CN113403586A - 蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚和盖板，所述坩埚的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽，相邻两个所述收容槽之间设置有加热槽，所述加热槽设置于所述坩埚的外部，所述收容槽的外表面和所述加热槽均设置有加热件；盖板，所述盖板盖设于所述坩埚上，所述盖板设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部。本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚的外部设置加热槽，加热槽设置于相邻两个收容槽之间，且收容槽的外表面和加热槽均设置有加热件，如此可以提高每个收容槽内蒸镀材料的加热效率，从而可以提高蒸镀效率和蒸镀质量。

Description

蒸镀装置

技术领域

本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

在OLED面板制备过程中，蒸镀工艺其是其中的关键工序。在蒸镀过程中，采用蒸镀掩膜遮挡基材，蒸镀材料从蒸镀掩膜开口蒸镀到对应的基材上，但目前通常采用点源和线源的方式，如此需要点源或线源与基材发生相对移动才能使得基材被蒸镀，从而不仅会导致蒸镀效率的下降，还会因点源或线源存在移动而导致蒸发口部在不同位置喷出的蒸镀材料相互影响，最终会导致有机膜的成型厚度不均匀。也就是说，现有的点源和线源的蒸镀效率和蒸镀质量较低。

因此，目前亟待需要一种蒸镀装置来解决上述问题。

发明内容

本申请提供了一种蒸镀装置，以提高蒸镀效率和蒸镀质量。

本申请实施例提供了一种蒸镀装置，包括：

坩埚，所述坩埚的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽，相邻两个所述收容槽之间设置有加热槽，所述加热槽设置于所述坩埚的外部，所述收容槽的外表面和所述加热槽均设置有加热件；

盖板，所述盖板盖设于所述坩埚上，所述盖板设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部。

在一种可能的设计中，所述坩埚的内部还设置有扩散腔，所述扩散腔设置于所述收容槽和所述盖板之间。

在一种可能的设计中，所述坩埚的内部还设置有分隔板，所述分隔板设置于所述收容槽和所述扩散腔之间，所述分隔板均匀地设置有多个用于连通所述收容槽和所述扩散腔的第一通孔。

在一种可能的设计中，所述坩埚的内部设置有多个隔层部，所述坩埚的底壁设置有多个第二通孔，所述隔层部设置于所述第二通孔的两侧，以在所述坩埚的内部形成多个所述收容槽和在所述坩埚的外部形成多个所述加热槽；

相邻两个所述收容槽之间设置有所述隔层部，所述加热槽形成于所述隔层部的内部。

在一种可能的设计中，所述加热槽设置有用于固定所述加热件的安装部。

在一种可能的设计中，所述收容槽沿水平方向的截面积由下至上逐渐增大。

在一种可能的设计中，所述坩埚的顶部沿水平方向的截面为长方形，所述盖板沿水平方向的截面为长方形；

所述盖板设置有多个与所述坩埚的长度方向平行设置的线源，每个所述线源设置有多个所述蒸发口部，每个线源的所述蒸发口部沿所述坩埚的长度方向成锯齿状排列。

在一种可能的设计中，多个所述线源之间相邻的所述蒸发口部沿所述坩埚的宽度方向成锯齿状排列。

可见，本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚的外部设置加热槽，加热槽设置于相邻两个收容槽之间，且收容槽的外表面和加热槽均设置有加热件，如此可以提高每个收容槽内蒸镀材料的加热效率，从而可以提高蒸镀效率和蒸镀质量。

附图说明

图1为本申请实施例提供的蒸镀装置的正视图；

图2为本申请实施例提供的盖板的俯视图；

图3为本申请实施例提供的坩埚的俯视图；

图4为图3所示坩埚沿A-A的剖面示意图。

附图标记：

X-水平方向；

L-长度方向；

W-宽度方向；

10-基材；

20-掩膜；

1-坩埚；

11-收容槽；

12-扩散腔；

13-分隔板；

131-第一通孔；

14-隔层部；

15-底壁；

151-第二通孔；

2-盖板；

21-线源；

211-蒸发口部；

3-加热槽；

31-安装部；

4-加热件。

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

具体实施方式

以下结合附图及实施例，对本申请进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

如图1所示，其为本申请实施例提供的蒸镀装置的正视图；如图2所示，其为本申请实施例提供的盖板的俯视图；如图3所示，其为本申请实施例提供的坩埚的俯视图。结合图1至图3，该蒸镀装置包括坩埚1和盖板2，其中：

坩埚1的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽11，相邻两个收容槽11之间设置有加热槽3，加热槽3设置于坩埚1的外部，收容槽11的外表面和加热槽3均设置有加热件4；盖板2，盖板2盖设于坩埚1上，盖板2设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部211。本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚1的外部设置加热槽3，加热槽3设置于相邻两个收容槽11之间，且收容槽11的外表面和加热槽3均设置有加热件，如此可以提高每个收容槽11内蒸镀材料的加热效率，从而可以提高蒸镀效率和蒸镀质量。收容槽11内的蒸镀材料经加热件4加热后向上喷出，喷出后的蒸镀材料通过掩膜20后在基材10上形成有机膜，即蒸镀材料可以为有机材料。

请继续参阅图2，在一些实施方式中，坩埚1的顶部沿水平方向X的截面为长方形，盖板2沿水平方向X的截面为长方形，盖板2设置有多个与坩埚1的长度方向L平行设置的线源21，即本申请提供的蒸镀装置为面源，面源相比点源或线源不需要相对基材10相对移动，从而可以保证一次性在基材10形成所需的有机膜。每个线源21设置有多个蒸发口部211，每个线源21的蒸发口部211沿坩埚1的长度方向L成锯齿状排列(可参见图2中沿长度方向L成锯齿状排列的虚线)。其中，线源21为虚体结构，故图2中采用点划线的方式将盖板2分成三个线源21，在此仅用于示例性的说明。通过将每个线源21的蒸发口部211沿坩埚1的长度方向L成锯齿状排列，一方面减小了基材10和掩膜20之间间隙的阴影出现，另一方面提高了蒸镀材料成型厚度的均匀性。为进一步提高上述实施方式的效果，在另一些实施方式中，多个线源21之间相邻的蒸发口部211沿坩埚1的宽度方向W成锯齿状排列(可参见图2中沿宽度方向W成锯齿状排列的虚线)。

如图4所示，其为图3所示坩埚沿A-A的剖面示意图。结合图3和图4，在一些实施方式中，坩埚1的内部还设置有扩散腔12，扩散腔12设置于收容槽11和盖板2之间。通过设置扩散腔12，可以使得加热后的蒸镀材料在扩散腔12内能够得到更好地均匀，从而提高了蒸镀材料成型厚度的均匀性。

在一些实施方式中，坩埚1的内部还设置有分隔板13，分隔板13设置于收容槽11和扩散腔12之间，分隔板13均匀地设置有多个用于连通收容槽11和扩散腔12的第一通孔131。通过设置分隔板13，可以使得加热后的蒸镀材料在经过分隔板13时实现第一次均匀，从而为实现在扩散腔12更好的均匀效果提供基础。

在一些实施方式中，坩埚1的内部设置有多个隔层部14，坩埚1的底壁15设置有多个第二通孔151，隔层部14设置于第二通孔151的两侧，以在坩埚1的内部形成多个收容槽11和在坩埚1的外部形成多个加热槽3；相邻两个收容槽11之间设置有隔层部14，加热槽3形成于隔层部14的内部。也就是说，本实施方式的坩埚1采用分体组装成型的方式，隔层部14可以与坩埚1为相同或不同的制作材料，如此可降低坩埚1成型的成本。当然，坩埚1也可以采用一体成型工艺，即隔层部14与坩埚1为相同的制作材料。

在一些实施方式中，加热槽3设置有用于固定加热件4的安装部31，如此有利于将加热件4缠绕在安装部31上进行固定。例如，安装部31可以为柱状凸起，当然还可以是其它能够固定加热件4的结构，在此不进行赘述。

在一些实施方式中，收容槽11沿水平方向X的截面积由下至上逐渐增大，从而有利于蒸镀材料的蒸发，减小坩埚1内发生的孤岛效应，进而保证了蒸镀装置的蒸镀效率和蒸镀质量。

综上，本申请提供的蒸镀装置通过在坩埚1的外部设置加热槽3，加热槽3设置于相邻两个收容槽11之间，且收容槽11的外表面和加热槽3均设置有加热件，如此可以提高每个收容槽11内蒸镀材料的加热效率，从而可以提高蒸镀效率和蒸镀质量。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请保护的范围之内。

Claims (8)

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：

坩埚(1)，所述坩埚(1)的内部具有多个用于收容蒸镀材料的收容槽(11)，相邻两个所述收容槽(11)之间设置有加热槽(3)，所述加热槽(3)设置于所述坩埚(1)的外部，所述收容槽(11)的外表面和所述加热槽(3)均设置有加热件(4)；

盖板(2)，所述盖板(2)盖设于所述坩埚(1)上，所述盖板(2)设置有多个用于喷出蒸镀材料的蒸发口部(211)。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内部还设置有扩散腔(12)，所述扩散腔(12)设置于所述收容槽(11)和所述盖板(2)之间。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内部还设置有分隔板(13)，所述分隔板(13)设置于所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)之间，所述分隔板(13)均匀地设置有多个用于连通所述收容槽(11)和所述扩散腔(12)的第一通孔(131)。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的内部设置有多个隔层部(14)，所述坩埚(1)的底壁(15)设置有多个第二通孔(151)，所述隔层部(14)设置于所述第二通孔(151)的两侧，以在所述坩埚(1)的内部形成多个所述收容槽(11)和在所述坩埚(1)的外部形成多个所述加热槽(3)；

相邻两个所述收容槽(11)之间设置有所述隔层部(14)，所述加热槽(3)形成于所述隔层部(14)的内部。

5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热槽(3)设置有用于固定所述加热件(4)的安装部(31)。

6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述收容槽(11)沿水平方向(X)的截面积由下至上逐渐增大。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚(1)的顶部沿水平方向(X)的截面为长方形，所述盖板(2)沿水平方向(X)的截面为长方形；

所述盖板(2)设置有多个与所述坩埚(1)的长度方向(L)平行设置的线源(21)，每个所述线源(21)设置有多个所述蒸发口部(211)，每个线源(21)的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的长度方向(L)成锯齿状排列。

8.根据权利要求7中任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，多个所述线源(21)之间相邻的所述蒸发口部(211)沿所述坩埚(1)的宽度方向(W)成锯齿状排列。

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