CN113707596A - 吸盘装置及具有其的基板处理设备 - Google Patents

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徐欣
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Abstract

本发明公开了一种吸盘装置及具有其的基板处理设备，根据本发明实施例的吸盘装置，包括：第一平移组件、至少两个第二平移组件和至少四个吸盘组件，至少两个第二平移组件设置于第一平移组件上且在第一平移组件的驱动下可沿第一方向移动；至少四个吸盘组件两两设置于至少两个第二平移组件，设置于第二平移组件上的两个吸盘组件在第二平移组件的驱动下沿第二方向相向或相背移动，第二方向与第一方向垂直。这样，通过设有第一平移组件和第二平移组件对吸盘组件的位置进行调整，从而让四个吸盘组件所限制的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，吸盘装置能够吸附多种尺寸的基板，以使吸盘装置的适用性得到提升，进而提升吸盘装置的使用性能。

Description

吸盘装置及具有其的基板处理设备
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种吸盘装置及具有其的基板处理设备。
背景技术
在现有技术中，基板进行曝光处理时，通常使用吸盘对其进行吸附以使基板的处理更为可靠。相关技术中的吸盘装置通常是具有单一性，即每一种基板对应一种吸盘装置，这样使得在进行多种尺寸的基板进行处理时需要频繁更换吸盘装置，从而让基板的处理效率较低。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种吸盘装置，所述吸盘装置的吸附范围能够进行调整，以使吸盘装置能够吸附多种尺寸的基板。
本发明的另一个目的在于提出一种基板处理设备，包括如上所述的吸盘装置。
根据本发明实施例的吸盘装置，包括：第一平移组件、至少两个第二平移组件和至少四个吸盘组件，至少两个所述第二平移组件设置于所述第一平移组件上且在所述第一平移组件的驱动下可沿第一方向移动；至少四个吸盘组件两两设置于至少两个所述第二平移组件，设置于所述第二平移组件上的两个所述吸盘组件在所述第二平移组件的驱动下沿第二方向相向或相背移动，所述第二方向与所述第一方向垂直。
根据本发明实施例的吸盘装置，通过设有第一平移组件和第二平移组件对吸盘组件的位置进行调整，从而让四个吸盘组件所限制的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，吸盘装置能够吸附多种尺寸的基板，以使吸盘装置的适用性得到提升，进而提升吸盘装置的使用性能。
在一些实施例中，所述第一平移组件包括：第一底座、至少两个第一丝杠、至少两个第一操纵件和至少两个所述第一平移板，至少两个所述第一丝杠可转动地设置于所述第一底座，至少两个所述第一丝杠沿所述第一方向延伸且沿第二方向排布；至少两个所述第一操纵件分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部；至少两个所述第一平移板分别螺纹配合在至少两个所述第一丝杠上，至少两个所述第一平移板与至少两个所述第二平移组件一一对应设置。
在一些实施例中，所述第一平移组件还包括：至少两个第一数字位置显示器，至少两个所述第一数字位置显示器分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部，以记录显示所述第一丝杠的旋转圈数。
在一些实施例中，所述第一平移组件还包括：至少两个第一锁止件，至少两个所述第一锁止件分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部，以通过锁止所述第一丝杠的方式锁止所述第一平移板和所述第二平移组件。
在一些实施例中，所述第一平移组件还包括：至少一个第一导向杆，至少一个所述第一导向杆设置于所述第一底座，至少两个所述第一平移板均可移动地设置于至少一个所述第一导向杆。
在一些实施例中，所述第二平移组件包括：第二底座、第二丝杠、第二操纵件和两个所述第二平移板，所述第二底座设置于所述第一平移板上；所述第二丝杠可转动地设置于所述第二底座，所述第二丝杠沿所述第二方向延伸且设置有旋向相反的外螺纹；所述第二操纵件设置于所述第二丝杠的端部；所述第二平移板分别螺纹配合在所述第二丝杠旋向相反的外螺纹上，至少两个两个所述第二平移板与两个吸盘组件一一对应设置。
在一些实施例中，所述第二平移组件还包括：第二数字位置显示器，所述第二数字位置显示器设置于所述第二丝杠的端部，以记录显示所述第二丝杠的旋转圈数。
在一些实施例中，所述第二平移组件还包括：第二锁止件，所述第二锁止件分别设置于所述第二丝杠的端部，以通过锁止所述第二丝杠的方式锁止所述第二平移板和所述第二平移组件。
在一些实施例中，所述第二平移组件还包括：至少一个第二导向杆，至少一个所述第二导向杆设置于所述第二底座，所述第二平移板均可移动地设置于至少一个所述第二导向杆。
