CN113505563A - 一种探针台map生成方法及系统 - Google Patents
一种探针台map生成方法及系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113505563A CN113505563A CN202110659512.9A CN202110659512A CN113505563A CN 113505563 A CN113505563 A CN 113505563A CN 202110659512 A CN202110659512 A CN 202110659512A CN 113505563 A CN113505563 A CN 113505563A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- map
- information
- test
- probe station
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 121
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 16
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 7
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000013102 re-test Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000013100 final test Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/30—Circuit design
- G06F30/39—Circuit design at the physical level
- G06F30/398—Design verification or optimisation, e.g. using design rule check [DRC], layout versus schematics [LVS] or finite element methods [FEM]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Evolutionary Computation (AREA)
- Geometry (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
本发明提供了一种探针台MAP生成方法及系统，该方法包括：提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；生成MAP模板，根据测试信息填充MAP模板，生成新MAP；显示新MAP；将新MAP保存为二进制文件。本发明提出一种探针台MAP生产方法及其系统，该方法(系统)能根据测试机(ATE)实时生成的测试数据(datalog、STDF等)提取出坐标x,y、bin别、良品属性pass/fail信息，并经过特定格式转化后，替换MAP模板中的对应字节，最终实现MAP的软件生成，减少了MAP丢失引起的重测或产品报废，极大地节约了成本。
Description
技术领域
本发明属于芯片测试领域，具体而言，涉及一种探针台MAP生成方法及系统。
背景技术
集成电路(芯片)广泛应用于消费电子/安防/工业设备/汽车电子等各行各业。所有的集成电路(芯片)产品在最终组装成产品前，必须要进行严格的测试，确保其具备设计之功能和品质才可以使用。集成电路测试分成封装前的晶圆级测试(Wafer Test)和封装后的成品级测试(Final Test)两部分。集成电路制造具备复杂的多道工艺流程，会带来一定的制造失效(不良品)，需要通过晶圆级测试把不良品筛选出来并剔除，封装制程同样工艺复杂，也会带来一定的封装失效(不良品)，需要通过成品级测试把不良品筛选出来并剔除。
在晶圆测试工序中，通常由一台测试机(ATE)和一台探针台(Prober)组合成一个测试工作站，测试机(ATE)的PC负责测试程序的执行和结果的反馈，探针台(Prober)接受测试机(ATE)测试结果指令并在其系统及屏幕上生成晶圆测试MAP，全片测试完毕，探针台(Prober)会产生MAP文件并按照预先设定上传指定服务器。
测试MAP通常由探针台生成，为二进制格式文件，不同的探针台厂家格式均不同，透过探针台(Prober)系统可读取并识别出MAP，在MAP图中绿色表示良品，红色表示不良品，但若发生探针台宕机时会造成该MAP丢失，轻则需要全片重测，重则导致产品报废(尤其是OTP(One Time Programmable)一次性编程芯片)。
发明内容
为了解决目前芯片测试过程中，探针台发生宕机时会造成MAP丢失，导致晶圆全片重测或者产品报废的问题，本申请实施例提供了一种探针台 MAP生成方法及系统，实现MAP的软件生成，减少了MAP丢失引起的重测或产品报废，极大地节约了成本。
第一方面，本申请实施例提供了一种探针台MAP生成方法，包括：
提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；
生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP；
显示所述新MAP；
将所述新MAP保存为二进制文件。
其中，所述提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息，包括：
解析所述测试机产生的测试数据，所述测试数据包括datalog、STDF文件；
从解析后的测试数据中，提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin 别。
其中，所述生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP，包括：
使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件，所述MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；所述二进制MAP模板文件包括三部分：
a.头信息：占据第1-236字节，所述头信息包括：操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息；
b.每个芯片的测试结果：每颗芯片占据6个字节长度，保存了坐标xy、良品属性pass/fail和bin别信息，总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*6；
c.每个芯片的行类别：每颗芯片占据8个字节长度，保存了bin别的二进制信息，总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*8；
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性 pass/fail、bin别信息按照所述b的格式转换成新的6个字节，替换掉所述 MAP模板文件对应位置的6个字节数据，全部芯片替换完成后，第二部分b 的所有字节被更新，生成了新MAP。
其中，所述探针台为TSK探针台。
其中，所述生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP，包括：
使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件，所述MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；所述二进制MAP模板文件包括三部分：
a.头信息：占据第1-66字节，所述头信息包括：操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息；
b.每行的测试结果：结构为X坐标+Y坐标+该行芯片数量+[Bin值+ 芯片状态]*该行芯片数量，X坐标和Y坐标均占2个字节，该行芯片数量、 Bin值和芯片状态均占1个字节；
c.结束信息：占据2个字节，表示结束符号，固定为00,80；
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性 pass/fail、bin别信息按照所述b的格式转换成新的字节串，替换掉所述MAP 模板文件对应位置的原字节数据，全部芯片替换完成后，第二部分b的所有字节被更新，生成了新MAP。
其中，所述探针台为TEL探针台。
第二方面，本申请提供了一种探针台MAP生成系统，包括：
提取单元，用于提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；
生成单元，用于生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP；
显示单元，用于显示所述新MAP；
保存单元，用于将所述新MAP保存为二进制文件。
其中，所述提取单元用于：
解析所述测试机产生的测试数据，所述测试数据包括datalog、STDF文件；
从解析后的测试数据中，提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin 别。
第三方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述任一项所述方法的步骤。
第四方面，本申请实施例提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述任一项所述方法的步骤。
本申请实施例探针台MAP生成方法及系统具有如下有益效果：
本申请探针台MAP生成方法包括：提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；生成MAP模板，根据测试信息填充MAP模板，生成新MAP；显示新MAP；将新MAP保存为二进制文件。本发明提出一种探针台MAP生产方法及其系统，该方法(系统)能根据测试机(ATE)实时生成的测试数据 (datalog、STDF等)提取出坐标x,y、bin别、良品属性pass/fail信息，并经过特定格式转化后，替换MAP模板中的对应字节，最终实现MAP的软件生成，减少了MAP丢失引起的重测或产品报废，极大地节约了成本。
附图说明
图1为本申请实施例探针台MAP生成方法流程示意图；
图2为提取测试机数据有效信息示意图；
图3为MAP模板示意图；
图4为新MAP生成显示示意图；
图5为本申请实施例探针台MAP生成系统结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请进行进一步的介绍。
在下述介绍中，术语“第一”、“第二”仅为用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。下述介绍提供了本发明的多个实施例，不同实施例之间可以替换或者合并组合，因此本申请也可认为包含所记载的相同和 /或不同实施例的所有可能组合。因而，如果一个实施例包含特征A、B、C，另一个实施例包含特征B、D，那么本申请也应视为包括含有A、B、C、D 的一个或多个所有其他可能的组合的实施例，尽管该实施例可能并未在以下内容中有明确的文字记载。
下面的描述提供了示例，并且不对权利要求书中阐述的范围、适用性或示例进行限制。可以在不脱离本申请内容的范围的情况下，对描述的元素的功能和布置做出改变。各个示例可以适当省略、替代或添加各种过程或组件。例如所描述的方法可以以所描述的顺序不同的顺序来执行，并且可以添加、省略或组合各种步骤。此外，可以将关于一些示例描述的特征组合到其他示例中。
如图1所示，本申请探针台MAP生成方法包括：S101，提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；S103，生成MAP模板，根据测试信息填充 MAP模板，生成新MAP；S105，显示新MAP；S107，将新MAP保存为二进制文件。
本发明提出一种探针台MAP生产方法及其系统，该方法(系统)能根据测试机(ATE)实时生成的测试数据(datalog、STDF等)提取出坐标x,y、bin 别、良品属性pass/fail信息，并经过特定格式转化后，替换MAP模板中的对应字节，最终实现MAP的软件生成，减少了MAP丢失引起的重测或产品报废，极大地节约了成本。下面介绍本申请每一步骤。
S101，提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息。
测试机晶圆测试为正常的作业工序。本步骤包括：解析测试机产生的测试数据，测试数据包括datalog(日志)、STDF(Standard Test Data File，标准测试数据文件)文件；从解析后的测试数据中，提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin别。
如图3所示，本步骤中，提取测试机数据有效信息：该步骤主要为对测试机产生的datalog,STDF等数据进行解析并提取出如下重要信息，包括坐标x,y+良品属性pass/fail+bin别。
S103，生成MAP模板，根据测试信息填充MAP模板，生成新MAP。
在一些实施例中，探针台为TSK探针台，TSK探针台指日本Accretech 公司生产的UF200,UF3000等系列晶圆测试探针台。
本步骤包括：使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件，MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；二进制MAP模板文件包括三部分：
a.头信息：占据第1-236字节，头信息包括：操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息；
b.每个芯片的测试结果：每颗芯片占据6个字节长度，保存了坐标xy、良品属性pass/fail和bin别信息，总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*6；
c.每个芯片的行类别：每颗芯片占据8个字节长度，保存了bin别的二进制信息，总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*8；
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性 pass/fail、bin别信息按照b的格式转换成新的6个字节，替换掉MAP模板文件对应位置的6个字节数据，全部芯片替换完成后，第二部分b的所有字节被更新，生成了新MAP。
如图4所示，TSK MAP模板结构填充：该模板为使用TSK探针台Demo 试跑生成的完整的二进制MAP文件，其芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；该二进制MAP文件包含三部分：
a.Head Information,占据第1-236字节，其保存了Operator Name，Device name,Test Time,Gross Die等众多信息；
b.Test Result Per Die，每颗Die(芯片)占据6个字节长度，保存了坐标 x,y+良品属性pass/fail+bin别等信息，总字节长度为MAP总行数*MAP 总列数*6；
c.Line Category Per Die,每颗Die(芯片)占据8个字节长度，保存了bin 别的二进制信息，总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*8；
填充方法为将每一颗Die(芯片)的实际坐标x,y+良品属性pass/fail+bin 别按照第二部分b的格式转换成新的6个字节，并替换掉模板MAP对应位置的6个字节数据；全部Die替换完成后，第二部分b的所有字节被更新。
在另一些实施例中，探针台为TEL探针台。TEL探针台指日本Tokyo Electron公司生产的P8,P12等系列晶圆测试探针台。
本步骤包括：使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件，MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；二进制MAP模板文件包括三部分：
a.头信息：占据第1-66字节，头信息包括：操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息；
b.每行的测试结果：结构为X坐标+Y坐标+该行芯片数量+[Bin值+ 芯片状态]*该行芯片数量，X坐标和Y坐标均占2个字节，该行芯片数量、 Bin值和芯片状态均占1个字节；
c.结束信息：占据2个字节，表示结束符号，固定为00,80；
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性 pass/fail、bin别信息按照b的格式转换成新的字节串，替换掉MAP模板文件对应位置的原字节数据，全部芯片替换完成后，第二部分b的所有字节被更新，生成了新MAP。
TEL MAP模板结构填充：该模板为使用TEL探针台Demo试跑生成的完整的二进制MAP文件，其芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；该二进制MAP 文件包含三个部分：
a.Head Information,占据第1-66字节，其保存了Operator Name，Device name,Test Time,Gross Die等众多信息；
b.Test Result Per Line，其结构为X坐标(2byte)+Y坐标(2byte)+该行 (Line)Die数量(1byte)+[Bin值(1byte)+DieStatus(1byte)]*该行(Line)Die数量；
c.End Information,占据2个字节，表示结束符号，固定为00,80。
填充方法为将每一颗Die(芯片)的实际坐标x,y+良品属性pass/fail+bin 别按照第二部分b的格式转换成新的字节串，并替换掉模板MAP对应位置的原字节数据；全部Die替换完成后，第二部分b的所有字节被更新。
S105，显示新MAP。
如图5所示，本步骤主要作用为显示替换后的新MAP，用于确认系统作业的正常性。
S107，将新MAP保存为二进制文件。
本步骤将替换后的MAP保存成TEL或TSK特定格式的二进制文件，该文件与原模板文件格式完全一致，可以直接用于探针台重测调用或数据分析。
如图5所示，本申请探针台MAP生成系统包括：
提取单元201，用于提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；
生成单元202，用于生成MAP模板，根据测试信息填充MAP模板，生成新MAP；
显示单元203，用于显示新MAP；
保存单元204，用于将新MAP保存为二进制文件。
其中，提取单元用于：
解析测试机产生的测试数据，测试数据包括datalog、STDF文件；
从解析后的测试数据中，提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin 别。
本申请中，探针台MAP生成系统实施例与探针台MAP生成方法实施例基本相似，相关之处请参考探针台MAP生成方法实施例的介绍。
本领域的技术人员可以清楚地了解到本发明实施例的技术方案可借助软件和/或硬件来实现。本说明书中的“单元”和“模块”是指能够独立完成或与其他部件配合完成特定功能的软件和/或硬件，其中硬件例如可以是 FPGA(Field－Programmable Gate Array，现场可编程门阵列)、IC(Integrated Circuit，集成电路)等。
本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述探针台MAP生成方法步骤。其中，计算机可读存储介质可以包括但不限于任何类型的盘，包括软盘、光盘、DVD、 CD-ROM、微型驱动器以及磁光盘、ROM、RAM、EPROM、EEPROM、DRAM、 VRAM、闪速存储器设备、磁卡或光卡、纳米系统(包括分子存储器IC)，或适合于存储指令和/或数据的任何类型的媒介或设备。
本申请还提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行程序时实现上述探针台 MAP生成方法步骤。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，如：多个单元或组件可以结合，或可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另外，所显示或讨论的各组成部分相互之间的耦合、或直接耦合、或通信连接可以是通过一些接口，设备或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性的、机械的或其它形式的。
在本发明各实施例中的各功能单元可以全部集成在一个处理单元中，也可以是各单元分别单独作为一个单元，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中；上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。
以上介绍仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种探针台MAP生成方法，其特征在于，包括：
提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；
生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP；
显示所述新MAP；
将所述新MAP保存为二进制文件。
2.根据权利要求1所述探针台MAP生成方法，其特征在于，所述提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息，包括：
解析所述测试机产生的测试数据，所述测试数据包括datalog、STDF文件；
从解析后的测试数据中，提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin别。
3.根据权利要求2所述探针台MAP生成方法，其特征在于，所述生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP，包括：
使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件，所述MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；所述二进制MAP模板文件包括三部分：
a.头信息：占据第1-236字节，所述头信息包括：操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息；
b.每个芯片的测试结果：每颗芯片占据6个字节长度，保存了坐标xy、良品属性pass/fail和bin别信息，总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*6；
c.每个芯片的行类别：每颗芯片占据8个字节长度，保存了bin别的二进制信息，总字节长度为MAP总行数*MAP总列数*8；
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性pass/fail、bin别信息按照所述b的格式转换成新的6个字节，替换掉所述MAP模板文件对应位置的6个字节数据，全部芯片替换完成后，第二部分b的所有字节被更新，生成了新MAP。
4.根据权利要求1-3所述探针台MAP生成方法，其特征在于，所述探针台为TSK探针台。
5.根据权利要求2所述探针台MAP生成方法，其特征在于，所述生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP，包括：
使用探针台示例程序生成完整的二进制MAP模板文件，所述MAP模板文件的芯片总数Gross Die与正常测试一致，芯片坐标与正常测试一致，初始BIN别全部为0，良品属性全部为fail；所述二进制MAP模板文件包括三部分：
a.头信息：占据第1-66字节，所述头信息包括：操作者名称、设备名称、测试时间、芯片总数信息；
b.每行的测试结果：结构为X坐标+Y坐标+该行芯片数量+[Bin值+芯片状态]*该行芯片数量，X坐标和Y坐标均占2个字节，该行芯片数量、Bin值和芯片状态均占1个字节；
c.结束信息：占据2个字节，表示结束符号，固定为00,80；
将从解析后的测试数据中提取出的每颗芯片的坐标xy、良品属性pass/fail、bin别信息按照所述b的格式转换成新的字节串，替换掉所述MAP模板文件对应位置的原字节数据，全部芯片替换完成后，第二部分b的所有字节被更新，生成了新MAP。
6.根据权利要求5所述探针台MAP生成方法，其特征在于，所述探针台为TEL探针台。
7.一种探针台MAP生成系统，其特征在于，包括：
提取单元，用于提取测试机测试芯片过程中产生的测试信息；
生成单元，用于生成MAP模板，根据所述测试信息填充所述MAP模板，生成新MAP；
显示单元，用于显示所述新MAP；
保存单元，用于将所述新MAP保存为二进制文件。
8.根据权利要求7所述探针台MAP生成系统，其特征在于，所述提取单元用于：
解析所述测试机产生的测试数据，所述测试数据包括datalog、STDF文件；
从解析后的测试数据中，提取坐标信息xy、良品属性pass/fail信息、bin别。
9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现所述权利要求1-6中任一项所述方法的步骤。
10.一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现所述权利要求1-6中任一项所述方法的步骤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110659512.9A CN113505563A (zh) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 一种探针台map生成方法及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110659512.9A CN113505563A (zh) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 一种探针台map生成方法及系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113505563A true CN113505563A (zh) | 2021-10-15 |
Family
ID=78009793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110659512.9A Pending CN113505563A (zh) | 2021-06-15 | 2021-06-15 | 一种探针台map生成方法及系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113505563A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113960453A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-01-21 | 上海御渡半导体科技有限公司 | 快速生成stdf数据的测试装置和测试方法 |
| CN114416514A (zh) * | 2022-03-25 | 2022-04-29 | 南京伟测半导体科技有限公司 | 一种基于测试封装Mapping自动检查校验方法及系统 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217260A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Nec Informatec Systems Ltd | 半導体ウエハテストｍａｐ図作成装置及び方法 |
| CN105895545A (zh) * | 2014-05-13 | 2016-08-24 | 北京同方微电子有限公司 | 一种用于探针台的map图增加墨点标识的方法 |
-
2021
- 2021-06-15 CN CN202110659512.9A patent/CN113505563A/zh active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002217260A (ja) * | 2001-01-19 | 2002-08-02 | Nec Informatec Systems Ltd | 半導体ウエハテストｍａｐ図作成装置及び方法 |
| CN105895545A (zh) * | 2014-05-13 | 2016-08-24 | 北京同方微电子有限公司 | 一种用于探针台的map图增加墨点标识的方法 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113960453A (zh) * | 2021-11-02 | 2022-01-21 | 上海御渡半导体科技有限公司 | 快速生成stdf数据的测试装置和测试方法 |
| CN113960453B (zh) * | 2021-11-02 | 2023-12-01 | 上海御渡半导体科技有限公司 | 快速生成stdf数据的测试装置和测试方法 |
| CN114416514A (zh) * | 2022-03-25 | 2022-04-29 | 南京伟测半导体科技有限公司 | 一种基于测试封装Mapping自动检查校验方法及系统 |
| CN114416514B (zh) * | 2022-03-25 | 2022-06-24 | 南京伟测半导体科技有限公司 | 一种基于测试封装Mapping自动检查校验方法及系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1149385B1 (en) | Ic test software system for mapping logical functional test data of logic integrated circuits to physical representation | |
| US4228537A (en) | Method of and apparatus for automatic fault diagnosis of electrical circuits employing on-line simulation of faults in such circuits during diagnosis | |
| CN1155069C (zh) | 控制半导体集成电路测试过程的系统和方法 | |
| CN113505563A (zh) | 一种探针台map生成方法及系统 | |
| KR101996120B1 (ko) | 집적 회로를 진단하기 위한 시스템 및 방법 | |
| CN112397409A (zh) | 一种芯片晶圆测试数据分析方法及系统 | |
| CN109767996A (zh) | 晶圆缺陷分析系统及分析方法 | |
| US20090217221A1 (en) | System and method to optimize semiconductor power by integration of physical design timing and product performance measurements | |
| CN115656792B (zh) | 芯片可测性设计的测试方法及测试平台 | |
| CN111965530A (zh) | 一种基于jtag的fpga芯片自动化测试方法 | |
| CN114970441B (zh) | Ic芯片封装自动布线方法 | |
| JPH113244A (ja) | 検査結果解析装置及び解析方法並びに解析プログラムを記録した記録媒体 | |
| CN111293048B (zh) | 一种晶圆测试系统及其方法 | |
| US20090164931A1 (en) | Method and Apparatus for Managing Test Result Data Generated by a Semiconductor Test System | |
| CN110504000B (zh) | 晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法 | |
| KR100974669B1 (ko) | 룩업 테이블을 내장한 보스트 회로 장치 또는 패턴 생성 장치, 및 이를 이용한 테스트 대상 디바이스에 대한 테스트 데이터 출력 방법 | |
| CN113326168B (zh) | 用于芯片测试的引脚映射方法 | |
| CN112420535A (zh) | 一种芯片制作方法及系统 | |
| CN115166485A (zh) | 集成电路芯片os测试机 | |
| CN115421020A (zh) | 一种集成电路测试信号的生成方法与测试方法 | |
| CN110704252A (zh) | 一种基于云端动态管理的自动测试装置和测试方法 | |
| CN112834907A (zh) | 一种支持log文件配置的测试系统 | |
| CN112346920A (zh) | 一种集成电路测试数据分析方法及系统 | |
| CN114002583A (zh) | 基于集成电路自动测试系统的图样编辑工具和方法 | |
| TWI488246B (zh) | 資源整合及晶片測試方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |