CN113490658B - 有机溶剂的精制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种有机溶剂的精制方法，其特征在于，具有：第一处理工序，其中，使被处理有机溶剂与H型阳离子交换体(1)接触；以及第二处理工序，其中，使上述第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触。根据本发明，能够提供对有机溶剂中的1价和多价这两种金属种的金属杂质的除去性优异的有机溶剂的精制方法和精制装置。

Description

有机溶剂的精制方法
技术领域
本发明涉及用于得到杂质金属含量降低的高纯度的有机溶剂的有机溶剂的精制方法和用于实施该精制方法的有机溶剂的精制装置。
背景技术
在半导体制造工序中，用于清洗的异丙醇(IPA)中包含的金属杂质在晶片上产生不良影响的可能性高，因此需要将IPA中的杂质含量降低至ppt水平。
作为除去有机溶剂中的金属杂质而精制有机溶剂的方法，可举出使用离子交换体的方法，已知通过离子交换树脂、离子吸附膜等具有强酸性阳离子交换基团的离子交换体，可将有机溶剂中的金属杂质降低至ppt水平。
例如，专利文献1公开了一种高纯度异丙醇的制造方法，上述高纯度异丙醇的金属含量小于1ppb且含水量小于100ppm，上述制造方法包括以下工序：(a)将含有至少99.9重量％的异丙醇，含有200～500ppm的有机杂质且100ppm以下的含水量的供给物液体供给至分离塔的工序；(b)将上述供给物液体分离为从上述分离塔的上部捕集并包含沸点低于异丙醇的被浓缩的成分的顶部液体，以及从上述分离塔的底部捕集并包含沸点高于异丙醇的被浓缩的成分的底部液体，上述顶部液体和上述底部液体包含的异丙醇不是金属含量小于1ppb且含水量小于100ppm的高纯度异丙醇的工序；(c)在以下位置得到上述高纯度异丙醇作为蒸气侧部液体的工序：(i)与上述供给物液体流入上述分离塔的位置相比更靠近下方，且与上述底部液体相比更靠近上方的位置，或(ii)与上述供给物液体流入上述分离塔的位置相比更靠近上方，且与上述顶部液体相比更靠近下方的位置。
[现有技术文献]
[专利文献]
专利文献1：日本特表2003-535836号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，在有机溶剂中，金属杂质的扩散速度小，并且与离子交换树脂的离子交换反应的反应速度也小，因此在进行有机溶剂中的离子性杂质除去的情况下，与除去水溶液中的离子性杂质的情况相比，将对离子交换树脂的流通速度设定为小。例如，在使用强酸性阳离子交换树脂的处理的情况下，难以以与水中相同的流速得到相同的金属除去率。
此外，本发明人等确认到：使用强酸性阳离子交换体来降低IPA等溶剂中的全部金属是困难的，特别是存在Cr、As等除去率差的金属。
因此，本发明的目的在于，提供对有机溶剂中的1价和多价的两种金属种的金属杂质的除去性优异的有机溶剂的精制方法和精制装置。
用于解决课题的手段
鉴于上述技术背景，本发明人等反复进行深入研究，结果发现以下情况等：(1)Cr等2价以上的金属在强酸性阳离子交换树脂中除去率差，进而这些金属中的一部分有可能在有机溶剂中具有阴离子形态，为了除去这些金属，使用H型螯合交换体是有效的，此外，如果使用H型螯合交换体，则引起以下新问题，即，存在于H型螯合交换体中的微量的盐酸等无机酸转移到处理液，在处理液中含有来自H型螯合交换体的无机酸，并且，为了解决该问题，利用阴离子交换体和强酸性离子交换体处理H型螯合交换体的处理液是有效的，另外，(2)首先，利用H型强酸性阳离子交换体除去有机溶剂中的1价和2价以上的金属后，进一步利用阴离子交换体和H型强酸性离子交换体进行处理，从而利用阴离子交换体除去具有阴离子形态的Cr等金属，使其与强酸性离子交换体再次接触，由此可有效除去在前段没有完全除去的1价和2价以上的金属，从而完成本发明。
即，本发明(1)提供一种有机溶剂的精制方法，其特征在于，包括：
第一处理工序，其中，使被处理有机溶剂与H型阳离子交换体(1)接触；以及
第二处理工序，其中，使上述第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触。
另外，本发明(2)提供(1)的有机溶剂的精制方法，其特征在于，通过使上述第一处理工序的处理液流通于上述阴离子交换体(2)和上述H型强酸性阳离子交换体(3)的混床，从而进行上述第二处理工序。
另外，本发明(3)提供(1)的有机溶剂的精制方法，其特征在于，首先，使上述第一处理工序的处理液与上述阴离子交换体(2)接触，接着，与上述H型强酸性阳离子交换体(3)接触，从而进行上述第二处理工序。
另外，本发明(4)提供(1)～(3)中任一项的有机溶剂的精制方法，其特征在于，上述H型阳离子交换体(1)为H型螯合交换体。
另外，本发明(5)提供(1)～(3)中任一项的有机溶剂的精制方法，其特征在于，上述H型阳离子交换体(1)为H型强酸性阳离子交换体。
另外，本发明(6)提供一种有机溶剂的精制方法，其特征在于，具有使被处理有机溶剂与H型螯合交换体、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床接触的处理工序。
另外，本发明(7)提供(4)或(6)的有机溶剂的精制方法，其特征在于，上述H型螯合交换体的官能团为亚氨基二乙酸基、氨基甲基磷酸基或亚氨基丙酸基。
另外，本发明(8)提供(4)、(6)和(7)中任一项的有机溶剂的精制方法，其特征在于，上述阴离子交换体的体积相对于上述H型螯合交换体的体积的比例为0.1～99.0体积％。
另外，本发明(9)提供(4)、(6)～(8)中任一项的有机溶剂的精制方法，其特征在于，上述阳离子交换体(2)的体积相对于上述H型螯合交换体的体积的比例为0.1～99.0体积％。
另外，本发明(10)提供(1)～(9)中任一项的有机溶剂的精制方法，其特征在于，上述有机溶剂为极性有机溶剂。
此外，本发明(11)提供一种有机溶剂的精制装置，其特征在于，具有：流通有被处理有机溶剂的H型阳离子交换体(1)的单床，以及流通有上述H型阳离子交换体(1)的单床的处理液的阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床。
此外，本发明(12)提供一种有机溶剂的精制装置，其特征在于，具有：流通有被处理有机溶剂的H型阳离子交换体(1)的单床，流通有上述H型阳离子交换体(1)的单床的处理液的阴离子交换体(2)的单床，以及流通有上述阴离子交换体(2)的单床的处理液的H型强酸性阳离子交换体(3)的单床。
另外，本发明(13)提供一种有机溶剂的精制装置，其特征在于，具有流通有被处理有机溶剂的H型螯合交换体、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床。
发明效果
根据本发明，能够提供对有机溶剂中的1价和多价的两者的金属种的金属杂质的除去性优异的精制方法和精制装置。
附图说明
图1是表示本发明的第一方式或第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序的第一方式的示意性流程图。
图2是表示本发明的第一方式或第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序的第二方式的示意性流程图。
图3是表示本发明的第一方式或第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序的第三方式的示意性流程图。
图4是表示本发明的第一方式或第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序的第四方式的示意性流程图。
图5是表示本发明的第一方式或第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序的第五方式的示意性流程图。
图6是表示本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法的示意性流程图。
具体实施方式
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法的特征在于，包括以下工序：
第一处理工序，其中，使被处理有机溶剂与H型螯合交换体(1a)接触；
第二处理工序，其中，使该第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的第一处理工序是使被处理有机溶剂与H型螯合交换体(1a)接触的工序。
作为本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的被处理有机溶剂，没有特别限制，例如可举出异丙醇、甲醇、乙醇等醇类、环戊酮、甲基异丁基酮、丙酮、甲乙酮等酮类、2,4-二苯基-4-甲基-1-戊烯、2-苯基-1-丙烯等烯烃系有机溶剂、N-甲基吡咯烷酮和它们的混合有机溶剂。作为被处理有机溶剂，可以是极性有机溶剂和非极性有机溶剂中的任一种，优选为极性有机溶剂。另外，作为极性有机溶剂，可以是质子性的极性有机溶剂，也可以是非质子性的有机溶剂。
被处理有机溶剂含有Na、K、Li等1价金属以及Cr、As、Ca、Cu、Fe、Mg、Mn、Ni、Pb、Zn等2价以上的金属且容易利用螯合树脂除去的金属这两者作为金属杂质。
被处理有机溶剂中的各金属杂质的含量没有特别限制，通常为100质量ppb～20质量ppt左右。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型阳离子交换体(1)为H型螯合交换体(1a)。
H型螯合交换体(1a)通过使Na型、Ca型、Mg型等金属离子型的螯合交换体与无机酸接触，从而进行酸处理，转换为H型。即，H型螯合交换体(1a)为金属离子型的螯合交换体的无机酸接触处理物。
H型螯合交换体(1a)具有的官能团只要能够与金属离子配位而形成螯合物即可，没有特别限制，例如可举出亚氨基二乙酸基、氨基甲基磷酸基、亚氨基丙酸基等具有氨基的官能团、硫醇基等。其中，作为螯合交换体的官能团，从多个多价金属离子的除去性高的观点出发，优选具有氨基的官能团，特别优选亚氨基二乙酸基、氨基甲基磷酸基、亚氨基丙酸基。
作为H型螯合交换体(1a)，可以举出粒状H型螯合交换树脂。作为H型螯合交换树脂的基体，可举出苯乙烯-二乙烯基苯共聚物。H型螯合交换树脂可以是凝胶形结构、大孔形结构、多孔形结构中的任一结构。H型螯合交换树脂的交换容量优选为0.5～2.5eq/L-R，特别优选为1.0～2.5eq/L-R。H型螯合交换树脂的平均粒径(调和平均直径)没有特别限制，优选为300～1000μm，特别优选为500～800μm。应予说明，H型螯合交换树脂的平均粒径是通过激光衍射式粒度分布测定装置测定得到的值。
此外，作为H型鳌合交换体(1a)，可举出H型有机多孔鳌合交换体。H型有机多孔鳌合交换体是导入有具有螯合能力的官能团，例如上文举出的具有螯合能力的官能团的有机多孔体。H型有机多孔鳌合交换体中的交换容量优选为0.3～2mg当量/mL(水湿润状态)，特别优选为1～2mg当量/mL(水湿润状态)。
H型螯合交换体(1a)可通过使Na型、Ca型、Mg型等金属离子型螯合交换体与无机酸接触而进行酸处理而得到。作为与金属离子型螯合交换体接触的无机酸，可举出盐酸、硫酸、硝酸。其中，作为无机酸，从安全性的观点出发，优选盐酸、硫酸。另外，在从Ca型的转换的情况下，存在硫酸钙析出的可能性，因此优选盐酸。无机酸的浓度优选为0.1～6N，特别优选为1～4N。
作为使无机酸接触金属离子型鳌合交换体的方法，没有特别限制，可适当选择接触方式、接触温度、接触时间等。
使无机酸与金属离子型螯合交换体接触后，对被转换为H型的H型螯合交换体进行水洗，除去多余的无机酸，但由于螯合交换体中的官能团通过与无机酸的氢键等而结合，因此在水洗中不能完全除去多余的无机酸。因此，在H型螯合物中残留有用于酸处理的无机酸。
例如，作为金属离子型螯合交换树脂，可举出三菱化学公司制造的CR-10、CR-11、Sumika Chemtex公司制造的Duolite C-467、住友化学公司制造的MC-700、LANXESS公司制造的LEWATIT TP 207、LEWATIT TP 208、LEWATIT TP 260、PUROLITE公司制造的S930、S950、Organo制造的DS-21、DS-22。
在第一处理工序中，通过使被处理有机溶剂与H型螯合交换体(1a)接触，从而利用H型螯合交换体(1a)处理被处理有机溶剂，除去被处理有机溶剂中的主要为2价以上的金属和1价金属的一部分。
在第一处理工序中，对H型螯合交换体(1a)流通被处理有机溶剂时的流通速度(SV)没有特别限制，可适当选择，优选为0.1～100h-1，特别优选为2～30h-1，进一步优选为4～25h-1。
在第一处理工序中，对H型螯合交换体(1a)流通被处理有机溶剂时的温度没有特别限制，可适当选择，通常为0～50℃。另外，根据被处理有机溶剂的种类，在第一处理工序中，有时也在0～80℃使被处理有机溶剂流通于H型螯合交换体(1a)。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的第二处理工序是使第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触的工序。
本发明的第一方式的有机溶剂涉及的精制方法涉及的阴离子交换体(2)具有：强碱性阴离子交换体(2a)，其具有强碱性阴离子交换基团作为阴离子交换基团；以及弱碱性阴离子交换体(2b)，其具有弱碱性阴离子交换基团作为阴离子交换基团。
作为强碱性阴离子交换体(2a)涉及的强碱性阴离子交换基团，可举出OH型季铵基等。另外，作为弱碱性阴离子交换体(2b)涉及的弱碱性阴离子交换基团，可举出叔氨基、仲氨基、伯氨基、聚胺基等。
作为本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的阴离子交换体(2)，可举出粒状阴离子交换树脂。阴离子交换树脂的基体为苯乙烯-二乙烯基苯共聚物。阴离子交换树脂可以为凝胶形结构、大孔形结构、多孔形结构中的任一结构。阴离子交换树脂的湿润状态的离子交换容量优选为0.5～2(eq/L-R)，特别优选为0.9～2(eq/L-R)。阴离子交换树脂的调和平均直径优选为400～900μm，特别优选为500～800μm。作为阴离子交换树脂，例如可举出陶氏化学公司制造的Amberlite IRA900、402、96SB、98、Amberjet 4400、4002、4010、三菱化学公司制造的Diaion UBA120、PA306S、PA308、PA312、PA316、PA318L、WA21J、WA30、Organo公司制造的DS-2、DS-5、DS-6、PUROLITE公司制造的A400、A600、SGA550、A500、A501P、A502PS、A503、A100、A103S、A110、A111S、A133S、LEWATIT公司制造的MONOPLUS M500、M800、MP62WS、MP64等。
另外，作为阴离子交换体(2)，可举出有机多孔阴离子交换体。有机多孔阴离子交换体是导入有阴离子交换基团，例如上文举出的强碱性阴离子交换基团、弱碱性阴离子交换基团的有机多孔体。有机多孔阴离子交换体中的交换容量优选为1～6mg当量/mL(干燥状态)，特别优选为2～5mg当量/mL(干燥状态)。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型强酸性阳离子交换体(3)是将磺酸基等强酸性阳离子交换基团转化为H型的物质。
作为H型强酸性阳离子交换体(3)，可举出粒状强酸性阳离子交换树脂。H型强酸性阳离子交换树脂的基体为苯乙烯-二乙烯基苯共聚物。H型强酸性阳离子交换树脂可以为凝胶形结构、大孔形结构、多孔形结构中的任一结构。H型强酸性阳离子交换树脂的湿润状态的离子交换容量优选为1.5～3.0(eq/L-R)，特别优选为1.7～2.7(eq/L-R)。H型强酸性阳离子交换树脂的调和平均直径优选为400～900μm，特别优选为500～800μm。作为H型强酸性阳离子交换树脂，例如可举出陶氏化学公司制造的Amberlite IR120B、IR124、200CT252、Amberjet 1020、1024、1060、1220、三菱化学公司制造的Diaion SK104、SK1B、SK110、SK112、PK208、PK212L、PK216、PK218、PK220、PK228、UBK08、UBK10、UBK12、Organo制造的DS-1、DS-4、PUROLITE公司制造的C100、C100E、C120E、C100x10、C100x12MB、C150、C160、SGC650、LEWATIT公司制造的MONOPLUS S108H、SP112、S1668等。
另外，作为H型强酸性阳离子交换体(3)，可举出H型有机多孔强酸性阳离子交换体。H型有机多孔强酸性阳离子交换体是导入有强酸性阳离子交换基，例如上文举出的强酸性阳离子交换基的有机多孔体。H型有机多孔强酸性阳离子交换体中的交换容量优选为1～3mg当量/mL(干燥状态)，特别优选为1.5～3mg当量/mL(干燥状态)。
在第二处理工序中，通过使第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触，从而利用阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)对被处理有机溶剂进行处理，在第一处理工序中，除去未被H型螯合交换体(1a)完全除去的1价金属的剩余部分和从H型螯合交换体(1a)释放的无机酸。另外，在阴离子交换体的再生中，使用NaOH作为再生剂，但如果再生后充分清洗，则在阴离子交换体中几乎没有残留NaOH。在第二处理工序中，即使阴离子交换体(2)的再生后的清洗差，再生剂中使用的NaOH的残留物从阴离子交换体(2)溶出，第二处理工序中的H型强酸性阳离子交换体(3)也能够除去Na。
作为第二处理工序中与被处理液接触的阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)，可以将上文举出的阳离子交换体和阴离子交换体以任意的比例混合而使用，此外，也可以使用作为阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混合品而贩卖的离子交换体。作为阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混合品，例如可举出Organo制造的DS-3、DS-7、MSPS2-1·DRY、EG-4A-HG、EG-5A-HG、ESP-1、ESP-2、DUPONT制造的AmberTec UP6040、Purolite制造的MB378、MB378LT、MB400、MB424、MB46、MB47/4914、MB478。
在第二处理工序中，使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)时的流通速度(SV)没有特别限制，可适当选择，优选为0.1～100h-1，特别优选为2～50h-1。
在第二处理工序中，使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)时的温度没有特别限制，可适当选择，通常为0～50℃。另外，根据被处理有机溶剂的种类，在第二处理工序中，有时也在0～80℃使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)。在第二处理工序中，在60～80℃使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的情况下，如果使用强碱性阴离子交换体(2a)作为阴离子交换体(2)，则强碱性阴离子交换体(2a)容易分解，因此使用弱碱性阴离子交换体(2b)作为阴离子交换体(2)。
本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法的特征在于，包括：
第一处理工序，其中，使被处理有机溶剂与H型强酸性阳离子交换体(1b)接触；以及
第二处理工序，其中，使上述第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触。
本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的第一处理工序是使被处理有机溶剂与H型强酸性阳离子交换体(1b)接触的工序。
本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的被处理有机溶剂与本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的被处理有机溶剂相同。
本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型阳离子交换体(1)为H型强酸性阳离子交换体(1b)。本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型强酸性阳离子交换体(1b)与本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型强酸性阳离子交换体(3)相同。
在第一处理工序中，通过使被处理有机溶剂与H型强酸性阳离子交换体(1b)接触，从而利用H型强酸性阳离子交换体(1b)处理被处理有机溶剂，除去被处理有机溶剂中的2价以上的金属的一部分和1价金属的一部分。
在第一处理工序中，使被处理有机溶剂流通于H型强酸性阳离子交换体(1b)时的流通速度(SV)没有特别限制，可适当选择，优选为0.1～100h-1，特别优选为2～30h-1。
在第一处理工序中，使被处理有机溶剂流通于H型强酸性阳离子交换体(1b)时的温度没有特别限制，可适当选择，通常为0～50℃。另外，根据被处理有机溶剂的种类，在第一处理工序中，有时也在0～80℃使被处理有机溶剂流通于H型强酸性阳离子交换体(1b)。
本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的第二处理工序是使第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触的工序。
本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的阴离子交换体(2)与本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的阴离子交换体(2)相同。另外，本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型强酸性阳离子交换体(3)与本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型强酸性阳离子交换体(3)相同。
在本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法中，在第一处理工序中使用的H型强酸性阳离子交换体(1b)和在第二处理工序中使用的H型强酸性阳离子交换体(3)可以是相同的H型强酸性阳离子交换体，也可以是不同的H型强酸性阳离子交换体。
在第二处理工序中，通过使第一处理工序的处理液与阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)接触，从而利用阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)对被处理有机溶剂进行处理，在第一处理工序中，除去未完全被H型强酸性阳离子交换体(1b)除去的2价以上的金属的剩余部分和1价金属的剩余部分。另外，在第二处理工序中，阴离子交换体除去Cr、As等具有阴离子形态的金属离子的可能性的金属、无机酸、有机酸等酸。
此外，在本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法中，暂时使被处理有机溶剂与H型强酸性阳离子交换体接触后，再次进行与H型强酸性阳离子交换体接触的2阶段以上的接触，从而与使被处理有机溶剂与相同量的H型强酸性阳离子交换体接触的情况相比，2价以上的金属的除去率变高。
在第二处理工序中，使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)时的流通速度(SV)没有特别限制，可适当选择，优选为0.1～100h-1，特别优选为2～30h-1。
在第二处理工序中，使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)时的温度没有特别限制，可适当选择，通常为0～50℃。另外，根据被处理有机溶剂的种类，在第二处理工序中，有时也在0～80℃使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)。在第二处理工序中，在0～80℃使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的情况下，如果使用强碱性阴离子交换体(2a)作为阴离子交换体(2)，则强碱性阴离子交换体(2a)容易分解，因此使用弱碱性阴离子交换体(2b)作为阴离子交换体(2)。
作为本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的第二处理工序和本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法涉及的第二处理工序的方式，可举出以下方式。
在第二处理工序的第一方式中，通过使第一处理工序的处理液流通于阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床，进行第二处理工序。阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床包含阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混合物。在阴离子交换体(2)为有机多孔阴离子交换体的情况下，使用切取为任意大小的形状，例如，单边为3mm左右至10mm左右的立方体的有机多孔阴离子交换体。另外，在H型强酸性阳离子交换体(3)为有机多孔强酸性阳离子交换体的情况下，使用切取为任意大小的形状，例如，单边为3mm左右至10mm左右的立方体的有机多孔强酸性阳离子交换体。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法或本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序，作为第一方式的示例，例如可举出，如图1所示，首先使被处理有机溶剂20流通于填充有H型阳离子交换体(H型鳌合交换体(1a)或H型强酸性阳离子交换体(1b))的H型阳离子交换体填充塔1，接着，使利用H型阳离子交换体填充塔1进行处理的处理液流通于填充有阴离子交换树脂(2)和强酸性阳离子交换树脂(3)的混合物的混床填充塔2，得到精制有机溶剂23的方法。在图1所示的示例中，符号21表示的范围为第一处理工序，符号22表示的范围为第二处理工序。
在第二处理工序的第二方式中，使第一处理工序的处理液流通于前段的阴离子交换体(2)的单床，接着，流通于后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的单床，从而进行第二处理工序。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法或本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序，作为第二方式的示例，例如可举出，如图2所示，首先使被处理有机溶剂20流通于填充有H型阳离子交换体(H型鳌合交换体(1a)或H型强酸性阳离子交换体(1b))的H型阳离子交换体填充塔1，接着，使利用H型阳离子交换体填充塔1进行处理的处理液流通于填充有阴离子交换体(2)的阴离子交换体填充塔3，接着，使利用阴离子交换体填充塔3进行处理的处理液流通于填充有强酸性阳离子交换体(3)的强酸性阳离子交换体填充塔4，得到精制有机溶剂23的方法。在图2所示的示例中，符号21表示的范围为第一处理工序，符号22表示的范围为第二处理工序。
在第二处理工序的第三方式中，使第一处理工序的处理液流通于包含前段的阴离子交换体(2)的层和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的层的复床，从而进行第二处理工序。在阴离子交换体(2)为有机多孔阴离子交换体的情况下，将以期望的厚度按照填充容器或柱的内径切取的有机多孔阴离子交换体填充于填充容器或柱。另外，在H型强酸性阳离子交换体(3)为H型有机多孔阳离子交换体的情况下，将以期望的厚度按照填充容器或柱的内径切取的H型有机多孔阳离子交换体填充于填充容器或柱。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法或本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序，作为第三方式的示例，例如可举出，如图3所示，首先，使被处理有机溶剂20流通于填充有H型阳离子交换体(H型鳌合交换体(1a)或H型强酸性阳离子交换体(1b))的H型阳离子交换体填充塔1，接着，使利用H型阳离子交换体填充塔1进行处理的处理液流通于填充有包含前段的阴离子交换体(2)的层5和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的层6的复床7的复床填充塔7，得到精制有机溶剂23的方法。在图3所示的示例中，符号21表示的范围为第一处理工序，符号22表示的范围为第二处理工序。
在第二处理工序的第四方式中，使第一处理工序的处理液流通于将前段的阴离子交换体(2)的单床和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的单床的重复单元重复2组以上而成的复床，从而进行第二处理工序。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法或本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序，作为第四方式的示例，例如可举出，如图4所示，首先，使被处理有机溶剂20流通于填充有H型阳离子交换体(H型鳌合交换体(1a)或H型强酸性阳离子交换体(1b))的H型阳离子交换体填充塔1，接着，使利用H型阳离子交换体填充塔1进行处理的处理液依次流通于“包含前段的阴离子交换体(2)的填充塔8a和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的填充塔9a的第一重复单元10a”、“包含前段的阴离子交换体(2)的填充塔8b和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的填充塔9b的第二重复单元10b”，得到精制有机溶剂23的方法。在图4所示的示例中，符号21表示的范围为第一处理工序，符号22表示的范围为第二处理工序。应予说明，在图4所示的示例中，示出重复2个包含前段的阴离子交换体(2)的填充塔和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的填充塔的重复单元的示例，但包含前段的阴离子交换体(2)的填充塔和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的填充塔的重复单元的数量也可以为3个以上。
在第二处理工序的第五方式中，使第一处理工序的处理液流通于将前段的上述阴离子交换体(2)的层和后段的上述H型强酸性阳离子交换体(3)的层的重复单元层叠2组以上而成的复合床，从而进行第二处理工序。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法或本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法的第二处理工序中，作为第五方式的示例，例如可举出，如图5所示，首先，使被处理有机溶剂20流通于填充有H型阳离子交换体(H型鳌合交换体(1a)或H型强酸性阳离子交换体(1b))的H型阳离子交换体填充塔1，接着，是利用H型阳离子交换体填充塔1进行处理的处理液流通于将“包含前段的阴离子交换体(2)的层11a和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的层12a的第一重复单元13a”、“包含前段的阴离子交换体(2)的层11b和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的层12b的第二重复单元13b”依次层叠而填充的复床填充塔14，得到精制有机溶剂23的方法。在图5所示的示例中，符号21表示的范围为第一处理工序，符号22表示的范围为第二处理工序。应予说明，在图5所示的示例中，示出重复2个包含前段的阴离子交换体(2)的层和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的层的重复单元的示例，但包含前段的阴离子交换体(2)的层和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的层的重复单元的数量也可以为3个以上。
本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法的特征在于，包括：使被处理有机溶剂与H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床接触的处理工序(3)。
本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法涉及的处理工序(3)是使被处理有机溶剂与H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床接触的工序。
本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法涉及的被处理有机溶剂、H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)、H型强酸性阳离子交换体(3)与本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法涉及的被处理有机溶剂、H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)、H型强酸性阳离子交换体(3)相同。
本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床包含H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混合物。应予说明，在H型螯合交换体(1a)为H型有机多孔螯合交换体的情况下，使用切取为任意大小的形状，例如，使用单边为3mm左右至10mm左右的立方体的H型有机多孔强酸性螯合交换体。在阴离子交换体(2)为有机多孔阴离子交换体的情况下，使用切取为任意大小的形状，例如，使用单边为3mm左右至10mm左右的立方体的有机多孔阴离子交换体。另外，在H型强酸性阳离子交换体(3)为有机多孔强酸性阳离子交换体的情况下，使用切取为任意大小的形状，例如，使用单边3mm左右至10mm左右的立方体的有机多孔强酸性阳离子交换体。
在处理工序(3)中，通过使被处理有机溶剂与H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床接触，从而利用H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床对被处理有机溶剂进行处理，除去被处理有机溶剂中的2价以上的金属和1价的金属。另外，在处理工序(3)中，在被处理有机溶剂中，阴离子交换体(2)除去从H型螯合交换体(1a)释放的无机酸。