在一些实施例中，所述第一操纵件和所述第二操纵件均为波纹手轮。
在一些实施例中，所述吸盘组件包括：第三底座和多个吸盘，所述第三底座设置于所述第二平移板上，多个所述吸盘分布在所述第三底座上。
根据本发明实施例的基板处理设备，包括：如上所述的吸盘装置。
根据本发明实施例的基板处理设备，包括：如上所示的吸盘装置。这样，通过在基板处理装置内设有如上所示的吸盘装置，由于吸盘装置的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，以使基板处理设备能够处理更多尺寸的基板，从而让基板处理设备的适用性得到提升，基板处理设备的工作效率得到提升，从而让基板处理设备的市场竞争力得到提升。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本发明实施例的吸盘装置的结构示意图；
图2是本发明实施例的第一平移组件的结构示意图；
图3是本发明实施例的第二平移组件的结构示意图；
图4是本发明实施例的吸盘组件的结构示意图。
附图标记：
吸盘装置10，
第一平移组件100，第一底座110，第一丝杠120，第一操纵件130，第一平移板140，第一数字位置显示器150，第一锁止件160，第一导向杆170，
第二平移组件200，第二底座210，第二丝杠220，第二操纵件230，第二平移板240，第二数字位置显示器250，第二锁止件260，第二导向杆270，
吸盘组件300，第三底座310，吸盘320。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本发明的实施例。
下面参考图1-图4描述根据本发明实施例的吸盘装置10，包括：第一平移组件100、至少两个第二平移组件200和至少四个吸盘组件300。
具体来说，至少两个第二平移组件200设置于第一平移组件100上且在第一平移组件100的驱动下可沿第一方向移动；至少四个吸盘组件300两两设置于至少两个第二平移组件200，设置于第二平移组件200上的两个吸盘组件300在第二平移组件200的驱动下沿第二方向相向或相背移动，第二方向与第一方向垂直。
可以理解的是，在吸盘装置10的使用过程中，用户可以操纵第一平移组件100和第二平移组件200以调整四个吸盘组件300的相对位置，从而调整四个吸盘组件300的作用范围，以使四个吸盘组件300所限定的吸附范围能够进行调整，以实现吸盘装置10能够针对不同尺寸的吸盘320进行吸附的作用。同时，每个吸盘组件300适用于吸附基板，至少四个吸盘组件300吸附在基板的四周用来吸附基板，以便于后续对基板的处理与使用。
进一步地，第一平移组件100适用于驱动至少两个吸盘组件300进行纵向移动，第二平移组件200适用于驱动至少两个吸盘组件300进行横向移动，由于至少四个吸盘组件300处于吸盘装置10的四个角落，以使四个吸盘组件300所限制的吸附范围能够针对吸盘320的尺寸进行调整，从而让吸盘装置10的吸附作用能够更为稳定的作用到基板上，吸盘装置10的使用性能得到提升。
根据本发明实施例的吸盘装置10，通过设有第一平移组件100和第二平移组件200对吸盘组件300的位置进行调整，从而让四个吸盘组件300所限制的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，吸盘装置10能够吸附多种尺寸的基板，以使吸盘装置10的适用性得到提升，进而提升吸盘装置10的使用性能。
在一些实施例中，如图1和图2所示，第一平移组件100包括：第一底座110、至少两个第一丝杠120、至少两个第一操纵件130和至少两个第一平移板140，至少两个第一丝杠120可转动地设置于第一底座110，至少两个第一丝杠120沿第一方向延伸且沿第二方向排布；至少两个第一操纵件130分别设置于至少两个第一丝杠120的端部；至少两个第一平移板140分别螺纹配合在至少两个第一丝杠120上，至少两个第一平移板140与至少两个第二平移组件200一一对应设置。
需要说明的是，在第一丝杠120端部设有第一操纵件130背离第一丝杠120向外延伸，以使第一操纵件130至少处于第一底座110的外侧，以使用户能够更为方便操控第一操纵件130，第一平移组件100的使用更为简单方便。
可以理解的是，用户可以通过操纵第一操纵件130来调整第一丝杠120的位置，从而让第一丝杠120所连接的第一平移板140的位置能够得到提升，进而实现调整所连接的吸盘组件300位置的作用。
这样，通过设有至少两个第一丝杠120，使得用户可以通过调整第一丝杠120上与其螺纹连接第一平移板140的位置，以使吸盘组件300的位置能够得到调整，从而实现改变吸盘装置10的吸附范围的使用性能，使得吸盘装置10的吸附范围能够更为贴合基板，使得吸盘装置10的使用性能得到提升。
