CN113701262B - 一种洁净室灭菌系统及灭菌方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提出一种洁净室灭菌系统及灭菌方法，包括洁净室、送风系统、输风管路，送风系统将外界的新风通过输风管路输入洁净室，还包括灭菌设备、循环管路，能在洁净室不停产停工的情况下，单独对洁净室、送风系统、输风管路单独进行消毒灭菌操作，从而延长了洁净室的消毒周期。还包括除湿装置和触媒装置，通过先单独对送风系统及管路单独进行消毒灭菌操作，再对洁净室进行消毒灭绝，能够缩短洁净室系统消毒停工的时间，还能控制送风系统及输风管路的湿度和浓度，通过除湿和提升消毒灭菌气体浓度的操作，可以将过氧化氢浓度保持在一定范围内，使得灭菌效果更佳。

Description

一种洁净室灭菌系统及灭菌方法
技术领域
本发明涉及空气净化领域，尤其是洁净室灭菌系统及灭菌方法。
背景技术
洁净室系指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切联系在一起。由于精密机械工业，如陀螺仪、微型轴承等加工，半导体工业，如大规模集成电路生产等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。洁净室按受控粒子的性质分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室是指受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。生物洁净室是指受控粒子为生物粒子的洁净室。洁净室通过送风系统（或空调系统）与外界互通，送风系统通过输风管路向洁净室输送高洁净度的空气，为了保证洁净室的洁净度必须选用高效或亚高效过滤器作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行最后一级过滤。
无论是工业洁净室和生物洁净室都需要对洁净室进行定期灭菌，以使得洁净室达到洁净等级要求。目前，对洁净室灭菌主要采用紫外线灭菌法、化学试剂熏蒸法和消毒剂喷洒法。紫外线可以杀灭多种微生物，包括细菌繁殖体、芽孢、病毒、真菌、支原体等，但存在以下缺陷：紫外线灯射出的紫外线强度，随着时间的增加而减弱，消毒能力不断减弱；紫外线穿透力弱，容易被生产设备阻挡，出现死角，影响杀菌效果；紫外线杀菌受相对湿度的影响较大，当洁净室相对湿度≥60%时，其灭菌效果明显减弱，相对湿度≥80%时，无法使用；紫外线辐射能量低，仅能杀菌直接照射到的微生物，消毒部位必须暴露于紫外线下；紫外线照射物体表面距离不能超过1.50m。化学试剂熏蒸法和消毒剂喷洒法均可杀灭各种微生物，包括细菌繁殖体、芽孢、病毒、真菌、支原体等，灭菌效果可靠。目前化学试剂熏蒸法常用的消毒剂有：甲醛、环氧乙烷、过氧乙酸等，消毒剂喷洒法常用的消毒剂有：福尔马林、75%乙醇、高锰酸钾等。但化学试剂熏蒸法和消毒剂喷洒法还存在以下缺陷：消毒灭菌作用时间长，影响生产，如甲醛熏蒸，消毒时间12h，静置4h，排风8h，消毒一次最少需要24h，消毒一次要停产2-5天。容易产生二次污染，如甲醛熏蒸会出现多聚甲醛聚合物，附着在洁净室的维护结构和设备管道表面上，在消毒后几天内，其悬浮粒子数会增加，甲醛聚合物也逐渐解聚成甲醛，对生产操作人员危害很大。
此外，无论是化学试剂熏蒸法和消毒剂喷洒法，对洁净室进行灭菌，而忽略了对洁净室送风系统（或空调系统），以及输风管路进行灭菌，致使洁净室灭菌不彻底，洁净室重新投入使用时，送风系统（或空调系统）内的细菌很快就会污染洁净室。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明灭菌系统适用于VHP灭菌、臭氧灭菌、二氧化氯等气体灭菌。进一步的，所属灭菌设备为VHP发生器、或臭氧发生器、或二氧化氯发生器。
VHP即Vaporized Hydrogen Peroxide，汽化过氧化氢，利用过氧化氢在常温下气体状态比液体状态更具杀灭细菌芽孢能力的特点，达到完全灭菌的一种技术。
臭氧是氧气的一种同素异形体，化学式是O3，式量47.998，有鱼腥气味的淡蓝色气体，具有极强的氧化性和杀菌性能。
二氧化氯因为其具有杀菌能力强，对人体及动物没有危害以及对环境不造成二次污染等特点。二氧化氯不仅是一种不产生致癌物的广谱环保型杀菌消毒剂，而且还在杀菌、食品保鲜、除臭等方面表现出显著的效果。
一种洁净室灭菌系统，包括洁净室、送风系统、输风管路，送风系统将外界的新风铜鼓输风管路输入洁净室，还包括灭菌设备和循环管路；
送风系统包括进风口、壳体、过滤系统、风机、冷热器、输出端和循环端，进风口设有阀门，循环端与过滤系统之间设有阀门，过滤系统、风机、冷热器、输出端和循环端设在壳体内；
当需要送风时，打开进风口的阀门，关闭循环端与过滤系统之间的阀门，外界的空气在风机的作用下，依次经进风口、过滤系统、风机、冷热器、输出端后进入输风管路，新风通过输风管路送入洁净室；
当需要循环时，关闭进风口的阀门，打开循环端与过滤系统之间的阀门，在风机的作用下，洁净室内的空气经循环管路进入循环端，然后再依次经过滤系统、风机、冷热器、输出端后进入输风管路，循环新风通过输风管路送入洁净室；
输风管路的一端接入送风系统的输出端，另一端接入洁净室，循环管路的一端接入洁净室，另一端接入送风系统的循环端；
灭菌设备包括输出端、循环输入端和第一连接口和第二连接口，输出端通过管路接入第一连接口，循环输入端通过管路接入第二连接口；第一连接口与输出端连通，第二连接口与循环端连通；
输风管路与送风系统之间设有阀门，输风管路与洁净室之间设有阀门；循环管路与洁净室之间设有阀门，与送风系统之间设有阀门。
进一步的，所述洁净室至少为1个，输风管路接入每个洁净室，且输风管路与每个洁净室的连接处之间均设有阀门；循环管路与每个洁净室连通，且循环管路与每个洁净室的连接处均设有阀门。
进一步的，输风管路的末端还通过阀门接入循环管路。
进一步的，本发明洁净室灭菌系统还包括除湿装置、除湿输入管路和除湿输出管路，除湿输入管路和除湿输出管路分别通过阀门接入循环管路；
进一步的，本发明洁净室灭菌系统还包括分解触媒装置，分解触媒装置输入管路和分解触媒装置输出管路，分解触媒装置输入管路和分解触媒装置输出管路分别通过阀门接入循环管路。
进一步的，本发明还提出一种洁净室灭菌的方法，包括如下步骤：
S1，反向旋转灭菌设备的风机，对送风系统进行循环，增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；关闭送风系统进风口、输出端和循环端的阀门，开启灭菌设备，并将灭菌设备的风机置于反转状态；
