CN113671792A - 一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物 - Google Patents

一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物 Download PDF

Info

Publication number
CN113671792A
CN113671792A CN202110950761.3A CN202110950761A CN113671792A CN 113671792 A CN113671792 A CN 113671792A CN 202110950761 A CN202110950761 A CN 202110950761A CN 113671792 A CN113671792 A CN 113671792A
Authority
CN
China
Prior art keywords
dry film
water
acrylate
diisocyanate
polyurethane acrylate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110950761.3A
Other languages
English (en)
Inventor
刘罡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangxi Huimeixing Technology Co ltd
Original Assignee
Jiangxi Huimeixing Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangxi Huimeixing Technology Co ltd filed Critical Jiangxi Huimeixing Technology Co ltd
Priority to CN202110950761.3A priority Critical patent/CN113671792A/zh
Publication of CN113671792A publication Critical patent/CN113671792A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/308—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising acrylic (co)polymers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/32—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/40—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyurethanes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B33/00—Layered products characterised by particular properties or particular surface features, e.g. particular surface coatings; Layered products designed for particular purposes not covered by another single class
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/08—Processes
    • C08G18/10—Prepolymer processes involving reaction of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen in a first reaction step
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/30—Low-molecular-weight compounds
    • C08G18/32—Polyhydroxy compounds; Polyamines; Hydroxyamines
    • C08G18/3203—Polyhydroxy compounds
    • C08G18/3206—Polyhydroxy compounds aliphatic
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/40—High-molecular-weight compounds
    • C08G18/48—Polyethers
    • C08G18/4825—Polyethers containing two hydroxy groups
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
    • C08G18/28—Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen characterised by the compounds used containing active hydrogen
    • C08G18/67—Unsaturated compounds having active hydrogen
    • C08G18/671—Unsaturated compounds having only one group containing active hydrogen
    • C08G18/672—Esters of acrylic or alkyl acrylic acid having only one group containing active hydrogen

Abstract

本发明制备了一种用于感光干膜的水性树脂组合物，该水性树脂组合物含（1）水性树脂、（2）光敏剂、（3）其它助剂等原料。本发明的水性树脂是指紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯。该水性树脂由以下步骤合成：首先采用二异氰酸酯和二元醇，合成聚氨酯的预聚体；然后加入羟基丙烯酸，反应一段时间后加入三级胺，得水性聚氨酯丙烯酸酯预聚体；加入去离子水，形成乳液；最后，分离出溶剂，得到紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯。合成过程绿色环保，刺激性气味小。采用该水性聚氨酯丙烯酸酯为原料的感光干膜具有优异的附着力、分辨率和良好的线路尺寸稳定性，且兼顾感光干膜膜层的硬度和柔韧性，这使得其在微电子线路元器件上具有广阔的应用前景。