在一些实施例中，如图1和图2所示，第一平移组件100还包括：至少两个第一数字位置显示器150，至少两个第一数字位置显示器150分别设置于至少两个第一丝杠120的端部，以记录显示第一丝杠120的旋转圈数。由此，通过设有至少两个第一数字位置显示器150，使得用户在操控第一操纵件130调整第一丝杠120与第一平移板140的过程与结果得到显示，从而让用户对第一平移组件100的操控更为精确，以使用户调整的吸盘装置10的吸附范围能够更为贴合基板的尺寸，吸盘装置10的使用性能到提升。同时，用户对第一平移组件100的操控效果能够从第一数字位置显示器150上进行显示，以便于用户的读数与记录吸盘装置10的位置变化，以使吸盘装置10的使用更为简单方便。
在一些实施例中，如图1和图2所示，第一平移组件100还包括：至少两个第一锁止件160，至少两个第一锁止件160分别设置于至少两个第一丝杠120的端部，以通过锁止第一丝杠120的方式锁止第一平移板140和第二平移组件200。这样，通过设有第一锁止件160对第一平移组件100进行锁止，以使第一平移组件100对吸盘320的调整效果更为可靠，从而让吸盘组件300对基板的吸附效果更好，吸盘装置10的使用性能得到提升。
在一些实施例中，如图1和图2所示，第一平移组件100还包括：至少一个第一导向杆170，至少一个第一导向杆170设置于第一底座110，至少两个第一平移板140均可移动地设置于至少一个第一导向杆170。由此，通过设有第一导向杆170，第一导向杆170在第一丝杠120的使用过程中对以第一丝杠120提供导向作用，使得第一丝杠120的使用更为可靠，从而让第一平移组件100的使用性能到提升，吸盘装置10的吸附范围能够碎着第一平移组件100的使用而得到较为稳定可靠的调整，吸盘装置10的适用性较高。
在一些实施例中，如图1和图3所示，第二平移组件200包括：第二底座210、第二丝杠220、第二操纵件230和两个第二平移板240，第二底座210设置于第一平移板140上；第二丝杠220可转动地设置于第二底座210，第二丝杠220沿第二方向延伸且设置有旋向相反的外螺纹；第二操纵件230设置于第二丝杠220的端部；第二平移板240分别螺纹配合在第二丝杠220旋向相反的外螺纹上，至少两个两个第二平移板240与两个吸盘组件300一一对应设置。同理可知，第二操纵件230设于第二丝杠220背离第二丝杠220的一侧且向外延伸，以便于用户的操控。同时，用户可以通过操纵第二操纵件230来调整第二丝杠220的位置，从而让第二丝杠220所连接的第二平移板240的位置能够得到提升，进而实现调整所连接的吸盘组件300位置的作用。
与第一平移组件100不同的是，第二丝杠220上设有相对设置且旋向相反的外螺纹，以使用户在调整第二平移组件200时，第二丝杠220所连接的第二平移板240能够进行相对运动或者相背运动，从而实现对所连接吸盘组件300的位置进行调整的作用，以形成具有可调整性的吸盘组件300的吸附范围，使得吸盘装置10的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，使得吸盘装置10的适用性得到提升。
在一些实施例中，如图1和图3所示，第二平移组件200还包括：第二数字位置显示器250，第二数字位置显示器250设置于第二丝杠220的端部，以记录显示第二丝杠220的旋转圈数。与第一平移组件100相同，第二平移组件200上还设有第二数字位置显示器250，第二数字位置显示器250能够显示用户对第二操纵件230的调整效果，使得使得用户在操控第二操纵件230调整第二丝杠220与第二平移板240的过程与结果得到显示，从而让用户对第二平移组件200的操控更为精确，以使用户调整的吸盘装置10的吸附范围能够更为贴合基板的尺寸，吸盘装置10的使用性能到提升。同时，用户对第二平移组件200的操控效果能够从第二数字位置显示器250上进行显示，以便于用户的读数与记录吸盘装置10的位置变化，以使吸盘装置10的使用更为简单方便。
在一些实施例中，如图1和图3所示，第二平移组件200还包括：第二锁止件260，第二锁止件260分别设置于第二丝杠220的端部，以通过锁止第二丝杠220的方式锁止第二平移板240和第二平移组件200。可以理解的是，通过设有第二锁止件260对第二平移组件200进行锁止，以使第二平移组件200对吸盘320的调整效果更为可靠，从而让吸盘组件300对基板的吸附效果更好，吸盘装置10的使用性能得到提升。
在一些实施例中，如图1和图3所示，第二平移组件200还包括：至少一个第二导向杆270，至少一个第二导向杆270设置于第二底座210，第二平移板240均可移动地设置于至少一个第二导向杆270。需要说明的是，通过设有第二导向杆270，第二导向杆270在第二丝杠220的使用过程中对以第二丝杠220提供导向作用，使得第二丝杠220的使用更为可靠，从而让第二平移组件200的使用性能到提升，吸盘装置10的吸附范围能够碎着第二平移组件200的使用而得到较为稳定可靠的调整，吸盘装置10的适用性较高。
在一些具体的实施例中，第一操纵件130和第二操纵件230均为波纹手轮。可以理解的是，波纹手轮能够便于用户的操控，使得第一操纵件130和第二操纵件230对于第一平移组件100和第二平移组件200操控更为方便，以使第一平移组件100和第二平移组件200的操控更为简单方便，简化吸盘装置10的使用过程，使得吸盘装置10的吸附范围能够得到更为高效的调整，吸盘装置10的使用性能得到提升。
