CN113614374B

CN113614374B - 泵单元

Info

Publication number: CN113614374B
Application number: CN202080021881.9A
Authority: CN
Inventors: 山中淑雄; 佐佐木雅启; 冈口健二朗; 松本新一郎; 上田静香
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2019-03-18
Filing date: 2020-01-10
Publication date: 2023-01-13
Anticipated expiration: 2040-01-10
Also published as: JPWO2020188966A1; WO2020188966A1; US11795933B2; JP7063413B2; DE112020000737B4; US20210324851A1; DE112020000737T5; CN113614374A

Abstract

本发明涉及泵单元。本发明的泵单元(100)具备：多个压电泵(1)，分别具有第一流路，能够吸引或者排放流体；流路形成部件(50)，具有用于与多个第一流路的每一个连接的第二流路；以及散热部(60)，对在多个压电泵(1)的每一个中产生的热量进行散热，散热部(60)配置于多个压电泵(1)的每一个与流路形成部件(50)之间，在散热部(60)设置有将第一流路和第二流路连接的贯通孔。

Description

泵单元

技术领域

本发明涉及具备多个压电泵的泵单元。

背景技术

以往，已知有作为容积式的泵的一种的压电泵。压电泵由粘贴有压电元件的振动板划定出泵室的至少一部分而成，通过对该压电元件施加规定频率的交流电压从而以谐振频率驱动振动板，由此，使泵室产生压力变动，能够进行流体的吸入以及排放。

作为公开了这样的压电泵的文献，例如，列举出国际公开第2016/175185号(专利文献1)。

在专利文献1所公开的压电泵中，具备设置有喷嘴的阀壳体、在该底部设置有流路孔的泵壳体、被阀壳体和泵壳体夹持的隔膜。在泵壳体内配置有粘贴了压电元件的振动板。在泵壳体的底部设置有用于吸引气体的流路孔。通过使振动板振动，能够将从流路孔吸引的气体从喷嘴排出。此外，上述压电泵也可以构成为从喷嘴侧吸引气体，从流路孔排出气体。

专利文献1：国际公开第2016/175185号

在这里，在专利文献1所记载的那样的压电泵中，在单体中，泵流量受到某种程度的限制。因此，在想要提高泵流量的情况下，可以考虑将多个压电泵并联连接来使用。

一般，压电泵所使用的泵壳体构成为底面大致平坦，因此在设置于该底面的流路孔连接管等是困难的。因此，在将多个压电泵并联连接而使用时，如何组装多个压电泵成为问题。

并且，在压电泵中，使振动板振动而生成热量。在由于所生成的热量而使压电泵的温度上升的情况下，可能导致压电泵发生故障。因此，在多个压电泵的每一个中，确保散热性也成为问题。

发明内容

本发明是鉴于上述那样的问题而完成的，本发明的目的在于提供能够兼得多个压电泵的并联连接时的组装性和散热性的泵单元。

基于本公开的泵单元具备：多个压电泵，分别具有第一流路，能够吸引或者排放流体；流路形成部件，具有用于与多个上述第一流路的每一个连接的第二流路；以及散热部，对在上述多个压电泵的每一个中产生的热量进行散热。上述散热部配置于上述多个压电泵的每一个与上述流路形成部件之间。在上述散热部设置有将上述第一流路和上述第二流路连接的贯通孔。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述流路形成部件具有彼此相对的第一面和第二面。在这种情况下，也可以构成为上述散热部和上述多个压电泵配置于上述第一面侧。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述散热部由单个的散热板构成。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述散热部设置为其一部分从上述流路形成部件伸出。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述流路形成部件包括框部，上述框部划定出朝向配置有上述多个压电泵的一侧敞开的敞开部。在这种情况下，也可以构成为上述第一面是位于上述框部的一端侧的端面。并且，也可以构成为上述散热部以覆盖上述敞开部的方式配置于上述第一面上，并通过多个紧固部件紧固于上述第一面。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述框部包括多个角部。在这种情况下，优选上述散热部在上述多个角部紧固于上述第一面。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述框部包括设置有使上述第二流路与上述流路形成部件的外部连通的连通孔部的第一边部、与该第一边部对置的第二边部、将上述第一边部和上述第二边部的一端彼此连接的第三边部、以及将上述第一边部和上述第二边部的另一端彼此连接的第四边部。在这种情况下，也可以构成为上述第二边部在中央具有朝向上述第一边部凹陷的第一凹部，也可以构成为上述第三边部在中央具有朝向上述第四边部凹陷的第二凹部。另外，也可以构成为上述第四边部在中央具有朝向上述第三边部凹陷的第三凹部。并且，在这种情况下，也可以构成为上述第一凹部的凹陷量比上述第二凹部和上述第三凹部的凹陷量大。