Description

一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物
技术领域
本发明涉及一种感光树脂组合物及采用它的感光干膜，尤其涉及一种解析度及附着力好，兼顾硬度和柔韧性，同时具有水溶性的感光树脂组合物及采用它的感光干膜。
背景技术
感光树脂具有固化时间短，生产效率高，可室温固化，所需生产装置简单等优点。因而采用紫外光固化树脂为原材料的感光干膜在电子工业中应用极广。目前感光干膜中常用的溶剂型光固化树脂主要采用的是油性体系，生产过程中会或多或少的加入非反应性的有机挥发组份，残留有机挥发组份会影响干膜的长期稳定性，且残留物聚有生物毒性，危害环境及人体。
普通水性树脂绿色环保，VOC低、燃烧难，对人体无影响，可直接采用水来调节体系粘度，但普通水性树脂在性能上仍难以与溶剂型树脂相媲美。比如：树脂固化后膜层表面缺陷，膜层的硬度和柔韧性难以兼顾，感光干膜的解析度不高等问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种感光干膜的水性感光树脂及其组合物，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种可用于感光干膜的水性树脂组合物，该水性树脂组合物主要含（1）水溶性树脂、（2）光敏剂、（3）其它助剂等原材料。
一种可用于感光干膜的水性树脂组合物，水溶性树脂为水性聚氨酯丙烯酸酯，其制备过程如下：
S1，称取二异氰酸酯和二元醇加入低沸点有机溶剂中，于60~80 ℃搅拌反应2~3小时，合成聚氨酯的预聚体；
S2，将羟基丙烯酸酯加入到上述聚氨酯预聚体中，在70~80 ℃搅拌反应2~3小时，羟基丙烯酸酯中的羟基与聚氨酯预聚体中的异氰酸酯基发生反应；
S3，在35~55 ℃温度下，在上述溶液中加入三级胺，反应0.5~1小时后，得聚氨酯丙烯酸酯预聚体，加入去离子水，高速分散1~2小时，得到可紫外光固化的水性聚氨酯丙烯酸酯乳液；
S4，分离出低沸点有机溶剂，得到紫外光固化的水性聚氨酯丙烯酸酯。
作为本发明的进一步的方案：所述二异氰酸酯包含异佛尔酮二异氰酸酯（IPDI）、二环己基甲烷二异氰酸酯（HMDI）、二苯基甲烷二异氰酸酯（MDI）、甲苯二异氰酸酯（TDI）中的一种或多种。
作为本发明的进一步的方案：所述二元醇包含分子量为1000~3000的聚醚二元醇、分子量为1000~2000聚酯二元醇、分子量为1500~4000聚碳酸酯二元醇、分子量为500~1500的聚丙二醇及短链二元醇如：乙二醇、一缩二乙二醇、1,4-丁二醇、1,6己二醇、新戊二醇、2-甲基丙二醇中的一种或多种。
作为本发明的进一步的方案：所述低沸点有机溶剂包含丙酮、2-丁酮、甲基叔丁基醚、四氢呋喃中的一种或多种。
作为本发明的进一步的方案：所述羟基丙烯酸酯包含：4-羟基丁基丙烯酸酯、2-羟基乙基丙烯酸酯、甲基丙烯酸-2羟基丙酯中的至少一种。
作为本发明的进一步的方案：所述三级胺包括三甲胺、三乙胺、三丙胺、三正丁胺、三乙醇胺及异丙基二乙胺中的一种或多种。
作为本发明的进一步的方案：所述光敏剂包括：二苯甲酮、四羟基蒽酮、2，4，5- 三芳基咪唑二聚体、2,5-二羟苯基氧化磷、四乙基米氏酮的一种或多种。
作为本发明的进一步的方案：所述其它助剂包括：有机溶剂、消泡剂、还可以加入染料、抗氧化剂、热聚合抑制剂、增塑剂和阻燃剂等。其中有机溶剂指丙酮、四氢呋喃、二价酸酯（DBE）中的至少一种。
作为本发明的进一步的方案：
本专利感光干膜的制备包含以下步骤：
A1，将水溶性聚氨酯丙烯酸酯、光敏剂、消泡剂及染料加入溶剂中，于20℃~30℃下高速搅拌，搅拌均匀后，过滤静置，得分散均匀感光浆料；
A2，将A1所得浆料转移涂布于PET离型膜上，70~80 ℃烘干，曝光，形成干膜抗蚀剂膜层；
A3，在A2所得的干膜抗蚀剂膜层表面贴合PE膜，经分切、热封、收卷，得成品感光干膜。
作为本发明的进一步的方案：
本发明的感光干膜相关性能测试如下
附着力测试
附着力测试采用RP-4 测试图形(L/S= n/400)。
硬度测试
硬度实验依据 GB／T1730-1993进行，涂膜摆杆采用摆杆硬度测试仪测定。
柔韧性测试
贴膜、曝光、显影后，将感光干膜从不同角度对折20次，观察干膜开裂情况，统计开裂次数，感光干膜柔韧性优劣与开裂次数关系如下。
优：对折后干膜开裂0-1次；良：对折后干膜开裂2-5次；差：对折后干膜开裂5次以上。
解析度评价
以曝光强度 10 mJ/cm2对自制的感光干膜进行激光曝光以图案化，随后对干膜进行显影，并评价残留的粘着/分辨率 (线和空间) 图案的最小尺寸。使用奥宝科技公司提供的测试图案进行解析度评价(线和空间)。
分辨率等级分为″C1″、″C2″及″C3″三个等级，其中″C1″级标准是能够再现小于50μm的细线评价，″C2″级标准是能够再现50 μm至100 μm之间的细线，和″C3″级标准代表不能再现100 μm以上的细线。
本专利中的紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯几乎完美地结合了紫外光固化树脂和水性树脂的各自优点，如：可直接用水代替活性单体，降低成本的同时还可降低VOC排放，消除刺激性气味，避免活性单体所引起的固化膜层体积收缩，难以燃烧，安全环保，膜层在光固化前可指触，也可重涂，可很好的防止膜层表面缺陷，可以很好的协调硬度和柔韧性之间的矛盾，固化后的膜层具有优秀的附着力及解析度等相关性能。
具体实施案例
具体实施案例1
紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯的合成
本发明中，紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯由实验室自制。
本发明按照摩尔比1:0.6称取甲苯二异氰酸酯（TDI）和聚氧化丙烯二醇，加入一定量的丙酮中，于70 ℃下，采用机械搅拌，转速3000 rpm，反应2小时，合成聚氨酯的预聚体。
将4-羟基丁基丙烯酸酯与上述聚氨酯预聚体，按摩尔比1:1.2的配比配料，在75℃下，机械搅拌2.5小时，转速3000 rpm，使4-羟基丁基丙烯酸酯中的羟基与聚氨酯预聚体中的异氰酸酯基发生反应。
在40 ℃温度下，在上述溶液中加入三丙胺，三丙胺与4-羟基丁基丙烯酸酯及聚氨酯预聚体的摩尔比为1:1:1.2，反应1小时，得水性聚氨酯丙烯酸酯预聚体。
加入适量去离子水，高速搅拌，转速为4000 rpm，搅拌1.5小时，得到分散均匀的紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯乳液。
分离出丙酮，得到紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯。
感光干膜的制备
将重量份96份紫外光固化水溶性聚氨酯丙烯酸酯、1份二苯甲酮、3份助剂（阻聚剂、消泡剂及染料等）加入丙酮中，于30℃下高速搅拌（转速3500 rpm）2小时，过滤静置，得分散均匀感光浆料；
将所得感光浆料转移涂布于PET离型膜上，75℃烘干，形成干膜抗蚀剂膜层；
在所得的干膜抗蚀剂膜层表面贴合PE膜，经分切、热封、收卷，得成品感光干膜。
感光干膜性能测试
感光干膜性能测试结果如下：
采用本案例的制备方法和工艺，最终制成的干膜命名为1#干膜。
上述1#干膜，其分辨率等级为″C1″级、附着力为20 μm、柔韧性为优，硬度达0.168，线路尺寸稳定性良好。
具体实施案例2
紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯树脂的合成
本发明中，紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯由实验室自制。
本发明按照摩尔比1:0.7称取异佛尔酮二异氰酸酯（IPDI）和聚丙二醇，加入一定量的甲基叔丁基醚中，于75℃下，采用机械搅拌，转速3000 rpm，反应2小时，合成聚氨酯的预聚体。
将2-羟基乙基丙烯酸酯与上述聚氨酯预聚体，按摩尔比1:1.2的配比配料，在80℃下，机械搅拌2小时，转速3500 rpm，使2-羟基乙基丙烯酸酯中的羟基与聚氨酯预聚体中的异氰酸酯基发生反应。
在50℃温度下，在上述溶液中加入三乙胺，三乙胺与2-羟基乙基丙烯酸酯及聚氨酯预聚体的摩尔比为1:1:1.2，反应0.5小时，得水性聚氨酯丙烯酸酯预聚体。
加入适量去离子水，高速搅拌，转速为4000 rpm，搅拌1.5小时，得到分散均匀的紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯乳液。
分离出甲基叔丁基醚，得到紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯。
感光干膜的制备
将重量份95份水溶性聚氨酯丙烯酸酯、1份2,5-二羟苯基氧化磷、4份助剂（阻聚剂、消泡剂及染料等）加入丙酮中，于30℃下高速搅拌（转速3500 rpm）2小时，过滤静置，得分散均匀感光浆料；
将所得感光浆料转移涂布于PET离型膜上，80℃烘干，形成干膜抗蚀剂膜层；
在所得的干膜抗蚀剂膜层表面贴合PE膜，经分切、热封、收卷，得成品感光干膜。
感光干膜性能测试
感光干膜性能测试结果如下：
采用本案例的制备方法和工艺，最终制成的干膜命名为2#干膜。
上述2#干膜，其解析度等级为″C1″级、附着力为20 μm、柔韧性为优，硬度达0.152，线路尺寸稳定性良好。
具体实施案例3
紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯树脂的合成
本发明中，紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯由实验室自制。
本发明按照摩尔比1:0.6称取二环己基甲烷二异氰酸酯（HMDI）和乙二醇，加入一定量的四氢呋喃中，于75℃下，采用机械搅拌，转速3000 rpm，反应2小时，合成聚氨酯的预聚体。
将甲基丙烯酸-2羟基丙酯与上述聚氨酯预聚体，按摩尔比1:1.2的配比配料，在75℃下，机械搅拌2小时，转速4000 rpm，使甲基丙烯酸-2羟基丙酯中的羟基与聚氨酯预聚体中的异氰酸酯基发生反应。
在45℃温度下，在上述溶液中加入三乙醇胺，三乙醇胺与甲基丙烯酸-2羟基丙酯及聚氨酯预聚体的摩尔比为1:1:1.2，反应1小时，得水性聚氨酯丙烯酸酯预聚体。
加入适量去离子水，高速搅拌，转速为4000 rpm，搅拌1.5小时，得到分散均匀的紫外光光固化水性聚氨酯丙烯酸酯乳液。
