JP2001342964A - ベローズ式ポンプ装置 - Google Patents

ベローズ式ポンプ装置

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JP2001342964A
JP2001342964A JP2000162397A JP2000162397A JP2001342964A JP 2001342964 A JP2001342964 A JP 2001342964A JP 2000162397 A JP2000162397 A JP 2000162397A JP 2000162397 A JP2000162397 A JP 2000162397A JP 2001342964 A JP2001342964 A JP 2001342964A
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JP
Japan
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bellows
dead volume
pump device
type pump
working fluid
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JP2000162397A
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Eitaro Tanaka
田中  栄太郎
Shingo Morishima
信悟 森島
Toshihiro Mafune
利宏 真船
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Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のベローズ式ポンプ装置は、ベローズの
内部に生じる死容積を死容積埋部材で埋めるだけの構造
であり、死容積埋部材の占める大きなスペースが有効利
用できておらず、体格が大きくなっていた。 【解決手段】 ポンプユニット1は、第1ベローズポン
プ2の内部に配置された死容積埋部材3のさらに内部に
第2ベローズポンプ4を配置した構造を採用する。これ
によって、第1ベローズ5の内部に生じる第1死容積1
3の内部で第2ベローズ9が伸縮できる。つまり、従来
では利用されていなかった第1死容積13内で第2ベロ
ーズポンプ4がポンプ能力を発生する。この結果、ポン
プユニット1のポンプ能力が高まり、従来と同等のポン
プ能力を得るのであれば、ポンプユニット1の体格を小
型化できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ベローズの伸縮に
よる容積変化を利用して作動流体の吸引と圧送を行うベ
ローズ式ポンプ装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ベローズ式ポンプ装置は、ベローズの伸
縮による容積変化を利用したポンプであり、ベローズは
長期に亘って繰り返し伸縮作動を受ける。ここで、ベロ
ーズは、伸縮を受けると、蛇腹の山部と谷部に応力が集
中する。このため、耐久性の点から、ベローズの全長に
対して伸縮量を大きくとることができず、ベローズの内
部に総容積の半分以上の死容積が生じてしまう。そこ
で、従来では、図10に示すように、ベローズJ1 の内
部に円柱形状の死容積埋部材J2 を配置して、死容積J
3 を埋めて圧縮比を向上させるように設けられていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の構造で
は、死容積J3 を死容積埋部材J2 で埋めるだけの構造
であり、死容積埋部材J2 の占める大きなスペースが有
効利用できていなかったため、ベローズ式ポンプ装置の
体格が大きくなってしまう。本発明の目的は、死容積を
有効利用することで、ベローズ式ポンプ装置の体格を小
型化する、あるいはベローズ式ポンプ装置のポンプ能力
を高めることにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】〔請求項1の手段〕請求
項1の手段を採用することにより、第1ベローズの内部
に生じる死容積の内部で第2ベローズが伸縮できる。つ
まり、第1ベローズの内部に生じる死容積が第2ベロー
ズポンプの作動スペースとして利用できるため、第1ベ
ローズポンプのポンプ能力に、第2ベローズポンプのポ
ンプ能力が加わることとなり、ベローズ式ポンプ装置の
ポンプ能力が高まる。また、請求項1のベローズ式ポン
プ装置は、第1ベローズの内部に生じる死容積を利用し
てポンプ能力を得ているため、従来と同等のポンプ能力
を得るのであれば、ベローズ式ポンプ装置の体格を従来
に比較して小型化できる。
【0005】〔請求項2の手段〕請求項2の手段を採用
することにより、ベローズ式ポンプ装置における作動流
体の吸入通路、および吐出通路の取回しがシンプルにな
る。
【0006】〔請求項3の手段〕請求項3の手段を採用
することにより、第1ベローズポンプおよび第2ベロー
ズポンプで圧縮されて昇温する作動流体を冷却できるた
め、昇温による圧送ロスを抑えることができる。
【0007】〔請求項4の手段〕請求項4の手段を採用
することにより、駆動手段を含めたベローズ式ポンプ装
置の体格を小型化できる。
【0008】〔請求項5の手段〕請求項5の手段を採用
することにより、ベローズが伸縮する際に、ベローズの
山部と谷部の間に設けた波状の部分が変形するため、ベ
ローズの山部と谷部にかかる応力集中を緩和することが
できる。
【0009】〔請求項6の手段〕請求項6の手段を採用
することにより、駆動端側のベローズの強度が向上する
ため、高速で伸縮駆動した際、駆動端側が主に伸縮する
不具合が防がれ、伸縮ストロークを駆動端から離れた側
にも伝えることができる。
【0010】〔請求項7の手段〕請求項7の手段を採用
することにより、ベローズの山部と谷部へ応力が集中し
なくなり、他の部分に応力が分散される構造になる。ま
た、ベローズをパイプから形成する場合や、リング板の
山部と谷部を溶接によって1つづつ接合する場合に比較
して、簡単にベローズを製造でき、コストを抑えること
ができる。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、複数の実
施例および変形例を用いて説明する。 〔第1実施例〕図1はベローズ式ポンプ装置に搭載され
るポンプユニット1の断面図である。なお、この実施例
に示すポンプユニット1は、例えば、水素供給用ポンプ
に用いられるものであり、水素を透過せず、破毒性およ
び耐久性に優れた金属材料(例えばステンレス)によっ
て構成されるものである。
【0012】ポンプユニット1は、第1ベローズポンプ
2、この第1ベローズポンプ2の内部に配置された死容
積埋部材3のさらに内部に配置された第2ベローズポン
プ4を具備する。第1ベローズポンプ2は、軸方向に弾
性的に伸縮する蛇腹状の筒形を呈した第1ベローズ5を
有し、この第1ベローズ5の伸縮による容積変化を利用
して作動流体の吸引と圧送を行うものである。
【0013】第1ベローズ5は、図示右側端部が伸縮駆
動を受ける駆動端であり、図示左側端部が固定端であ
る。第1ベローズ5の駆動端は、円盤状の大径キャップ
6にろう付けや溶接等の接合技術によって接合されたも
のであり、大径キャップ6の受ける往復動によって第1
ベローズ5の駆動端を往復駆動するものである。第1ベ
ローズ5の固定端は、有底筒状を呈した死容積埋部材3
の開口側(図示左側)に設けられたフランジ7に、ろう
付けや溶接等の接合技術によって接合されたものであ
り、第1ベローズ5、大径キャップ6、死容積埋部材3
に囲まれて外部と遮断された空間によって、第1ベロー
ズポンプ2の第1作動室8が形成される。
【0014】第2ベローズポンプ4は、死容積埋部材3
の内部に配置され、軸方向に弾性的に伸縮する蛇腹状の
筒形を呈した小径の第2ベローズ9を有するものであ
り、この第2ベローズ9の伸縮による容積変化を利用し
て作動流体の吸引と圧送を行うものである。
【0015】第2ベローズ9は、図示左側端部が伸縮駆
動を受ける駆動端であり、図示右側端部が固定端であ
る。第2ベローズ9の駆動端は、円盤状の小径キャップ
10にろう付けや溶接等の接合技術によって接合された
ものであり、小径キャップ10の受ける往復動によって
第2ベローズ9の駆動端を往復駆動するものである。第
2ベローズ9の固定端は、死容積埋部材3の底壁にろう
付けや溶接等の接合技術によって接合されたものであ
る。なお、第2ベローズ9の内部には、第2ベローズ9
による作動流体の圧縮比を向上させるための小径死容積
埋部材11が配置されている。そして、第2ベローズ
9、小径キャップ10、小径死容積埋部材11に囲まれ
て外部と遮断された空間によって、第2ベローズポンプ
4の第2作動室12が形成される。
【0016】死容積埋部材3は、第1ベローズ5の内部
空間に生じる第1死容積13を埋め、第1作動室8の作
動流体圧縮比を向上させて適切な圧縮比を得るための部
材であり、図示右側に閉塞した有底筒状を呈するもので
ある。また、この死容積埋部材3は、上述した小径死容
積埋部材11を備えるものである。この小径死容積埋部
材11は、第2ベローズ9の内部空間に生じる第2死容
積14を埋め、第2作動室12の作動流体圧縮比を向上
させて適切な圧縮比を得るための部材であり、円柱棒状
を呈するものである。
【0017】死容積埋部材3の内部には、第1作動室8
および第2作動室12へ作動流体を導くための吸入通路
15、および第1作動室8および第2作動室12から圧
送された作動流体を外部へ導くための吐出通路16が形
成されている。これにより、ポンプユニット1における
吸入通路15および吐出通路16の取回しがシンプルに
なる。
【0018】吸入通路15と第1作動室8を連通する部
分には、吸入通路15から第1作動室8に向かってのみ
作動流体を流す一方向弁である第1吸入弁17が設けら
れている。また、吸入通路15と第2作動室12を連通
する部分にも、吸入通路15から第2作動室12に向か
ってのみ作動流体を流す一方向弁である第2吸入弁18
が設けられている。一方、吐出通路16と第1作動室8
を連通する部分には、第1作動室8から吐出通路16に
向かってのみ作動流体を流す一方向弁である第1吐出弁
19が設けられている。また、吐出通路16と第2作動
室12を連通する部分にも、第2作動室12から吐出通
路16に向かってのみ作動流体を流す一方向弁である第
2吐出弁20が設けられている。なお、第1、第2吸入
弁17、18、および第1、第2吐出弁19、20は、
リード弁あるいはチェック弁など、周知の一方向弁を用
いたものである。
【0019】〔第1実施例の作動〕ポンプユニット1の
両駆動端である大径キャップ6および小径キャップ10
を、カムやクランク等を用いた往復動機構によって対向
させて伸縮駆動することにより、第1、第2ベローズ
5、9が同時に伸縮する。第1、第2ベローズ5、9が
伸びる際は、第1、第2作動室8、12の容積の増大に
よって、吸入通路15から第1、第2作動室8、12内
に作動流体が流入する。続いて、第1、第2ベローズ
5、9が収縮すると、第1、第2作動室8、12の容積
の減少によって、第1、第2作動室8、12の作動流体
が圧縮され、圧縮された作動流体が吐出通路16を介し
て外部へ圧送される。つまり、大径キャップ6および小
径キャップ10を連続して伸縮駆動することで、第1ベ
ローズポンプ2と第2ベローズポンプ4が同時に連続作
動し、吸入通路15から作動流体を連続的に吸引すると
ともに、吐出通路16から作動流体を連続的に吐出す
る。
【0020】〔第1実施例の効果〕上記の実施例で示し
たように、第1ベローズ5の内部に生じる第1死容積1
3の内部で第2ベローズ9が伸縮できる。つまり、従来
では利用されていなかった第1死容積13の内部で第2
ベローズポンプ4がポンプ能力を発生することになり、
ポンプユニット1のポンプ能力が高まる。このため、従
来と同等のポンプ能力を得るのであれば、従来のものに
比較してポンプユニット1の体格を小型化できる。
【0021】〔第2実施例〕図2は第1実施例で示した
ポンプユニット1を2つ以上搭載したベローズ式ポンプ
装置を示す断面図である。この第2実施例は、電動モー
タ21(駆動手段に相当する)の出力シャフト22の周
りに、複数(この実施例では4つ)のポンプユニット1
を等間隔(90度間隔)で配置したものである。
【0022】この電動モータ21の発生する回転力を、
大径キャップ6および小径キャップ10の往復動に変換
する往復動機構を説明する。出力シャフト22の大径キ
ャップ6および小径キャップ10の外側には、出力シャ
フト22に対して傾斜した傾板23が固定されている。
この2枚の傾板23は、対向して異なった側に傾斜する
ものであり、その形状は円盤状を呈する。そして、各傾
板23の周囲には、断面略半円形の案内レール23aが
設けられている。
【0023】一方、大径キャップ6および小径キャップ
10のそれぞれには、出力シャフト22と平行な揺動シ
ャフト24が固定されている。この揺動シャフト24
は、複数のポンプユニット1を収納するケーシング25
に対して軸方向に摺動自在に支持されるものである。各
揺動シャフト24には、揺動シャフト24に対して回転
自在であるが、揺動シャフト24の軸方向へは移動しな
い滑車26が取り付けられている。この滑車26の周囲
には、傾板23のレール23aに嵌まり合う案内溝26
aが設けられている。
【0024】〔第2実施例の作動〕電動モータ21が作
動すると、出力シャフト22の回転に伴って2枚の傾板
23が傾斜した状態で回転する。すると、傾板23の端
部の揺動が滑車26を介して揺動シャフト24に伝わ
り、大径キャップ6および小径キャップ10が往復駆動
され、ポンプユニット1がポンプ作動(第1実施例の作
動参照)を行う。
【0025】〔第2実施例の効果〕この第2実施例で
は、出力シャフト22の回りに、4つのポンプユニット
1を90度間隔で配置し、それを2枚の傾板23を用い
て駆動したものであるため、各ポンプユニット1の動作
の位相が90度づつずれることになる。この結果、作動
流体の吸入および吐出の脈動が平均化される。なお、こ
のベローズ式ポンプ装置における吸入通路15と吐出通
路16の接続構造を、図3に示す。なお、この図3は、
図2のA−A線に沿って吸入通路15と吐出通路16を
見た概略図である。
【0026】〔第3実施例〕第3実施例は第1実施例で
示したポンプユニット1の変形例を示すものであり、そ
の構造を図4の断面図を用いて説明する。この第3実施
例は、死容積埋部材3の内部に、ポンプによって吸入お
よび吐出される作動流体を冷却するための冷却手段を設
けたものである。この冷却手段は、図4に示すように吸
入通路15および吐出通路16に沿って設けられた冷媒
通路27によって構成されるものであり、この冷媒通路
27の内部には、作動流体を冷却するための冷媒(例え
ば、水、フロン、LLC、空気等)が、ポンプ等によっ
て外部から供給されるものである。このように、冷媒通
路27に冷媒を流すことによって、第1、第2ベローズ
ポンプ2、4で圧縮されて高温になった作動流体が冷却
され、作動流体の熱膨張による吐出ロスを低減できる。
【0027】〔第4実施例〕第4実施例は第3実施例で
示したポンプユニット1の変形例を示すものであり、そ
の構造を図5の断面図を用いて説明する。この第4実施
例は、第3実施例の冷媒通路27に代えて、ヒートパイ
プ28を用いたものである。このヒートパイプ28は、
主に吐出通路16に沿って設けられており、第1、第2
ベローズポンプ2、4で圧縮されて高温になった作動流
体を冷却するものである。なお、ヒートパイプ28の外
側端部は、フィンやファン等によってヒートパイプ28
内の熱を放熱するように設けられるものである。
【0028】〔第5実施例〕第5実施例は第1実施例で
示したポンプユニット1の変形例を示すものであり、そ
の構造を図6の断面図を用いて説明する。この第5実施
例は、ベローズ式ポンプ装置が比較的大きい場合に適用
されるものであり、小径死容積埋部材11の内部に電動
モータ21(駆動手段)を配置したものである。
【0029】このように、小径死容積埋部材11の内部
に電動モータ21を配置しているため、電動モータ21
の出力シャフト22をポンプユニット1の外部へ取り出
すための取出穴29が、死容積埋部材3(小径死容積埋
部材11を含む)、および大径、小径キャップ6、10
に設けられている。そして、第1、第2作動室8、12
内の作動流体が、取出穴29を介して外部へ漏れないよ
うに、漏れ止め用の小径ベローズ30が、死容積埋部材
3と大径キャップ6との間、および小径死容積埋部材1
1と小径キャップ10との間に設けられている。このよ
うに、小径死容積埋部材11の内部に電動モータ21を
配置する構成を採用することにより、電動モータ21を
含めたベローズ式ポンプ装置の体格を小型化することが
できる。
【0030】また、この第5実施例では、この電動モー
タ21の発生する回転力を、大径キャップ6および小径
キャップ10の往復動に変換する往復動機構として、一
対の伝達ギヤ31、32とクランクシャフト33を用い
たものである。一対の伝達ギヤ31、32は、出力シャ
フト22の回転を90度変換するものであり、例えばか
さ歯車、ウォームホイール等を用いたものである。クラ
ンクシャフト33は、従動側のギヤ32に一端が連結さ
れ、他端が大径キャップ6あるいは小径キャップ10に
連結されたものであり、従動側のギヤ32の回転を往復
動に変換するものである。
【0031】〔第6実施例〕第6実施例はポンプユニッ
ト1に使用される第1、第2ベローズ5、9の構造に関
するものであり、その構造を図7の要部断面図を用いて
説明する。この第6実施例の第1ベローズ5および第2
ベローズ9は、蛇腹の山部34と谷部35の間の形状
が、微小な凹凸の繰り返しよりなる波状36に設けられ
たものである。このように設けることにより、第1、第
2ベローズ5、9が伸縮を受けた際、その変形の一部を
波状36の部分が受け持つため、蛇腹の山部34と谷部
35に応力が集中するのを緩和できる。これによって、
第1、第2ベローズ5、9の耐久性を高めることができ
る。あるいは、伸縮量を大きくとることが可能になるた
め、第1、第2ベローズ5、9に生じる死容積および小
径死容積を小さくすることができ、ポンプユニット1の
体格を小型化できる。
【0032】〔第7実施例〕第7実施例もポンプユニッ
ト1に使用される第1、第2ベローズ5、9の構造に関
するものであり、その構造を図8の要部断面図を用いて
説明する。この第7実施例の第1ベローズ5および第2
ベローズ9は、蛇腹の山部34と谷部35の曲率が、駆
動端(図8の上側)に近づくにつれて大きくなるように
設けられたものである。
【0033】このように設けることにより、駆動端側の
ベローズ強度が向上するため、高速で伸縮駆動した際、
駆動端側が主に伸縮する不具合が防がれ、伸縮ストロー
クを駆動端から離れた側へ伝えることができる。つま
り、高速駆動を受けた際に、ベローズ全体の山部34と
谷部35に応力が分散されることになり、第1、第2ベ
ローズ5、9の耐久性が向上する。このように第1、第
2ベローズ5、9を高速駆動することができることによ
り、単位時間当りの吸入量および吐出量を向上させるこ
とができ、ポンプユニット1の体格を小型化できる。
【0034】〔第8実施例〕第8実施例もポンプユニッ
ト1に使用される第1、第2ベローズ5、9の構造に関
するものであり、その構造を図9の要部断面図を用いて
説明する。この第8実施例の第1ベローズ5および第2
ベローズ9は、略皿板状のリング板37を交互に積層
し、各リング板37の外周側と内周側をそれぞれろう付
けによって接合したものである。なお、接合代を広めに
とることで、接合強度を高めることができるとともに、
作動流体の漏れを確実に防ぐことができる。
【0035】このように設けることにより、山部34と
谷部35への応力集中が緩和される。これによって、第
1、第2ベローズ5、9の耐久性を高めることができ
る。あるいは、伸縮量を大きくとることが可能になるた
め、第1、第2ベローズ5、9に生じる死容積および小
径死容積を小さくすることができ、ポンプユニット1の
体格を小型化できる。また、第1、第2ベローズ5、9
を金属パイプから形成する場合や、リング板37の山部
34と谷部35を溶接によって1つづつ接合する場合に
比較して、簡単にベローズを製造でき、製造コストを抑
えることができる。
【0036】なお、この第8実施例では、上記の第6実
施例と同様、蛇腹の山部34と谷部35の間の形状を波
状36に設け、第1、第2ベローズ5、9の伸縮性およ
び耐久性を向上させる例を示したものであるが、山部3
4と谷部35の間の波状36を無くしたものであっても
良い。また、この第8実施例では、各リング板37をろ
う付けによって接合した例を示したが、溶接によって各
リング板37を接合しても良い。
【0037】〔変形例〕上記の実施例では、本発明を水
素供給用ポンプに適用した例を示したが、例えば可燃性
ガス、毒性ガス等の気体圧送用ポンプや、可燃性液体、
毒性液体等の液体圧送用ポンプに適用しても良い。上記
の実施例では、死容積埋部材3の内部に、1つの第2ベ
ローズポンプ4を配置する例を示したが、2つ以上の第
2ベローズポンプ4を配置しても良い。上記の実施例で
は、ポンプユニット1の材質として、金属を用いた例を
示したが、ポンプユニット1の構成部材の一部、あるい
は全部を樹脂やゴムを用いて構成しても良い。つまり、
例えば、適用される作動流体に応じて、第1、第2ベロ
ーズ5、9を樹脂やゴムを用いて構成しても良い。
【図面の簡単な説明】
【図1】ポンプユニットの断面図である(第1実施
例)。
【図2】ベローズ式ポンプ装置の断面図である(第2実
施例)。
【図3】図2のA−A線に沿う吸入通路と吐出通路の概
略図である(第2実施例)。
【図4】ポンプユニットの断面図である(第3実施
例)。
【図5】ポンプユニットの断面図である(第4実施
例)。
【図6】ベローズ式ポンプ装置の断面図である(第5実
施例)。
【図7】ベローズの要部断面図である(第6実施例)。
【図8】キャップを含むベローズの要部断面図である
(第7実施例)。
【図9】ベローズの要部断面図である(第8実施例)。
【図10】ポンプユニットの断面図である(従来例)。
【符号の説明】
1 ポンプユニット 2 第1ベローズポンプ 3 死容積埋部材 4 第2ベローズポンプ 5 第1ベローズ 9 第2ベローズ 15 吸入通路 16 吐出通路 21 電動モータ(駆動手段) 27 冷媒通路(冷却手段) 28 ヒートパイプ(冷却手段) 34 山部 35 谷部 36 波状 37 リング板
フロントページの続き (72)発明者 真船 利宏 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 株式会 社デンソー内 Fターム(参考) 3H077 AA01 AA11 BB03 CC03 CC07 CC13 CC17 CC18 DD02 DD12 EE02 EE04 EE23 EE30 EE34 EE36 FF04 FF07 FF09 FF14 FF22 FF37 FF51 FF54

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】(a) 軸方向に弾性的に伸縮する蛇腹状の筒
    形を呈した第1ベローズを有し、この第1ベローズの伸
    縮による容積変化を利用して作動流体の吸引と圧送を行
    う第1ベローズポンプと、 (b) 前記第1ベローズの内部に配置され、前記第1ベロ
    ーズの内部に生じる死容積を埋めて作動流体の圧縮比を
    向上させるための死容積埋部材と、 (c) この死容積埋部材の内部に配置され、軸方向に弾性
    的に伸縮する蛇腹状の筒形を呈した第2ベローズを有
    し、この第2ベローズの伸縮による容積変化を利用して
    作動流体の吸引と圧送を行う第2ベローズポンプと、を
    具備するベローズ式ポンプ装置。
  2. 【請求項2】請求項1のベローズ式ポンプ装置におい
    て、 前記死容積埋部材は、前記第1ベローズと前記第2ベロ
    ーズの内部に作動流体を導くための吸入通路、および前
    記第1ベローズと前記第2ベローズから圧送された作動
    流体を外部へ導くための吐出通路を備えることを特徴と
    するベローズ式ポンプ装置。
  3. 【請求項3】請求項1または請求項2のベローズ式ポン
    プ装置において、 前記死容積埋部材は、作動流体を冷却するための冷却手
    段を備えることを特徴とするベローズ式ポンプ装置。
  4. 【請求項4】請求項1ないし請求項3のいずれかのベロ
    ーズ式ポンプ装置において、 前記死容積埋部材の内部には、前記第1ベローズおよび
    前記第2ベローズを伸縮させるための駆動力を発生させ
    る駆動手段が配置されたことを特徴とするベローズ式ポ
    ンプ装置。
  5. 【請求項5】請求項1ないし請求項4のいずれかのベロ
    ーズ式ポンプ装置において、 前記第1ベローズまたは前記第2ベローズの少なくとも
    一方は、蛇腹の山部と谷部の間の形状が、波状に設けら
    れたことを特徴とするベローズ式ポンプ装置。
  6. 【請求項6】請求項1ないし請求項5のいずれかのベロ
    ーズ式ポンプ装置において、 前記第1ベローズまたは前記第2ベローズの少なくとも
    一方は、蛇腹の山部と谷部の曲率が、駆動端に近づくに
    つれて大きくなるように設けられたことを特徴とするベ
    ローズ式ポンプ装置。
  7. 【請求項7】請求項1ないし請求項6のいずれかのベロ
    ーズ式ポンプ装置において、 前記第1ベローズまたは前記第2ベローズの少なくとも
    一方は、略皿板状のリング板を積層し、各リング板の外
    周側と内周側がそれぞれろう付けによって接合されたも
    のであることを特徴とするベローズ式ポンプ装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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