CN113395013A - 压电驱动装置、超声波电机以及机器人 - Google Patents

Abstract

本公开涉及压电驱动装置、超声波电机以及机器人。抑制突起部的脱落。压电驱动装置具备：压电元件；振动板，在侧面设置有凹部；以及突起部，设置在所述凹部的两个侧面之间，并且呈球形、椭圆体形或卵形，多个所述压电元件与多个所述振动板层叠，所述凹部具备底面。

Description

压电驱动装置、超声波电机以及机器人

技术领域

本公开涉及压电驱动装置、压电电机以及机器人。

背景技术

在超声波电机中，在超声波振动器上设置接触部件，并使该接触部件与被驱动体接触，从而驱动被驱动体。在专利文献1所记载的超声波电机中，在振动器的前端设置销台作为接触部件，在该销台上具备与被驱动体摩擦接触的销形部件。

专利文献1：日本特开2011-1155761号公报

但是，在专利文献1所记载的超声波电机中，由于被驱动体与接触部件摩擦接触，因此接触部件有时会从振动器脱落。

发明内容

根据本公开的一个方式，提供一种压电驱动装置。该压电驱动装置具备：压电元件；振动板，在侧面设置有凹部；突起部，设置在所述凹部的两个侧面之间，并且呈球形、椭圆体形或卵形，多个所述压电元件与多个所述振动板层叠，所述凹部具备底面。

附图说明

图1是表示压电电机的概略结构的说明图。

图2是表示压电电机的动作的说明图。

图3是压电驱动装置的A向视图。

图4是压电驱动装置的B向视图。

图5是压电驱动装置的C向视图。

图6是图3的VI-VI剖视图。

图7是表示压电驱动装置的制造工序的说明图。

图8是第二实施方式的压电驱动装置的B向视图。

图9是图8的IX-IX剖视图。

图10是第二实施方式的压电驱动装置的C向视图。

图11是第三实施方式的压电驱动装置的C向视图。

图12是第四实施方式的压电驱动装置的立体图。

图13是第四实施方式的压电驱动装置的B向视图。

图14是表示图13中的XIV-XIV截面的说明图。

图15是第四实施方式的压电驱动装置的C向视图。

图16是第五实施方式的压电驱动装置的立体图。

图17是第五实施方式的压电驱动装置的B向视图。

图18是表示图17中的XVIII-XVIII截面的说明图。

图19是第五实施方式的压电驱动装置的C向视图。

图20是第六实施方式的压电驱动装置的立体图。

图21是第六实施方式的压电驱动装置的B向视图。

图22是第六实施方式的压电驱动装置的C向视图。

图23是第七实施方式的压电驱动装置的立体图。

图24是第七实施方式的压电驱动装置的B向视图。

图25是第八实施方式的压电驱动装置的B向视图。

图26是表示利用了压电驱动装置的机器人的一个例子的说明图。

附图标记说明

10…压电电机；20～20f…突起部；20cg～20fg…槽；20o…中心轴；20t…顶部；30～30g…压电驱动装置；31…压电振动体；32～32g2…单元；34～34g2、35e…短边；34cc、34ec、35ec…中央部；36…中央；40～40g、41c～41g、42、42g…凹部；40as～40ds、40s、41as、41cs、42as…底面；40aw～40gw、40w、41a～41gw、42aw…侧面；40dc、40fc、41fc…凸部；50…被驱动体；100…基板；110a～110b…压电元件；111…第一电极；112…压电体；113…第二电极；114…绝缘膜；115…粘接剂；116…粘接剂；200…振动板；203…长边；204…短边；210…支承部；240…凹部；300…机器人手；303…把持部；310…臂；312…连杆部；320…关节部；350…机器人。