在一些实施例中，如图1和图4所示，吸盘组件300包括：第三底座310和多个吸盘320，第三底座310设置于第二平移板240上，多个吸盘320分布在第三底座310上。这样，吸盘320适用于吸附基板，多个吸盘320能够增加吸盘320对基板的吸附作用。而在第三底座310上设有吸盘320的结构更为可靠，从而让吸盘320的使用性能得到提升，吸盘320能够更好的吸附基板。同时，设有第三底板还能够让第一平移组件100和第二平移组件200的调整作用，能够作用到第三底座310上以实现对吸盘装置10的吸附范围的调整，以使吸盘装置10的适用性得到提升。
根据本发明实施例的基板处理设备，包括：如上所示的吸盘装置10。这样，通过在基板处理装置内设有如上所示的吸盘装置10，由于吸盘装置10的吸附范围能够针对基板的尺寸进行调整，以使基板处理设备能够处理更多尺寸的基板，从而让基板处理设备的适用性得到提升，基板处理设备的工作效率得到提升，从而让基板处理设备的市场竞争力得到提升。
根据本发明实施例的吸盘装置10的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (12)

1.一种吸盘装置，其特征在于，包括：
第一平移组件；
至少两个第二平移组件，至少两个所述第二平移组件设置于所述第一平移组件上且在所述第一平移组件的驱动下可沿第一方向移动；
至少四个吸盘组件，至少四个吸盘组件两两设置于至少两个所述第二平移组件，设置于所述第二平移组件上的两个所述吸盘组件在所述第二平移组件的驱动下沿第二方向相向或相背移动，所述第二方向与所述第一方向垂直。
2.根据权利要求1所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件包括：
第一底座；
至少两个第一丝杠，至少两个所述第一丝杠可转动地设置于所述第一底座，至少两个所述第一丝杠沿所述第一方向延伸且沿第二方向排布；
至少两个第一操纵件，至少两个所述第一操纵件分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部；
至少两个所述第一平移板，至少两个所述第一平移板分别螺纹配合在至少两个所述第一丝杠上，至少两个所述第一平移板与至少两个所述第二平移组件一一对应设置。
3.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件还包括：至少两个第一数字位置显示器，至少两个所述第一数字位置显示器分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部，以记录显示所述第一丝杠的旋转圈数。
4.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件还包括：至少两个第一锁止件，至少两个所述第一锁止件分别设置于至少两个所述第一丝杠的端部，以通过锁止所述第一丝杠的方式锁止所述第一平移板和所述第二平移组件。
5.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一平移组件还包括：至少一个第一导向杆，至少一个所述第一导向杆设置于所述第一底座，至少两个所述第一平移板均可移动地设置于至少一个所述第一导向杆。
6.根据权利要求2所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件包括：
第二底座，所述第二底座设置于所述第一平移板上；
第二丝杠，所述第二丝杠可转动地设置于所述第二底座，所述第二丝杠沿所述第二方向延伸且设置有旋向相反的外螺纹；
第二操纵件，所述第二操纵件设置于所述第二丝杠的端部；
两个所述第二平移板，所述第二平移板分别螺纹配合在所述第二丝杠旋向相反的外螺纹上，至少两个两个所述第二平移板与两个吸盘组件一一对应设置。
7.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件还包括：第二数字位置显示器，所述第二数字位置显示器设置于所述第二丝杠的端部，以记录显示所述第二丝杠的旋转圈数。
8.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件还包括：第二锁止件，所述第二锁止件分别设置于所述第二丝杠的端部，以通过锁止所述第二丝杠的方式锁止所述第二平移板和所述第二平移组件。
9.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第二平移组件还包括：至少一个第二导向杆，至少一个所述第二导向杆设置于所述第二底座，所述第二平移板均可移动地设置于至少一个所述第二导向杆。
10.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述第一操纵件和所述第二操纵件均为波纹手轮。
11.根据权利要求6所述的吸盘装置，其特征在于，所述吸盘组件包括：第三底座和多个吸盘，所述第三底座设置于所述第二平移板上，多个所述吸盘分布在所述第三底座上。
12.一种基板处理设备，其特征在于，包括：权利要求1-11中任一项所述的吸盘装置。
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Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104129157A (zh) * 2014-07-23 2014-11-05 彭富国 一种面板物料定位除尘装置
CN206927263U (zh) * 2017-06-29 2018-01-26 广州市泰立机电设备有限公司 吸盘夹具
CN207549755U (zh) * 2017-11-13 2018-06-29 宁德新能源科技有限公司 喷码机
CN208516438U (zh) * 2018-05-28 2019-02-19 珠海格力智能装备有限公司 夹具
CN209793122U (zh) * 2019-04-01 2019-12-17 盘起工业(大连)有限公司 卧式枪钻机床用移动升降平台
CN110654867A (zh) * 2019-11-07 2020-01-07 湖南视比特机器人有限公司 抓取形状尺寸自适应的电磁吸盘及使用方法
CN110683353A (zh) * 2019-09-25 2020-01-14 珠海市柏泉精密制造有限公司 一种交替叠板机
CN110744578A (zh) * 2019-11-21 2020-02-04 广州市泰立机电设备有限公司 一种夹具吸盘负压箱体及其副手夹具
CN210210442U (zh) * 2019-06-06 2020-03-31 常州瑷尔恒自动化设备有限公司 吸附式包装箱抓手
CN111477585A (zh) * 2020-05-20 2020-07-31 中国华能集团有限公司 一种全尺寸电池片组自动吸附转移装置及其工作方法
CN213381610U (zh) * 2020-06-24 2021-06-08 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种可调节吸盘装置及机械手
CN113070358A (zh) * 2021-03-31 2021-07-06 蜂巢能源科技(无锡)有限公司 差速拉伸机构的胶辊调整结构
CN213918691U (zh) * 2020-10-26 2021-08-10 佛山市顺德区建盛机械制造有限公司 木工排钻移动座结构

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104129157A (zh) * 2014-07-23 2014-11-05 彭富国 一种面板物料定位除尘装置
CN206927263U (zh) * 2017-06-29 2018-01-26 广州市泰立机电设备有限公司 吸盘夹具
CN207549755U (zh) * 2017-11-13 2018-06-29 宁德新能源科技有限公司 喷码机
CN208516438U (zh) * 2018-05-28 2019-02-19 珠海格力智能装备有限公司 夹具
CN209793122U (zh) * 2019-04-01 2019-12-17 盘起工业(大连)有限公司 卧式枪钻机床用移动升降平台
CN210210442U (zh) * 2019-06-06 2020-03-31 常州瑷尔恒自动化设备有限公司 吸附式包装箱抓手
CN110683353A (zh) * 2019-09-25 2020-01-14 珠海市柏泉精密制造有限公司 一种交替叠板机
CN110654867A (zh) * 2019-11-07 2020-01-07 湖南视比特机器人有限公司 抓取形状尺寸自适应的电磁吸盘及使用方法
CN110744578A (zh) * 2019-11-21 2020-02-04 广州市泰立机电设备有限公司 一种夹具吸盘负压箱体及其副手夹具
CN111477585A (zh) * 2020-05-20 2020-07-31 中国华能集团有限公司 一种全尺寸电池片组自动吸附转移装置及其工作方法
CN213381610U (zh) * 2020-06-24 2021-06-08 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种可调节吸盘装置及机械手
CN213918691U (zh) * 2020-10-26 2021-08-10 佛山市顺德区建盛机械制造有限公司 木工排钻移动座结构
CN113070358A (zh) * 2021-03-31 2021-07-06 蜂巢能源科技(无锡)有限公司 差速拉伸机构的胶辊调整结构

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