在处理工序(3)中，使被处理有机溶剂流通于H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床时的流通速度(SV)没有特别限制，可适当选择，优选为0.1～100h-1，特别优选为2～30h-1，进一步优选为4～25h-1。
在处理工序(3)中，使被处理有机溶剂流通于H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床(3)时的温度没有特别限制，可适当选择，通常为0～50℃。另外，根据被处理有机溶剂的种类，在处理工序(3)中，有时也在0～80℃，使被处理有机溶剂流通于H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床。在处理工序(3)中，在0～80℃，使被处理有机溶剂流通于H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床的情况下，如果使用强碱性阴离子交换体(2a)作为阴离子交换体(2)，则强碱性阴离子交换体(2a)容易分解，因此使用弱碱性阴离子交换体(2b)作为阴离子交换体(2)。
作为本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法，如图6所示，例如可举出使被处理有机溶剂20流通于填充有H型螯合交换体(1a)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混合物的混床填充塔24，得到精制有机溶剂23的方法。在图6所示的示例中，符号25表示的范围是处理工序(3)。
在本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法或本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法中，阴离子交换体(2)的体积相对于H型螯合交换体(1a)的体积的比例((阴离子交换体(2)的体积/H型螯合交换体(1a)的体积)×100)优选为0.1～99.0体积％，更优选为0.1～70.0体积％，特别优选为0.1～50.0体积％。
在本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法或本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法中，强酸性阳离子交换体(3)的体积相对于H型螯合交换体(1a)的体积的比例((强酸性阳离子交换体(3)的体积/H型螯合交换体(1a)的体积)×100)优选为0.1～99.0体积％，更优选为0.1～70.0体积％，特别优选为0.1～50.0体积％。
作为H型阳离子交换体(H型螯合交换体(1a)、强酸性阳离子交换体(1b))、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)，导入有离子交换基团的基体可以是有机多孔体。以下对本发明涉及的有机多孔体进行说明。
在有机多孔离子交换体中，导入有H型螯合交换基团、强酸性阳离子基团或阴离子交换基团。即，在有机多孔体中导入有H型螯合交换基团的物质是H型的有机多孔螯合交换体(1a)，另外，在有机多孔体中导入有H型的强酸性阳离子交换基团的物质是H型的有机多孔强酸性阳离子交换体(1b)或(3)，另外，在有机多孔体中导入了阴离子交换基团的物质是有机多孔阴离子交换体。应予说明，导入有机多孔离子交换体的官能团与上述(H型螯合交换体(1a)、强酸性阳离子交换体(1b))、阴离子交换体(2)或H型强酸性阳离子交换体(3)中导入的官能团相同。
作为有机多孔离子交换体，例如可举出包含连续骨架相和连续空孔相、连续骨架的厚度为1～100μm，连续空孔的平均直径为1～1000μm，总细孔容积为0.5～50mL/g，导入有离子交换基团(螯合交换基团、H型强酸性阳离子交换基团或阴离子交换基团)，在干燥状态下的每单位重量的离子交换容量为1～6mg当量/g，离子交换基团均匀分布于有机多孔离子交换体中的有机多孔离子交换体(以下，也记载为第一方式的有机多孔离子交换体)。
作为第一方式的有机多孔离子交换体，可举出具有气泡状大孔彼此重叠，该重叠的部分形成平均直径1～1000μm的开口的连续气泡结构，总细孔容积为1～50mL/g，导入有离子交换基团，干燥状态下的每单位重量的离子交换容量为1～6mg当量/g，离子交换基团均匀分布于有机多孔离子交换体中的有机多孔离子交换体。
另外，作为第一方式的有机多孔离子交换体，可举出气泡状大孔彼此重叠，该重叠的部分形成平均直径30～300μm的开口的连续大孔结构体，总细孔容积为0.5～10ml/g，导入有阳离子交换基团或阴离子交换基团，干燥状态下的每单位重量的离子交换容量为1～6mg当量/g，离子交换基团均匀分布于有机多孔离子交换体中，并且，在连续大孔结构体(干燥体)的切割面的SEM图像中，截面所示的骨架部面积为图像区域中25～50％的有机多孔离子交换体。
另外，作为第一方式的有机多孔离子交换体，可举出以下有机多孔离子交换体：上述有机多孔离子交换体是由在导入有离子交换基团(螯合交换基团、H型强酸性阳离子交换基团或阴离子交换基团)的全部结构单元中，含有0.1～5.0摩尔％的交联结构单元的芳香族乙烯基聚合物构成的平均粗度为1～60μm的三维连续的骨架以及在该骨架间平均直径为10～200μm的三维连续的空孔形成的共连续结构体，上述有机多孔离子交换体的总细孔容积为0.5～10mL/g，导入有阳离子交换基团，干燥状态下的每单位重量的离子交换容量为1～6mg当量/g，离子交换基团均匀分布于有机多孔离子交换体中。
进行本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法、本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法和本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法而得到的精制有机溶剂中的各金属含量，根据精制后的有机溶剂的用途适当选择，优选均为10质量ppt以下。即，进行本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法、本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法和本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法而得到的精制有机溶剂中的2价以上的各金属的含量，根据精制后的有机溶剂的用途而适当选择，优选均为10质量ppt以下，且1价金属的含量根据精制后的有机溶剂的用途而适当选择，优选均为10质量ppt以下。作为进行本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法、本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法和本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法而得到的精制有机溶剂的用途，可举出半导体制造工序中的稀释用溶剂、溶解用溶剂、清洗用溶剂、干燥用溶剂等。此外，根据本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法、本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法和本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法，能够进行1质量ppt以下的杂质水平的精制，因此进行本发明的第一方式的有机溶剂的精制方法、本发明的第二方式的有机溶剂的精制方法和本发明的第三方式的有机溶剂的精制方法而得到的精制有机溶剂可适宜用作用于微量金属分析的校正曲线制作中使用的标准液的稀释用溶剂(校正曲线用空白液)、样品的稀释用溶剂、器具或分析装置的清洗用溶剂。
本发明的第一方式的有机溶剂的精制装置的特征在于，具有：流通有被处理有机溶剂的H型阳离子交换体(1)的单床、以及流通有该H型阳离子交换体(1)的单床的处理液的阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床。
作为本发明的第一方式的有机溶剂的精制装置的流程，可举出图1所示的示例。
本发明的第二方式的有机溶剂的精制装置的特征在于，具有：流通有被处理有机溶剂的H型阳离子交换体(1)的单床，流通有上述H型阳离子交换体(1)的单床的处理液的阴离子交换体(2)的单床，以及流通有上述阴离子交换体(2)的单床的处理液的H型强酸性阳离子交换体(3)的单床。
作为本发明的第二方式的有机溶剂的精制装置的流程，可举出图2所示的示例。
本发明的第三方式的有机溶剂的精制装置的特征在于，具有：流通有被处理有机溶剂的H型阳离子交换体(1)的单床，以及流通有该H型阳离子交换体(1)的单床的处理液且包含前段的阴离子交换体(2)的层和后段的H型强酸性阳离子交换体(3)的层的复床。
作为本发明的第三方式的有机溶剂的精制装置的流程，可举出图3所示的示例。
作为本发明的第一方式～第三方式的有机溶剂的精制装置，可举出H型阳离子交换体(1)为H型螯合交换体的有机溶剂的精制装置。另外，作为本发明的第一方式～第三方式的有机溶剂的精制装置，可举出H型阳离子交换体(1)为H型强酸性阳离子交换体的有机溶剂的精制装置。
本发明的第四方式的有机溶剂的精制装置的特征在于，具有：流通有被处理有机溶剂的H型鳌合交换体、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床。
作为本发明的第四方式的有机溶剂的精制装置的流程，可举出图6所示的示例。
作为本发明的第四方式的有机溶剂的精制装置，可举出H型阳离子交换体(1)为H型螯合交换体的有机溶剂的精制装置。
本发明的第一方式～第四方式的有机溶剂的精制装置涉及的H型阳离子交换体(1)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)与本发明的第一方式～第三方式的有机溶剂的精制方法涉及的H型阳离子交换体(1)、阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)相同。
在本发明的第一方式～第四方式的有机溶剂的精制装置中，在H型阳离子交换体(1)为H型螯合交换体的情况下，阴离子交换体(2)的体积相对于H型螯合交换体(1a)的体积的比例((阴离子交换体(2)的体积/H型螯合交换体(1a)的体积)×100)优选为0.1～99.0体积％，更优选为0.1～70.0体积％，特别优选为0.1～50.0体积％。
在本发明的第一方式～第四方式的有机溶剂的精制装置中，在H型阳离子交换体(1)为H型螯合交换体的情况下，强酸性阳离子交换体(3)的体积相对于H型螯合交换体(1a)的体积的比例((强酸性阳离子交换体(3)的体积/H型螯合交换体(1a)的体积)×100)优选为0.1～99.0体积％，更优选为0.1～70.0体积％，特别优选为0.1～50.0体积％。
以上，对本发明的方式进行了说明，但本发明并不限定于此，在不脱离本发明的主旨的范围内，能够进行各种变更、追加等。例如，在图1～图5中，使用连结的2个以上的填充塔实施第一处理工序和第二处理工序，但也可以形成在前段填充有进行第一处理工序的床且在其后段填充有进行第二处理工序的床的复床，使用1个填充塔实施第一处理工序和第二处理工序。例如，可举出复床的示例，上述复床在1个填充塔的前段填充H型螯合交换体(1a)的床，且在其后段填充阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床。此时，在前段的H型螯合交换体(1a)的床中实施第一处理工序，在后段的阴离子交换体(2)和H型强酸性阳离子交换体(3)的混床中实施第二处理工序。
[实施例]
以下，基于实施例对本发明进行详细说明。但是，本发明并不限定于以下实施例。
(参考例1)
将H型螯合交换树脂(DS-21)(50mL)填充于内径16mm，高度300mm的柱。接着，将水分含量为20质量ppm以下的异丙醇(IPA)从柱的上部向下部流通，直至出口的水分量降低至30质量ppm以下为止，继续流通，将树脂内部的水分置换为IPA。
接着，使IPA模拟液1以SV5h-1在柱中流通，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，利用Agilent 8900ICP-QQQ(Agilent公司制造)对得到的处理液测定金属含量。将其结果示于表2。另外，测定IPA模拟液与处理液的水分含量，均确认为30质量ppm以下。
另外，同样进行，使用IPA模拟液2进行流通。将其结果示于表2。
·H型螯合交换树脂：H型氨基磷酸型螯合树脂(Organo公司制造，Orlite DS-21(阳离子交换容量1.8eq/L-树脂，调和平均直径500μm))
＜IPA模拟液＞
在IPA XE(Tokuyama公司制造)中，以ICP-AES/ICP-MS用标准液计添加石蜡油基质的有机金属标准溶液Conostan(CONOSTAN公司制造)，制备1000质量ppt的IPA模拟液1。另外，同样进行，制备100质量ppt的IPA模拟液2。IPA模拟液中的各金属含量如表1所示。
【表1】
<模拟液中的各金属的含量>
＜水分测定＞
使用Aquacounter AQ-2200(平沼产业株式会社制造)测定水分含量。
【表2】
<鳌合交换树脂的除去性能
(实施例1)
将以体积比例3∶1∶1混合H型螯合交换树脂(DS-21)、OH型强碱性阴离子交换树脂(DS-2)和H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)而得到的混合物50mL填充于内径16mm、高度300mm的柱(H型C/OH型A/H型K混床1)。
接着，使IPA模拟液2以SV5h-1流通于H型C/OH型A/H型K混床1，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表3。
·OH型强碱性阴离子交换树脂(DS-2)：Organo公司制造(阴离子交换容量1.0eq/L-树脂)
·H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)：Organo公司制造(阳离子交换容量2.0eq/L-树脂)
(实施例2)
将H型螯合交换树脂(DS-21)30mL填充于内径16mm，高度300mm的柱(H型C单床1)。此外，在内径16mm，高度300mm的柱中，以层厚比1：1在前段填充OH型强碱性阴离子交换树脂(DS-2)，在后段填充H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)，合计填充20mL(OH型A/H型K复床1)。接着，连接前段的H型C单床1和后段的OH型A/H型K复床1。
接着，使IPA模拟液2以SV5h-1流通于前段的H型C单床1和后段的OH型A/H型K复床1，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表3。
(比较例1)
将H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)50mL填充于内径16mm，高度300mm的柱(H型K单床1)。
接着，使IPA模拟液1以SV5h-1流通于H型K单床1，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表3。
(比较例2)
将以体积比例1∶1混合OH型强碱性阴离子交换树脂(DS-2)和H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)而得到的混合物50mL填充于内径16mm，高度300mm的柱(OH型A/H型K混床1)。
接着，使IPA模拟液1以SV5h-1流通于OH型A/H型K混床1，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表3。
(比较例3)
将H型螯合交换树脂(DS-21)30mL填充于内径16mm，高度300mm的柱(H型C单床1)。另外，将OH型强碱性阴离子交换树脂(DS-2)20mL填充于内径16mm，高度300mm的柱(OH型A单床1)。接着，将前段的H型C单床1和后段的OH型A单床1连接。
接着，使IPA模拟液2以SV5h-1流通于前段的H型C单床1和后段的OH型A单床1，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表3。
(比较例4)
将OH型强碱性阴离子交换树脂(DS-2)50mL填充于内径16mm，高度300mm的柱(OH型A单床1)。
接着，使IPA模拟液1以SV5h-1流通于OH型A单床1，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表3。
【表3】
(实施例3～6)
代替以SV5h-1进行流通，以表4所示的SV进行流通，除此以外，与实施例1同样进行。将其结果示于表4。
【表4】
(比较例5)
将H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)36mL填充于内径16mm，高度300mm的柱(H型K单键床1)。接着，使IPA模拟液3以SV5h-1流通(示于表5)，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表6。
(实施例7)
在内径16mm、高度300mm的柱中，以层厚比1:1计，在前段填充H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)18ml，在后段填充H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)9mL和OH型强碱性阴离子交换树脂的混合树脂(DS-2)9ml的混床18ml，合计填充36mL(H型K/H型，OH型混床1)。
接着，使IPA模拟液4(示于表5)以SV5h-1流通于H型K/H型、OH型混床1，流通20BV(树脂体积的20倍量)后，对处理液进行取样。
接着，测定得到的处理液的金属含量。将其结果示于表6。
·H型强酸性阳离子交换树脂(DS-1)：Organo公司制造(阳离子交换容量≥2.1eq/L-树脂)
·OH型强碱性阴离子交换树脂(DS-2)：Organo公司制造(阴离子交换容量≥1.0eq/L-树脂)
【表5】
<模拟液中的各金属的含量>
【表6】
符号说明
1 H型阳离子交换体填充塔
2、24 混床填充塔
3、8a、8b 阴离子交换体填充塔
4、9a、9b 强酸性阳离子交换体填充塔
5、11a、11b 阴离子交换体的层
6、12a、12b H型强酸性阳离子交换体的层
7、14 复床填充塔
10a、10b、13a、13b 重复单元
20 被处理有机溶剂
21 第一处理工序
22 第二处理工序
23 处理液
25 处理工序(3)。

Claims (8)

1.一种有机溶剂的精制方法，用于半导体制造工序或微量金属分析用途，其特征在于，所述有机溶剂的精制方法具有：
第一处理工序，其中，使被处理有机溶剂与H型螯合交换体（1）接触；以及
第二处理工序，其中，使所述第一处理工序的处理液与阴离子交换体（2）和H型强酸性阳离子交换体（3）接触，
得到的精制有机溶剂中的各金属含量均为10质量ppt以下，
所述H型螯合交换体（1）是以亚氨基二乙酸基、氨基甲基磷酸基或亚氨基丙酸基修饰的离子交换树脂，所述阴离子交换体（2）和所述H型强酸性阳离子交换体（3）是离子交换树脂。
2.一种有机溶剂的精制方法，用于半导体制造工序或微量金属分析用途，其特征在于，
所述有机溶剂的精制方法具有：
第一处理工序，其中，使被处理有机溶剂与H型强酸性阳离子交换体（1）接触；以及
第二处理工序，其中，使所述第一处理工序的处理液与阴离子交换体（2）和H型强酸性阳离子交换体（3）接触，
得到的精制有机溶剂中的各金属含量均为10质量ppt以下，
所述H型强酸性阳离子交换体（1，3）是H型强酸性阳离子交换树脂，所述阴离子交换体（2）是OH型强碱性阴离子交换树脂。
3.根据权利要求1或2所述的有机溶剂的精制方法，其特征在于，
使所述第一处理工序的处理液流通至所述阴离子交换体（2）和所述H型强酸性阳离子交换体（3）的混床，从而进行所述第二处理工序。
4.根据权利要求1或2所述的有机溶剂的精制方法，其特征在于，
首先，使所述第一处理工序的处理液与所述阴离子交换体（2）接触，接着，与所述H型强酸性阳离子交换体（3）接触，从而进行所述第二处理工序。
5.根据权利要求1所述的有机溶剂的精制方法，其特征在于，
所述H型螯合交换体（1）的官能团为亚氨基二乙酸基、氨基甲基磷酸基或亚氨基丙酸基。
6.根据权利要求1所述的有机溶剂的精制方法，其特征在于，
所述阴离子交换体（2）的体积相对于所述H型螯合交换体（1）的体积的比例为0.1～99.0体积%。
7.根据权利要求1所述的有机溶剂的精制方法，其特征在于，
所述H型强酸性阳离子交换体（3）的体积相对于所述H型螯合交换体（1）的体积的比例为0.1～99.0体积%。
8.根据权利要求1或2所述的有机溶剂的精制方法，其特征在于，
所述有机溶剂为极性有机溶剂。
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