开启送风系统的风机，灭菌设备输出消毒灭菌气体，在送风系统风机，和灭菌设备的风机反向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端、第二连接口进入送风系统的循环端，然后再依次经过过滤系统、风机、冷热器、输出端返回灭菌设备，然后再次进行循环；由此一方面实现对送风系统的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统达到更好的消毒灭菌效果。
消毒灭菌气体为VHP、或臭氧灭菌、或二氧化氯等气体。
S2，对输风管路和循环管路进行循环，增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；关闭送风系统进风口的阀门，关闭输风管路与洁净室之间的阀门，关闭循环管路与洁净室之间的阀门，打开输出端的阀门、循环端的阀门；
开启灭菌设备和送风系统的风机，将灭菌设备的风机置于正向旋转，灭菌设备输出消毒灭菌气体，在灭菌设备的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端、第一连接口输入送风系统输出端，在送风系统风机的作用下，消毒灭菌气体依次经过输风管路、输风管路的末端，进入循环管路，最后，进入送风系统的循环端，然后再依次经过过滤系统、风机、冷热器、输出端再次进行循环；由此一方面实现对送风系统、输风管路和循环管路的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统和输风管路、循环管路达到更好的消毒灭菌效果。
S3，对洁净室进行循环消毒灭菌；关闭送风系统进风口的阀门，关闭输风管路的末端与循环管路之间的阀门，打开输风管路与洁净室之间的阀门，打开循环管路与洁净室之间的阀门，打开输出端的阀门、循环端的阀门；
开启灭菌设备和送风系统的风机，将灭菌设备的风机置于正向旋转，灭菌设备输出消毒灭菌气体，在灭菌设备的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经输出端、第一连接口输入送风系统输出端，在送风系统风机的作用下，消毒灭菌气体经过输风管路进入洁净室，从而对洁净室进行消毒灭菌，在送风系统的风机的作用下，洁净室内的空气经进入循环管路后，一部分经管路、循环输入端进入灭菌设备，另一部分进入送风系统的循环端、然后再依次经过过滤系统、风机、冷热器、输出端，进入输风管路、洁净室进行消毒灭菌，再次进行循环。一方面，对洁净室进行循环消毒灭菌，消毒灭菌气体能够弥散到洁净室各个角落，消毒灭菌更彻底，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统和输风管路、循环管路、洁净室达到更好的消毒灭菌效果。
进一步的，步骤S3还包括以下子步骤：
S31，对送风系统、输风管路、洁净室、循环管路进行除湿；
关闭灭菌设备、关闭进风口的阀门；打开输风管路与洁净室之间的阀门，打开循环管路与洁净室之间的阀门，打开输出端的阀门、循环端的阀门，关闭触媒装置的阀门，关闭循环管路上除湿装置并联段的阀门，从而阻断循环管路，使得循环管路内的空气经除湿装置后，再进入循环管路；
打开送风系统的风机，在风机的作用下，洁净室内的空气经循环管路、除湿装置后进入送风系统，再通过输风管路进入洁净室，从而实现循环除湿；
S32，当洁净室内湿度降低到设定值，开启灭菌设备和送风系统，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；
保持进风口阀门关闭，开启灭菌设备和送风系统，保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，关闭触媒装置的阀门，关闭除湿装置的阀门，提升输风管路、洁净室及循环管路内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，步骤S32还包括增湿的步骤：当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；同时开启增湿设备，提升洁净室湿度。
S33，当洁净室内湿度高于设定值，对送风系统、输风管路、洁净室、循环管路进行再次除湿；关闭灭菌设备，保持进风口的阀门关闭，保持送风系统开启；保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，保持触媒装置的阀门关闭，关闭循环管路上除湿装置并联段的阀门，从而阻断循环管路，使得循环管路内的空气经除湿装置后，再进入循环管路；打开送风系统的风机，在风机的作用下，洁净室内的空气经循环管路、除湿装置后进入送风系统，再通过输风管路进入洁净室，从而实现再次循环除湿；
S34，当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；保持进风口阀门关闭，开启灭菌设备和送风系统，保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，保持触媒装置的阀门关闭，保持除湿装置的阀门关闭，再次提升输风管路、洁净室及循环管路内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，步骤S34还包括增湿的步骤：当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；同时开启增湿设备，提升洁净室湿度。
S35，按照步骤S33，S34的步骤循环操作，直至消毒灭菌气体浓度达到指定浓度，关闭灭菌设备，保持进风口阀门关闭，开启送风系统，保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，保持触媒装置的阀门关闭，保持除湿装置的阀门关闭，对输风管路、洁净室及循环管路进行消毒灭菌。
进一步的，还包括步骤S6对消毒灭菌气体进行降解；S35持续一段时间后，开启触媒装置的阀门，关闭循环管路上除湿装置并联段的阀门，关闭除湿装置的阀门，在送风系统的作用下，对输风管路、洁净室及循环管路内残存的消毒灭菌气体进行降解，直至消毒灭菌气体全部降解。
有益效果：
本发明有益效果如下：
一是，对送风系统（或空调系统）、管路、洁净室进行综合消毒灭菌，洁净室灭菌更彻底，洁净室消毒灭菌结束重新投入使用时，能够避免送风系统（或空调系统）及其管路内的细菌污染洁净室；
二是，在洁净室不停产停工的情况下，能够单独对洁净室送风系统（或空调系统），或者送风系统及输风管路单独进行消毒灭菌操作，从而延长了洁净室的消毒周期。
三是，在对洁净室进行系统消毒灭菌时，能够通过先行单独对送风系统及输风管路单独进行消毒灭菌操作，送风系统及输风管路消毒灭菌后，再对洁净室进行消毒灭绝，一方面能够缩短洁净室系统消毒停工的时间，另一方面，能够控制送风系统及输风管路的湿度和浓度，使得送风系统及输风管路消毒灭菌效果更好更彻底。