具体实施方式

A.第一实施方式：

图1是表示压电电机10的概略结构的说明图。压电电机10具备压电驱动装置30和被驱动体50。压电驱动装置30具备：振动板200、六个压电元件110a、110b、110c、110d、110e、110f以及突起部20。振动板200大致呈长方形。六个压电元件110a～110f在振动板200上呈矩阵状，具体而言，沿着长边203排列配置有两个，沿着短边204排列配置有三个。在振动板200的长边方向上排列的两个压电元件之间，具体而言，在压电元件110a与110d之间以及压电元件110c与110f之间所对应的位置的外侧，设置有支承部210。如果在适当的时刻对压电元件110a～110f施加电压，则振动板200以支承部210为接缝而进行弯曲运动。

振动板200在作为一个侧面的短边204的大致中央具有凹部240，在凹部240中设置有突起部20。在本实施方式中，突起部20呈球形。需要说明的是，突起部20也可以是球形以外的形状，例如椭圆体、卵形。另外，突起部20也可以与振动板200为一体。当振动板200进行弯曲运动时，突起部20按压被驱动体50，从而驱动被驱动体50。在本实施方式中，被驱动体50具有圆板形状，被驱动体50围绕其中心51旋转。需要说明的是，被驱动体50也可以采用平板形状，并支承为能够沿A方向移动的结构。需要说明的是，如图1所示，在振动体200中，将压电元件110a、100b、100c排列的方向设为A方向，将压电元件110a、110d排列的方向设为B方向，将与A方向、B方向交叉的方向设为C方向。

图2是表示压电电机10的动作的说明图。对位于振动板200的对角的两个压电元件例如压电元件110a和压电元件110f施加电压。压电元件110a和压电元件110f如箭头x1所示那样伸长，振动板200弯曲。突起部20由于振动板200的弯曲而如箭头y1所示那样移动。此时，当在短边方向上也对中央的压电元件110b和压电元件110e施加电压时，压电元件110b和压电元件110e也如箭头x1所示那样伸长，突起部20与被驱动体50接触，进行按压。其结果为，当突起部20如箭头y1所示那样移动时，被驱动体50向箭头z所示的方向旋转。

接着，对位于振动板200的对角的另外两个压电元件，即压电元件110c和压电元件110d施加电压，并且不对其它压电元件110a、压电元件110b、压电元件110e以及压电元件110f施加电压。压电元件110c和压电元件110d如箭头x2所示那样伸长，振动板200向相反方向弯曲，突起部20如箭头y2所示那样移动。但是，由于未对短边方向的中央的压电元件110b和压电元件110e施加电压，因此突起部20与被驱动体50分离，而不进行按压。其结果为，即使突起部20如箭头y2所示那样移动，被驱动体50也不旋转。通过以这种方式重复对压电元件施加电压，被驱动体50能够向箭头z所示的方向旋转。需要说明的是，在使被驱动体50向z方向的相反方向旋转时，只要在对压电元件110a和压电元件110f施加电压时，不对压电元件110b和压电元件110e施加电压，在对压电元件110c和压电元件110d施加电压时，对压电元件110b和压电元件110e施加电压即可。

图3是从支承部210侧观察压电驱动装置30的图，即A向视图。第一实施方式的压电驱动装置30具备层叠的多个单元32。单元32的结构将在后面叙述。在图3所示的例子中，压电驱动装置30具备五个单元32。各单元32具有凹部40，五个凹部40合在一起而形成图1所示的凹部240。凹部240的深度，即从凹部40的底面40s到短边34为止的深度L1，比从凹部40的底面40s到突起部20的顶部20t为止的长度L2浅且为L2/2以上。凹部240的深度也可以为L2/2以下。能够增大突起部20的突出量。需要说明的是，凹部240的深度优选为L2/4以上。

图4是从突起部20侧观察压电驱动装置30的图，即B向视图。图5是从单元的层叠方向观察压电驱动装置30的图，即C向视图。凹部40具备底面40s和相互对置的两个侧面40w。在第一实施方式中，凹部40在五个单元32中形状相同。因此，凹部40形成长方体的凹部240(图1)。在该凹部240中设置有突起部20。由于图2所示的振动板200的移动，对突起部20施加与侧面40w正交的方向的力，但不施加单元32的层叠方向的力。

图6是图3的VI-VI剖视图，即单元32的截面。单元32具备两个压电振动体31。压电振动体31具备压电元件110a至压电元件110f这六个压电元件，但由于图6是图3的VI-VI剖视图，因此仅能够看到三个压电元件110a、压电元件110b以及压电元件110c。压电元件110a至压电元件110f分别形成在作为振动板发挥功能的基板100上。压电元件110a至压电元件110f，从基板100侧起具备第一电极111、压电体112以及第二电极113。第一电极111是在各压电元件110a～110f中共用的电极，但压电体112和第二电极113在各压电元件110a～110f中是独立的。需要说明的是，第一电极111也可以在各压电元件110a～110f中是独立的。

在压电元件110a～110f上形成有绝缘膜114。单元32通过以压电元件110a～110f成为内侧、振动板200成为外侧的方式，利用粘接剂115贴合两个压电振动体31而形成。

图7是表示压电驱动装置30的制造工序的说明图。在步骤1中，准备基板100作为振动板。基板100例如是硅晶片。在步骤2中，在基板100上形成第一电极111并进行图案化。形成第一电极111的形成可以通过溅射来进行，图案化可以通过蚀刻来进行。需要说明的是，也可以在形成第一电极111之前，使硅氧化而形成氧化硅的绝缘膜。

在步骤3中，在第一电极111上形成压电体112并进行图案化。压电体112的形成例如可以使用溶胶-凝胶法来进行。即，将压电体材料的溶胶凝胶溶液滴下到振动板200(第一电极111)上，并通过使振动板200高速旋转，而在第一电极111上形成溶胶凝胶溶液的薄膜。然后，在200～300℃的温度下进行煅烧，在第一电极111上形成压电体材料的第一层。然后，通过重复进行多次溶胶凝胶溶液的滴下、高速旋转、煅烧的循环，直到在第一电极111上形成期望的厚度的压电体层。在形成了期望的厚度的压电体层之后，在600℃～1000℃的温度下进行烧结，由此形成压电体112。

接着，通过使用了氩离子束的离子铣削，对压电体112进行图案化。也可以通过其它任意的图案化方法(例如，使用了氯气系的气体的干式蚀刻)进行图案化，来代替使用离子铣削进行图案化。

在步骤4中，在压电体112上形成第二电极113并进行图案化。第二电极113的形成以及图案化，能够与第一电极111同样地通过溅射和蚀刻来进行。

在步骤5中，在第二电极113上形成绝缘膜114。由此，形成压电振动体31。在使用硅晶片制造压电振动体31的情况下，能够由一片硅晶片制造多个压电振动体31，因此，例如使用激光分离成各个压电振动体31。此时，同时形成凹部40。在后述的各实施方式中，该凹部的形状、位置不同。

在步骤6中，以压电元件110a～110f成为内侧、基板100成为外侧的方式，利用粘接剂115贴合两个压电振动体31，而形成单元32。

在步骤7中，在压电元件110a～110f和基板100排列的方向上层叠多个单元32，并利用粘接剂116进行粘接。然后，在凹部240(图1)中设置突起部20并进行粘接。在后述的各实施方式中，突起部20也粘接于凹部。

根据第一实施方式，压电驱动装置30在振动板200的短边204上具备凹部240，即单元32的凹部40。凹部40具有底面40s和相互对置的两个侧面40w，在凹部40中设置有突起部20。其结果为，即使对突起部20施加与侧面40w正交的方向的力，侧面40w也能够抑制突起部20的脱落。

另外，根据第一实施方式，凹部40的深度L1，比从突起部20的与凹部40的底面40s接触的下部到下部的相反侧的顶部20t为止的长度L2浅，为L2/2以上，即，上述凹部40的深度L1为从底面40s到顶部20t为止的长度即突起部20的高度L2的一半以上。其结果为，突起部20的一半以上插入凹部40，因此能够进一步抑制突起部20的脱落。需要说明的是，凹部40的深度L1也可以不为L2/2以上。需要说明的是，如上所述，突起部20粘接于凹部240。在本说明书中，突起部20的下部与凹部40的底面40s接触，包括突起部20与凹部240隔着粘接剂接触的情况。

B.第二实施方式：

第二实施方式的压电驱动装置30a仅凹部40a、41a、42a的形状与第一实施方式的压电驱动装置30不同，其它结构相同。凹部40a具有底面40as和侧面40aw，凹部40a具有底面41as和侧面41aw，凹部42具有底面42as和侧面42aw。图8是第二实施方式的压电驱动装置30a的B向视图，即从突起部侧观察的图。在第二实施方式中，如图8所示，与层叠方向上的中央的单元32a的两个侧面40aw的间隔相比，层叠方向上的外侧的单元32a1的两个侧面41aw的间隔窄，层叠方向上的外侧的单元32a2的两个侧面42aw的间隔L3进一步变窄。另外，间隔L3比与单元32a所成的平面平行的方向上的突起部20的直径L4窄。

图9是图8的IX-IX剖视图。在第二实施方式中，如图9所示，与到层叠方向上的中央的单元32a的底面40as为止的深度相比，到层叠方向上的外侧的单元32a1的底面41as为止的深度浅，到层叠方向上的外侧的单元32a2的底面42as为止的深度L5进一步变浅。另外，深度L5比突起部20的高度L2的一半浅。

图10是第二实施方式的压电驱动装置30a的C向视图，即从单元32a、32a1、32a2的层叠方向观察的图。如图8中说明的那样，单元32a2的间隔L3比直径L4窄，如图9中说明的那样，到单元32a2的底面42as为止的深度L5比突起部20的高度L2的一半浅。因此，当从单元32a、32a1、32a2的层叠方向观察压电驱动装置30a时，单元32a2的凹部的两个侧面42aw和底面42as遮挡突起部20的一部分。其结果为，即使对突起部20施加与侧面40aw正交的方向的力，侧面40aw也能够抑制突起部20的脱落。此外，即使对突起部20施加朝向单元32a、32a1、32a2的层叠方向的力，侧面42aw和底面42as也能够抑制突起部20的脱落。

需要说明的是，在第二实施方式中，也可以是仅具备图8、图9中说明的结构中的任一方的结构。在图8所示的结构中，侧面42aw抑制突起部20的脱落，在图9所示的结构中，底面42as抑制突起部20的脱落。在后述的其它实施方式中也可以采用图9中说明的结构。

C.第三实施方式：

图11是第三实施方式的压电驱动装置30b的C向视图，即，从单元的层叠方向观察的图。第三实施方式的压电驱动装置30b与第一实施方式的压电驱动装置30相比，凹部40b的形状不同。具体而言，底面40bs侧的两个侧面40bw的间隔L6，比底面40bs的相反侧即短边34b侧的两个侧面41bw的间隔L7宽。

根据第三实施方式的压电驱动装置30b，即使施加与侧面40bw正交的方向的力，由于底面40bs侧的两个侧面40bw的间隔L6，比底面40bs的相反侧即短边34b侧的两个侧面40bw的间隔L7宽，因此侧面40bw与短边34b所成的角成为锐角，可以使突起部20难以登上侧面40bw。其结果为，能够抑制突起部20的脱落。

D.第四实施方式：

图12是第四实施方式的压电驱动装置30c的立体图。图13是第四实施方式的压电驱动装置30c的B向视图，即从突起部20c侧观察的图。图14是表示图13中的XIV-XIV截面的说明图。图15是第四实施方式的压电驱动装置30c的C向视图，即，从单元32c、32c1的层叠方向观察的图。

第四实施方式的压电驱动装置30c与第一实施方式的压电驱动装置30相比，在中央的单元32c未设置凹部，而是在层叠方向上的外侧的单元32c1中设置有凹部41c。凹部41c具备底面41cs和侧面41cw。中央的单元32c的短边34c的中央部34cc被两个凹部41c夹持，相对地成为凸形状。突起部20c具备槽20cg。在突起部20c的槽20cg中插入中央的单元32c的中央部34cc。

根据第四实施方式，即使对突起部20c施加与侧面41cw正交的方向的力，侧面41cw也能够抑制突起部20c的脱落。另外，由于在突起部20c的槽20cg中插入中央的单元32c的中央部34cc，因此即使对突起部20c施加朝向单元32c、32c1的层叠方向的力，中央部34cc也能够抑制突起部20c向层叠方向的脱落。另外，由于突起部20c与中央的单元32c的中央部34cc的接触面积较大，因此可以增强粘接力，能够在任何方向上抑制突起部20c的脱落。

E.第五实施方式：

图16是第五实施方式的压电驱动装置30d的立体图。图17是第五实施方式的压电驱动装置30d的B向视图，即，从突起部20d侧观察的图。图18是表示图17中的XVIII-XVIII截面的说明图。图19是第五实施方式的压电驱动装置30d的C向视图，即，从单元32d的层叠方向观察的图。

第五实施方式的压电驱动装置30d与第一实施方式的压电驱动装置30相比，不同点在于，在凹部40d的两个侧面40dw的中央具备从底面40ds突出的凸部40dc。凸部40dc将凹部40d分成两个。突起部20d具备槽20dg。在突起部20d的槽20dg中插入凸部40dc。

根据第五实施方式，由于在突起部20d的槽20dg中插入单元32d的凸部40dc，因此即使对突起部20d施加与侧面40dw正交的方向的力，也能够通过侧面40dw和凸部40dc来抑制突起部20d的脱落。另外，由于突起部20d与凸部40dc的接触面积较大，因此可以增强粘接力，能够抑制突起部20d的脱落。

F.第六实施方式：

图20是第六实施方式的压电驱动装置30e的立体图。图21是第六实施方式的压电驱动装置30e的B向视图，即，从突起部20e侧观察的图。图22是第六实施方式的压电驱动装置30e的C向视图，即，从单元32e、32e1的层叠方向观察的图。

第六实施方式的压电驱动装置30e与第四实施方式的压电驱动装置30c同样地，在中央的单元32e的短边34e上不具备凹部。另外，层叠方向上的外侧的单元32e1在除了短边35e的中央部35ec以外的部分具备凹部41e。通过该结构，压电驱动装置30e在设置有突起部20e的位置处，由中央的单元32e的短边34e的中央部34ec和单元32e1的中央部35ec形成+形状的凸部。突起部20e具备+形状的槽20eg，在槽20eg中插入+形状的凸部，即单元32e的中央部34ec和单元32e1的中央部35ec。

根据第六实施方式，在突起部20e的槽20eg中插入单元32e的中央部34ec和单元32e1的中央部35ec。其结果为，即使对突起部20e施加沿着单元32e所成的面的方向的力，单元32e1的中央部35ec也能够抑制突起部20d的脱落。另外，即使对突起部20e施加朝向单元32e、32e1的层叠方向的力，中央部34ec也能够抑制突起部20d向侧面方向的脱落。此外，由于突起部20e的槽20eg与中央部34ec、35ec的接触面积较大，因此可以增强粘接力，能够抑制突起部20e的脱落。

在第六实施方式中，层叠方向上的外侧的单元32e1也可以具备与第五实施方式的压电驱动装置30d的单元32d相同的结构。即使施加沿着单元32e、32e1所成的面的方向的力，也能够与第五实施方式的压电驱动装置30d同样地抑制突起部20e的脱落。

G.第七实施方式：

图23是第七实施方式的压电驱动装置30f的立体图。图24是第七实施方式的压电驱动装置30f的B向视图，即，从突起部侧观察的图。在第五实施方式的压电驱动装置30d中，形成于凹部40d的侧面40dw以及凹部40d的凸部40dc与单元32d所成的平面垂直。与此相对，在第七实施方式的压电驱动装置30f中，不同点在于，凸部40fc、41fc与单元32f、32f1所成的平面而形成的角不垂直。需要说明的是，两个单元32f1相对于突起部20f的中心轴20o对称地设置。

在第七实施方式的压电驱动装置30f中，也与第五实施方式同样地，由于在突起部20f的槽20fg中插入单元32f的凸部40fc以及单元32f1的凸部41fc，因此即使对突起部20f施加沿着单元32f、32f1所成的面的方向的力，也能够通过侧面40fw、41fw、42fw和凸部40fc、41fc来抑制突起部20f的脱落。另外，由于突起部20f的槽20fg与凸部40fc、41fc的接触面积较大，因此可以增强粘接力，能够抑制突起部20f的脱落。

在第七实施方式的压电驱动装置30f中，虽然使凸部40fc、41fc的形状倾斜，但也可以不使其倾斜，而是使凸部40fc、41fc的位置倾斜，即设置为阶梯状。

H.第八实施方式：

第八实施方式的压电驱动装置30g与第一实施方式的压电驱动装置30相比，仅凹部40g、41g、42g的位置不同，其它结构相同。图25是第八实施方式的压电驱动装置30g的B向视图，即，从突起部侧观察的图。层叠方向上的中央的单元32g的凹部40g形成于单元32g的短边34g的中央。层叠方向上的外侧的单元32g1的凹部41g稍微偏离单元32g1的短边34g1的中央36而形成。此外，层叠方向上的外侧的单元32g2的凹部42g比单元32g1的凹部41g更远离短边34g2的中央36而形成。需要说明的是，凹部40g的两个侧面40gw的间隔、凹部41g的两个侧面41gw的间隔以及凹部42g的两个侧面42gw的间隔相同。另外，凹部40g、41g、42g相对于突起部20的中心轴20o对称地设置。

根据第八实施方式的压电驱动装置30g，即使对突起部20施加与侧面40gw正交的方向的力，侧面40gw也能够抑制突起部20的脱落。此外，即使对突起部20施加朝向单元32g、32g1、32g2的层叠方向的力，两个侧面40gw中的一个侧面40gw也能够抑制突起部20的脱落。

I.其它实施方式：

在上述各实施方式中，以单元的数量为三个或五个为例进行了说明，但单元的个数只要是三个以上即可，如四个、六个等。在单元的个数为四个那样为偶数的情况下，使配置于中央的单元为两个，使其外侧的单元各一个即可。也可以是在层叠方向上的两端的单元不形成凹部的结构。即使施加朝向层叠方向的力，层叠方向上的两端的单元也能够抑制突起部的脱落。

J.其它实施方式：

图26是表示利用了压电驱动装置30的机器人的一个例子的说明图。机器人350具有臂310(也称为“腕部”)，上述臂310具备多根连杆部312(也称为“连杆部件”)和多个关节部320，上述多个关节部320以能够转动或弯曲的状态将这些连杆部312之间连接起来。在各个关节部320中内置有上述的压电驱动装置30，能够使用压电驱动装置30使关节部320转动或弯曲任意的角度。在臂310的前端连接有机器人手300。机器人手300具备一对把持部303。在机器人手300中也内置有压电驱动装置30，能够使用压电驱动装置30对把持部303进行开闭来把持物体。另外，在机器人手300与臂310之间也设置有压电驱动装置30，能够使用压电驱动装置30使机器人手300相对于臂310旋转。

本公开不限于上述的实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够以各种方式来实现。例如，本公开也能够通过以下的方式来实现。为了解决本公开的课题的一部分或全部，或者为了实现本公开的效果的一部分或全部，与以下所记载的各方式中的技术特征对应的上述实施方式中的技术特征能够适当地进行替换、组合。另外，如果该技术特征在本说明书中没有作为必须的技术特征而进行说明，则能够适当地删除。

(1)根据本公开的一个方式，提供一种压电驱动装置。该压电驱动装置具备：压电元件；振动板，在侧面设置有凹部；以及突起部，设置在所述凹部的两个侧面之间，并且呈球形、椭圆体形或卵形，多个所述压电元件与多个所述振动板层叠，所述凹部具备底面。根据该方式，压电驱动装置在具备底面和相互对置的两个侧面的凹部中具备突起部，因此能够抑制突起部的脱落。

(2)也可以是，在上述方式中，所述底面一侧的所述两个侧面的间隔比所述底面的相反侧的所述两个侧面的间隔宽。根据该方式，可以使突起部难以登上侧面，因此能够抑制突起部的脱落。

(3)也可以是，在上述方式中，所述凹部的深度比从所述突起部的基端到位于所述基端的相反侧的顶部为止的长度浅，并且为从所述基端到所述顶部为止的长度的一半以上。根据该方式，突起部的一半以上插入到凹部，因此能够进一步抑制突起部的脱落。

(4)也可以是，在上述方式中，所述凹部的深度为从所述突起部的基端到位于所述基端的相反侧的顶部为止的长度的一半以下。根据该方式，能够增大突起部的突出量。

(5)也可以是，在上述方式中，所述凹部设置于多个所述振动板，在多个所述振动板中，配置于层叠方向上的中央的所述振动板中的所述凹部的深度比其它所述振动板中的所述凹部的深度深。根据该方式，振动板的层叠方向上的深度在层叠方向上的两端侧较浅，因此即使施加朝向层叠方向的力，底面也能够抑制突起部的脱落。

(6)也可以是，在上述方式中，所述凹部设置于多个所述振动板，在多个所述凹部中的两个凹部之间设置有相对凸出的凸部，在所述突起部设置有与所述凸部嵌合的凹部。根据该方式，能够增大凸部与突起部的追随形状的接触面积，因此能够抑制突起部的脱落。

(7)也可以是，在上述方式中，多个所述凹部在层叠方向上排列。根据该方式，能够抑制突起部向层叠方向的脱落。

(8)也可以是，在上述方式中，多个所述凹部在与层叠方向交叉的方向上排列。根据该方式，能够抑制突起部向与层叠方向交叉的方向的脱落。

本公开也能够以压电驱动装置以外的各种方式来实现。例如，能够以超声波电机、机器人等的方式来实现，所述超声波电机具备压电驱动装置和被驱动体，所述机器人具备：多个连杆部；关节部，连接所述多个连杆部；以及压电驱动装置，利用所述关节部使所述多个连杆部转动。

Claims (10)

1.一种压电驱动装置，其特征在于，具备：

压电元件；

振动板，在侧面设置有凹部；以及

突起部，设置在所述凹部的两个侧面之间，并且呈球形、椭圆体形或卵形，

多个所述压电元件与多个所述振动板层叠，

所述凹部具备底面。

2.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述底面一侧的所述两个侧面的间隔比所述底面的相反侧的所述两个侧面的间隔宽。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述凹部的深度比从所述突起部的基端到位于所述基端的相反侧的顶部为止的长度浅，并且为从所述基端到所述顶部为止的长度的一半以上。

4.根据权利要求1或2所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述凹部的深度为从所述突起部的基端到位于所述基端的相反侧的顶部为止的长度的一半以下。

5.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述凹部设置于多个所述振动板，

在多个所述振动板中，配置于层叠方向上的中央的所述振动板中的所述凹部的深度比其它所述振动板中的所述凹部的深度深。

6.根据权利要求1所述的压电驱动装置，其特征在于，

所述凹部设置于多个所述振动板，

在多个所述凹部中的两个凹部之间设置有相对凸出的凸部，

在所述突起部设置有与所述凸部嵌合的凹部。

7.根据权利要求5或6所述的压电驱动装置，其特征在于，

多个所述凹部在层叠方向上排列。

8.根据权利要求5或6所述的压电驱动装置，其特征在于，

多个所述凹部在与层叠方向交叉的方向上排列。

9.一种超声波电机，其特征在于，具备：

权利要求1至8中任一项所述的压电驱动装置；以及

被驱动体，由所述压电驱动装置驱动。

10.一种机器人，其特征在于，具备：

多个连杆部；

关节部，连接所述多个连杆部；以及

权利要求1至8中任一项所述的压电驱动装置，利用所述关节部使所述多个连杆部转动。

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