分离出四氢呋喃，得到紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯。
感光干膜的制备
将重量份94份水溶性聚氨酯丙烯酸酯、1份四羟基蒽酮、5份助剂（阻聚剂、消泡剂及染料等）加入丙酮中，于25℃下高速搅拌（转速3000 rpm）2小时，过滤静置，得分散均匀感光浆料；
将所得感光浆料转移涂布于PET离型膜上，75 ℃烘干，形成干膜抗蚀剂膜层；
在所得的干膜抗蚀剂膜层表面贴合PE膜，经分切、热封、收卷，得成品感光干膜。
感光干膜性能测试
感光干膜性能测试结果如下：
采用本案例的制备方法和工艺，最终制成的干膜命名为3#干膜。
上述3#干膜，其解析度等级为″C1″级、附着力为25 μm、柔韧性为良好，硬度达0.105，线路尺寸稳定性良好。
具体实施案例4
紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯树脂的合成
本发明中，紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯由实验室自制。
本发明按照摩尔比1:0.8称取二苯基甲烷二异氰酸酯（MDI）和1,4-丁二醇，加入一定量的丙酮中，于70℃下，采用机械搅拌，转速3500 rpm，反应2小时，合成聚氨酯的预聚体。
将4-羟基丁基丙烯酸酯与上述聚氨酯预聚体，按摩尔比1:1.2的配比配料，在75℃下，机械搅拌2小时，转速4000 rpm，使4-羟基丁基丙烯酸酯中的羟基与聚氨酯预聚体中的异氰酸酯基发生反应。
在45 ℃温度下，在上述溶液中加入三正丁胺，三正丁胺与4-羟基丁基丙烯酸酯及聚氨酯预聚体的摩尔比为1:1:1.2，反应1小时，得紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯预聚体。
加入适量去离子水，高速搅拌，转速为4000 rpm，搅拌1.5小时，得到分散均匀的紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯乳液。
分离出丙酮，得到紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯。
感光干膜的制备
将重量份95份紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯、1份四乙基米氏酮、4份助剂（阻聚剂、消泡剂及染料等）加入DBE中，于25℃下高速搅拌（转速3000 rpm）2小时，过滤静置，得分散均匀感光浆料；
将所得感光浆料转移涂布于PET离型膜上，75 ℃烘干，形成干膜抗蚀剂膜层；
在所得的干膜抗蚀剂膜层表面贴合PE膜，经分切、热封、收卷，得成品感光干膜。
感光干膜性能测试
感光干膜性能测试结果如下：
采用本案例的制备方法和工艺，最终制成的干膜命名为4#干膜。
上述4#干膜，其解析度等级为″C1″级、附着力为25μm、柔韧性为良好，硬度达0.111，线路尺寸稳定性良好。
具体实施案例5
紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯树脂的合成
本发明中，紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯由实验室自制。
本发明按照摩尔比1:0.6称取异佛尔酮二异氰酸酯（HMDI）和乙二醇，加入一定量的甲基叔丁基醚中，于75 ℃下，采用机械搅拌，转速3000 rpm，反应2小时，合成聚氨酯的预聚体。
将2-羟基乙基丙烯酸酯与上述聚氨酯预聚体，按摩尔比1:1.2的配比配料，在75℃下，机械搅拌2小时，转速4000 rpm，使2-羟基乙基丙烯酸酯中的羟基与聚氨酯预聚体中的异氰酸酯基发生反应。
在45 ℃温度下，在上述溶液中加入三乙醇胺，三乙醇胺与2-羟基乙基丙烯酸酯及聚氨酯预聚体的摩尔比为1:1:1.2，反应1小时，得紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯预聚体。
加入适量去离子水，高速搅拌，转速为4000 rpm，搅拌1.5小时，得到分散均匀的紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯乳液。
分离出甲基叔丁基醚，得到紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯。
感光干膜的制备
将重量份96份水溶性聚氨酯丙烯酸酯、1份2，4，5- 三芳基咪唑二聚体、3份助剂（阻聚剂、消泡剂及染料等）加入丙酮中，于25℃下高速搅拌（转速3000 rpm）2小时，过滤静置，得分散均匀感光浆料；
将所得感光浆料转移涂布于PET离型膜上，75 ℃烘干，形成干膜抗蚀剂膜层；
在所得的干膜抗蚀剂膜层表面贴合PE膜，经分切、热封、收卷，得成品感光干膜。
感光干膜性能测试
感光干膜性能测试结果如下：
采用本案例的制备方法和工艺，最终制成的干膜命名为5#干膜。
上述5#干膜，其解析度等级为″C1″级、附着力为20 μm、柔韧性为优，硬度达0.155，线路尺寸稳定性良好。
需要申明的是，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。上述实施例看作是示范性的，本发明并非局限于上述实施例和实施方法。

Claims (10)

1.一种可用于感光干膜的水性树脂组合物，该水性树脂组合物主要含（1）水溶性树脂、（2）光敏剂、（3）其它助剂等原料。
2.如权利要求1所述的水溶性树脂，其特征在于该（1）水溶性树脂是指紫外光固化水性聚氨酯丙烯酸酯，其制备包含以下步骤：
S1，称取二异氰酸酯和二元醇加入低沸点有机溶剂中，于60~80 ℃搅拌反应2~3小时，合成聚氨酯的预聚体；
S2，将羟基丙烯酸酯加入到上述聚氨酯预聚体中，在70~80 ℃搅拌反应2~3小时，羟基丙烯酸酯中的羟基与聚氨酯预聚体中的异氰酸酯基发生反应；
S3，在35~55 ℃温度下，在上述溶液中加入三级胺，反应0.5~1小时后，得聚氨酯丙烯酸酯预聚体，加入去离子水，高速分散，得到可紫外光固化的水性聚氨酯丙烯酸酯乳液；
S4，分离出低沸点有机溶剂，得到可紫外光固化的水性聚氨酯丙烯酸酯。
3.如权利要求2所述的二异氰酸酯，其特征在于该二异氰酸酯包含：异佛尔酮二异氰酸酯（IPDI）、二环己基甲烷二异氰酸酯（HMDI）、二苯基甲烷二异氰酸酯（MDI）、甲苯二异氰酸酯（TDI）中的一种或多种。
4.如权利要求2所述的二元醇，其特征在于该二元醇包含：分子量为1000~3000的聚醚二元醇、分子量为1000~2000的聚酯二元醇、分子量为1500~4000的聚碳酸酯二元醇、分子量为500~1500的聚丙二醇及短链二元醇，如：乙二醇、一缩二乙二醇、1,4-丁二醇、1,6己二醇、新戊二醇、2-甲基丙二醇中的一种或多种。
5.如权利要求2所述的低沸点有机溶剂，其特征在于该低沸点有机溶剂包含：丙酮、2-丁酮、甲基叔丁基醚、四氢呋喃中的一种或多种。
6.如权利要求2所述的羟基丙烯酸酯，其特征在于该羟基丙烯酸酯包含：4-羟基丁基丙烯酸酯、2-羟基乙基丙烯酸酯、甲基丙烯酸-2羟基丙酯中的至少一种。
7.如权利要求2所述的三级胺，其特征在于该三级胺包括：三甲胺、三乙胺、三丙胺、三正丁胺、三乙醇胺及异丙基二乙胺中的一种或多种。
8. 如权利要求1所述的光敏剂，其特征在于该光敏剂包括：二苯甲酮、四羟基蒽酮、2，4，5- 三芳基咪唑二聚体、2,5-二羟苯基氧化磷、四乙基米氏酮的一种或多种。
9.如权利要求1所述的其它助剂，其特征在于其它助剂包括：有机溶剂、消泡剂、还可以加入染料、抗氧化剂、热聚合抑制剂、增塑剂和阻燃剂等，其中有机溶剂指丙酮、四氢呋喃、二价酸酯（DBE）中的至少一种。
10.如权利要求1所述的感光干膜的制备方法，其特征在于，其制备过程包含以下步骤：
A1，将水溶性聚氨酯丙烯酸酯、光敏剂、消泡剂及染料加入溶剂中，于20~30℃下高速搅拌，搅拌均匀后，过滤静置，得分散均匀感光浆料；
A2，将A1所得浆料转移涂布于PET离型膜上，70~80 ℃烘干，形成干膜抗蚀剂膜层；
A3，在A2所得的干膜抗蚀剂膜层表面贴合PE膜，经分切、热封、收卷，得成品感光干膜。
CN202110950761.3A 2021-08-18 2021-08-18 一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物 Pending CN113671792A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110950761.3A CN113671792A (zh) 2021-08-18 2021-08-18 一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110950761.3A CN113671792A (zh) 2021-08-18 2021-08-18 一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113671792A true CN113671792A (zh) 2021-11-19

Family

ID=78543729

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110950761.3A Pending CN113671792A (zh) 2021-08-18 2021-08-18 一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113671792A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1220415A (zh) * 1997-10-14 1999-06-23 东京応化工业株式会社 用于砂磨的光敏组合物以及含该组合物的光敏膜
CN101235148A (zh) * 2007-12-29 2008-08-06 华南理工大学 多重交联紫外光固化水性聚氨酯分散体及其制备方法与应用
CN101294046A (zh) * 2008-06-19 2008-10-29 同济大学 一种紫外光固化聚氨酯水性涂料及其制备方法
CN103214653A (zh) * 2013-04-25 2013-07-24 广东工业大学 一种紫外光固化水性聚氨酯面涂树脂及其制备方法和应用
CN103881365A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 江南大学 一种紫外光固化铝溶胶改性水性聚氨酯丙烯酸酯分散体的制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1220415A (zh) * 1997-10-14 1999-06-23 东京応化工业株式会社 用于砂磨的光敏组合物以及含该组合物的光敏膜
CN101235148A (zh) * 2007-12-29 2008-08-06 华南理工大学 多重交联紫外光固化水性聚氨酯分散体及其制备方法与应用
CN101294046A (zh) * 2008-06-19 2008-10-29 同济大学 一种紫外光固化聚氨酯水性涂料及其制备方法
CN103881365A (zh) * 2012-12-20 2014-06-25 江南大学 一种紫外光固化铝溶胶改性水性聚氨酯丙烯酸酯分散体的制备方法
CN103214653A (zh) * 2013-04-25 2013-07-24 广东工业大学 一种紫外光固化水性聚氨酯面涂树脂及其制备方法和应用

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106866929A (zh) 一种多官能度蓖麻油基光固化树脂及其制备方法和应用
CN103688221B (zh) 感光性树脂组合物、固化物和间隔物
KR100725432B1 (ko) 감광성 수지 조성물 및 그 경화물
GB1583413A (en) Curable coating compositions based on olefinically unsaturated compounds containing urethane groups
CN111925504B (zh) 蓖麻油基聚氨酯丙烯酸树脂及该树脂配制的甲油胶
JPS60250023A (ja) 活性エネルギ−線硬化性樹脂組成物
DE10392612T5 (de) Lichtempfindliches Harz, Harzzusammensetzung und gehärtetes Produkt daraus
CN102459392A (zh) 反应性氨基甲酸酯化合物、包含该化合物的活性能量射线固化型树脂组合物及其用途
JPS6156247B2 (zh)
JPS60195538A (ja) 写真積層品用放射線硬化性コ−ティング
CN115433341B (zh) 一种亲水性聚氨酯丙烯酸酯、亲水性三官丙烯酸酯及其制备方法和应用
CN112358603A (zh) 一种改性端羧基超支化聚酯及其制备方法和应用
KR20090098689A (ko) 착색 감광성 수지 조성물, 컬러 필터 및 액정 표시 디스플레이
KR910008558B1 (ko) 광경화수지 조성물
CN113671792A (zh) 一种用于感光干膜的水性感光树脂组合物
CN102385254B (zh) 感光树脂组合物
KR930001852B1 (ko) 내구성 패턴 형성용부재
GB2263909A (en) Improvements in or relating to photopolymerisable components of radiation sensitive compositions
CN100371748C (zh) 光波导用树脂组合物、固化性干膜、光波导及其形成方法
JPS6243412A (ja) 高エネルギ−線硬化樹脂組成物
CN114133851B (zh) 有机硅改性羟基聚丙烯酸酯分散体及其制备方法和应用
JP5259967B2 (ja) ビスフェノール基を有するポリウレタンポリマー及び該ポリマーを含有するフォトイメージング組成物
TWI690542B (zh) 樹脂與墨水
CN108219093A (zh) 一种紫外光固化的醇溶性聚氨酯及其制备方法
JP4017055B2 (ja) （メタ）アクリル酸エステル、これを用いた樹脂組成物

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination