5开闭状态的开闭检测传感器6，开闭检测传感器6与控制器8电性连接，用于将开闭阀5的开闭状态信号传输至控制器8。
具体的，维修人员在维修爆破阀7前将开闭阀5关闭，在一些时候维修人员在爆破阀7维修结束后忘记将开闭阀5重新打开，导致被动泄压管路220仍处于断开状态，无法工作，此时若反应腔1内气压再次异常，主动泄压管路210失效或不能及时排出气体，反应腔1中的气体将不会通过被动泄压管路220进行排出，反应腔1内气压持续上升，将影响设备及人员的安全。因此，在每个开闭阀5上设置有用于检测开闭阀5开闭状态的开闭检测传感器6。
在实际应用中，控制器8可以获取开闭检测传感器6的检测信息，并根据该检测信息控制外延工艺设备的开始和停止。具体的，可以将开闭检测传感器6的检测信息与外延工艺的开始暂停指令相关联，当开闭检测传感器6检测到开闭阀5为关闭状态时，开闭检测传感器6将关闭信息传输至控制器8，控制器8控制外延工艺暂停或无法开始，当开闭检测传感器6检测到开闭阀5为打开状态时，开闭检测传感器6将打开信息传输至控制器8，控制器8控制外延工艺恢复或开始。
在某些优选的实施方式中，控制器8可以接收开闭检测传感器6的检测信息，同时接收维修人员维修爆破阀7的开始信息和结束信息，并根据开闭检测传感器6的检测信息、开始信息和结束信息生成提示信息。具体的，在一些实施例中，维修人员持有终端设备，终端设备与控制器8连接，终端设备可以向控制器8发送信息，也可以获取来自控制器8的信息。维修人员通过终端设备向控制器8发出开始信息时，控制器8向终端设备发出关闭开闭阀5的提示信息，开闭检测传感器6检测到所有开闭阀5均关闭后向控制器8发出关闭信息，控制器8接收关闭信息并向终端设备发出可以开始维修的提示信息；维修人员维修爆破阀7结束后，维修人员通过终端设备向控制器8发出结束信息，控制器8接收到完成维修的信息后获取开闭检测传感器6的检测信息，若控制器8获取开闭检测传感器6发出的关闭信息则控制器8向终端设备发出打开开闭阀5的提示信息，当开闭检测传感器6检测到开闭阀5为打开状态时，开闭检测传感器6将打开信息发出至控制器8，控制器8控制外延工艺恢复或开始。
在一些优选的实施方式中，主动泄压管路210上设置有:
电磁阀2，与控制器8电性连接，电磁阀2用于控制主动泄压管路210的开闭，具体的，当反应腔1内气压异常时，控制器8控制电磁阀2开闭，从而控制主动泄压管路210的导通和断开；
压力检测装置4，与控制器8电性连接，具体的，压力检测装置4可检测出外延工艺反应腔1内气压信息。优选的，压力检测装置4可以为压差计，操作者可人为设定压差计的报警范围，当压差计检测到反应腔1内气压大小落入压差计报警值范围时，控制器8获取气压信息并根据气压信息控制电磁阀2打开，反应腔1内气体通过主动泄压管路210排出；
控制器8通过压力检测装置4获取压力信息，并用于根据压力信息控制电磁阀2开闭，以调节外延设备反应腔1内的气压，优选的，图2为本申请实施例提供的主动泄压管路阀门控制流程图，如图2所示，控制器8选用PLC，当压力检测装置4检测到反应腔1内气体压力异常时，将异常信号传输至PLC中，PLC接收到异常信号后通过DI/DO模块控制电磁阀2打开。
具体的，压力检测装置4安装在反应腔1与主动泄压管路210之间，而不能安装在反应腔1中直接测量反应腔1内气压，由于外延工艺过程中反应腔1内温度过高，例如在SiC外延生长过程中，反应腔1内温度一般在1500-1700℃，若压力检测装置4直接测量反应腔1内气压，压力检测装置4容易因高温损坏，因此将压力检测装置4安装在反应腔1与主动泄压管路210之间，此处温度较低，可防止压力检测4损坏。
在一些优选的实施方式中，电磁阀2为常开电磁阀。
具体的，外延工艺正常进行的情况下，电磁阀2通电关闭，此时主动泄压管路210断开，反应腔1内气体不会通过主动泄压管路210排出，当反应腔1内气压异常时，电磁阀2断电打开，此时主动泄压管路210打开，反应腔1内气体可通过主动泄压管路210排出，从而控制反应腔1内气压大小，此外，当设备停电时，电磁阀2断电打开，反应腔1内的气体从主动泄压管路210排出，防止反应腔1内气体堆积，一般的，外延工艺设备都具有断电吹扫功能，常开电磁阀结合设备自身的断电吹扫功能，可实现设备停电或断电时，自动对设备进行安全排空处理。
在一些优选的实施方式中，主动泄压管路210上设有单向阀3，单向阀3设置在电磁阀2出口一侧。
具体的，将单向阀3设置在电磁阀2后可防止排出的气体回流至反应腔1中。
在一些优选的实施方式中，当压力信息超过第一设定阈值时，控制器8控制电磁阀2打开，当压力信息低于第二设定阈值时，控制器8控制电磁阀2关闭，第一设定阈值大于或等于第二设定阈值，当压力信息大于第三设定阈值时，爆破阀7打开，第三设定阈值大于第一设定阈值。
具体的，当第一设定阈值大于第二设定阈值时，反应腔1中的气体压力大小将逐渐稳定在第一设定阈值与第二设定阈值之间；当第一设定阈值等于第二设定阈值时，反应腔1中的气体压力大小将在第一设定阈值（第二设定阈值）上下波动。为保证主动泄压管路210与被动泄压管路220皆可生效，第三设定阈值应大于第一设定阈值，当反应腔1内气体压力达到第一设定阈值时，主动泄压管路210生效，反应腔1内气体通过主动泄压管路210排出，当反应腔1内气体压力达到第三设定阈值时，被动泄压管路220生效，此时主动泄压管路210与被动泄压管路220同时生效，反应腔1内气体通过主动泄压管路210和被动泄压管路220排出。
第二方面，参考图3，图3为本申请提供的外延工艺设备结构示意图，图3所示的一种外延工艺设备，外延工艺设备包括：
供气组件110，用于向反应腔1中提供外延工艺所需气体；
反应腔1，反应腔1入口与供气组件110连接，反应腔1中设置有加热装置120，加热装置120用于加热反应腔1；
尾气处理装置300，尾气处理装置300用于处理从反应腔1中排出的气体；
外延工艺设备还包括：外延工艺设备用安全保护泄压系统200，尾气处理装置300入口与外延工艺设备用全保护泄压系统的出口连接，外延工艺设备用安全保护泄压系统200包括:
主动泄压管路210，与反应腔1出口连接；
被动泄压管路220，与反应腔1出口连接，被动泄压管路220上设置有爆破阀7，爆破阀7用于在反应腔1内压力异常且主动泄压管路210失效时进行泄压；
控制器8，与主动泄压管路210电性连接，用于获取反应腔1内的压力信息，并根据压力信息控制主动泄压管路210的开关以调节反应腔1内的气压。
本申请实施例中的外延工艺设备，供气组件110为反应腔1内提供外延工艺所需的气体，通过反应腔1内的加热装置120将反应腔1内温度上升至外延工艺所需温度，开始进行外延工艺，当反应腔1内气压异常时，通过外延工艺设备用安全保护泄压系统200将反应腔1内的气压调整到正常稳定的范围内，反应腔1内的气体通过外延工艺设备用安全保护泄压系统200排出至尾气处理装置300。外延工艺设备为外延工艺进行提供气体环境和温度，当外延工艺过程中出现气压异常时，反应腔1内的气体可以通过外延工艺设备用安全保护泄压系统200排出，并通过尾气处理装置300将尾气收集处理，避免反应腔1内气体持续增大而损坏设备而造成危险，并防止尾气污染空气。
在本申请所提供的实施例中，应该理解到，所揭露装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
另外，作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
再者，在本申请各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。
在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种外延工艺设备用安全保护泄压系统，用于调节外延设备反应腔（1）内的气压，其特征在于，所述外延工艺设备用安全保护泄压系统包括:
主动泄压管路（210），与所述反应腔（1）出口连接；
被动泄压管路（220），与所述反应腔（1）出口连接，所述被动泄压管路（220）上设置有爆破阀（7），所述爆破阀（7）用于在所述反应腔（1）内压力异常且所述主动泄压管路（210）失效时进行泄压；
控制器（8），与所述主动泄压管路（210）电性连接，用于获取所述反应腔（1）内的压力信息，并根据所述压力信息控制所述主动泄压管路（210）的开关以调节所述反应腔（1）内的气压。
2.根据权利要求1所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，所述被动泄压管路（220）上设置有开闭阀（5），所述开闭阀（5）用于在维修所述爆破阀（7）时关闭所述被动泄压管路（220）。
3.根据权利要求2所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，所述开闭阀（5）的数量不少于2个。
4.根据权利要求3所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，所述爆破阀（7）两侧均设有所述开闭阀（5）。
5.根据权利要求2所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，所述开闭阀（5）上设置有用于检测所述开闭阀（5）开闭状态的开闭检测传感器（6），所述开闭检测传感器（6）与所述控制器（8）电性连接，用于将所述开闭阀（5）的开闭状态信号传输至所述控制器（8）。
6.根据权利要求1所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，所述主动泄压管路（210）上设置有:
电磁阀（2），与所述控制器（8）电性连接，所述电磁阀（2）用于控制所述主动泄压管路（210）的开闭；
压力检测装置（4），与所述控制器（8）电性连接；
所述控制器（8）通过所述压力检测装置（4）获取所述压力信息，并用于根据所述压力信息控制所述电磁阀（2）开闭，以调节外延设备反应腔（1）内的气压。
7.根据权利要求6所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，所述电磁阀（2）为常开电磁阀。
8.根据权利要求6所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，所述主动泄压管路（210）上设有单向阀（3），所述单向阀（3）设置在所述电磁阀（2）出口一侧。
9.根据权利要求6所述的外延工艺设备用安全保护泄压系统，其特征在于，当所述压力信息超过第一设定阈值时，所述控制器（8）控制所述电磁阀（2）打开，当所述压力信息低于第二设定阈值时，所述控制器（8）控制所述电磁阀（2）关闭，所述第一设定阈值大于或等于所述第二设定阈值，当所述压力信息大于第三设定阈值时，所述爆破阀（7）打开，所述第三设定阈值大于所述第一设定阈值。
10.一种外延工艺设备，所述外延工艺设备包括：
供气组件（110），用于向反应腔（1）中提供外延工艺所需气体；
所述反应腔（1），所述反应腔（1）入口与所述供气组件（110）连接，所述反应腔（1）中设置有加热装置（120），所述加热装置（120）用于加热所述反应腔（1）；
尾气处理装置（300），所述尾气处理装置（300）用于处理从所述反应腔（1）中排出的气体；
其特征在于，所述外延工艺设备还包括：外延工艺设备用安全保护泄压系统（200），所述尾气处理装置（300）入口与所述外延工艺设备用安全保护泄压系统（200）的出口连接，所述外延工艺设备用安全保护泄压系统（200）包括:
主动泄压管路（210），与所述反应腔（1）出口连接；
被动泄压管路（220），与所述反应腔（1）出口连接，所述被动泄压管路（220）上设置有爆破阀（7），所述爆破阀（7）用于在所述反应腔（1）内压力异常且所述主动泄压管路（210）失效时进行泄压；
控制器（8），与所述主动泄压管路（210）电性连接，用于获取反应腔（1）内的压力信息，并根据所述压力信息控制所述主动泄压管路（210）的开关以调节所述反应腔（1）内的气压。
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| CN202111369721.6A CN114060723A (zh) | 2021-11-18 | 2021-11-18 | 一种外延工艺设备用安全保护泄压系统及外延工艺设备 |
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