也可以构成为，基于上述本公开的泵单元还具备辅助散热部，该辅助散热部在与上述散热部之间夹持上述多个压电泵。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述流路形成部件具有彼此相对的第一面和第二面。另外，也可以构成为上述散热部包括配置于上述第一面侧的第一散热部、和配置于上述第二面侧的第二散热部。在这种情况下，也可以构成为上述多个压电泵包括配置于上述第一面侧的一个以上的压电泵、和配置于上述第二面的一个以上的压电泵。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述第一散热部和上述第二散热部的每一个由一个散热板构成。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，配置于上述第一面侧的一个以上的压电泵与配置于上述第二面侧的一个以上的压电泵配置为彼此相向。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述第一散热部和上述第二散热部的至少一方设置为其一部分从上述流路形成部件伸出。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述流路形成部件包括框部，上述框部具有设置有上述第一面的一端部侧和设置有上述第二面的另一端部侧，并设置有从上述一端部侧到上述另一端部侧开口的开口部。在这种情况下，也可以构成为上述第一散热部在上述一端部侧以覆盖上述开口部的方式配置于上述第一面上，也可以构成为上述第二散热部在上述另一端部侧以覆盖上述开口部的方式配置于上述第二面上。另外，也可以构成为上述第一散热部和上述第二散热部通过多个紧固部件紧固于上述第一面以及上述第二面。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，上述框部包括多个角部。在这种情况下，优选上述第一散热部和上述第二散热部在上述多个角部紧固于上述第一面和上述第二面。

也可以构成为，基于上述本公开的泵单元还具备：第一辅助散热部，在与上述第一散热部之间夹持配置于上述第一面侧的上述一个以上的压电泵；和第二辅助散热部，在与上述第二散热部之间夹持配置于上述第二面侧的上述一个以上的压电泵。

在基于上述本公开的泵单元中，也可以构成为，在上述流路形成部件中，在该流路形成部件和上述散热部对置的部分，设置有用于使上述散热部露出的切除部。

根据本发明，能够提供可兼得多个压电泵的并联连接时的组装性和散热性的泵单元。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的泵单元的立体图。

图2是沿着图1所示的II－II线的简要剖视图。

图3是实施方式1所涉及的压电泵的分解立体图。

图4是实施方式1所涉及的流路形成部件的立体图。

图5是实施方式2所涉及的泵单元的简要剖视图。

图6是实施方式3所涉及的泵单元的立体图。

图7是表示实施方式4所涉及的泵单元的一部分的俯视图。

图8是实施方式5所涉及的泵单元的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。此外，在以下所示的实施方式中，对于相同或者共用的部分在图中标注相同的附图标记，不重复其说明。

(实施方式1)

图1是实施方式1所涉及的泵单元的立体图。此外，在图1中，为了方便起见，用双点划线表示后述的第一散热部61和第一辅助散热部63。图2是沿着图1所示的II－II线的简要剖视图。参照图1和图2对实施方式1所涉及的泵单元100进行说明。

如图1和图2所示，泵单元100通过将多个压电泵1组装于流路形成部件50而构成。泵单元100具备多个压电泵1、流路形成部件50、散热部60、第一辅助散热部63、第二辅助散热部64以及多个紧固部件70。

多个压电泵1的每一个设置为能够吸引或者排放流体。压电泵1具备壳体2和振动单元16。

壳体2包括彼此相向的顶部2a和底部2b。壳体2具有扁平的大致箱形形状。在壳体2设置有第一流路孔2d和第二流路孔2e。具体而言，第一流路孔2d设置于以从顶部2a突出的方式设置的作为外部连接部的喷嘴2c。第二流路孔2e设置于底部2b。形成于壳体2的内部空间S1作为使第一流路孔2d和第二流路孔2e连通的第一流路发挥功能。即，压电泵1具有第一流路。

在壳体2的内部配置有振动单元16。振动单元16包括振动板14和压电元件15。压电元件15粘贴于振动板14。压电元件15使振动板14振动。

向压电元件15施加驱动电压，从而使振动板14振动。由此，在作为第一流路的内部空间S1内产生压力变动，从第二流路孔2e吸入的流体从第一流路孔2d排放。此外，也可以变更振动板14的振动条件，将从第一流路孔2d吸入的流体从第二流路孔2e排放。对于压电泵1的详细的结构，使用图3后述。

流路形成部件50包括框部51和喷嘴部52。流路形成部件50具有彼此相对的第一面50a和第二面50b。第一面50a设置于框部51的一端部侧。第二面50b设置于框部51的另一端部侧。

在框部51设置有从一端部侧到另一端部侧开口的开口部53。该开口部53如后述那样由第一散热部61和第二散热部62覆盖，从而作为第二流路发挥功能。即，流路形成部件50具有第二流路。第二流路是用于与多个压电泵1所具有的第一流路的每一个连接的流路。

在框部51设置有喷嘴部52。喷嘴部52设置为向框部51的外部突出。喷嘴部52作为使开口部53与流路形成部件50的外部连通的连通孔部发挥功能。

散热部60使在多个压电泵1的每一个中产生的热量进行散热。散热部60配置于多个压电泵1的每一个与流路形成部件50之间。在散热部60设置有将上述的第一流路(内部空间S1)和第二流路(开口部53)连接的贯通孔。

具体而言，散热部60包括第一散热部61和第二散热部62。第一散热部61和第二散热部62例如由单个散热板构成。此外，第一散热部61和第二散热部62也可以由独立的多个散热板构成。另外，第一散热部61和第二散热部62也可以包括散热润滑脂等。

第一散热部61配置于流路形成部件50的第一面50a侧。第一散热部61在框部51的一端部侧以覆盖开口部53的方式配置于第一面50a上。第一散热部61如后述那样通过多个紧固部件70紧固于第一面50a。

在第一散热部61设置有多个贯通孔61a。多个贯通孔61a设置于与压电泵1的第二流路孔2e对应的位置。贯通孔61a将第一流路(内部空间S1)和第二流路(开口部53)连接。

第二散热部62配置于流路形成部件50的第二面50b侧。第二散热部62在框部51的另一端部侧以覆盖开口部53的方式配置于第二面50b上。第二散热部62如后述那样通过多个紧固部件70紧固于第二面50b。

在第二散热部62设置有多个贯通孔62a。多个贯通孔62a设置于与压电泵1的第二流路孔2e对应的位置。贯通孔62a将第一流路(内部空间S1)和第二流路(开口部53)连接。

在这里，上述的多个压电泵1包括配置于流路形成部件50的第一面50a侧的多个压电泵1A、和配置于流路形成部件50的第二面50b侧的多个压电泵1B。

在实施方式1中，多个压电泵1A的个数和多个压电泵1B的个数各是四个，但并不限定于此，多个压电泵1A的个数和多个压电泵1B的个数只要分别为一个以上即可。

多个压电泵1A排列成矩阵状而配置。多个压电泵1A配置在同一平面上。具体而言，多个压电泵1A以底部2b与第一散热部61抵接的方式配置于第一散热部61上。这样将多个压电泵1A与第一散热部61抵接，从而能够将在多个压电泵1A中产生的热量从第一散热部61散热。

多个压电泵1B排列成矩阵状而配置。多个压电泵1B配置在同一平面上。具体而言，多个压电泵1B以底部2b与第二散热部62抵接的方式配置于第二散热部62上。这样将多个压电泵1B与第二散热部62抵接，从而能够将在多个压电泵1B中产生的热从第二散热部62散热。

此外，多个压电泵1A和多个压电泵1B也可以配置成交错状。多个压电泵1A和多个压电泵1B的配置能够适当地变更。

如后所述，第一散热部61和第二散热部62的至少一方设置为其一部分从流路形成部件50伸出。在实施方式1中，第一散热部61和第二散热部62各自的一部分从流路形成部件50伸出。由此，第一散热部61以及第二散热部62与外部空气接触的面积增加，能够高效地散热。

特别是，在使用多个压电泵1的情况下，发热量变多。因此，如上述那样，使第一散热部61和第二散热部62与外部空气接触的面积增加，从而能够高效地进行散热。

并且，在多个压电泵1A和多个压电泵1B配置为彼此相向的情况下，发热部位集中。即使在该情况下，如上述那样，通过使第一散热部61以及第二散热部62与外部空气接触的面积增加，也能够高效地进行散热。

第一辅助散热部63与第一散热部61平行地配置。第一辅助散热部63载置于第一压电泵1A的顶部2a。第一辅助散热部63在与第一散热部61之间夹持多个压电泵1A。由此，能够稳定地固定多个压电泵1A的姿势。另外，也能够从第一辅助散热部63对在多个压电泵1A中产生的热量进行散热，因此促进散热。

第一辅助散热部63具有用于使多个压电泵1A所具有的喷嘴2c向外部露出的多个贯通孔63a。在第一辅助散热部63载置于顶部2a的状态下，喷嘴2c贯通贯通孔63a。

第二辅助散热部64与第二散热部62平行地配置。第二辅助散热部64载置于第一压电泵1B的顶部2a。第二辅助散热部64在与第二散热部62之间夹持多个压电泵1B。由此，能够稳定地固定多个压电泵1B的姿势。另外，也能够从第二辅助散热部64对在多个压电泵1B中产生的热进行散热，因此促进散热。

第二辅助散热部64具有用于使多个压电泵1B所具有的喷嘴2c向外部露出的多个贯通孔64a。在第二辅助散热部64载置于顶部2a的状态下，喷嘴2c贯通贯通孔64a。

第一辅助散热部63和第二辅助散热部64例如由单个散热板构成。此外，第一辅助散热部63以及第二辅助散热部64也可以由独立的多个散热板构成。

多个紧固部件70的每一个包括螺栓71和螺母72。从排列有第一辅助散热部63、第一散热部61、框部51、第二散热部62、第二辅助散热部64的排列方向的一侧以贯通这些第一辅助散热部63、第一散热部61、框部51、第二散热部62、第二辅助散热部64的方式插入螺栓71，从该排列方向的另一侧将螺母72嵌入螺栓71的前端。而且，紧固螺母72。由此，第一辅助散热部63和第一散热部61、以及第二散热部62、第二辅助散热部64固定于框部51。并且，多个压电泵1A被第一辅助散热部63和第一散热部61夹持，多个压电泵1B被第二辅助散热部64和第二散热部62夹持。

图3是实施方式1所涉及的压电泵的分解立体图。参照图3对实施方式1所涉及的压电泵1进行说明。

压电泵1具备盖板11、流路板12、对置板13、振动板14、压电元件15、绝缘板17、供电板18、隔膜5以及阀壳体4，通过将这些按顺序层叠而构成。此外，将从盖板10朝向阀壳体4的方向设为上方向，将从阀壳体4朝向盖板11的方向设为下方向。

上述的压电泵1的壳体2由泵壳体3和阀壳体4构成。泵壳体3通过将盖板11、流路板12、对置板13、振动板14、压电元件15、绝缘板17以及供电板18按顺序层叠而构成。

在盖板11设置有流路孔31(第二流路孔2e)。在流路板12设置有与上述流路孔31连通的流路孔32。在对置板13设置有与流路孔32连通的流路孔33。另外，在对置板13设置有外部连接端子6A。

在振动板14设置有与流路孔33连通的流路孔34，在其内部设置有振动部14a。流路孔34具有圆形，振动部14a具有圆板形状。振动部14a设置为可振动。

压电元件15具有圆板形状。压电元件15的下表面与振动部14a抵接，经由对置板13与外部连接端子6A连接。压电元件15的上表面与后述的内部连接端子7抵接，经由供电板18与外部连接端子6B连接。对外部连接端子6A、6B之间施加电压，从而对压电元件15施加驱动电压。由此，使振动部14a振动。

绝缘板17使振动板14与供电板18之间电绝缘。绝缘板17具有与流路孔34连通的圆形的流路孔37。流路孔37设置为使压电元件15向上方露出。

在供电板18设置有流路孔38。供电板18具有朝向流路孔38的内部延伸的内部连接端子7、和朝向外部延伸的外部连接端子6B。

隔膜5具有柔软性，具有平膜状的形状。隔膜5夹于泵壳体3与阀壳体4之间。隔膜5防止从泵壳体3流向阀壳体4的流体倒流到泵壳体3。在隔膜5设置有孔部5a。

阀壳体4构成压电泵1的上部。在阀壳体4设置有上述的喷嘴2c。

在泵壳体3中，通过使流路孔32、33、34、37、38连通从而形成内部空间。通过阀壳体4的内部空间和该泵壳体3的内部空间形成上述的壳体2内的内部空间S1。

如上述那样，对压电元件15施加驱动电压，从而在泵壳体3的内部空间产生压力变动，流体从泵壳体3朝向阀壳体4流动。在这种情况下，隔膜5的中央部从泵壳体3朝向阀壳体4侧被挤压。此时，上述孔部5a从供电板18离开，经由该孔部5a使阀壳体4的内部空间和该泵壳体3的内部空间连通。另外，隔膜5与设置于阀壳体4的多个孔部41抵接，堵塞多个孔部41。由此，在阀壳体4的内部空间流动的流体从喷嘴2c被排出。

另一方面，在流体倒流从阀壳体4侧朝向泵壳体3侧的情况下，隔膜5朝向泵壳体3侧被挤压。此时，上述孔部5a与供电板18抵接，并且隔膜5与多个孔部41分离。由此，阀壳体4的内部空间和该泵壳体3的内部空间被隔断，倒流的流体从孔部41被排出。此外，在第一辅助散热部63和第二辅助散热部64中，在与孔部41对应的位置设置有贯通孔，从孔部41排出的流体通过该贯通孔向泵单元100的外部排出。

图4是实施方式1所涉及的流路形成部件的立体图。参照图4对实施方式1所涉及的流路形成部件50进行说明。

如图4所示，流路形成部件50中的框部51包括第一边部54、第二边部55、第三边部56以及第四边部57。在第一边部54设置有使第二流路(开口部53)与流路形成部件50的外部连通的作为连通部的喷嘴部52。第一边部54设置为大致直线状。喷嘴部52设置于第一边部54的中央部。

第二边部55与第一边部54对置地配置。第二边部55在中央部具有朝向第一边部54凹陷的第一凹部55a。

第三边部56将第一边部54和第二边部55的一端彼此连接。第三边部56在中央部具有朝向第四边部57凹陷的第二凹部56a。

第四边部57将第一边部54和第二边部55的另一端彼此连接。第四边部57与第三边部56对置地配置。第四边部57在中央部具有朝向第三边部56凹陷的第三凹部57a。

这样，通过设置第一凹部55a、第二凹部56a、第三凹部57a，第一散热部61和第二散热部62如上述那样从流路形成部件50朝向外部伸出。

另外，第一凹部55a的凹陷量比第二凹部56a以及第三凹部57a的凹陷量大。由此，能够将框部51内的空间分割成第三边部56侧和第四边部57侧，且使框部51内的空间减少。并且，在分割后的空间部，通过设置第二凹部56a和第三凹部57a，能够使第三边部56侧的空间和第四边部57侧的空间进一步减少。其结果，能够使流路形成部件50中的第二流路的容积变小，因此能够提高吸引或者排放的响应性。

框部51具有多个角部C1、C2、C3、C4。角部C1设置于第一边部54与第三边部56的连接部。角部C2设置于第三边部56与第二边部55的连接部。角部C3设置于第二边部55与第四边部57的连接部。角部C4设置于第四边部57与第一边部54的连接部。

第一散热部61在至少多个角部C1、C2、C3、C4，通过上述多个紧固部件70固定于第一面50a。第二散热部62在至少多个角部C1、C2、C3、C4，通过上述多个紧固部件70固定于第二面50b。

具体而言，在角部C1设置有贯通孔h1。在角部C2设置有贯通孔h2。在角部C3设置有贯通孔h3。在角部C4设置有贯通孔h4。

在第一散热部61、第二散热部62、第一辅助散热部63以及第二辅助散热部64的每一个中，在与这些贯通孔h1、h2、h3、h4对应的位置也设置有贯通孔。

将第一辅助散热部63、第一散热部61、框部51、第二散热部62以及第二辅助散热部64层叠，将上述的螺栓71插入贯通孔，用螺母72紧固螺栓71的前端侧。由此，第一辅助散热部63、第一散热部61、第二散热部62以及第二辅助散热部64在多个角部C1、C2、C3、C4固定于框部51。

在多个角部C1、C2、C3、C4，将第一散热部61和第二散热部62固定于框部51，从而能够提高第一散热部61以及第二散热部62与框部51的密接性。由此，在用第一散热部61和第二散热部62堵塞框部51的开口部53时，能够确保开口部53内的气密性。

并且，框部51包括主体部511、设置于主体部511的上表面侧的密封部512、以及设置于主体部511的下表面侧的密封部513。主体部511为了确保刚度由树脂部件设置。密封部512、513提高第一散热部61与框部51、以及第二散热部62与框部51的密接性。由此，在用第一散热部61和第二散热部62堵塞框部51的开口部53时，能够进一步确保开口部53内的气密性。密封部512、513例如能够使用可弹性变形的片部件、或者衬垫等的橡胶部件。

此外，在实施方式1中，在多个角部C1、C2、C3、C4以外，在第一凹部55a也设置贯通孔h5，也能够在第一凹部55a固定第一散热部61和第二散热部62。在这样固定的情况下，能够进一步提高第一散热部61、第二散热部62与框部51的密接性。其结果，能够进一步确保开口部53内的气密性。

如以上那样，在实施方式1所涉及的泵单元100中，以在流路形成部件50与多个压电泵1的每一个之间配置散热部60的方式将压电泵1组装于流路形成部件50。并且，在散热部60设置贯通孔，通过该贯通孔，将流路形成部件50所具有的第二流路和压电泵1所具有的第一流路连接。

因此，能够确保供流体流动的流路，并且将多个压电泵1组装于流路形成部件50。并且，在流路形成部件50与多个压电泵1的每一个之间配置散热部60，从而能够将在多个压电泵1的每一个中产生的热量从散热部60散热。

这样，在实施方式1所涉及的泵单元100中，能够兼得多个压电泵1的组装性和散热性。

(实施方式2)

图5是实施方式2所涉及的泵单元的简要剖视图。参照图5对实施方式2所涉及的泵单元100A进行说明。

如图5所示，实施方式2所涉及的泵单元100A与实施方式1所涉及的泵单元100相比，主要不同的点在于开口部53在流路形成部件50的第二面50b侧被关闭，仅在第一面50a侧配置多个压电泵1。因此，在实施方式2所涉及的泵单元100A中，没有设置第二散热部62和第二辅助散热部64。对于其他的结构，与实施方式1大致同样，因此在这里省略其说明。

即使是这样构成的情况，实施方式2所涉及的泵单元100A也能获得与实施方式1所涉及的泵单元100大致同样的效果。

(实施方式3)

图6是实施方式3所涉及的泵单元的立体图。此外，在图6中，为了方便起见，省略与实施方式1对应的第一辅助散热部63、第二辅助散热部64、以及多个紧固部件70。参照图6对实施方式3所涉及的泵单元100B进行说明。

如图6所示，实施方式3所涉及的泵单元100B与实施方式1所涉及的泵单元100相比，流路形成部件50的大小和形状不同。对于其他的结构，大致同样。

在流路形成部件50的框部51中，与实施方式1相比未设置凹部，由此，框部51设置为矩形框状。并且，在从该框部51的中心轴向观察的情况下，框部51的外径比散热部60的外径小。即，实施方式2所涉及的框部51的宽度比实施方式1所涉及的框部51的宽度小。由此，第一散热部61和第二散热部62从框部51露出。

即使是这样构成的情况，实施方式3所涉及的泵单元100B也能获得与实施方式1大致同样的效果。

(实施方式4)

图7是表示实施方式4所涉及的泵单元的一部分的俯视图。图7是在将流路形成部件50、多个压电泵1以及第一散热部61组装好的状态下，从流路形成部件50侧观察泵单元100C的俯视图。参照图7对实施方式4所涉及的泵单元100C进行说明。

如图7所示，在实施方式4所涉及的泵单元100C与实施方式1所涉及的泵单元100进行比较的情况下，在流路形成部件50中，框部51C的形状不同。对于其他的结构，大致同样。

框部51C包括躯干部51C1和多个分支部51C2。躯干部51C1以与第一散热部61的中央重叠的方式设置为大致直线状。分支部51C2设置为能够与设置于压电泵1的多个第二流路孔2e连接。

即使是这样构成的情况，实施方式4所涉及的泵单元100C也能获得与实施方式1大致同样的效果。另外，能够减小流路形成部件50中的第二流路的容积，因此能够提高吸引或者排放的响应性。

(实施方式5)

图8是实施方式5所涉及的泵单元的立体图。此外，在图8中，为了方便起见，用双点划线表示后述的第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66。参照图8对实施方式5所涉及的泵单元100D进行说明。

如图8所示，在实施方式5所涉及的泵单元100D与实施方式1所涉及的泵单元100进行比较的情况下，主要是流路形成部件50D的形状、多个压电泵1的配置、散热部60D的结构不同。另外，不同的点在于没有设置辅助散热部。

在实施方式5中，流路形成部件50D具有中空的块形状。流路形成部件50D具有大致长方体形状，在内部形成成为第二流路的空间部。该空间部与喷嘴部52连通。

流路形成部件50D在第一方向上具有彼此相对的第一面50a和第二面50b，在与第一方向正交的第二方向上具有彼此相对的第三面50c和第四面50d。

泵单元100D具备第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66作为散热部60D。

第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66的每一个例如由单个散热板构成。第一散热部61配置于第一面50a侧。

第二散热部62配置于第二面50b侧。第三散热部65配置于第三面50c侧。

第四散热部66配置于第四面50d侧。

多个压电泵1包括多个压电泵1A、多个压电泵1B、多个压电泵1C以及多个压电泵1D。压电泵1A、压电泵1B、压电泵1C以及压电泵1D的个数分别为两个，但并不限定于此，也可以是一个，也可以是三个以上。

多个压电泵1A配置于第一面50a侧。多个压电泵1B配置于第二面50b侧。多个压电泵1C配置于第三面50c侧。多个压电泵1D配置于第四面50d侧。

多个压电泵1A通过导热性的粘着剂等固定于第一散热部61。多个压电泵1B通过导热性的粘着剂等固定于第二散热部62。多个压电泵1C通过导热性的粘着剂等固定于第三散热部65。多个压电泵1D通过导热性的粘着剂等固定于第四散热部66。

在这种情况下，在第一面50a、第二面50b、第三面50c以及第四面50d的每个面中，在与多个压电泵1A、多个压电泵1B、多个压电泵1C以及多个压电泵1D的第二流路孔2e对应的位置设置有贯通孔。另外，在第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66的每一个中，在与多个压电泵1A、多个压电泵1B、多个压电泵1C以及多个压电泵1D的第二流路孔2e对应的位置设置有贯通孔。

由此，通过设置于第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66的每一个的贯通孔，将流路形成部件50D的空间部(第二流路)和多个压电泵1的内部空间(第一流路)连接。

在流路形成部件50D中，在该流路形成部件50D和散热部60D(第一散热部61、第二散热部62、第三散热部65以及第四散热部66)对置的部分，设置有用于使散热部60D露出的切除部50D1。由此，在流路形成部件50D与散热部60D之间形成间隙，散热部60D的一部分向外部露出。

即使是这样构成的情况，实施方式5所涉及的泵单元100D也能获得与实施方式1所涉及的泵单元100大致同样的效果。另外，在实施方式5所涉及的泵单元100D中，能够使压电泵1的个数增加，因此能够提高泵单元100D的吸引能力、或者排放能力。

此外，在实施方式5中，例示并说明了流路形成部件50D具有中空的长方体形状的情况，但并不限定于此，只要形成第二流路，也可以是中空的棱柱形状。另外，在实施方式5中，也可以进一步设置多个辅助散热部。

将上述的多个实施方式中的特征部分适当地组合从最初被预定。例如，在实施方式1～4中，也可以如实施方式5那样省略辅助散热部。另外，在实施方式1～4中，只要不脱离本发明的主旨，代替多个紧固部件70，也可以使用粘着剂等。

上述的实施方式1～5所涉及的泵单元例如能够用于口腔护理用吸引器。此外，泵单元的使用例并不限定于口腔护理用吸引器，能够用于排放或者吸引流体的泵。

以上，本次发明的实施方式全部的点是例示，并非是对本发明进行的限制。本发明的范围由权利要求书表示，包括与权利要求书等同的意思以及在其范围内的全部变更。

附图标记说明

1、1A、1B、1C、1D…压电泵；2…壳体；2a…顶部；2b…底部；2c…喷嘴；2d…第一流路孔；2e…第二流路孔；3…泵壳体；4…阀壳体；5…隔膜；5a…孔部；6A、6B…外部连接端子；7…内部连接端子；11…盖板；12…流路板；13…对置板；14…振动板；14a…振动部；15…压电元件；16…振动单元；17…绝缘板；18…供电板；31、32、33、34、37、38…流路孔；41…孔部；50、50D…流路形成部件；50D1…切除部；50a…第一面；50b…第二面；50c…第三面；50d…第四面；51、51C…框部；51C1…躯干部；51C2…分支部；52…喷嘴部；53…开口部；54…第一边部；55…第二边部；55a…第一凹部；56…第三边部；56a…第二凹部；57…第四边部；57a…第三凹部；60、60D…散热部；61…第一散热部；61a、62a…贯通孔；62…第二散热部；63…第一辅助散热部；64…第二辅助散热部；65…第三散热部；66…第四散热部；70…紧固部件；71…螺栓；72…螺母；100、100A、100B、100C、100D…泵单元；511…主体部；512、513…密封部。

Claims

1.一种泵单元，其中，具备：

多个压电泵，分别具有第一流路，能够吸引或者排放流体；

流路形成部件，具有用于与多个所述第一流路的每一个连接的第二流路；以及

散热部，对在所述多个压电泵的每一个中产生的热量进行散热，

所述散热部配置于所述多个压电泵的每一个与所述流路形成部件之间，

在所述散热部设置有将所述第一流路和所述第二流路连接的贯通孔。

2.根据权利要求1所述的泵单元，其中，

所述流路形成部件具有彼此相对的第一面和第二面，

所述散热部和所述多个压电泵配置于所述第一面侧。

3.根据权利要求2所述的泵单元，其中，

所述散热部由单个的散热板构成。

4.根据权利要求2或3所述的泵单元，其中，

所述散热部设置为其一部分从所述流路形成部件伸出。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的泵单元，其中，

所述流路形成部件包括框部，所述框部划定出朝向配置有所述多个压电泵的一侧敞开的敞开部，

所述第一面是位于所述框部的一端侧的端面，

所述散热部配置于所述第一面上以便覆盖所述敞开部，并通过多个紧固部件固定于所述第一面。

6.根据权利要求5所述的泵单元，其中，

所述框部包括多个角部，

所述散热部在所述多个角部固定于所述第一面。

7.根据权利要求5或6所述的泵单元，其中，

所述框部包括设置有使所述第二流路与所述流路形成部件的外部连通的连通孔部的第一边部、与该第一边部对置的第二边部、将所述第一边部和所述第二边部的一端彼此连接的第三边部、以及将所述第一边部和所述第二边部的另一端彼此连接的第四边部，

所述第二边部在中央具有朝向所述第一边部凹陷的第一凹部，

所述第三边部在中央具有朝向所述第四边部凹陷的第二凹部，

所述第四边部在中央具有朝向所述第三边部凹陷的第三凹部，

所述第一凹部的凹陷量比所述第二凹部以及所述第三凹部的凹陷量大。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的泵单元，其中，

所述泵单元还具备辅助散热部，所述辅助散热部在与所述散热部之间夹持所述多个压电泵。

9.根据权利要求1所述的泵单元，其中，

所述流路形成部件具有彼此相对的第一面和第二面，

所述散热部包括配置于所述第一面侧的第一散热部、和配置于所述第二面侧的第二散热部，

所述多个压电泵包括配置于所述第一面侧的一个以上的压电泵、和配置于所述第二面的一个以上的压电泵。

10.根据权利要求9所述的泵单元，其中，

所述第一散热部和所述第二散热部的每一个由一个散热板构成。

11.根据权利要求9或10所述的泵单元，其中，

配置于所述第一面侧的一个以上的压电泵与配置于所述第二面侧的一个以上的压电泵配置为彼此相向。

12.根据权利要求9～11中任一项所述的泵单元，其中，

所述第一散热部和所述第二散热部的至少一个设置为其一部分从所述流路形成部件伸出。

13.根据权利要求9～12中任一项所述的泵单元，其中，

所述流路形成部件包括框部，所述框部具有设置有所述第一面的一端部侧和设置有所述第二面的另一端部侧，并设置有从所述一端部侧到所述另一端部侧开口的开口部，

所述第一散热部在所述一端部侧配置于所述第一面上以便覆盖所述开口部，

所述第二散热部在所述另一端部侧配置于所述第二面上以便覆盖所述开口部，

所述第一散热部以及所述第二散热部通过多个紧固部件固定于所述第一面以及所述第二面。

14.根据权利要求13所述的泵单元，其中，

所述框部包括多个角部，

所述第一散热部以及所述第二散热部在所述多个角部固定于所述第一面以及所述第二面。

15.根据权利要求13或14所述的泵单元，其中，

16.根据权利要求9～15中任一项所述的泵单元，其中，

还具备：

第一辅助散热部，在与所述第一散热部之间夹持配置于所述第一面侧的所述一个以上的压电泵；和

第二辅助散热部，在与所述第二散热部之间夹持配置于所述第二面侧的所述一个以上的压电泵。

17.根据权利要求1所述的泵单元，其中，

在所述流路形成部件中，在该流路形成部件和所述散热部对置的部分，设置有用于使所述散热部露出的切除部。