CN113646627A - 缺陷检查装置和缺陷检查方法 - Google Patents

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Abstract

该缺陷检查装置(100)具备：激励部(1)、激光照明(2)、干涉部(3)、摄像部(35)以及生成与检查对象(7)的弹性波的传播有关的运动图像(61)的控制部(4)。控制部构成为进行以下控制：在运动图像(61)中将所确定的测定不良区域(81)以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域(82)区分开的方式进行显示。

Description

缺陷检查装置和缺陷检查方法
技术领域
本发明涉及一种缺陷检查装置和缺陷检查方法。
背景技术
以往，已知一种缺陷检查装置。缺陷检查装置例如在日本特开2017-219318号公报中被公开。
在上述日本特开2017-219318号公报中公开了一种缺陷检查装置，该缺陷检查装置具备：激励部，其对测定对象(检查对象)激发弹性波；照明部，其对测定对象(检查对象)的表面的测定区域进行频闪照明的照射；以及位移测定部。位移测定部构成为通过控制弹性波的相位和频闪照明的定时，从而在弹性波的互不相同的至少3个相位对测定区域各点的前后方向的位移进行批量测定。另外，在上述日本特开2017-219318号公报中公开了以下结构：缺陷检查装置在弹性波的各相位使用散斑剪切干涉法来对测定区域各点的前后方向的位移进行批量测定；以及基于测定区域各点的振动状态(振幅和相位)来制作利用图像的明暗差异示出由振动引起的位移的差异的图像，检查者通过目视确认所制作出的图像，由此检测振动状态的不连续部来作为缺陷。在此，散斑剪切干涉法是以下一种方法：照射激光，使在测定区域的互不相同的2点反射的光发生干涉，并求出该干涉光的相位，由此检测2点间的相对位移。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2017-219318号公报
发明内容
发明要解决的问题
在上述日本特开2017-219318号公报所记载的缺陷检查装置中，对测定对象(检查对象)激发弹性波，照射频闪照明，在弹性波的各相位使在测定区域内的不同的2点处反射的光发生干涉，并获取由该干涉光形成的像来作为静止图像。在此，一边使要发生干涉的激光的单方的相位移位，一边获取由干涉光形成的像来作为多个静止图像，根据多个静止图像的亮度变化来计算干涉光的相位，根据该干涉光的相位来获取2点间的相对位移。通过在测定区域各点进行所述处理，来获取测定区域的振动状态(振幅和相位)。在这一系列的工序中，在由于干涉光的光量不足或过大而无法捕捉到多个静止图像中的亮度变化的情况下或者在由于不是由所述弹性波引起的振动而是由于干扰振动导致在获取静止图像的期间测定对象进行了移动的情况下，有时无法准确地计算出干涉光的相位，在测定区域内产生无法准确地获取振动状态(振幅和相位)的区域。
上述日本特开2017-219318号公报中记载的缺陷检查装置所制作的图像是利用图像的明暗差异来示出由振动引起的位移的差异的图像。在该图像中，虽然能够观察测定对象(检查对象)的测定区域各点的振动状态(振幅和相位)，但难以一眼就掌握是否针对测定对象(检查对象)的各测定区域准确地获取了振动状态。在针对测定对象(检查对象)的各测定区域没有准确地获取振动状态的情况下，会导致对缺陷部分和正常部分进行误判定。因此，期望一种能够容易地掌握是否针对测定对象(检查对象)的各测定区域准确地获取了振动状态的缺陷检查装置。
本发明是为了解决如上所述的问题而完成的，本发明的一个目的在于提供一种能够容易地掌握是否针对检查对象的各测定区域准确地获取了振动状态的缺陷检查装置和缺陷检查方法。
用于解决问题的方案
为了实现上述目的，本发明的第一方面的缺陷检查装置构成为具备：激励部，其对检查对象激发弹性波；激光照明，其对检查对象照射激光；干涉部，其使在被激励部进行了激励的检查对象的互不相同的位置处反射的激光发生干涉；摄像部，其获取由发生了干涉的激光形成的像；以及控制部，其基于由摄像部获取到的多个静止图像来获取振动状态，并生成与检查对象的弹性波的传播有关的运动图像，其中，控制部构成为进行以下控制：基于摄像部的摄像结果来确定没有准确地获取到振动状态的测定不良区域，并且在运动图像中将测定不良区域以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域区分开的方式进行显示。
