CN113495388A - 显示面板及显示面板的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种显示面板及显示面板的制备方法，所述显示面板包括：衬底基板；金属走线，设置于所述衬底基板上；其中，所述金属走线包括层叠设置的多个金属图案，且远离所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影完全覆盖靠近所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影。本发明通过由层叠设置的多个金属图案共同组成的金属走线，在所述金属走线总厚度相同的情况下，增加了制备所述金属图案的制程次数，则单次蚀刻的金属层厚度减小，单次蚀刻的金属层宽度减小，从而最终制得的所述金属图案宽度增大，所述金属图案的上表面面积增大，设置于所述金属图案上方的光阻更稳定、不易滑落。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种显示面板及显示面板的制备方法。
背景技术
在液晶显示器LCD(Liquid Crystal Display)面板行业，随着解析度的不断升高，像素的充电能力一直是个难题，使得大尺寸8K面板在覆晶薄膜(Chip On Film，COF)对侧和COF侧的充电率差异达到人眼可识别的程度。
其原因在于同样尺寸的面板，随着像素数量的不断增加，扫描(Gate)线和数据(Data)线的电阻电容加载延迟效应(RC Loading)不断加重。现阶段解决该问题的方案为增加金属层厚度和金属(metal)层线宽增加以减小Gate 线和Data线的RC Loading，但同时为追求8K产品像素的高穿透率需要将金属层线宽减小，所以现有技术的解决方案为增加金属层厚度。在现有的制程能力下，由于蚀刻液的各向同性，使得蚀刻过后的金属呈现梯形，若铜厚不断增加，且线宽不断缩减，将会使得金属层的上表面过窄。在现有的金属层制程过程中，若想对所述金属层进行蚀刻操作，且做成图案化的形状，金属图案上方需要有光阻进行保护。现因功能需求导致金属上表面过窄，使得光阻极易滑落进而影响图形制作。
综上所述，现有技术中的显示面板存在由于功能需求的金属图案线宽过窄，上表面面积过小，所述金属图案承载光阻时光阻容易滑落从而影响金属层图案化的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供一种显示面板及显示面板的制备方法，用于解决现有技术中的显示面板存在由于功能需求的金属图案线宽过窄，上表面面积过小，所述金属图案承载光阻时光阻容易滑落从而影响金属层图案化的技术问题。
为解决上述问题，第一方面，本发明提供一种显示面板，包括：
衬底基板；
金属走线，设置于所述衬底基板上；
其中，所述金属走线包括层叠设置的多个金属图案，且远离所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影完全覆盖靠近所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影。
在本发明的一些实施例中，所述多个金属图案的材料相同。
在本发明的一些实施例中，任一所述金属图案的材料包括铜、铝、铝、银、钼、钛、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化铟锡锌中的至少一种。
在本发明的一些实施例中，所述金属走线至少包括层叠设置的所述第一金属图案和所述第二金属图案，所述第二金属图案设置于所述第一金属图案远离所述衬底基板的一侧，所述第二金属图案包覆所述第一金属图案。
在本发明的一些实施例中，所述第一金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角小于所述第二金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角。
第二方面，本发明提供一种显示面板的制备方法，所述显示面板的制备方法用于制备如第一方面中任一实施例所述的显示面板，包括以下步骤：
提供一衬底基板，在所述衬底基板上制备金属走线，
其中，所述金属走线包括层叠制备的多个金属图案，且远离所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影完全覆盖靠近所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影。
在本发明的一些实施例中，在制备层叠的多个所述金属图案的步骤中至少包括：制备第一金属图案，在所述第一金属图案上制备第二金属图案，其中，所述第一金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角小于所述第二金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角。
在本发明的一些实施例中，制备任一所述金属图案的步骤中包括：在所述衬底基板上方制备金属层，在所述金属层表面制备光阻层，对所述光阻层进行曝光显影处理形成光阻图案，蚀刻未被所述光阻图案覆盖的所述金属层，去除所述光阻图案形成一个所述金属图案。
在本发明的一些实施例中，制备多个所述金属图案采用的材料相同。
在本发明的一些实施例中，任一所述金属图案的材料包括铜、铝、铝、银、钼、钛、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化铟锡锌中的至少一种。
相较于现有的显示面板及显示面板的制备方法，本发明通过将单层的金属走线替换成由层叠设置的多个金属图案共同组成的金属走线，在所述金属走线总厚度相同的情况下，增加了制备所述金属图案的制程次数，则单次蚀刻的金属层厚度减小，单次蚀刻的金属层宽度减小，从而最终制得的所述金属图案宽度增大，所述金属图案的上表面面积增大，设置于所述金属图案上方的光阻更稳定、不易滑落，提高了生产良率和产品质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一个实施例中显示面板的结构示意图；
图2为本发明一个实施例中制备方法的流程图；
图3A～3K为本发明一个实施例中制备方法的分步示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为“示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为了使本领域任何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理和特征的最广范围相一致。
现有技术中的显示面板存在由于功能需求的金属图案线宽过窄，上表面面积过小，所述金属图案承载光阻时光阻容易滑落从而影响金属层图案化的技术问题。
基于此，本发明实施例提供一种显示面板及显示面板的制备方法。以下分别进行详细说明。
首先，本发明实施例提供一种显示面板，如图1所示，图1为本发明一个实施例中显示面板的结构示意图。本发明实施例提供的显示面板包括：
衬底基板101；
金属走线，设置于所述衬底基板101上；
其中，所述金属走线包括层叠设置的多个金属图案，且远离所述衬底基板 101的所述金属图案在所述衬底基板101上的正投影完全覆盖靠近所述衬底基板101的所述金属图案在所述衬底基板101上的正投影。
相较于现有的显示面板及显示面板的制备方法，本发明通过将单层的金属走线替换成由层叠设置的多个金属图案共同组成的金属走线，在所述金属走线总厚度相同的情况下，增加了制备所述金属图案的制程次数，则单次蚀刻的金属层厚度减小，单次蚀刻的金属层宽度减小，从而最终制得的所述金属图案宽度增大，所述金属图案的上表面面积增大，设置于所述金属图案上方的光阻更稳定、不易滑落，提高了生产良率和产品质量。
所述金属走线至少包括层叠设置的第一金属图案102a和第二金属图案 103a，所述第二金属图案103a设置于所述第一金属图案102a远离所述衬底基板101的一侧，所述第二金属图案103a包覆所述第一金属图案102a。在一个优选的实施例中，所述金属走线仅包括所述第一金属图案102a和所述第二金属图案103a。如图1所示，第一金属图案102a，设置于所述衬底基板101上；第二金属图案103a，设置于所述第一金属图案102a上；所述第一金属图案102a 与所述第二金属图案103a电性导通。
所述第一金属图案102a和所述第二金属图案103a的截面图形状均为梯形，所述第一金属图案102a的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角α1小于所述第二金属图案103a的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角α2。在本实施例中，当所述第二金属图案103a的坡度角α2大于所述第一金属图案 102a的坡度角α1，位于上方的所述第二金属图案103a会对位于下方的所述第一金属图案102a的两侧进行一定填充，从而增大所述第二金属图案103的宽度以及上表面面积。值得一提的是，所述金属走线的厚度H为所述第一金属图案 102a的厚度D1和所述第二金属图案103a的厚度D2之和，H＝D1+D2，所述第二金属图案103a的厚度D2为所述第二金属103a图案上表面到所述第一金属图案102a上表面的间距。
在另一个优选的实施例中，所述第二金属图案103a上还设置有至少一层金属图案，所述至少一层金属图案与所述第一金属图案102a、所述第二金属图案 103a电性导通，所述至少一层金属图案包覆所述第二金属图案103a。即除了上述实施例中，由所述第一金属图案102a和所述第二金属图案103a共同组成的金属走线外，在本实施例中，所述金属走线由三个或者三个以上的金属图案组成。同理，远离所述衬底基板101的所述金属图案的坡度角α2大于靠近所述衬底基板101的所述金属图案的坡度角α1。
优选的，所述多个金属图案的材料相同。在上述实施例中，所述第一金属图案102a的材料与所述第二金属图案103a的材料相同。
优选的，任一所述金属图案的材料包括铜、铝、铝、银、钼、钛、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化铟锡锌中的至少一种。在上述实施例中，所述第一金属图案102a和所述第二金属图案103a的材料包括铜、铝、铝、银、钼、钛、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化铟锡锌中的至少一种。
其次，为了更好地制得本发明实施例中显示面板，在所述显示面板的基础之上，本发明实施例中还提供一种显示面板的制备方法，所述制备方法用于制备如上述任一实施例中所述的显示面板。通过采用如下实施例中描述的制备方法，进一步提升了该显示面板的性能。
本发明实施例提供一种显示面板的制备方法。如图2和图3A～3K所示，图 2为本发明一个实施例中制备方法的流程图，图3A～3K为本发明一个实施例中制备方法的分步示意图。所述显示面板的制备方法，包括以下步骤：
提供一衬底基板101，在所述衬底基板101上制备金属走线，
其中，所述金属走线包括层叠制备的多个金属图案，且远离所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影完全覆盖靠近所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影。
在制备层叠的多个所述金属图案的步骤中至少包括：制备第一金属图案 102a，在所述第一金属图案102a上制备第二金属图案103a，其中，所述第一金属图案102a的外侧面与所述衬底基板101上表面形成的坡度角α1小于所述第二金属图案103a的外侧面与所述衬底基板101上表面形成的坡度角α2。
优选的，所述金属走线包括两层或两层以上的所述金属图案，即在制备金属走线的步骤中循环制备所述金属图案至少两次。
在上述实施例的基础上，制备任一所述金属图案的步骤中包括：在所述衬底基板上方制备金属层102，在所述金属层表面制备光阻104层，对所述光阻层104进行曝光显影处理形成光阻图案104a，蚀刻未被所述光阻图案104a覆盖的所述金属层102，去除所述光阻图案104a形成一个所述金属图案102a。
在本发明一个优选的实施例中，循环制备所述金属图案正好两次，所述制备方法包括：
S1、在衬底基板101上制备第一金属层102；
S2、对所述第一金属层102进行蚀刻形成第一金属图案102a；
S3、在所述衬底基板101和所述第一金属图案102a上制备第二金属层103；
S4、对所述第二金属层103进行蚀刻形成第二金属图案103a；
其中，所述第一金属图案102a与所述第二金属图案103a电性导通，所述第二金属图案103a包覆所述第一金属图案102a。
相较于现有的显示面板及显示面板的制备方法，本发明通过分别制备所述第一金属图案102a和所述第二金属图案103a，第一金属图案和第二金属图案共同组成金属走线，在所需金属走线总厚度相同的情况下，增加了制备所述金属图案的制程次数，则单次蚀刻的金属层厚度减小，单次蚀刻的金属层宽度减小，从而最终制得的所述金属图案宽度增大，所述金属图案的上表面面积增大，设置于所述金属图案上方的光阻更稳定、不易滑落，提高了生产良率和产品质量。
在上述实施例的基础上，在制备所述第二金属图案103a的步骤S4后包括：在所述第二金属图案103a上制备至少一层金属图案，所述至少一层金属图案与所述第一金属图案102a、所述第二金属图案103a电性导通，所述至少一层金属图案包覆所述第二金属图案103a。在本实施例中，所述显示面板包括金属走线，所述金属走线由三层或者三层以上的金属图案共同组成，相较于上述实施例中两层金属图案组成的金属走线，在所需金属走线总厚度相同的情况下，包括三层或者三层以上的所述金属图案的实施例在制备每一层金属图案的过程中，所需要向图中的下方蚀刻的厚度更小。
由于蚀刻过程中，金属层表面除了被光阻覆盖保护的部分，其余部分均与蚀刻液接触，蚀刻到一定深度后，蚀刻液除了向垂直方向蚀刻还向两侧进行蚀刻。本实施例中，每一层所述金属图案向下蚀刻的厚度更小，蚀刻的时间也更短，向两侧蚀刻的宽度更小，蚀刻完成后所述金属图案保留的宽度更大，所述金属图案保留的上表面面积更大，设置于所述金属图案上方的光阻更稳定、不易滑落，保证后续制程中所述金属图案的顺利制备。可以理解的是，在本实施例中制程较多，工序较为复杂，生产时间较长，在所述金属走线厚度不高和精度不高的实施例中，如所述金属走线的厚度小于等于8000A时，也可采用两层金属图案组成所述金属走线的技术方案。
在制备所述第一金属图案102a的步骤S2中包括：在所述第一金属层102 表面涂覆第一光阻层104，曝光、显影形成第一光阻图案104a，蚀刻所述第一金属层102后去除所述第一光阻图案104a；
在制备所述第二金属图案103a的步骤S4中包括：在所述第二金属层103 表面涂覆第二光阻层105，曝光、显影形成第二光阻图案105a，蚀刻所述第二金属层103后去除所述第二光阻图案105a。
在本发明一个优选的实施例中，所述显示面板的制备方法包括以下步骤：
S1、在衬底基板101上制备第一金属层102，如图3A所示；
S201、在所述第一金属层102表面涂覆第一光阻层104，如图3B所示；
S202、对所述第一光阻层104进行曝光、显影形成第一光阻图案104a，如图3C和3D所示；
S203、对所述第一金属层102进行蚀刻，如图3E所示；
S204、去除所述第一光阻图案104a形成第一金属图案102a，如图3F所示；
S3、在所述衬底基板101和所述第一金属图案102a上制备第二金属层103，如图3G所示；
S401、在所述第二金属层103表面涂覆第二光阻层105，如图3H所示；
S402、对所述第二光阻层105进行曝光、显影形成第二光阻图案105a，如图3I和3J所示；
S403、对所述第二金属层103进行蚀刻，如图3K所示；
S404、去除所述第二光阻图案105a形成第二金属图案103a，如图1所示。
在一部分实施例中，多个所述金属图案的材料不同，即上述实施例中的所述第一金属图案102a的材料与所述第二金属图案103a的材料不同；在另一部分实施例中，制备多个所述金属图案采用的材料相同，即上述实施例中的所述第一金属图案102a的材料与所述第二金属图案103a的材料相同。在本实施例中，由于所述第一金属图案102a和所述第二金属图案103a共同组成金属走线，为了保证所述第一金属图案102a与所述第二金属图案103a的电学性能和热学性能相同，优选的，所述第一金属图案102a的材料与所述第二金属图案103a 的材料相同。如所述金属走线在导电时，存在部分电量转化为热量，所述金属走线受热膨胀，而由于所述第一金属图案102a的材料与所述第二金属图案103a 的材料相同，两者热膨胀系数相同，两者之间不会发生相对位移，结构更为稳固。
任一所述金属图案的材料包括铜、铝、铝、银、钼、钛、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化铟锡锌中的至少一种。
所述第一金属图案102a和所述第二金属图案103a的截面图形状均为梯形，所述第一金属图案102a的坡度角α1小于所述第二金属图案103a的坡度角α2。在本实施例中，当所述第二金属图案103a的坡度角α2大于所述第一金属图案 102a的坡度角α1，位于上方的所述第二金属图案103a会对位于下方的所述第一金属图案102a的两侧进行一定填充，从而增大所述第二金属图案103的宽度以及上表面面积。值得一提的是，所述金属走线的厚度H为所述第一金属图案 102a的厚度D1和所述第二金属图案103a的厚度D2之和，H＝D1+D2，所述第二金属图案103a的厚度D2为所述第二金属103a图案上表面到所述第一金属图案102a上表面的间距。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。具体实施时，以上各个单元或结构可以作为独立的实体来实现，也可以进行任意组合，作为同一或若干个实体来实现，以上各个单元、结构或操作的具体实施可参见前面的方法实施例，在此不再赘述。
以上对本发明实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (10)
1.一种显示面板，其特征在于，包括：
衬底基板；
金属走线，设置于所述衬底基板上；
其中，所述金属走线包括层叠设置的多个金属图案，且远离所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影完全覆盖靠近所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影。
2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述多个金属图案的材料相同。
3.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，任一所述金属图案的材料包括铜、铝、铝、银、钼、钛、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化铟锡锌中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述金属走线至少包括层叠设置的第一金属图案和第二金属图案，所述第二金属图案设置于所述第一金属图案远离所述衬底基板的一侧，所述第二金属图案包覆所述第一金属图案。
5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角小于所述第二金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角。
6.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
提供一衬底基板，在所述衬底基板上制备金属走线，
其中，所述金属走线包括层叠制备的多个金属图案，且远离所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影完全覆盖靠近所述衬底基板的所述金属图案在所述衬底基板上的正投影。
7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在制备层叠的多个所述金属图案的步骤中至少包括：制备第一金属图案，在所述第一金属图案上制备第二金属图案，其中，所述第一金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角小于所述第二金属图案的外侧面与所述衬底基板上表面形成的坡度角。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，制备任一所述金属图案的步骤中包括：在所述衬底基板上方制备金属层，在所述金属层表面制备光阻层，对所述光阻层进行曝光显影处理形成光阻图案，蚀刻未被所述光阻图案覆盖的所述金属层，去除所述光阻图案形成一个所述金属图案。
9.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，制备多个所述金属图案采用的材料相同。
10.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，任一所述金属图案的材料包括铜、铝、铝、银、钼、钛、氧化铟锡、氧化铟锌和氧化铟锡锌中的至少一种。
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