四是，通过除湿和提升消毒灭菌气体浓度的操作，可以将消毒灭菌气体浓度保持在一定范围内，使得灭菌效果更佳。
附图说明
图1为实施例1洁净室灭菌系统结构示意图；
图2为送风系统结构示意图；
图3为实施例2洁净室灭菌系统结构示意图；
图4为带有增湿设备的洁净室灭菌系统结构示意图。
具体实施方式
实施例1：如图1、2所示，一种洁净室灭菌系统，包括洁净室100、送风系统200、输风管路300，送风系统200将外界的新风通过输风管路300输入洁净室，还包括灭菌设备400和循环管路500；
送风系统包括进风口201、壳体202、过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206和循环端207，进风口201设有阀门F2011，循环端207与过滤系统203之间设有阀门F2071，过滤系统203、风机204、冷热器205设在壳体202内，输出端206和循环端207设在壳体202的两端；
输风管路300的一端通过输出端206与送风系统连接，另一端接入洁净室100；循环管路500的一端与洁净室100连接，另外一端通过循环端207接入送风系统；
当需要送风时，打开进风口201的阀门F2011，关闭循环端207与过滤系统203之间的阀门F2071，外界的空气在风机204的作用下，依次经进风口201、过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206后进入输风管路300，新风通过输风管路300送入洁净室100；
当需要循环时，关闭进风口201的阀门F2011，打开循环端207与过滤系统203之间的阀门F2071，在风机204的作用下，洁净室100内的空气经循环管路500进入循环端207，然后再依次经过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206后进入输风管路300，循环新风通过输风管路300送入洁净室100。
灭菌设备400包括输出端401、循环输入端402；
送风系统200还设有第一连接口208和第二连接口209；第一连接口208与输出端206连通，第二连接口209与循环端207连通；
输出端401通过管路接入第一连接口208，循环输入端402通过管路接入第二连接口209；
输风管路300与送风系统200之间设有阀门F301，输风管路300与洁净室100之间设有阀门F302；循环管路500与洁净室之间设有阀门F501，循环管路500与送风系统200之间设有阀门F502。
本发明灭菌设备400通过输风管路300和循环管路500循环增强浓度消毒灭菌气体的浓度，使得消毒灭菌气体能够达到足够的浓度，进而提高洁净室100消毒灭菌的效果。
进一步的，灭菌设备400内设有正反向风机；风机可以实现正反转。
当风机正向旋转时，灭菌设备400产生的消毒灭菌气体经输出端401、第一连接口208输入送风系统输出端200；当风机反向旋转时，灭菌设备400产生的消毒灭菌气体经循环输入端402、第二连接口209输入送风系统循环端209。
一方面，洁净室送风系统200因为长期实用，且承担着净化空气的任务，非常容易滋生细菌和病毒，会成为传染源从而加剧对洁净室的污染。另一方面，对洁净室100进行消毒灭菌，需要停工24小时甚至是48小时以上，严重影响企业生产。
本发明灭菌设备400内设有正反向风机，风机可以实现正反转，当风机正向旋转时，灭菌设备400产生的消毒灭菌气体经输出端401、第一连接口208输入送风系统输出端200。
当灭菌设备风机反向旋转时，并开启送风系统200，关闭阀门F301和阀门F501，以及阀门F2011，由灭菌设备与送风系统构成一个独立的循环消毒灭菌系统，灭菌设备400产生的消毒灭菌气体经循环输入端402、第二连接口209输入送风系统循环端209，灭菌设备产生的消毒灭菌气体通过管路以此经过过滤系统203、风机204、冷热器205，再经输入送风系统输出端200、第一连接口208、管路、输出端401进入灭菌设备，循环提升浓度对送风系统200进行消毒灭菌。由此，一方面实现单独对送风系统200消毒灭菌。另一方面，通过对送风系统200单独进行消毒灭菌，延长了洁净室消毒灭菌的周期。
进一步的，所述洁净室100至少为1个，输风管路300接入每个洁净室，且输风管路300与每个洁净室的连接处之间均设有阀门；循环管路500与每个洁净室连通，且循环管路500与每个洁净室的连接处均设有阀门。
进一步的，输风管路300的末端还通过阀门F303接入循环管路500。
输风管路300和循环管路500也非常容易滋生病毒和细菌，关闭阀门F302，关闭阀门F2011，开启灭菌设备200与送风系统400，并开启阀门F301、F303、F501，可实现对送风系统200、输风管路300和循环管路500进行循环消毒灭菌。通过对送风系统200、输风管路300和循环管路500进行循环消毒灭菌，延长了洁净室消毒灭菌的周期。
进一步的，还包括增湿设备800、以及与输风管路300联通的管路，增湿设备800通过管路与输风管路300相联通，管路上设有阀F801和阀F802。
臭氧、二氧化氯等灭菌法与VHP灭菌法不同，VHP在汽化过程中会带有水蒸气，可以不考虑增湿，只需要考虑除湿。而臭氧、二氧化氯等灭菌法则不然，臭氧、二氧化氯需要保持一定的湿度，消毒灭菌效果才能达到最佳。本发明通过对增湿设备800的开闭以及对阀F801和阀F802的开闭，可以对洁净室进行增湿，采用臭氧、二氧化氯灭菌法对洁净室进行消毒灭菌时，使得洁净室湿度达到一定值，能提高消毒灭菌效果。
实施例2：如图1、2、3所示，本实施例在实施例1的基础上，还包括除湿装置600、除湿输入管路601和除湿输出管路602，除湿输入管路601和除湿输出管路602分别通过阀门F6011、F6021接入循环管路500。
进一步的，还包括分解触媒装置700，分解触媒装置输入管路701和分解触媒装置输出管路702，分解触媒装置输入管路701和分解触媒装置输出管路702分别通过阀门F7011、F7021接入循环管路500。
实施例3：本发明还提出一种洁净室灭菌的方法，包括如下步骤：
S1，反向旋转灭菌设备400的风机，对送风系统200进行循环增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；具体而言，关闭送风系统进风口阀门F2011，以及输出端的阀门F301和循环端的阀门F501，开启灭菌设备400，并将灭菌设备400的风机置于反转状态；
开启送风系统200的风机204，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在送风系统风机204，和灭菌设备400的风机反向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端402、第二连接口209进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206返回灭菌设备400，然后再次进行循环；由此一方面实现对送风系统200的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200达到更好的消毒灭菌效果。
S2，对输风管路300和循环管路500进行循环增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；具体的说，关闭送风系统进风口的阀门F2011，关闭输风管路300与洁净室100之间的阀门F302，关闭循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端的阀门F301、循环端的阀门F501；
开启灭菌设备400和送风系统的风机204，将灭菌设备400的风机置于正向旋转，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在灭菌设备400的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端401、第一连接口208输入送风系统输出端206，在送风系统风机204的作用下，消毒灭菌气体依次经过输风管路300、阀303、输风管路300的末端，进入循环管路500，最后，进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206后，进入循环输入端402，再次进行循环；由此一方面实现对送风系统200、输风管路300和循环管路500的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200和输风管路300、循环管路500达到更好的消毒灭菌效果。
S3，对洁净室100进行循环消毒灭菌；关闭送风系统进风口的阀门F2011，关闭输风管路300的末端与循环管路500之间的阀门F303，打开输风管路300与洁净室100之间的阀门F302，打开循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端206的阀门F301，打开循环端207的阀门F2071；
开启灭菌设备400和送风系统的风机204，将灭菌设备的风机置于正向旋转，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在灭菌设备400的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经输出端401、第一连接口208输入送风系统输出端206，在送风系统风机204的作用下，消毒灭菌气体经过输风管路300进入洁净室100，从而对洁净室100进行消毒灭菌，在送风系统的风机204的作用下，洁净室100内的空气经进入循环管路500后，一部分经管路、循环输入端402进入灭菌设备400，另一部分进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206，进入输风管路300、洁净室100进行循环消毒灭菌，再次进行循环。
一方面，对洁净室100进行循环消毒灭菌，消毒灭菌气体能够弥散到洁净室100各个角落，消毒灭菌更彻底，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200和输风管路300、循环管路500、洁净室100达到更好的消毒灭菌效果。
进一步的，步骤S3还包括以下子步骤：
S31，对送风系统200、输风管路300、洁净室100、循环管路500进行除湿；关闭灭菌设备400、关闭进风口的阀门F2011；打开输风管路300与洁净室100之间的阀门F301，打开循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端的阀门F301、循环端的阀门F501，关闭触媒装置的阀门F701、F702，关闭循环管路500上除湿装置600并联段的阀门F503，从而阻断循环管路500，使得循环管路500内的空气经除湿装置600后，再进入循环管路500，再进入送风系统200；
打开送风系统的风机204，在风机204的作用下，洁净室100内的空气经循环管路500、除湿装置600后进入送风系统200，再通过输风管路300进入洁净室100，从而实现循环除湿；
S32，当洁净室100内湿度降低到设定值，开启灭菌设备400和送风系统200，提升洁净室100、循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，保持进风口阀门F2011关闭，开启灭菌设备400和送风系统200，保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F502开启，关闭触媒装置700的阀门F701、F702，关闭除湿装置600的阀门F6011、F6021，提升输风管路300、洁净室100及循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，步骤S32还包括增湿的步骤：
当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；同时开启增湿设备，提升洁净室湿度。
S33，当洁净室100内湿度高于设定值，对送风系统200、输风管路300、洁净室100、循环管路500进行再次除湿；
进一步的，关闭灭菌设备400，保持进风口的阀门F2011关闭，保持送风系统200开启；保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F501开启，保持触媒装置700的阀门F701、F702关闭，关闭循环管路上除湿装置600并联段的阀门F503，从而阻断循环管路500，使得循环管路500内的空气经除湿装置600后，再进入循环管路500，再进入送风系统200；打开送风系统的风机204，在风机204的作用下，洁净室100内的空气经循环管路500、除湿装置600后进入送风系统200，再通过输风管路300进入洁净室100，从而实现再次循环除湿；
S34，当洁净室100内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备400，提升洁净室100、送风管路300、循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，保持进风口阀门F2011关闭，开启灭菌设备400和送风系统200，保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F501开启，保持触媒装700置的阀门F701、F702关闭，保持除湿装置600的阀门F6011、F6021关闭，再次提升输风管路300、洁净室100及循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，步骤S34还包括增湿的步骤：当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；同时开启增湿设备，提升洁净室湿度。
S35，消毒灭菌气体浓度达到一定值（饱和值），才能实现较好的灭菌效果，无论是浓度过高还是浓度过低都会影响灭菌效果。按照步骤S33，S34的步骤循环操作，直至消毒灭菌气体浓度达到指定浓度（饱和值），关闭灭菌设备400，保持进风口阀门F2011关闭，开启送风系统200，保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F501开启，保持触媒装置700的阀门F701、F702关闭，保持除湿装置600的阀门F6011、F6021关闭，对输风管路300、洁净室100及循环管路500进行高浓度饱和值消毒灭菌气体消毒灭菌。
通过控制除湿装置600的阀门F6011、F6021开闭，在提升消毒灭菌气体浓度阶段，保持除湿装置600的阀门F6011、F6021闭合，洁净室100内的气体经循环管路500直接进入送风系统200，可以减少除湿剂对消毒灭菌气体的吸附，有助于提高消毒灭菌气体浓度，而且还可以将消毒灭菌气体浓度保持在一定范围内，使得灭菌效果更佳。
进一步的，还包括步骤S6，对消毒灭菌气体进行降解；
S35持续一段时间后，开启触媒装置700的阀门F701、F702，关闭循环管路500上除湿装置并联段的阀门F503，关闭除湿装置600的阀门F6011、F6021，在送风系统200的作用下，对输风管路300、洁净室100及循环管路500内残存的消毒灭菌气体进行降解，直至消毒灭菌气体全部降解。
实施例4：本实施例以洁净室实际使用场景为例，详细阐述整个过程。
一种洁净室灭菌系统，包括洁净室100、送风系统200、输风管路300，送风系统200将外界的新风通过输风管路300输入洁净室，还包括灭菌设备400和循环管路500；
送风系统包括进风口201、壳体202、过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206和循环端207，进风口201设有阀门F2011，循环端207与过滤系统203之间设有阀门F2071，过滤系统203、风机204、冷热器205设在壳体202内，输出端206和循环端207设在壳体202的两端；
输风管路300的一端通过输出端206与送风系统连接，另一端接入洁净室100；循环管路500的一端与洁净室100连接，另外一端通过循环端207接入送风系统；
灭菌设备400包括输出端401、循环输入端402；
送风系统200还设有第一连接口208和第二连接口209；第一连接口208与输出端206连通，第二连接口209与循环端207连通；
输出端401通过管路接入第一连接口208，循环输入端402通过管路接入第二连接口209；
输风管路300与送风系统200之间设有阀门F301，输风管路300与洁净室100之间设有阀门F302；循环管路500与洁净室之间设有阀门F501，循环管路500与送风系统200之间设有阀门F502。
灭菌设备400内设有正反向风机；风机可以实现正反转。
所述洁净室100至少为1个，例如2个、3个、4个或5个以上，输风管路300接入每个洁净室，且输风管路300与每个洁净室的连接处之间均设有阀门；循环管路500与每个洁净室连通，且循环管路500与每个洁净室的连接处均设有阀门。
输风管路300的末端还通过阀门F303接入循环管路500。
当车间正常工作时，开启风机200，开启进风口201的阀门F2011，外部空气经进风口201，进入送风系统200，依次经过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206后，进入输风管路300，然后再进入洁净室。
进一步的，送风系统200还设有细菌检测装置或定时装置，当细菌检测装置检测细菌含量达到设定值，或者定时装置检测达到预定的时间，启动送风系统200杀毒灭菌程序，执行步骤S1，反向旋转灭菌设备400的风机，对送风系统200进行循环增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；具体而言，关闭送风系统进风口阀门F2011，以及输出端的阀门F301和循环端的阀门F501，开启灭菌设备400，并将灭菌设备400的风机置于反转状态；
开启送风系统200的风机204，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在送风系统风机204，和灭菌设备400的风机反向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端402、第二连接口209进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206返回灭菌设备400，然后再次进行循环；由此一方面实现对送风系统200的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200达到更好的消毒灭菌效果。
进一步的，输风管路300还设有细菌检测装置或定时装置，当细菌检测装置检测细菌含量达到设定值，或者定时装置检测达到预定的时间，启动送风系统200以及输风管路300、循环管路500杀毒灭菌程序，执行步骤S2，对输风管路300和循环管路500进行循环增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；具体的说，关闭送风系统进风口的阀门F2011，关闭输风管路300与洁净室100之间的阀门F302，关闭循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端的阀门F301、循环端的阀门F501；
开启灭菌设备400和送风系统的风机204，将灭菌设备400的风机置于正向旋转，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在灭菌设备400的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端401、第一连接口208输入送风系统输出端206，在送风系统风机204的作用下，消毒灭菌气体依次经过输风管路300、阀303、输风管路300的末端，进入循环管路500，最后，进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206后，进入循环输入端402，再次进行循环；由此一方面实现对送风系统200、输风管路300和循环管路500的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200和输风管路300、循环管路500达到更好的消毒灭菌效果。
进一步的，还包括对送风系统200、输风管路300和循环管路500除湿的步骤。
对送风系统200、输风管路300、循环管路500进行除湿；关闭灭菌设备400、关闭进风口的阀门F2011；关闭输风管路300与洁净室100之间的阀门F301，关闭循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端的阀门F301、输风管路300末端的阀门F303、以及循环端的阀门F501，关闭触媒装置的阀门F701、F702，关闭循环管路500上除湿装置600并联段的阀门F503，从而阻断循环管路500，使得循环管路500内的空气经除湿装置600后，再进入循环管路500，再进入送风系统200；
打开送风系统的风机204，在风机204的作用下，输风管路300内的空气经循环管路500、除湿装置600后进入送风系统200，再通过输风管路300进入洁净室100，从而实现循环除湿；
当输风管路300、循环管路500内湿度降低到设定值，开启灭菌设备400和送风系统200，提升输风管路300、循环管路500内消毒灭菌气体浓度，从而实现消毒灭菌气体饱和浓度下消毒灭菌。
进一步的，洁净室内还设有细菌检测装置或定时装置，当细菌检测装置检测细菌含量达到设定值，或者定时装置检测达到预定的时间，启动如下程序：洁净室灭菌的方法，包括如下步骤：
S1，反向旋转灭菌设备400的风机，对送风系统200进行循环增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；具体而言，关闭送风系统进风口阀门F2011，以及输出端的阀门F301和循环端的阀门F501，开启灭菌设备400，并将灭菌设备400的风机置于反转状态；
开启送风系统200的风机204，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在送风系统风机204，和灭菌设备400的风机反向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端402、第二连接口209进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206返回灭菌设备400，然后再次进行循环；由此一方面实现对送风系统200的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200达到更好的消毒灭菌效果。
S2，对输风管路300和循环管路500进行循环增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；具体的说，关闭送风系统进风口的阀门F2011，关闭输风管路300与洁净室100之间的阀门F302，关闭循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端的阀门F301、循环端的阀门F501；
开启灭菌设备400和送风系统的风机204，将灭菌设备400的风机置于正向旋转，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在灭菌设备400的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端401、第一连接口208输入送风系统输出端206，在送风系统风机204的作用下，消毒灭菌气体依次经过输风管路300、阀303、输风管路300的末端，进入循环管路500，最后，进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206后，进入循环输入端402，再次进行循环；由此一方面实现对送风系统200、输风管路300和循环管路500的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200和输风管路300、循环管路500达到更好的消毒灭菌效果。
S3，启动洁净室消毒灭菌程序。人工关闭洁净室，使洁净室处于停产停工待消毒灭菌状态，确保安全。对洁净室100进行循环消毒灭菌；关闭送风系统进风口的阀门F2011，关闭输风管路300的末端与循环管路500之间的阀门F303，打开输风管路300与洁净室100之间的阀门F302，打开循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端206的阀门F301，打开循环端207的阀门F2071；
开启灭菌设备400和送风系统的风机204，将灭菌设备的风机置于正向旋转，灭菌设备400输出消毒灭菌气体，在灭菌设备400的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经输出端401、第一连接口208输入送风系统输出端206，在送风系统风机204的作用下，消毒灭菌气体经过输风管路300进入洁净室100，从而对洁净室100进行消毒灭菌，在送风系统的风机204的作用下，洁净室100内的空气经进入循环管路500后，一部分经管路、循环输入端402进入灭菌设备400，另一部分进入送风系统的循环端207，然后再依次经过过滤系统203、风机204、冷热器205、输出端206，进入输风管路300、洁净室100进行循环消毒灭菌，再次进行循环。
一方面，对洁净室100进行循环消毒灭菌，消毒灭菌气体能够弥散到洁净室100各个角落，消毒灭菌更彻底，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统200和输风管路300、循环管路500、洁净室100达到更好的消毒灭菌效果。
进一步的，步骤S3还包括以下子步骤：
S31，对送风系统200、输风管路300、洁净室100、循环管路500进行除湿；关闭灭菌设备400、关闭进风口的阀门F2011；打开输风管路300与洁净室100之间的阀门F301，打开循环管路500与洁净室100之间的阀门F502，打开输出端的阀门F301、循环端的阀门F501，关闭触媒装置的阀门F701、F702，关闭循环管路500上除湿装置600并联段的阀门F503，从而阻断循环管路500，使得循环管路500内的空气经除湿装置600后，再进入循环管路500，再进入送风系统200；
打开送风系统的风机204，在风机204的作用下，洁净室100内的空气经循环管路500、除湿装置600后进入送风系统200，再通过输风管路300进入洁净室100，从而实现循环除湿；
S32，当洁净室100内湿度降低到设定值，开启灭菌设备400和送风系统200，提升洁净室100、循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，保持进风口阀门F2011关闭，开启灭菌设备400和送风系统200，保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F502开启，关闭触媒装置700的阀门F701、F702，关闭除湿装置600的阀门F6011、F6021，提升输风管路300、洁净室100及循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
S33，当洁净室100内湿度高于设定值，对送风系统200、输风管路300、洁净室100、循环管路500进行再次除湿；
进一步的，关闭灭菌设备400，保持进风口的阀门F2011关闭，保持送风系统200开启；保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F501开启，保持触媒装置700的阀门F701、F702关闭，关闭循环管路上除湿装置600并联段的阀门F503，从而阻断循环管路500，使得循环管路500内的空气经除湿装置600后，再进入循环管路500，再进入送风系统200；打开送风系统的风机204，在风机204的作用下，洁净室100内的空气经循环管路500、除湿装置600后进入送风系统200，再通过输风管路300进入洁净室100，从而实现再次循环除湿；
S34，当洁净室100内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备400，提升洁净室100、送风管路300、循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
进一步的，保持进风口阀门F2011关闭，开启灭菌设备400和送风系统200，保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F501开启，保持触媒装700置的阀门F701、F702关闭，保持除湿装置600的阀门F6011、F6021关闭，再次提升输风管路300、洁净室100及循环管路500内消毒灭菌气体浓度；
S35，消毒灭菌气体浓度达到一定值（饱和值），才能实现较好的灭菌效果，无论是浓度过高还是浓度过低都会影响灭菌效果。按照步骤S33，S34的步骤循环操作，直至消毒灭菌气体浓度达到指定浓度（饱和值），关闭灭菌设备400，保持进风口阀门F2011关闭，开启送风系统200，保持输风管路300与洁净室100之间的阀门F302开启，保持循环管路500与洁净室100之间的阀门F502开启，保持输出端的阀门F301、循环端的阀门F501开启，保持触媒装置700的阀门F701、F702关闭，保持除湿装置600的阀门F6011、F6021关闭，对输风管路300、洁净室100及循环管路500进行高浓度饱和值消毒灭菌气体消毒灭菌。
通过控制除湿装置600的阀门F6011、F6021开闭，在提升消毒灭菌气体浓度阶段，保持除湿装置600的阀门F6011、F6021闭合，洁净室100内的气体经循环管路500直接进入送风系统200，可以减少除湿剂对消毒灭菌气体的吸附，有助于提高消毒灭菌气体浓度，而且还可以将消毒灭菌气体浓度保持在一定范围内，使得灭菌效果更佳。
进一步的，还包括步骤S6，对消毒灭菌气体进行降解；
S35持续一段时间后，开启触媒装置700的阀门F701、F702，关闭循环管路500上除湿装置并联段的阀门F503，关闭除湿装置600的阀门F6011、F6021，在送风系统200的作用下，对输风管路300、洁净室100及循环管路500内残存的消毒灭菌气体进行降解，直至消毒灭菌气体全部降解。

Claims (7)

1.一种洁净室灭菌系统，包括洁净室、送风系统、输风管路，送风系统将外界的新风通过输风管路输入洁净室，其特征在于：还包括灭菌设备和循环管路；
送风系统包括进风口、壳体、过滤系统、风机、冷热器、输出端和循环端，进风口设有阀门，循环端与过滤系统之间设有阀门，过滤系统、风机、冷热器设在壳体内，输出端和循环端设在壳体的两端；
当需要送风时，打开进风口的阀门，关闭循环端与过滤系统之间的阀门，外界的空气在风机的作用下，依次经进风口、过滤系统、风机、冷热器、输出端后进入输风管路，新风通过输风管路送入洁净室；
当需要循环时，关闭进风口的阀门，打开循环端与过滤系统之间的阀门，在风机的作用下，洁净室内的空气经循环管路进入循环端，然后再依次经过滤系统、风机、冷热器、输出端后进入输风管路，循环新风通过输风管路送入洁净室；
输风管路的一端接入送风系统的输出端，另一端接入洁净室，循环管路的一端接入洁净室，另一端接入送风系统的循环端；
灭菌设备包括输出端、循环输入端；
送风系统还设有第一连接口和第二连接口；第一连接口与输出端连通，第二连接口与循环端连通；
输出端通过管路接入第一连接口，循环输入端通过管路接入第二连接口；
输风管路与送风系统之间设有阀门，输风管路与洁净室之间设有阀门；循环管路与洁净室之间设有阀门，与送风系统之间设有阀门，输风管路的末端还通过阀门接入循环管路；
灭菌设备内设有正反向风机；
当风机正向旋转时，灭菌设备产生的消毒灭菌气体经输出端、第一连接口输入送风系统输出端；当风机反向旋转时，灭菌设备产生的消毒灭菌气体经循环输入端、第二连接口输入送风系统循环端；
所述洁净室至少为1个，输风管路接入每个洁净室，且输风管路与每个洁净室的连接处之间均设有阀门；循环管路与每个洁净室连通，且循环管路与每个洁净室的连接处均设有阀门；
输风管路还设有细菌检测装置或定时装置，当细菌检测装置检测细菌含量达到设定值，或者定时装置检测到达预定的时间，启动对送风系统、输风管路、循环管路进行灭菌的方法；
对送风系统、输风管路、循环管路进行灭菌的方法包括如下步骤：关闭送风系统进风口的阀门，关闭输风管路与洁净室之间的阀门，关闭循环管路与洁净室之间的阀门，打开输出端的阀门、循环端的阀门；
开启灭菌设备和送风系统的风机，将灭菌设备的风机置于正向旋转，灭菌设备输出消毒灭菌气体，在灭菌设备的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经输出端、第一连接口输入送风系统输出端，在送风系统风机的作用下，消毒灭菌气体依次经过输风管路、输风管路的末端，进入循环管路，最后，进入送风系统的循环端，然后再依次经过过滤系统、风机、冷热器、输出端再次进行循环；由此一方面实现对送风系统、输风管路和循环管路的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统、输风管路和循环管路达到更好的消毒灭菌效果。
2.根据权利要求1所述的洁净室灭菌系统，其特征在于：还包括除湿装置、除湿输入管路和除湿输出管路，除湿输入管路和除湿输出管路分别通过阀门接入循环管路。
3.根据权利要求1所述的洁净室灭菌系统，其特征在于：还包括分解触媒装置，分解触媒装置输入管路和分解触媒装置输出管路，分解触媒装置输入管路和分解触媒装置输出管路分别通过阀门接入循环管路。
4.一种洁净室灭菌的方法，其特征在于包括如下步骤：
S1，反向旋转灭菌设备的风机，对送风系统进行循环，增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；关闭送风系统进风口、输出端和循环端的阀门，开启灭菌设备，并将灭菌设备的风机置于反转状态；
开启送风系统的风机，灭菌设备输出消毒灭菌气体，在送风系统风机，和灭菌设备的风机反向旋转的作用下，消毒灭菌气体经循环输入端、第二连接口进入送风系统的循环端，然后再依次经过过滤系统、风机、冷热器、输出端返回灭菌设备，然后再次进行循环；
由此一方面实现对送风系统的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统达到更好的消毒灭菌效果；
S2，输风管路还设有细菌检测装置或定时装置，当细菌检测装置检测细菌含量达到设定值，或者定时装置检测到达预定的时间，启动对输风管路和循环管路进行循环，增加消毒灭菌气体浓度消毒灭菌；关闭送风系统进风口的阀门，关闭输风管路与洁净室之间的阀门，关闭循环管路与洁净室之间的阀门，打开输出端的阀门、循环端的阀门；
开启灭菌设备和送风系统的风机，将灭菌设备的风机置于正向旋转，灭菌设备输出消毒灭菌气体，在灭菌设备的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经输出端、第一连接口输入送风系统输出端，在送风系统风机的作用下，消毒灭菌气体依次经过输风管路、输风管路的末端，进入循环管路，最后，进入送风系统的循环端，然后再依次经过过滤系统、风机、冷热器、输出端再次进行循环；
由此一方面实现对送风系统、输风管路和循环管路的消毒灭菌，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统和输风管路、循环管路达到更好的消毒灭菌效果。
S3，对洁净室进行循环消毒灭菌；关闭送风系统进风口的阀门，关闭输风管路的末端与循环管路之间的阀门，打开输风管路与洁净室之间的阀门，打开循环管路与洁净室之间的阀门，打开输出端的阀门、循环端的阀门；
开启灭菌设备和送风系统的风机，将灭菌设备的风机置于正向旋转，灭菌设备输出消毒灭菌气体，在灭菌设备的风机正向旋转的作用下，消毒灭菌气体经输出端、第一连接口输入送风系统输出端，在送风系统风机的作用下，消毒灭菌气体经过输风管路进入洁净室，从而对洁净室进行消毒灭菌，在送风系统的风机的作用下，洁净室内的空气经进入循环管路后，一部分经管路、循环输入端进入灭菌设备，另一部分进入送风系统的循环端、然后再依次经过过滤系统、风机、冷热器、输出端，进入输风管路、洁净室进行消毒灭菌，再次进行循环；
一方面，对洁净室进行循环消毒灭菌，消毒灭菌气体能够弥散到洁净室各个角落，消毒灭菌更彻底，另一方面，不断提高消毒灭菌气体浓度，从而对送风系统和输风管路、循环管路、洁净室达到更好的消毒灭菌效果。
5.根据权利要求4所述的洁净室灭菌的方法，其特征在于：步骤S3还包括以下子步骤：
S31，对送风系统、输风管路、洁净室、循环管路进行除湿；
关闭灭菌设备、关闭进风口的阀门；打开输风管路与洁净室之间的阀门，打开循环管路与洁净室之间的阀门，打开输出端的阀门、循环端的阀门，关闭触媒装置的阀门，关闭循环管路上除湿装置并联段的阀门，从而阻断循环管路，使得循环管路内的空气经除湿装置后，再进入循环管路；
打开送风系统的风机，在风机的作用下，洁净室内的空气经循环管路、除湿装置后进入送风系统，再通过输风管路进入洁净室，从而实现循环除湿；
S32，当洁净室内湿度降低到设定值，开启灭菌设备和送风系统，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；
保持进风口阀门关闭，开启灭菌设备和送风系统，保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，关闭触媒装置的阀门，关闭除湿装置的阀门，提升输风管路、洁净室及循环管路内过氧化氢浓度；
S33，当洁净室内湿度高于设定值，对送风系统、输风管路、洁净室、循环管路进行再次除湿；关闭灭菌设备，保持进风口的阀门关闭，保持送风系统开启；保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，保持触媒装置的阀门关闭，关闭循环管路上除湿装置并联段的阀门，从而阻断循环管路，使得循环管路内的空气经除湿装置后，再进入循环管路；打开送风系统的风机，在风机的作用下，洁净室内的空气经循环管路、除湿装置后进入送风系统，再通过输风管路进入洁净室，从而实现再次循环除湿；
S34，当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；保持进风口阀门关闭，开启灭菌设备和送风系统，保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，保持触媒装置的阀门关闭，保持除湿装置的阀门关闭，再次提升输风管路、洁净室及循环管路内消毒灭菌气体浓度；
S35，按照步骤S33，S34的步骤循环操作，直至消毒灭菌气体浓度达到指定浓度，关闭灭菌设备，保持进风口阀门关闭，开启送风系统，保持输风管路与洁净室之间的阀门开启，保持循环管路与洁净室之间的阀门开启，保持输出端的阀门、循环端的阀门开启，保持触媒装置的阀门关闭，保持除湿装置的阀门关闭，对输风管路、洁净室及循环管路进行消毒灭菌。
6.根据权利要求5所述的洁净室灭菌的方法，其特征在于：还包括步骤S6对消毒灭菌气体进行降解；S35持续一段时间后，开启触媒装置的阀门，关闭循环管路上除湿装置并联段的阀门，关闭除湿装置的阀门，在送风系统的作用下，对输风管路、洁净室及循环管路内残存的消毒灭菌气体进行降解，直至消毒灭菌气体全部降解。
7.根据权利要求5所述的洁净室灭菌的方法，其特征在于：
步骤S32还包括增湿的步骤：当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；同时开启增湿设备，提升洁净室湿度；
步骤S34还包括增湿的步骤：当洁净室内湿度降低到设定值，再次开启灭菌设备，提升洁净室、循环管路内消毒灭菌气体浓度；同时开启增湿设备，提升洁净室湿度。
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