在本发明的第一方面的缺陷检查装置中，如上所述那样设置控制部，该控制部进行以下控制：在运动图像中，将测定不良区域以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域区分开的方式进行显示。由此，用户能够确认将测定不良区域和测定良好区域以能够区分开的方式进行了显示的运动图像，因此能够在上述运动图像中容易地区分并掌握测定不良区域和测定良好区域。其结果，能够容易地掌握是否针对检查对象的各测定区域准确地获取了振动状态。另外，能够基于摄像结果容易地确定测定不良区域。由此，能够区分测定不良区域和测定良好区域，因此能够抑制将没有观测到弹性波的传播的测定不良区域误识别为缺陷部分。另外，用户能够根据测定不良区域的大小等判断是否重新进行测定。
在上述第一方面的缺陷检查装置中，优选的是，控制部构成为进行以下控制：将由摄像部获取到的发生了干涉的激光的光量不足或过大到无法由控制部准确地获取振动状态的程度的区域确定为测定不良区域。如果像这样构成，则在由于检查对象的形状、表面的状态等而在测定区域中产生了上述区域的情况下，能够将上述区域确定为测定不良区域。
在该情况下，优选的是，控制部构成为进行以下控制：将多个静止图像各自的亮度值小于第一阈值的区域、或者多个静止图像各自的亮度值大于第二阈值的区域确定为测定不良区域，其中，第二阈值比第一阈值大。如果像这样构成，则能够将多个静止图像各自的辉度值小于第一阈值的区域作为激光的光量不足的区域而容易地确定为测量不良区域。另外，能够将多个静止图像各自的亮度值大于第二阈值的区域作为激光的光量饱和的区域而容易地确定为测定不良区域。
在上述第一方面的缺陷检查装置中，优选的是，控制部构成为进行以下控制：基于多个静止图像来判别多个静止图像的各像素的相对于平均亮度的亮度变化率是否降低，将上述亮度变化率降低的区域确定为测定不良区域。如果像这样构成，则在由于对检查对象施加了来自激励部以外的振动而在测定区域中产生了上述亮度变化率低的区域的情况下，控制部能够将上述亮度变化率低的区域确定为测定不良区域。
在该情况下，优选的是，控制部构成为进行以下控制：将上述亮度变化率小于规定的阈值的区域确定为测定不良区域。如果像这样构成，则能够容易地将上述亮度变化率低于规定的阈值的区域确定为测定不良区域。
在进行将上述亮度变化率降低的区域确定为测定不良区域的控制的结构中，优选的是，控制部构成为进行以下控制：基于上述亮度变化率降低的区域的大小，来判别所述测定不良区域和所述测定良好区域。如果像这样构成，则能够抑制将亮度变化率局部降低的区域判别为测定不良区域，因此能够抑制看漏缺陷部分。
在该情况下，优选的是，控制部构成为进行以下控制：在上述亮度变化率降低的区域的大小大于规定的大小的情况下，将该区域确定为测定不良区域。由于施加了来自激励部以外的振动而导致上述亮度变化率降低的区域通常大于缺陷部的大小，因此，如果像这样构成，则通过将上述亮度变化率降低的区域的大小与规定的大小进行比较，能够容易地确定测定不良区域。其结果，在因由对检查对象激发的振动引起的缺陷部分的振幅增加而导致上述亮度变化率降低的情况下，能够抑制将缺陷部分判别为测定不良区域。
在上述第一方面的缺陷检查装置中，优选的是，控制部构成为进行以下控制：通过利用与测定良好区域不同的颜色显示测定不良区域，来将测定不良区域和测定良好区域以能够区分开的方式进行显示。如果像这样构成，则能够利用不同的颜色显示测定不良区域和测定良好区域，因此用户能够从视觉上容易地区分测定不良区域和测定良好区域。
在上述第一方面的缺陷检查装置中，优选的是，控制部构成为进行以下控制：在测定不良区域相对于整个摄像区域的比例超过了规定值的情况下，显示测定本身不成立的情况。如果像这样构成，则由于显示测定本身不成立的情况，因此用户能够容易地掌握测定不成立的情况。其结果，能够提高用户的便利性。
为了实现上述目的，在本发明的第二方面的缺陷检查方法中，对检查对象激发弹性波，对检查对象照射激光，使在被进行了激励的检查对象的互不相同的位置处反射的激光发生干涉，获取由发生了干涉的激光形成的像，基于所拍摄到的静止图像来获取振动状态，并生成与检查对象的弹性波的传播有关的运动图像，基于摄像结果来确定没有准确地获取到振动状态的测定不良区域，其中，进行在运动图像中将测定不良区域以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域区分开的方式进行显示的控制。
在本发明的第二方面的缺陷检查方法中，如上所述那样进行控制，使得在运动图像中将测定不良区域以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域区分开的方式进行显示。由此，与上述第一方面的缺陷检查装置同样地，能够提供一种能够容易地掌握是否针对检查对象的各测定区域准确地获取了振动状态的缺陷检查方法。
发明的效果
如上所述，根据本发明，能够提供一种能够容易地掌握是否针对检查对象的各测定区域准确地获取了振动状态的缺陷检查装置和缺陷检查方法。
附图说明
图1是示出第一实施方式的缺陷检查装置的结构的框图。
图2是用于说明第一实施方式的缺陷检查装置的测定不良区域的显示的图。
图3是用于说明由第一实施方式的缺陷检查装置的控制部进行的测定不良区域显示处理的流程图。
图4是用于说明由第一实施方式的缺陷检查装置的控制部进行的测定不良区域确定处理的流程图。
图5是用于说明第二实施方式的缺陷检查装置的测定不良区域的显示的图。
图6是用于说明由第二实施方式的缺陷检查装置的控制部进行的测定不良区域确定处理的流程图。
具体实施方式
下面，基于附图来说明将本发明具体化的实施方式。
[第一实施方式]
参照图1和图2对第一实施方式的缺陷检查装置100的结构进行说明。缺陷检查装置100是对检查对象7的缺陷进行检查的装置。
(缺陷检查装置的结构)
第一实施方式的缺陷检查装置100具备振子1、激光照明2、散斑剪切干涉仪3、控制部4、信号发生器5以及显示部6。此外，振子1是权利要求书的“激励部”的一例。另外，散斑剪切干涉仪3是权利要求书的“干涉部”的一例。
振子1和激光照明2经由线缆与信号发生器5连接。振子1对检查对象7激发弹性波。具体地说，振子1以与检查对象7接触的方式配置，将来自信号发生器5的交流电信号变换为机械振动，来对检查对象7激发弹性波。
激光照明2向检查对象7照射激光。激光照明2包括未图示的激光光源和照明光透镜。照明光透镜用于将从激光光源照射出的激光扩散地向检查对象7的表面的整个测定区域照射。另外，激光照明2基于来自信号发生器5的电信号，在规定的定时照射激光。也就是说，激光照明2与由振子1产生的弹性波相对应地向检查对象7照射激光。
散斑剪切干涉仪3构成为使在被振子1进行了激励的检查对象7的互不相同的位置处反射的激光发生干涉。另外，散斑剪切干涉仪3包括分束器31、移相器32、第一反射镜331、第二反射镜332、聚光透镜34以及图像传感器35。此外，图像传感器35是权利要求书的“摄像部”的一例。
分束器31包括半透半反镜。另外，分束器31配置于在检查对象7的表面反射的激光所入射的位置。另外，分束器31使入射的激光向移相器32侧反射，并且使入射的激光向第二反射镜332侧透过。另外，分束器31使被第二反射镜332反射后入射的激光向聚光透镜34侧反射，并且使被第一反射镜331反射后入射的激光向聚光透镜34侧透过。
第一反射镜331以相对于分束器31的反射面呈45度的角度的方式配置在被分束器31反射的激光的光路上。第一反射镜331使被分束器31反射后入射的激光向分束器31侧反射。
第二反射镜332以相对于分束器31的反射面呈从45度的角度稍微倾斜的角度的方式配置在透过分束器31的激光的光路上。第二反射镜332使被分束器31反射后入射的激光向分束器31侧反射。
移相器32配置在分束器31与第一反射镜331之间，通过控制部4的控制来使透过的激光的相位发生变化(移位)。具体地说，移相器32构成为使透过的激光的光路长度发生变化。
图像传感器35具有多个检测元件，该图像传感器35配置于在被分束器31反射后被第一反射镜331反射并透过分束器31的激光(图1中的直线)以及在透过分束器31后被第二反射镜332反射并被分束器31反射的激光(图1中的虚线)的光路上。图像传感器35例如包括CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor：互补型金属氧化物半导体)图像传感器或CCD(Charged-Coupled Devices：电荷耦合设备)图像传感器等。图像传感器35构成为拍摄所入射的激光。另外，图像传感器35构成为获取由激光形成的像。具体地说，构成为一边使在散斑剪切干涉仪3中发生干涉的激光的单方的相位移位，一边获取由干涉光形成的像来作为多个静止图像60。
聚光透镜34配置在分束器31与图像传感器35之间，用于使透过分束器31的激光(图1中的直线)和被分束器31反射的激光(图1中的虚线)进行聚光。
在检查对象7的表面上的位置741及第一反射镜331处反射的激光(图1中的直线)与在检查对象7的表面上的位置742及第二反射镜332处反射的激光(图1中的虚线)相互干涉，并入射到图像传感器35的同一部位。位置741和位置742是彼此分离微小距离的位置。另外，同样地，从检查对象7的各区域的位置中的互不相同的位置反射来的激光被散斑剪切干涉仪3引导，并分别向图像传感器35入射。
控制部4利用未图示的致动器使配置在散斑剪切干涉仪3内的移相器32工作，以使透过的激光的相位发生变化。由此，在位置741处反射的激光与在位置742处反射的激光的相位差发生变化。图像传感器35的各检测元件检测这2束激光发生干涉后的干涉光的强度。
控制部4经由信号发生器5控制振子1的振动和激光照明2的激光的照射定时，一边使相位移位量变化一边拍摄多个静止图像60(参照图2)。例如，控制部4使相位移位量每次变化λ/4。另外，例如，控制部4将激光的照射定时设为T/8。T是振子1的振动的周期。控制部4在各相位移位量(0、λ/4、λ/2、3λ/4)处拍摄共计37张静止图像60，也就是与激光照射的定时j(j＝0～7)相应地拍摄到的32张静止图像60以及各相位移位量(0、λ/4、λ/2、3λ/4)前后的5张熄灯时的静止图像60。此外，λ是激光的波长。
控制部4按照下述过程对来自各检测元件的检测信号进行处理，获取表示振动的状态的运动图像61(参照图2)。也就是说，控制部4基于由图像传感器35拍摄到的多个静止图像60来获取振动状态，并生成与检查对象7的弹性波的传播有关的运动图像61。具体地说，控制部4基于多个静止图像60计算干涉光的相位。控制部4基于计算出的干涉光的相位来获取检查对象7的振动状态，由此生成与检查对象7的弹性波的传播有关的运动图像61。
控制部4根据激光照射的定时j(j＝0～7)相同且相位移位量各相差λ/4的静止图像60(各4张)的亮度值Ij0～Ij3，通过式(1)来求出光相位(相位移位量为零时的2个光路间的相位差)Φj。
Φj＝-arctan{(Ij3-Ij1)/(Ij2-Ij0)}…(1)
另外，控制部4通过最小二乘法对光相位Φj进行正弦波近似，来求出式(2)中的近似系数A、θ、C。
φj＝Acos(θ+jπ/4)+C＝Bexp(jπ/4)+C…(2)
其中，B是复振幅，如式(3)那样表示。
B＝Aexp(iθ)：复振幅…(3)
在此，复振幅B是成为用于输出表示振动状态的运动图像61的基础的图像信息(复振幅的二维空间信息)。另外，控制部4基于从式(2)去除常数项C而得到的近似式，来构成显示振动在各相位时刻ξ(0≤ξ＜2π)的光相位变化的运动图像(30帧～60帧)，并作为表示振动状态的运动图像61进行输出。此外，在上述过程中，为了去除噪声，也可以对复振幅B适当地应用空间滤波器。
控制部4检测上述运动图像61中的振动状态的不连续区域来作为检查对象7的缺陷部分73。另外，控制部4构成为：应用提取振动状态的不连续部并进行强调的空间滤波器，基于与检查对象7的弹性波的传播有关的运动图像61来提取振动状态的不连续部。
在此，由于检查对象7的形状、表面状态而导致激光被遮挡或导致被反射的激光的光量产生偏差，由此有时产生发生了干涉的激光的光量不足或过大的区域82或产生因干扰光而相对地发生了干涉的激光的光量不足或过大的区域82。在这样的区域82中无法准确地获取检查对象7的振动状态。因此，在第一实施方式中，如图2所示，控制部4构成为进行以下控制：基于由图像传感器35得到的摄像结果来确定没有准确地获取到振动状态的测定不良区域80，并且在运动图像61中将测定不良区域80以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域81区分开的方式进行显示。
具体地说，控制部4构成为进行以下控制：将由图像传感器35获取到的发生了干涉的激光的光量不足或过大到无法由控制部4准确地获取振动状态的程度的区域82确定为测定不良区域80。更为具体地说，控制部4构成为进行以下控制：将多个静止图像60各自的亮度值小于第一阈值的区域82、或者多个静止图像60各自的亮度值大于第二阈值的区域82确定为测定不良区域80，其中该第二阈值比第一阈值大。此外，多个静止图像60各自的亮度值小于第一阈值的区域82是激光的光量不足的区域82。另外，多个静止图像60各自的亮度值大于第二阈值的区域82是激光的光量饱和的区域82。
另外，在第一实施方式中，如图2所示，控制部4构成为：通过利用与测定良好区域81不同的颜色显示测定不良区域80，来将测定不良区域80和测定良好区域81以能够区分开的方式进行显示。此外，在图2所示的例子中，通过对测定不良区域80附加阴影，来示出测定不良区域80与测定良好区域81的颜色的差异。
显示部6用于显示由控制部4制作出的表示检查对象7的振动状态的运动图像61。显示部6包括液晶显示器或有机EL(Electro-Luminescence：电致发光)显示器等。
检查对象7是在钢板71的表面涂装涂膜72而得到的涂装钢板。缺陷部分73包括龟裂、剥离等。
(测定不良区域显示处理)
接着，参照图3，基于流程图来说明由第一实施方式的缺陷检查装置100进行的测定不良区域显示处理。此外，测定不良区域显示处理由控制部4进行。
在图3的步骤101中，开始从振子1向检查对象7施加振动。由此，对检查对象7激发弹性波。在步骤102中，从激光照明2对检查对象7的测定区域照射激光。
在步骤103中，一边使移相器32的移位量变化一边获取由干涉光形成的像的数据。也就是说，使相位不同来将发生了干涉的干涉光形成的像拍摄为多个静止图像60。由此，散斑剪切干涉仪3的移相器32以使激光的相位每次变化λ/4的的方式工作，利用图像传感器35检测(拍摄)各相位的激光的干涉光的强度。
在步骤104中，结束从振子1对检查对象7施加振动。在步骤105中，制作与检查对象7的弹性波的传播有关的运动图像61。
在步骤106中，基于多个静止图像60来确定测定不良区域80。在步骤107中，测定不良区域80叠加地显示在运动图像61中。之后，结束测定不良区域显示处理。
(测定不良区域确定处理)
接着，参照图4，基于流程图来说明由第一实施方式的缺陷检查装置100进行的测定不良区域确定处理(图3的步骤106中的处理)。此外，测定不良区域确定处理由控制部4进行。
在图4的步骤201中，获取多个静止图像60的亮度值。在步骤202中，判断是否存在亮度值小于第一阈值的区域82、或者亮度值大于第二阈值的区域82。在多个静止图像60中存在亮度值小于第一阈值的区域82、或者亮度值大于第二阈值的区域82的情况下，处理进入步骤203。在多个静止图像60中不存在亮度值小于第一阈值的区域82、或者亮度值大于第二阈值的区域82的情况下，处理进入步骤107，结束测定不良区域确定处理。此外，在步骤202的处理中，作为用于判断的亮度值，使用多个静止图像60各自的亮度值。
在步骤203中，将亮度值小于第一阈值的区域82、或者亮度值大于第二阈值的区域82确定为测定不良区域80。之后，处理进入步骤107，结束测定不良区域确定处理。
(第一实施方式的效果)
在第一实施方式中，能够得到如以下那样的效果。
在第一实施方式中，如上所述那样具备：振子1，其对检查对象7激发弹性波；激光照明2，其对检查对象7照射激光；散斑剪切干涉仪3，其使在被振子1进行了激励的检查对象7的互不相同的位置处反射的激光发生干涉；图像传感器35，其获取由发生了干涉的激光形成的像；以及控制部4，其基于由图像传感器35获取到的多个静止图像60来获取振动状态，并生成与检查对象7的弹性波的传播有关的运动图像61，控制部4构成为进行以下控制：基于由图像传感器35得到的摄像结果，来确定没有准确地获取到振动状态的测定不良区域80，并且在运动图像61将测定不良区域80以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域81区分开的方式进行显示。由此，用户能够确认将测定不良区域80和测定良好区域81以能够区分开的方式进行了显示的运动图像61，因此能够在运动图像61中容易地区分并掌握测定不良区域80和测定良好区域81。其结果，能够容易地掌握是否针对检查对象7的各测定区域准确地进行了测定。另外，能够基于由图像传感器35得到的摄像结果容易地确定测定不良区域80。由此，能够区分测定不良区域80和测定良好区域81，因此，能够抑制将在测定不良区域80中没有准确地观测到弹性波的传播的部分误判别为缺陷部分73和正常部分。另外，用户能够根据测定不良区域80的大小等判断是否重新进行测定。
另外，在第一实施方式中，如上所述，控制部4构成为进行以下控制：将由图像传感器35获取到的发生了干涉的激光的光量不足或过大到无法由控制部4准确地获取振动状态的程度的区域82确定为测定不良区域80。由此，在由于检查对象7的形状、表面的状态等而在测定区域中产生了发生干涉的激光的光量不足或过大的区域82的情况下，能够将发生了干涉的激光的光量不足或过大的区域82确定为测定不良区域80。
另外，在第一实施方式中，如上所述，控制部4构成为进行以下控制：将多个静止图像60各自的亮度值小于第一阈值的区域82、或者多个静止图像60各自的亮度值大于第二阈值的区域82确定为测定不良区域80，其中第二阈值比第一阈值大。由此，能够将多个静止图像60各自的亮度值小于第一阈值的区域82作为激光的光量不足的区域82而容易地确定为测定不良区域80。另外，能够将多个静止图像60各自的亮度值大于第二阈值的区域82作为激光的光量饱和的区域82而容易地确定为测定不良区域80。
另外，在第一实施方式中，如上所述，控制部4构成为：通过利用与测定良好区域81不同的颜色显示测定不良区域80，来将测定不良区域80和测定良好区域81以能够区分开的方式进行显示。由此，利用不同的颜色显示测定不良区域80和测定良好区域81，因此用户能够从视觉上容易地区分测定不良区域80和测定良好区域81。
[第二实施方式]
接着，参照图1和图5对第二实施方式的缺陷检查装置100(参照图1)进行说明。与控制部4将发生了干涉的激光的光量不足或过大的区域82确定为测定不良区域80的上述第一实施方式不同，在第二实施方式中，控制部4构成为将由于来自振子1以外的振动等而无法准确地获取振动状态的区域83(参照图5)确定为测定不良区域80。此外，对与上述第一实施方式相同的结构标注相同的附图标记，并省略说明。
在此，由于来自振子1以外的振动等，有时产生无法准确地获取振动状态的区域83。因此，如图5所示，在第二实施方式中，将无法准确地获取振动状态的区域83确定为测定不良区域80。具体地说，控制部4构成为进行以下控制：基于多个静止图像60来判别多个静止图像60的各像素的相对于平均亮度的亮度变化率是否降低，将多个静止图像60的各像素的相对于平均亮度的亮度变化率降低的区域83确定为测定不良区域80。
控制部4从激光照射的定时j(j＝0～7)相同且相位移位量各相差λ/4的静止图像60(各4张)的亮度值Ij0～Ij3获取下述式(4)和式(5)所示的背景光的强度D(平均亮度)以及干涉光的强度的振幅E。另外，控制部4根据背景光的强度D以及干涉光的振幅E来求出以下的式(6)所示的干涉度F(＝E/D)。
D＝(Ij0+Ij1+Ij2+Ij3)/4…(4)
E＝1/2×{(Ij2-Ij1)+(Ij0-Ij3)}1/2…(5)
F＝2×{(Ij2-Ij1)+(Ij0-Ij3)}1/2/(Ij0+Ij1+Ij2+Ij3)…(6)
此外，在上述式(6)所示的干涉度F变低的情况下，即使通过移相器32使透过的激光的相位变化，干涉光的强度也不变化，无法准确地获取振动状态。因此，控制部4构成为进行以下控制：基于干涉度F的大小来确定测定不良区域80。具体地说，控制部4构成为进行以下控制：将干涉度F小于规定的第三阈值的区域83确定为测定不良区域80。另外，干涉度F有时由于来自振子1以外的振动而降低、以及干涉度F有时在由振子1进行了激励的检查对象7中由于缺陷部分73的振幅增大而降低。此外，干涉度F是指多个静止图像60的各像素的相对于平均亮度的亮度变化率。
另外，在第二实施方式中，控制部4构成为进行以下控制：基于干涉度F降低的区域83的大小来判别测定不良区域80和缺陷部分73。另外，控制部4构成为进行以下控制：在干涉度F降低的区域83的大小大于规定的大小的情况下，确定为测定不良区域80。在图5所示的例子中，在干涉度F降低的区域83a、干涉度F降低的区域83b以及干涉度F降低的区域83c中，干涉度F降低的区域83b的大小小于缺陷部分73的大小。因此，控制部4将干涉度F降低的区域83a和干涉度F降低的区域83c确定为测定不良区域80。
另外，在第二实施方式中，控制部4构成为进行以下控制：在测定不良区域80相对于整个摄像区域的比例超过了规定值的情况下，显示测定本身不成立的情况。
参照图6，基于流程图来说明由第二实施方式的缺陷检查装置100进行的测定不良区域确定处理(图3的步骤106中的处理)。此外，测定不良区域确定处理由控制部4进行。
在图6的步骤301中，基于多个静止图像60的亮度值来获取上述式(6)所示的干涉度F。在步骤302中，判断是否存在干涉度F低于规定的第三阈值的区域83。在存在干涉度F低于规定的第三阈值的区域83的情况下，处理进入步骤303。在不存在干涉度F低于第三阈值的区域83的情况下，处理进入步骤107，结束测定不良区域确定处理。
在步骤303中，判断干涉度F的大小小于第三阈值的区域83的大小是否大于规定的大小。在干涉度F的大小小于第三阈值的区域83的大小大于规定的大小的情况下，处理进入步骤304。在干涉度F的大小小于第三阈值的区域83的大小小于规定的大小的情况下，处理进入步骤107，结束测定不良区域确定处理。
在步骤304中，将干涉度F低于第三阈值的区域83确定为测定不良区域80。之后，处理进入步骤107，结束测定不良区域确定处理。
此外，第二实施方式的其它结构与上述第一实施方式的结构相同。
(第二实施方式的效果)
在第二实施方式中，能够得到如以下那样的效果。
在第二实施方式中，如上所述，控制部4构成为进行以下控制：基于多个静止图像60来判别干涉度F是否降低，将干涉度F降低的区域83确定为测定不良区域80。由此，在由于对检查对象7施加了来自振子1以外的振动而导致干涉度F降低且在测定区域中产生了无法准确地获取振动状态的区域83的情况下，控制部4能够将无法准确地获取振动状态的区域83确定为测定不良区域80。
另外，在第二实施方式中，如上所述，控制部4构成为进行以下控制：将干涉度F小于规定的第三阈值的区域确定为测定不良区域80。由此，能够容易地将干涉度F低于规定的第三阈值的区域确定为测定不良区域80。
另外，在第二实施方式中，如上所述，控制部4构成为进行以下控制：基于干涉度F降低的区域83的大小来判别测定不良区域80和测定良好区域81。由此，能够抑制将干涉度F局部降低的区域83判别为测定不良区域80，因此能够抑制看漏缺陷部分73。
另外，在第二实施方式中，如上所述，控制部4构成为进行以下控制：在干涉度F降低的区域83的大小大于规定的大小的情况下，将该区域83确定为测定不良区域80。由于被施加了来自振子1以外的振动而导致干涉度降低的区域通常大于缺陷部分73的大小，因此通过如上述那样构成，能够通过将干涉度F降低的区域83的大小与规定的大小进行比较来容易地确定测定不良区域80。其结果，在因由对检查对象7激发的振动引起的缺陷部分73处的振幅增加而导致干涉度F降低的情况下，能够抑制将缺陷部分73判别为测定不良区域80。
另外，在第二实施方式中，如上所述，控制部4构成为进行以下控制：在测定不良区域80相对于整个摄像区域的比例超过了规定值的情况下，显示测定本身不成立的情况。由此，由于显示测定本身不成立的情况，因此用户能够容易地掌握测定不成立的情况。其结果，能够提高用户的便利性。
此外，第二实施方式的其它效果与上述第一实施方式的效果相同。
[变形例]
此外，应该认为此次公开的实施方式在所有方面均为例示，而非限制性的。本发明的范围由权利要求书示出，并非由上述实施方式的说明示出，本发明的范围还包含与权利要求书同等的含义和范围内的所有变更(变形例)。
例如，在上述第一实施方式中示出了以下结构例：即使多个静止图像中的具有亮度值小于第一阈值的区域、或亮度值大于第二阈值的区域的静止图像为1张，控制部也将这样的区域确定为测定不良区域，但本发明不限于此。例如，即使在多个静止图像中存在具有亮度值小于第一阈值的区域、或亮度值大于第二阈值的区域的静止图像的情况下，只要具有亮度值小于第一阈值的区域或亮度值大于第二阈值的区域的静止图像为规定张数以下，就可以不将这样的区域确定为测定不良区域。即，在多个静止图像中的所有静止图像中，即使在亮度值没有收敛在第一阈值以上且第二阈值以下的范围内的情况下，也可以不确定为测定不良区域。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式中，示出了控制部使用多个静止图像各自的亮度值进行测定不良区域的确定处理的结构的例子，但本发明不限于此。例如，控制部也可以构成为从多个静止图像获取平均亮度值，使用所获取到的平均亮度值进行测定不良区域的确定处理。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式中，示出了控制部提取缺陷部分的结构的例子，但本发明不限于此。控制部如果确定测定不良区域，则也可以不提取缺陷部分。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式中，示出了将信号发生器、振子(激励部)以及激光照明分别经由线缆(有线)进行了连接的结构的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以将信号发生器、激励部以及激光照明分别通过无线进行连接。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式中，示出了将散斑剪切干涉仪用作干涉部的例子，但本发明不限于此。在本发明中，作为干涉部，也可以使用其它光干涉仪。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式中，示出了以使振子(激励部)接触检查对象的表面的方式来使用的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以是以使激励部离开检查对象的表面的方式来使用。例如，也可以将强力的扬声器等用作激励部。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式中，示出了使相位移位量每次变化λ/4、将激光照射定时的步长设为T/8的结构的例子，但本发明不限于此。相位移位量和激光的照射定时的步长也可以是不同的值。在该情况下，计算式成为与上述式(1)～式(3)不同的式子。
另外，在本发明中，为了保护光学部件、提高装置的SN比等，也可以在直到来自检查对象的反射光入射到摄像部(图像传感器)为止的光路上配置窗、各种光学滤波器。
另外，在上述第一实施方式和第二实施方式中，为了便于说明，使用按照处理流程依次进行处理的流程驱动型的流程图对本发明的控制部的处理动作进行了说明，但本发明不限于此。在本发明中，也可以通过以事件为单位执行处理的事件驱动型(Event-driven型)的处理来进行控制部4的处理动作。在该情况下，既可以利用完全的事件驱动型来进行处理动作，也可以将事件驱动和流程驱动相组合来进行处理动作。
附图标记说明
1：振子(激励部)；2：激光照明；3：散斑剪切干涉仪(干涉部)；4：控制部；7：检查对象；35：图像传感器(摄像部)；60：静止图像；61：运动图像；73：缺陷部分；80：测定不良区域；81：测定良好区域；82、82a、82b、82c：发生了干涉的激光的光量不足或过大的区域；83、83a、83b、83c：没有准确地获取振动的状态的区域；100：缺陷检查装置；F：干涉度(多个静止图像的各像素的相对于平均亮度的亮度变化率)。

Claims (10)

1.一种缺陷检查装置，具备：
激励部，其对检查对象激发弹性波；
激光照明，其对所述检查对象照射激光；
干涉部，其使在被所述激励部进行了激励的所述检查对象的互不相同的位置处反射的激光发生干涉；
摄像部，其获取由发生了干涉的激光形成的像；以及
控制部，其基于由所述摄像部获取到的多个静止图像来获取振动状态，并生成与所述检查对象的弹性波的传播有关的运动图像，
其中，所述控制部构成为进行以下控制：基于所述摄像部的摄像结果来确定没有准确地获取到振动状态的测定不良区域，并且在所述运动图像中将所述测定不良区域以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域区分开的方式进行显示。
2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为进行以下控制：将由所述摄像部获取到的发生了干涉的激光的光量不足或过大到无法由所述控制部准确地获取振动状态的程度的区域确定为所述测定不良区域。
3.根据权利要求2所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为进行以下控制：将多个所述静止图像各自的亮度值小于第一阈值的区域、或者多个所述静止图像各自的亮度值大于第二阈值的区域确定为所述测定不良区域，其中，所述第二阈值比所述第一阈值大。
4.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为进行以下控制：基于多个所述静止图像来判别多个所述静止图像的各像素的相对于平均亮度的亮度变化率是否降低，将所述亮度变化率降低的区域确定为所述测定不良区域。
5.根据权利要求4所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为进行以下控制：将所述亮度变化率小于规定的阈值的区域确定为所述测定不良区域。
6.根据权利要求4所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为进行以下控制：基于所述亮度变化率降低的区域的大小来判别所述测定不良区域和所述测定良好区域。
7.根据权利要求6所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为进行以下控制：在所述亮度变化率降低的区域的大小大于规定的大小的情况下，将该区域确定为所述测定不良区域。
8.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为：通过利用与所述测定良好区域不同的颜色显示所述测定不良区域，来将所述测定不良区域和所述测定良好区域以能够区分开的方式进行显示。
9.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其中，
所述控制部构成为进行以下控制：在所述测定不良区域相对于整个摄像区域的比例超过了规定值的情况下，显示测定本身不成立的情况。
10.一种缺陷检查方法，其中，
对检查对象激发弹性波，
对所述检查对象照射激光，
使在被进行了激励的所述检查对象的互不相同的位置处反射的激光发生干涉，
获取由发生了干涉的激光形成的像，
基于所拍摄到的静止图像来获取振动状态，并生成与所述检查对象的弹性波的传播有关的运动图像，
基于摄像结果来确定没有准确地获取到振动状态的测定不良区域，
其中，进行在所述运动图像中将所述测定不良区域以能够与准确地获取到振动状态的测定良好区域区分开的方式进行显示的控制。
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