CN113500502B - 一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床，涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。本申请通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮进行更换，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。

Description

一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床

技术领域

本申请涉及半导体外延石英部件生产的技术领域，尤其是涉及一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体外延是一个针对半导体的电子工艺，石英部件是半导体外延加工后的一种产品。

在加工半导体石英部件产品过程中，砂轮是使用较多的一种工具，砂轮又称固结磨具，是由结合剂将普通磨料固结成一定形状(多数为圆形，中央有通孔)，并具有一定强度的固结磨具；砂轮使用时高速旋转，对半导体石英产品各种型面进行粗磨和精磨等。

加工件的加工要求不同需要更换不同的砂轮来满足需求，而现有的组合砂轮一般都是按照一定规格固定连接在一起，因此组合式砂轮中的并不能适应加工过程中的要求，从而会出现组合砂轮中的一种或者几种砂轮并不能适应加工要求的情况，因此此种组合砂轮并不能满足对加工件不同程度加工，导致在加工过程中出现难以选择或者需要多次更换组合砂轮的情况，因此降低了砂轮对产品的加工效率。

发明内容

为了提高了砂轮对产品的加工效率，本申请提供了一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床。

第一方面，本申请提供的一种半导体外延石英部件加工砂轮，采用如下的技术方案：

一种半导体外延石英部件加工砂轮，包括连接套、通过连接装置可拆卸设置在连接套上的精磨轮和粗磨轮。

通过采用上述技术方案，解锁连接装置，然后取下精磨轮和粗磨轮进行更换，因此可以根据加工要求更换需要的精磨轮和粗磨轮，因此提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率。

可选的，所述连接装置包括；

连接盘，所述连接盘同轴设置在连接套上，所述精磨轮和粗磨轮上均设置有套设在连接套上且与连接盘接触的安装套；

连接柱，所述连接柱设置在连接盘上且绕连接套轴线圆周阵列设置有多个，所述连接柱数目至少为两个，所述安装套上开设有供连接柱通过的通孔且连接柱穿出通孔外；

固定套环，所述固定套环套设在连接套上，所述连接柱与固定套环插接配合；

连接环，所述连接环转动设置在固定套环上且螺纹连接在连接套上并使得固定套环抵紧在安装套上，所述连接环上绕连接套轴线圆周阵列设置有多个连接槽。

通过采用上述技术方案，拧动连接环从连接套上脱离，然后取下精磨轮和粗磨轮进行更换，将精磨轮和粗磨轮上安装套套设到连接套上，且使得连接柱穿出通孔外，推动精磨轮和粗磨轮，使得安装部抵触到连接盘上，将固定套环和连接环套设到连接套上，拧动连接环螺纹连接到连接套上，使得连接柱与固定套环插接配合，且固定套环抵紧在安装套上，以此来实现精磨轮和粗磨轮的更换；

多个连接柱与安装套上的通孔插接配合，以此来提高了精磨轮和粗磨轮安装后与连接套的同心度，降低了砂轮运行时抖动的概率，提高了砂轮对产品的加工质量，而且连接套转动通过多个连接柱带动精磨轮和粗磨轮转动，因此多个连接柱进行分力，降低了通孔受到连接柱压力而受损的概率，因此进一步降低了砂轮运行时抖动的概率，提高了砂轮对产品的加工质量；

而固定套环抵紧在安装套上，连接环转动安装在固定套环上，因此安装套、连接柱带动固定套环转动，固定套环和连接环相对转动，因此降低了安装套转动带动连接环转动的概率，从而降低了连接环与连接套发生相对转动的概率，提高了连接环和固定套环对精磨轮和粗磨轮的定位效果，提高了砂轮加工产品时的安全性和质量。

可选的，所述精磨轮和粗磨轮之间形成有避位空间，所述精磨轮的外径和目数均大于粗磨轮的外径和目数。

通过采用上述技术方案，避位空间使得相邻两个砂轮本体进行更换时留有间隔时间，从而提高砂轮对产品的加工质量；而精磨轮和粗磨轮的外径和目数均布不相同，降低了更换砂轮更换错误的概率，从而提高了更换精磨轮和粗磨轮时的便利性。

第二方面，本申请提供的一种半导体外延石英部件加工砂轮，采用如下的技术方案：

一种研磨装置，其特征在于：包括机座、滑移设置在机座上的移动座，所述机座上设置有驱动移动座移动的驱动组件；所述移动座上转动设置有驱动轴，所述移动座上设置有与驱动轴连接的驱动电机，所述驱动轴上通过连接机构可拆卸设置有如第二方面中任意一项所述的半导体外延石英部件加工砂轮。

通过采用上述技术方案，驱动组件启动带动移动座和驱动轴移动，同时驱动电机启动带动驱动轴转动，驱动轴转动带动砂轮转动，而且移动座带动砂轮移动，以此来实现对产品进行加工；而加工完成后，通过连接机构更换需要的砂轮，从而提高了研磨装置对产品的适应范围，同时在研磨装置对产品进行加工时可以根据加工需要更换精磨轮和粗磨轮，以此来节省了更换砂轮所花费的时间，提高了研磨装置的加工效率。

可选的，所述连接机构包括；

锁定盘，所述锁定盘设置在驱动轴上且连接套套设在驱动轴上；

锁定块，所述连接套上开设有卡接槽，所述锁定块设置在驱动轴上且与卡接槽卡接配合；

锁定环，所述锁定环螺纹连接在驱动轴上且绕驱动轴轴线圆周阵列设置有多个锁定槽，所述锁定环和锁定盘分别抵紧在连接套两端上。

通过采用上述技术方案，拧动锁定环与驱动轴脱离，然后即能取下连接套，将新砂轮的连接套套设到驱动轴上，且锁定块与连接套卡接配合，拧动锁定环螺纹连接到驱动轴上，使得锁定环抵紧到连接套上，以此来对砂轮进行更换，同时锁定块和连接套卡接配合，因此降低了驱动轴和连接套发生相对转动而产生磨损的概率，提高了驱动轴和连接套安装后的同心度，提高了砂轮加工时精度，提高了砂轮加工后产品的质量。

可选的，所述移动座上设置有对锁定盘进行定位的定位装置，所述锁定盘绕锁定盘轴线圆周阵列开设有多个插接槽，所述定位装置包括；

支撑座，所述支撑座设置在移动座上，

定位杆，所述定位杆滑移设置在支撑座上且与插接槽插接配合并开设有螺纹槽；

定位螺杆，所述定位螺杆转动设置在支撑座上，且所述定位螺杆与螺纹槽螺纹连接；当所述定位杆与插接槽脱离后，所述定位杆抵紧在支撑座上对定位杆位置进行定位。

在对驱动轴上砂轮进行更换时，驱动轴处于自由状态，因此更换砂轮时驱动轴容易在受力作用下发生转动，从而需要人工抓住驱动轴使得驱动轴处于静止状态，导致更换砂轮的过程比较麻烦；

通过采用上述技术方案，拧动定位螺杆带动定位杆移动，使得定位杆与插接槽脱离，最后定位杆抵紧在支撑座上对定位杆进行定位，因此砂轮即能自由转动，而定位杆抵紧在支撑座对定位杆进位置进行定位，降低了砂轮运行过程中定位杆靠近锁定盘的概率，提高了砂轮运行时的安全性；需要更换砂轮时，拧动定位螺杆带动定位杆与插接槽插接配合，以此来对锁定盘和驱动轴进行定位，因此无需人工维持驱动轴静止状态，提高了更换砂轮时的便利性。

可选的，所述机座上设置有更换精磨轮和粗磨轮的更换装置，所述更换装置包括；

定位块，所述定位块设置在机座上，且进行更换时，所述连接套放置在机座上而定位块与卡接槽卡接配合；

扳手，所述扳手通过连接组件与机座可拆卸连接且与连接槽卡接配合并用于带动连接环转动，当所述扳手从机座上拆卸下来后，所述扳手可与锁定环上锁定槽卡接配合且用于带动锁定环转动。

固定套环抵紧在安装套上对精磨轮和粗磨轮进行固定，因此固定套环与安装套之间的力度较大，从而人工在拆卸连接环更换精磨轮和粗磨轮极其不便，使得更换过程花费的时间较长，容易出现研磨装置加工完成需要更换砂轮时，而连接套上精磨轮和粗磨轮还没更换完成的情况，延长了研磨装置停机的时间，降低了研磨装置对产品的加工效率；

通过采用上述技术方案，将连接套放置在机座上且使得定位块与卡接槽卡接块配合，然后使用扳手卡接安装到连接槽上，以此来转动扳手带动连接环转动用于拆卸连接环，取下扳手后后更精磨轮和粗磨轮，人工将连接环螺纹连接到连接套上，使得固定套环抵触到安装套上，接着将扳手卡接安装到连接槽上，转动扳手带动连接环转动，使得固定套环抵紧在安装套上，以此来完成精磨轮和粗磨轮的更换，因此提高了精磨轮和粗磨轮更换的便利性，节省了更换时间，提高了研磨装置对产品的的加工效率；

同时扳手与机座可拆卸设置，机座对扳手进行限位，从而降低了扳手带动连接环转动时扳手从连接环上脱离的概率，以此来节省了精磨轮和粗磨轮更换时间，降低了出现需要更换砂轮时连接套上精磨轮和粗磨轮还没更换完成情况的概率，提高了研磨装置对产品的的加工效率，同时也降低了扳手从锁定环上脱离而对锁定槽的损伤；

需要更换驱动轴上的砂轮时，将扳手从机座上拆卸下来，将扳手卡接安装到锁定环的锁定槽上，以此来转动扳手带动锁定环进行拆卸和安装砂轮，从而节省了拆卸和安装砂轮所花费的时间，提高了研磨装置对产品的的加工效率；而研磨装置启动对产品进行加工时，工作人员对精磨轮和粗磨轮进行更换，同时从而缩短了研磨装置停机的时间，提高了研磨装置对产品的加工效率。

可选的，所述扳手包括；

夹持部，所述夹持部呈半圆环形；

两个夹持块，两个所述夹持块设置在夹持部上且可与连接槽和锁定槽卡接配合；

夹持杆，所述夹持杆设置在夹持部上且以便于着力。

通过采用上述技术方案，将夹持块与连接槽或锁定槽卡接配合，抓住夹持杆转动带动夹持部转动，夹持部转动夹持块转动，夹持块转动带动连接环或锁定环转动，以此来实现带动连接喊和锁定环转动。

可选的，所述连接组件包括；

转动环，所述转动环转动设置在机座上且轴线和连接环轴线重合；

卡接杆，所述卡接杆设置在转动环上，所述扳手上开设有供卡接杆穿过的卡接孔；

两个滑移块，两个所述滑移块滑移设置卡接杆上且相背的一端上开设有导向角；

弹簧，所述弹簧两端分别与两个滑移块相对的一端连接，且两个所述滑移块在弹簧作用下抵触在夹持杆上并用于对夹持杆进行限位。

通过采用上述技术方案，挤压两个滑移块相互靠近，使得滑移块与夹持杆脱离，然后即能取下夹持杆，需要安装扳手时，将夹持杆与卡接孔卡接配合，推动夹持杆下移与导向角接触，夹持杆推动两个滑移块相互靠近，使得滑移块通过卡接孔，夹持杆与转动环抵触而滑移块弹出抵触在夹持杆上，以此来夹持杆进行定位，从而实现扳手的安装和拆卸。

第三方面，本申请提供的一种磨床，采用如下的技术方案：

一种包括如第二方面中研磨装置的磨床，包括箱体，所述箱体内设置有用于夹持产品的夹具，所述箱体上开设有工作口，所述箱体上滑移安装有挡住工作口的防护门，所述机座位于箱体内且设置有伸至箱体外的支撑板，所述更换装置位于箱体外的支撑板上。

通过采用上述技术方案，拉动防护门打开工作口，工作人员将夹具上的产品取下进行更换，夹具夹持产品，拉动防护门关闭工作口，而砂轮转动且移动对产品进行加工，以此来完成对产品的加工；

而产品位于箱体内进行加工，箱体对加工过程中的碎屑进行阻挡，降低了碎屑掉落到环境中而污染环境的概率，研磨装置运行时，工作人员根据加工需要使用更换装置更换精磨轮和粗磨轮，而研磨装置需要更换时即能直接进行更换，缩短了研磨装置停机时间，提高了研磨装置的加工效率，同时更换装置位于箱体外，因此研磨装置运行而工作人员使用更换装置时，箱体对碎屑进行阻挡，降低了碎屑溅射到工作人员身体上而对人身体造成损伤的概率。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过解锁连接装置，然后根据加工要求更换精磨轮和粗磨轮，提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮和粗磨轮更换完成，以此来提高了砂轮对产品进行加工时的加工效率；

2.通过驱动组件启动带动砂轮移动，而驱动电机启动带动砂轮转动，以此来实现对产品进行加工；而加工完成后，通过连接机构更换需要的砂轮，从而提高了研磨装置对产品的适应范围，同时在研磨装置对产品进行加工时可以根据加工需要更换精磨轮和粗磨轮，以此来节省了更换砂轮所花费的时间，提高了研磨装置的加工效率；

3.通过箱体对碎屑进行阻挡，降低了碎屑掉落到环境中而污染环境的概率，研磨装置运行时，工作人员根据加工需要使用更换装置更换精磨轮和粗磨轮，因此缩短了研磨装置停机时间，提高了研磨装置的加工效率，同时更换装置位于箱体外，因此研磨装置运行而工作人员使用更换装置时，箱体对碎屑进行阻挡，降低了碎屑溅射到工作人员身体上而对人身体造成损伤的概率。

附图说明

图1是本申请的立体结构示意图；

图2是本申请中砂轮的结构示意图；

图3是本申请中砂轮的爆炸图；

图4是本申请中研磨装置的结构示意图；

图5是本申请中连接机构、定位装置的结构示意图；

图6是本申请的局部爆炸图，主要展示连接机构和定位装置，其中对支撑座侧壁进行了剖视，对定位杆侧壁进行了局部剖视；

图7是图6中A部的放大示意图；

图8是本申请中更换装置的结构示意图；

图9是本申请中连接组件的结构示意图，其中对卡接杆侧壁进行了剖视。

附图标记：1、连接套；11、卡接槽；12、精磨轮；13、粗磨轮；14、安装套；15、通孔；16、第一螺纹段；2、连接装置；21、连接盘；22、连接柱；23、固定套环；24、连接环；25、连接槽；26、固定槽；31、机座；32、移动座；33、驱动轴；34、驱动电机；35、支撑板；36、承载杆；37、固定环；4、驱动组件；41、滑移座；42、第一螺杆；43、第二螺杆；44、第一电机；45、第二电机；5、连接机构；51、锁定盘；52、锁定块；53、锁定环；54、第二螺纹段；55、锁定槽；56、插接槽；6、定位装置；61、支撑座；62、定位杆；63、定位螺杆；64、支撑槽；65、螺纹槽；7、更换装置；71、定位块；72、扳手；73、夹持部；74、夹持块；75、夹持杆；76、卡接孔；8、连接组件；81、转动环；82、卡接杆；83、滑移块；831、移动块；832、导向角；84、弹簧；85、第一滑移孔；86、第二滑移孔；91、箱体；92、夹具；93、工作口；94、防护门。

具体实施方式

以下结合附图对1-9对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种半导体外延石英部件加工砂轮。

参照图1和图2，半导体外延石英部件加工砂轮包括呈管状且两端开口的连接套1，连接套1内侧壁上对称开设有两个贯通连接套1两端的卡接槽11，连接套1上通过连接装置2可拆卸设置有精磨轮12和粗磨轮13。

参照图2和图3，精磨轮12外径大于粗磨轮13的外径，且精磨轮12的目数大于粗磨轮13的目数，精磨轮12用于对产品进行精加工，而粗磨轮13用于对产品进行粗加工；精磨轮12和粗磨轮13上均固定安装有安装套14，且安装套14呈管状并两端开口，精磨轮12和粗磨轮13均位于安装套14外侧壁上，同时安装套14一端与精磨轮12和粗磨轮13侧壁齐平，而安装套14另一端突出于精磨轮12和粗磨轮13外。

参照图2和图3，连接装置2包括连接盘21、连接柱22、固定套环23和连接环24，连接盘21同轴一体设置在连接套1的一端上且位于连接套1外侧壁上，同时连接盘21和连接套1同一侧的侧壁齐平，且连接盘21外径小于安装套14外径；连接柱22固定安装在连接盘21侧壁上，且连接柱22位于背离连接盘21与连接套1齐平侧壁的一侧，同时连接柱22和连接套1的轴线平行，且连接柱22沿连接套1轴线圆周阵列设置有多个，连接柱22的数目至少为两个且可以为三个甚至更多；安装套14内径与连接套1外径相同，且安装套14上开设有多个供连接柱22通过的通孔15。

参照图2和图3，将位于精磨轮12上的安装套14突出于精磨轮12的一端朝向连接盘21套设到连接套1上，使得连接柱22穿过通孔15，然后将位于粗磨轮13上的安装套14突出于粗磨轮13一端朝向精磨轮12套设到连接套1上，同时使得连接柱22穿过通孔15，两个安装套14抵触在一起，而精磨轮12和粗磨轮13之间配合形成有避位空间。

参照图2和图3，连接套1远离连接盘21的一端开设有第一螺纹段16，固定套环23套设在连接套1上且位于连接柱22远离连接盘21一侧，固定套环23靠近连接柱22一侧的侧壁上开设有与连接柱22一一对应的固定槽26；连接环24转动安装在固定套环23背离连接盘21一侧的侧壁上，且连接环24螺纹连接在第一螺纹段16上，使得固定套环23和连接盘21抵紧在安装套14上，且连接柱22与固定槽26插接配合。

本申请实施例的工作原理为：

拧动连接环24与连接套1脱离，然后取下精磨轮12和粗磨轮13进行更换，将新精磨轮12和粗磨轮13上的安装套14套设到连接套1上，使得连接柱22穿过通孔15，拧动连接环24螺纹连接到第一螺纹段16上，使得固定套环23和连接盘21抵紧在安装套14上，而连接柱22与固定槽26插接配合，以此来实现对精磨轮12和粗磨轮13进行更换，因此提高了对砂轮进行选择时的便利性，也降低了多次更换砂轮的概率，而且在产品加工时，可提前将需要的精磨轮12和粗磨轮13更换完成，以此来提高了砂轮对产品的加工效率。

本申请实施例公开一种研磨装置。

参照图1和图4，研磨装置包括机座31、滑移设置在机座31上表面上的移动座32，机座31上设置有驱动移动座32移动的驱动组件4，移动座32侧壁上转动安装有水平的驱动轴33，驱动轴33上通过连接机构5可拆卸设置有砂轮，移动座32背离驱动轴33一侧的侧壁上设置有与驱动轴33连接的驱动电机34。

参照图4，驱动组件4包括滑移座41、第一螺杆42、第二螺杆43、第一电机44和第二电机45，滑移座41水平滑移安装在机座31上表面上，且滑移座41滑移方向与驱动轴33轴线平行，而移动座32水平滑移安装在滑移座41上表面上，且滑移座41和移动座32滑移方向垂直；第一螺杆42水平转动安装在机座31上表面上，且第一螺杆42与滑移座41螺纹连接，而第二螺杆43水平转动安装在滑移座41上表面上，且第二螺杆43与移动座32螺纹连接。

参照图4，第一电机44固定安装在机座31侧壁上且输出轴与第一螺杆42连接，而第二电机45固定安装在滑移座41侧壁上且输出轴与第二螺杆43连接。第一电机44启动带动第一螺杆42转动，第一螺杆42转动带动滑移座41移动，而第二电机45启动带动第二螺杆43转动，第二螺杆43转动带动移动座32移动，以此来带动移动座32和驱动轴33沿两个相互垂直的方向移动。

参照图5和图6，连接机构5包括锁定盘51、锁定块52和锁定环53，锁定盘51同轴固定安装在驱动轴33上且位于移动座32远离驱动电机34一侧，连接套1套设在驱动轴33上。

参照图3和图6，连接套1靠近连接盘21的一端和连接盘21均与锁定盘51抵触；锁定块52固定安装在驱动轴33侧壁上，且锁定块52设置有两个并分别与两个卡接槽11卡接配合；驱动轴33远离驱动电机34的一端开设有第二螺纹段54，锁定环53螺纹连接在第二螺纹段54上，使得锁定环53和锁定盘51抵紧在连接套1两端上。

参照图6和图7，锁定盘51外圆面上绕锁定盘51轴线圆周阵列开设有多个插接槽56，移动座32上设置有对锁定盘51进行定位的定位装置6；定位装置6包括支撑座61、定位杆62和定位螺杆63，支撑座61固定安装在移动座32侧壁上且水平伸至锁定盘51一侧，同时支撑座61靠近锁定盘51一侧的侧壁上开设有支撑槽64，定位杆62一端水平滑移安装在支撑槽64上，而定位杆62另一端水平伸至支撑槽64外并与插接槽56插接配合，同时定位杆62滑移方向与锁定盘51轴线垂直。

参照图6和图7，定位杆62远离锁定盘51的一端沿定位杆62滑移方向开设有螺纹槽65，定位螺杆63水平穿过支撑座61远离锁定盘51一侧的侧壁伸至支撑槽64内，且定位螺杆63与支撑座61转动连接，同时定位螺杆63与螺纹槽65螺纹连接。需要对锁定盘51进行定位时，拧动定位螺杆63带动定位杆62插接安装到插接槽56上，以此来对锁定盘51进行定位，因此即能更换驱动轴33上的砂轮，更换完成后，拧动定位螺杆63带动定位杆62与插接槽56脱离，使得定位杆62抵紧在支撑槽64槽底，以此来对定位杆62位置进行定位。

参照图4和图8，机座31的侧壁上固定安装有水平的支撑板35，支撑板35上表面上设置有对更换精磨轮12和粗磨轮13的更换装置7，更换装置7包括定位块71、扳手72，定位块71固定安装在支撑板35上表面上且水平间隔设置有两个，同时定位块71与连接套1上的卡接槽11卡接配合，支撑板35上表面上且位于定位块71两侧均固定安装有竖直的承载杆36，两个承载杆36顶端固定安装有固定环37。

参照图3和图8，当连接套1放置在支撑板35上表面上且定位块71卡接安装在卡接槽11上时，固定环37与连接套1轴线重合，同时固定环37内径大于精磨轮12直径。

参照图4和图8，扳手72通过连接组件8可拆卸设置在固定环37上，且扳手72与连接槽25卡接配合并带动连接环24转动；扳手72包括夹持部73、两个夹持块74和夹持杆75，夹持部73呈半圆环形且轴线和连接环24轴线重合，同时夹持部73内径大于连接环24外径；两个夹持块74一体设置在夹持部73相对两内侧壁上，且两个夹持块74分别与连接环24上的两个连接槽25卡接配合，夹持杆75一体设置在夹持部73背离连接环24一侧的侧壁上，且夹持杆75远离夹持部73的一端从固定环37上方水平穿过。

参照图8和图9，连接组件8包括转动环81、卡接杆82、两个滑移块83和弹簧84，转动环81同轴转动安装在固定环37上表面上，且转动环81和固定环37内径和外径均相同，当夹持块74与连接槽25卡接配合时，夹持杆75下表面抵触在转动环81上表面上；卡接杆82固定安装在转动环81上表面上，且夹持杆75上开设有供卡接杆82穿过的卡接孔76。

参照图8和图9，卡接杆82相背两侧壁上且位于夹持杆75上方开设有相互连通的第一滑移孔85，而卡接杆82顶端开设有与第一滑移孔85连通的第二滑移孔86；两个滑移块83均水平滑移安装在第一滑移孔85上，两个滑移块83上表面上均固定安装有移动块831，且两个移动块831均水平滑移安装在第二滑移孔86上。

参照图8和图9，弹簧84两端分别与两个滑移块83相对一端固定连接，两个移动块831在弹簧84作用下抵压在第二滑移孔86相对的两侧壁上，而滑移块83在弹簧84作用下分别伸出第二滑移孔86两端外，且滑移块83下表面抵触在夹持杆75上表面上，以此来对夹持杆75进行定位，同时两个滑移块83相背一端的上侧边上开设有导向角832，导向角832延伸至第一滑移孔85内。

参照图3和图8，将连接套1靠近连接盘21的一端放置在支撑板35上表面上使得定位块71与卡接槽11卡接配合，然后将夹持块74与连接槽25卡接配合，且使得卡接杆82穿过卡接孔76。

参照图8和图9，向下推动夹持杆75使得夹持杆75与导向角832接触，夹持杆75推动两个滑移块83移至第一滑移孔85内直至夹持杆75与转动环81接触，而两个滑移块83从第一滑移孔85弹出抵触在夹持杆75上表面上，以此来将扳手72安装到转动环81上。

参照图8和图9，转动夹持杆75带动转动环81和连接环24转动，以此来拆卸连接环24；接着挤压两个滑移块83相互靠近，然后即能取下扳手72。

参照图3和图8，接着更换精磨轮12和粗磨轮13，更换完成后，将连接环24螺纹连接到连接套1上，使得连接环24与安装套14抵触，然后安装扳手72，转动夹持杆75带动连接环24转动使得连接环24抵紧在安装套14上，从而实现精磨轮12和粗磨轮13的更换；同时将扳手72拆卸下来后，将夹持块74与锁定环53上锁定槽55卡接配合，因此即能以便于对砂轮进行更换。

本申请实施例的工作原理为：

第一电机44和第二电机45启动带动砂轮沿相互垂直的两个方向移动，驱动电机34启动带动砂轮转动，以此来对产品进行加工，加工完成需要更换砂轮时，拧动定位螺杆63带动定位杆62插接安装到插接槽56上对驱动轴33进行定位，然后使用扳手72对锁定环53进行拆卸，取下扳手72后更换砂轮，将新砂轮的连接套1套设到驱动轴33上，使得连接盘21抵触到锁定盘51上，拧动锁定环53抵触到安装套14上，使用扳手72带动锁定环53转动使得锁定环53抵紧在安装套14上，最后取下扳手72，以此来更换砂轮，更换完成后，拧动定位螺杆63使得定位杆62与插接槽56脱离而抵紧到支撑槽64槽底上，因此提高了研磨装置对产品加工要求的适应范围。

需要更换精磨轮12和粗磨轮13时，将连接套1靠近连接盘21的一端放置到支撑板35上，使得定位块71与卡接槽11卡接配合，将扳手72安装到转动环81上，而夹持块74卡接安装到连接槽25上，转动夹持杆75带动转动环81和连接环24转动，以此来拆卸连接环24，然后取下扳手72，更换精磨轮12和粗磨轮13，将连接环24螺纹连接到第一螺纹段16上，将把手安装到转动环81上，夹持块74与连接槽25卡接配合，转动夹持杆75带动连接环24转动，使得连接环24抵紧在安装套14上，以此来根据需要完成精磨轮12和粗磨轮13的更换，提高了更换过程中的便利性，同时研磨装置运行时即能将精磨轮12和粗磨轮13更换完成，缩短了研磨装置停机时间，提高了研磨装置的加工效率。

本申请实施例公开一种磨床。

参照图1，磨床包括箱体91、箱体91内固定安装有用于夹持产品的夹具92，夹具92根据产品的不同而进行选择，夹具92可以为虎钳；箱体91侧壁上开设有便于工作人员安装和取下产品的工作口93，箱体91外侧壁上水平安装有两个防护门94，两个防护门94配合挡住工作口93。

参照图1和图4，机座31固定安装在箱体91内侧壁上，支撑板35与机座31远离夹具92的一端上连接，因此移动座32、驱动组件4、砂轮和驱动电机34均位于箱体91内；支撑板35远离机座31的一端水平穿出箱体91外，更换装置7设置在位于箱体91外的支撑板35上。

本申请实施例的工作原理为：

推动防护门94打开工作口93，工作人员将夹具92上的产品进行更换，推动防护门94关闭工作口93，驱动电机34启动带动砂轮转动，而驱动组件4启动带动移动座32和砂轮移动，砂轮对产品进行加工，箱体91对产品加工时产生的碎屑进行阻挡，降低了碎屑飘散到环境中而污染环境的概率，研磨装置运行时，工作人员根据加工需要使用更换装置7更换精磨轮12和粗磨轮13，而研磨装置需要更换时即能直接进行更换，缩短了研磨装置停机时间，提高了研磨装置的加工效率，同时更换装置7位于箱体91外，因此研磨装置运行而工作人员使用更换装置7时，箱体1对碎屑进行阻挡，降低了碎屑溅射到工作人员身体上而对人身体造成损伤的概率。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种半导体外延石英部件加工砂轮，其特征在于：包括连接套（1）、通过连接装置（2）可拆卸设置在连接套（1）上的精磨轮（12）和粗磨轮（13）；

所述连接装置（2）包括；

连接盘（21），所述连接盘（21）同轴设置在连接套（1）上，所述精磨轮（12）和粗磨轮（13）上均设置有套设在连接套（1）上且与连接盘（21）接触的安装套（14）；

连接柱（22），所述连接柱（22）设置在连接盘（21）上且绕连接套（1）轴线圆周阵列设置有多个，所述连接柱（22）数目至少为两个，所述安装套（14）上开设有供连接柱（22）通过的通孔（15）且连接柱（22）穿出通孔（15）外；

固定套环（23），所述固定套环（23）套设在连接套（1）上，所述连接柱（22）与固定套环（23）插接配合；

连接环（24），所述连接环（24）转动设置在固定套环（23）上且螺纹连接在连接套（1）上并使得固定套环（23）抵紧在安装套（14）上，所述连接环（24）上绕连接套（1）轴线圆周阵列设置有多个连接槽（25）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体外延石英部件加工砂轮，其特征在于：所述精磨轮（12）和粗磨轮（13）之间形成有避位空间，所述精磨轮（12）的外径和目数均大于粗磨轮（13）的外径和目数。

3.一种研磨装置，其特征在于：包括机座（31）、滑移设置在机座（31）上的移动座（32），所述机座（31）上设置有驱动移动座（32）移动的驱动组件（4）；所述移动座（32）上转动设置有驱动轴（33），所述移动座（32）上设置有与驱动轴（33）连接的驱动电机（34），所述驱动轴（33）上通过连接机构（5）可拆卸设置有如权利要求1-2中任意一项所述的半导体外延石英部件加工砂轮。

4.根据权利要求3所述的一种研磨装置，其特征在于：所述连接机构（5）包括；

锁定盘（51），所述锁定盘（51）设置在驱动轴（33）上且连接套（1）套设在驱动轴（33）上；

锁定块（52），所述连接套（1）上开设有卡接槽（11），所述锁定块（52）设置在驱动轴（33）上且与卡接槽（11）卡接配合；

锁定环（53），所述锁定环（53）螺纹连接在驱动轴（33）上且绕驱动轴（33）轴线圆周阵列设置有多个锁定槽（55），所述锁定环（53）和锁定盘（51）分别抵紧在连接套（1）两端上。

5.根据权利要求4所述的一种研磨装置，其特征在于：所述移动座（32）上设置有对锁定盘（51）进行定位的定位装置（6），所述锁定盘（51）上绕锁定盘（51）轴线圆周阵列开设有多个插接槽（56），所述定位装置（6）包括；

支撑座（61），所述支撑座（61）设置在移动座（32）上，

定位杆（62），所述定位杆（62）滑移设置在支撑座（61）上且与插接槽（56）插接配合并开设有螺纹槽（65）；

定位螺杆（63），所述定位螺杆（63）转动设置在支撑座（61）上，且所述定位螺杆（63）与螺纹槽（65）螺纹连接；当所述定位杆（62）与插接槽（56）脱离后，所述定位杆（62）抵紧在支撑座（61）上对定位杆（62）位置进行定位。

6.根据权利要求4所述的一种研磨装置，其特征在于：所述机座（31）上设置有更换精磨轮（12）和粗磨轮（13）的更换装置（7），所述更换装置（7）包括；

定位块（71），所述定位块（71）设置在机座（31）上，且进行更换时，所述连接套（1）放置在机座（31）上而定位块（71）与卡接槽（11）卡接配合；

扳手（72），所述扳手（72）通过连接组件（8）与机座（31）可拆卸连接且与连接槽（25）卡接配合并用于带动连接环（24）转动，当所述扳手（72）从机座（31）上拆卸下来后，所述扳手（72）可与锁定环（53）上锁定槽（55）卡接配合且用于带动锁定环（53）转动。

7.根据权利要求6所述的一种研磨装置，其特征在于：所述扳手（72）包括；

夹持部（73），所述夹持部（73）呈半圆环形；

两个夹持块（74），两个所述夹持块（74）设置在夹持部（73）上且可与连接槽（25）和锁定槽（55）卡接配合；

夹持杆（75），所述夹持杆（75）设置在夹持部（73）上且以便于着力。

8.根据权利要求7所述的一种研磨装置，其特征在于：所述连接组件（8）包括；

转动环（81），所述转动环（81）转动设置在机座（31）上且轴线和连接环（24）轴线重合；

卡接杆（82），所述卡接杆（82）设置在转动环（81）上，所述扳手（72）上开设有供卡接杆（82）穿过的卡接孔（76）；

两个滑移块（83），两个所述滑移块（83）滑移设置卡接杆（82）上且相背的一端上开设有导向角（832）；

弹簧（84），所述弹簧（84）两端分别与两个滑移块（83）相对的一端连接，且两个所述滑移块（83）在弹簧（84）作用下抵触在夹持杆（75）上并用于对夹持杆（75）进行限位。

9.一种包括如权利要求6-8中任意一项所述研磨装置的磨床，其特征在于：包括箱体（91），所述箱体（91）内设置有用于夹持产品的夹具（92），所述箱体（91）上开设有工作口（93），所述箱体（91）上滑移安装有挡住工作口（93）的防护门（94），所述机座（31）位于箱体（91）内且设置有伸至箱体（91）外的支撑板（35），所述更换装置（7）位于箱体（91）外的支撑板（35）上。

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