CN113387702A - 一种高导热石墨烯复合散热膜及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种高导热石墨烯复合散热膜及其制备方法，其中，所述散热膜按照质量份包括：石墨烯180‑230份、碳纳米管10‑50份、发泡剂10‑100份、树脂5‑80份、溶剂50‑120份、酸酐20‑90份、偶联剂5‑40份。本发明提供的技术方案有效克服了现有针对石墨烯散热膜的性能瓶颈，不仅增强了抗弯折能力，也进一步提高了散热性能和抗拉强度。

Description

一种高导热石墨烯复合散热膜及其制备方法
技术领域
本发明涉及石墨烯技术领域，尤其涉及一种高导热石墨烯复合散热膜及其制备方法。
背景技术
随着现代科技的迅速发展，电子器件的微型化、芯片主频不断提高，功能日益增强，单个芯片的功耗逐渐增大，这些都导致热流密度急剧增高。而研究表明，超过55％的电子设备的失效形式是由温度过高引起的，因此电子器件的散热问题在电子器件的发展中有举足轻重的作用。
目前市场部分产品通过金属类材料进行导热散热，尤其是铜和铝，虽然铜的导热系数为398W/mK，但是重量大，易氧化等限制了其的应用，而铝的导热系数为237W/mK，很难满足现有产品对导热散热的需求。
目前已经使用的天然石墨材料和人工合成的石墨材料制成的散热膜对电子产品的散热有了一定的改善，但是，现有技术制备的石墨烯片层定向性低，界面热阻大，进而导致沿片层方向的热导率低。且石墨烯泡沫经还原后，原有的定向排布会被破坏，降低热导但石墨散热膜主要是通过把石墨处理后直接压延的方法以及高分子炭化、石墨化等方法制成的，表面是石墨的散热材料其抗拉强度不高，易碎且颗粒粉尘多并且不方便安装和使用。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种高导热石墨烯复合散热膜，按照质量份包括：石墨烯180-230份、碳纳米管10-50份、发泡剂10-100份、树脂5-80份、溶剂50-120份、酸酐20-90份、偶联剂5-40份。
进一步地，所述散热膜按照质量份还包括：分散剂2-32份、消泡剂1.0-15份、润湿剂0.5-20份、流平剂0.5-20份、交联剂3.0-15份、还原剂 20-80份、pH调节剂1.0-30份、溶剂100-500份。
其中，所述石墨烯选自单层石墨烯、双层石墨烯、少层石墨烯、多层石墨烯、类石墨烯材料中的一种或多种；优选单层石墨烯，更优选氧化单层石墨烯和羧化单层石墨烯。
所述碳纳米管为单壁碳纳米管或多壁碳纳米管。
所述发泡剂为液体物理发泡剂，和/或，热分解型发泡剂；所述液体物理发泡剂优选脂肪烃类、低沸点的醇、醚、酮和芳香烃类、石油醚中的一种或多种；所述热分解型发泡剂优选碳酸氢钠、碳酸胺、碳酸氢胺、亚硝酸铵、硼氢化钾、硼氢化钠、过氧化氢、偶氮二甲酰胺、偶氮二异丁腈、偶氮二碳酸二异丙酯、二亚硝基五亚甲基四胺、二磺酰肼二苯醚、三肼基均三嗪、N-甲基-N'-硝基胍中的一种或多种。
所述树脂选自聚氨酯树脂、丙烯酸树脂、环氧树脂、酚醛树脂、烯烃类橡胶、烷烃类橡胶、丙烯酸改性聚氨酯树脂、环氧改性聚氨酯树脂中的一种或多种。
所述分散剂选自脂肪酸类、脂肪族酰胺类、酯类、金属皂类、低分子蜡类、石蜡类材料中的一种或多种。
所述酸酐选自有机酸酐，优选马来酸酐、富马酸酐、乙酸酐、丙酸酐、顺丁烯二酸酐、桐油酸酐、烯丙基丁二酸酐、四氢苯酐、六氢苯酐、甲基四氢苯酐、甲基六氢苯酐、纳迪克酸酐、甲基纳迪克酸酐、戊二酸酐、萜烯马来酸酐、甲基环已烯四羧酸二酐、十二烯基丁二酸酐、聚壬二酸酐、聚葵二酸酐、偏苯三甲酸酐、乙二醇、甘油酯、二苯基砜四羧酸二酸酐中的一种或多种。
所述交联剂选自多异氰酸酯、多元胺类、多元醇类、缩水甘油醚、有机硅类、苯磺酸类、丙烯酸酯类、有机过氧化物、金属有机化合物、氮丙啶类、多功能聚碳化二亚胺类交联剂中的一种或多种，优选有机过氧化物、缩水甘油醚。
所述偶联剂选自氨基、双氨基、甲基丙烯酸酯基、环氧基、乙烯基、氯化烷基等的硅氧烷偶联剂中的一种或多种。
还原剂选自吊白块、亚硫酸氢钠、草酸、植酸、氨水、水合肼、抗坏血酸、茶多酚(TP)、生育酚、黄酮类、丁基羟基茴香醚(BHA)、二丁基羟基甲苯(BHT)、叔丁基对苯二酚(TBHQ)中的一种或多种，优选吊白块、抗坏血酸。
所述消泡剂选自聚醚类、高碳醇类、硅类、聚醚改性硅、自乳化型、聚硅氧烷类等消泡剂中的一种或多种。
所述润湿剂选用有机硅类润湿剂、炔二醇类润湿剂、丙烯酸类润湿剂和氟类润湿剂中的一种或多种。
所述流平剂选用丙烯酸类流平剂、有机硅类流平剂、氟碳化合物类流平剂中的一种或多种
所述pH调节剂选自2-氨基-2-甲基-1-丙醇、N-甲基乙醇胺、二甲基乙醇胺、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、丁基乙醇胺、N-氨丙基一甲基乙醇胺、2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇、丁基二乙醇胺和氨水中的一种。
所述溶剂选自苯类溶剂、酯类溶剂、酮类溶剂、烷烃类溶剂、含氮类溶剂、醚类溶剂中的一种或多种，优选酯类溶剂、含氮类溶剂。
另一方面，本发明还提供一种高导热石墨烯复合散热膜的制备方法，包括以下步骤：
S10：制备石墨烯复合浆料；
S20：将所述石墨烯复合浆料经涂布烘干、热压、分离得到所述散热膜。
进一步地，所述制备石墨烯复合浆料包括以下步骤：
S11：按照质量份获取石墨烯180-230份、碳纳米管10-50份、发泡剂 10-100份、树脂5-80份、溶剂50-120份以及分散剂2-32份，进行第一次搅拌研磨；
S12：加入酸酐20-90份、偶联剂5-40份，进行第二次搅拌研磨；
S13：加入消泡剂1.0-15份、润湿剂0.5-20份、流平剂0.5-20份、交联剂3.0-15份、还原剂20-80份、pH调节剂1.0-30份、溶剂100-500份；进行第三次搅拌研磨，得到所述石墨烯复合浆料。
进一步地，所述第一次搅拌研磨的温度条件控制在0-5℃；在搅拌器中设定公转速度为300-1000rpm，搅拌1-3h。
进一步地，所述第二次搅拌研磨为使用搅拌器搅拌5-9h，并且设定公转速度为500-1500rpm，分散速度为2800-4500rpm。
进一步地，所述第三次搅拌研磨为设定搅拌器公转速度500-1500rpm，搅拌1-3h。
进一步地，所述石墨烯复合浆料的固含量为30-90％，粘度为800-9000 mPa·s。
进一步地，所述热压的热压温度为120-220℃，热压压力为2-10MPa。
进一步地，所述散热膜的厚度为10-100μm。
本发明提供的技术方案以石墨烯、碳纳米管、树脂、酸酐、偶联剂、发泡剂和溶剂作为关键组分；其中，石墨烯提供做主要的散热性能，碳纳米管与其结合辅助散热，两者协同作用，克服单用一种材料仅能二维散热的难题，另一方面也提高了材料的结构弹性和耐弯折性能。酸酐和树脂协同作用，增强材料内部的粘结性和强度，进而使得所述散热膜的强度得到提升。发泡剂提供了一种海绵状多孔结构的散热膜，以提高其散热性能。在此基础上，分散剂、消泡剂、润湿剂、流平剂、交联剂、还原剂、pH调节剂和溶剂协同辅助，使得所述石墨烯复合浆料利于涂覆成膜。
综上所述，本发明提供的技术方案有效克服了现有针对石墨烯散热膜的性能瓶颈，不仅增强了抗弯折能力，也进一步提高了散热性能和抗拉强度。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
【实施例1】
1.石墨烯复合浆料制备：
将氧化单层石墨烯180份、单壁碳纳米管20份、发泡剂(碳化硅)35 份、分散剂(选用硬脂酸锌类)12份、丙烯酸树脂(分子量28000)50份、乙酸乙酯溶剂80份投入行星搅拌器中，搅拌研磨2h，同时物料温度保持3℃，公转速度为800rpm。
批次加入酸酐(选用六氢苯酐)60份、偶联剂(选用含有氯化烷基的硅氧烷偶联剂)20份，行星搅拌器公转速度设定为1200rpm，分散速度 3600rpm，再次搅拌6h。
加入聚醚改性硅类消泡剂2份、氟类润湿剂3份、流平剂(选用丙烯酸流平剂)3份、交联剂(叔丁基过氧化氢)6份、还原剂(选用茶多酚，当然也可选用生育酚、黄酮类、抗坏血酸等其他抗氧化剂)30份、pH调节剂(选用2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇)8份、甲基异丁酮溶剂250份，行星搅拌器公转速度设定为1200rpm，搅拌3h，得到石墨烯复合浆料。
所述石墨烯浆料的固含量为54.90％，粘度4000mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备：
将上述石墨烯复合浆料，使用涂布机涂覆于PET离型膜(离型力120gf) 上，湿膜厚度为120μm经过涂布机的烘道烘干后，在收卷处将石墨烯薄膜与涂布基材PET剥离，经过热1000℃热处理、热压、分离，制得厚度为50μm、导热导电的石墨烯复合散热膜1。其中热压机热压温度为150℃，热压压力为6MPa。
【实施例2】
1.石墨烯复合浆料制备：
将氧化单层石墨烯320份、碳纳米管(管径2nm，长度10um)40份、发泡剂(选用碳酸氢铵)68份、分散剂(选用低分子量乙烯－醋酸乙烯共聚物)6份、聚氨酯树脂70份、二乙醇二乙醚溶剂60份投入行星搅拌器中，搅拌研磨2h，同时物料温度保持3℃，公转速度为800rpm。
批次加入酸酐(选用甲基四氢苯酐)78份、偶联剂(选用双氨基硅烷偶联剂)26份，行星搅拌器公转速度设定为1200rpm，分散速度3600rpm，再次搅拌6h。
加入聚醚消泡剂5份、有机硅类润湿剂5份、流平剂(选用硅油)3 份、交联剂(选用多功能聚碳化二亚胺类交联剂)8份、还原剂(选用亚硫酸氢钠)32份、pH调节剂(选用2-氨基-2-甲基-1-丙醇)15份、二甲苯溶剂300份，行星搅拌器公转速度设定为1200rpm，搅拌3h，得到石墨烯复合浆料。
浆料固含量为65.15％，粘度7500mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备：具体步骤参见实施例1，得到石墨烯复合散热膜2，其中，膜厚度为50μm。
【实施例3】
1.石墨烯复合浆料制备：
将羧化单层石墨烯220份、单壁碳纳米管15份、发泡剂(选用偶氮二碳酸二异丙酯)35份、分散剂(选用微晶石蜡)23份、丙烯酸改性聚氨酯树脂20份、丙酮溶剂60份投入行星搅拌器中，搅拌研磨5h，同时物料温度保持3℃，公转速度为800rpm。
批次加入酸酐(选用偏苯三甲酸酐乙二醇)25份、偶联剂(选用含有甲基丙烯酸酯基的硅氧烷偶联剂)25份，行星搅拌器公转速度设定为 1200rpm，分散速度3600rpm，再次搅拌6h。
加入高碳醇类消泡剂2.5份、炔二醇类润湿剂3份、流平剂(选用丙烯酸酯流平剂)8份、交联剂(选用多功能聚碳化二亚胺类交联剂)12份、还原剂(选用草酸)60份、pH调节剂(选用N-甲基乙醇胺)18份、N,N- 二甲基乙酰胺溶剂180份，行星搅拌器公转速度设定为1200rpm，搅拌2h，得到石墨烯复合浆料。
浆料固含量为65.64％，粘度7000mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备：具体步骤参见实施例1，得到石墨烯复合散热膜3，其中，膜厚度为50μm。
【实施例4】
1.石墨烯复合浆料制备：
将氧化双层石墨烯190份、单壁碳纳米管10份、发泡剂(选用偶氮二碳酸二异丙酯)80份、分散剂(选用低分子量聚乙烯)4.0份、环氧树脂 8.0份、丁二醇溶剂70份投入行星搅拌器中，搅拌研磨2.0h，同时物料温度保持3℃，公转速度为800rpm。
批次加入酸酐(选用二苯基砜四羧酸二酐)58份、偶联剂(选用含有环氧基的硅氧烷偶联剂)35份，行星搅拌器公转速度设定为1200rpm，分散速度3600rpm，再次搅拌6h。
加入硅类消泡剂8.0份、丙烯酸类润湿剂2.0份、流平剂(选用氟碳流平剂)10份、交联剂(多异氰酸酯)3.0份、还原剂(选用氨水)30份、 pH调节剂(选用二甲基乙醇胺)15份、乙二醇单丁醚溶剂250份，行星搅拌器公转速度设定为1000rpm，搅拌2h，得到石墨烯复合浆料。
浆料固含量为58.06％，粘度6200mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备：具体步骤参见实施例1，得到石墨烯复合散热膜4，其中，膜厚度为50μm。
【实施例5】
1.石墨烯复合浆料制备：
将羧化双层石墨烯120份、多壁碳纳米管30份、发泡剂(选用偶氮二甲酰胺)30份、分散剂(选用硬脂酸单甘油酯)9份、烯烃类橡胶70份、 130#溶剂120份投入行星搅拌器中，搅拌研磨2h，同时物料温度保持3℃，公转速度为800rpm。
批次加入酸酐(选用烯烃基丁二酸酐)35份、偶联剂(选用含有乙烯基的硅氧烷偶联剂)25份，行星搅拌器公转速度设定为1200rpm，分散速度3600rpm，再次搅拌6h。
加入自乳化型消泡剂6份、氟类润湿剂12份、流平剂(选用丙烯酸流平剂)12份、交联剂(三烯丙基异氰脲酸酯)10份、还原剂(选用单乙醇胺，当然也可选用二乙醇胺、三乙醇胺、丁基乙醇胺、丁基二乙醇胺等) 45份、pH调节剂(选用单乙醇胺，当然也可选用二乙醇胺、三乙醇胺、丁基乙醇胺、丁基二乙醇胺等)18份、N-乙烯基吡咯酮溶剂500份，行星搅拌器公转速度设定为1000rpm，搅拌2h，得到石墨复合浆料。
浆料固含量为39.81％，粘度3600mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备：具体步骤参见实施例1，得到石墨烯复合散热膜5，其中，膜厚度为50μm。
【实施例6】
与实施例1基本相同，区别在于：
1.石墨烯复合浆料，包括如下份数的组份：
氧化单层石墨烯220份，单壁碳纳米管40份，发泡剂(碳化硅)40份，分散剂(选用硬脂酸锌类)8份，丙烯酸树脂(分子量28000)40份，乙酸乙酯溶剂100份，酸酐(选用六氢苯酐)60份，偶联剂(选用含有氯化烷基的硅氧烷偶联剂)10份，聚醚改性硅类消泡剂3份，氟类润湿剂3份，流平剂(选用丙烯酸流平剂)2份，交联剂(叔丁基过氧化氢)6份，还原剂(选用茶多酚，当然也可选用生育酚、黄酮类、抗坏血酸等其他抗氧化剂)35份，pH调节剂(选用2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇)10份，甲基异丁酮溶剂200份。
浆料固含量为61.13％，粘度5500mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备工艺流程：干膜厚度为70μm，热压机热压温度为180℃，热压压力为8Mpa；得到石墨烯复合散热膜6。
【实施例7】
与实施例1基本相同，区别在于：
1.石墨烯复合浆料，包括如下份数的组份：
氧化单层石墨烯260份，单壁碳纳米管50份，发泡剂(碳化硅)60份，分散剂(选用硬脂酸锌类)22份，丙烯酸树脂(分子量28000)30份，乙酸乙酯溶剂50份，酸酐(选用六氢苯酐)80份，偶联剂(选用含有氯化烷基的硅氧烷偶联剂)20份，聚醚改性硅类消泡剂5份，氟类润湿剂10份，流平剂(选用丙烯酸流平剂)3份，交联剂(叔丁基过氧化氢)6份，还原剂(选用茶多酚，当然也可选用生育酚、黄酮类、抗坏血酸等其他抗氧化剂)30份，pH调节剂(选用2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇)8份，甲基异丁酮溶剂210份。
浆料固含量为68.84％，粘度6500mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备工艺流程：干膜厚度为70μm，热压机热压温度为180℃，热压压力为8MPa；得到石墨烯复合散热膜7。
【实施例8】
与实施例1基本相同，区别在于：
1.石墨烯复合浆料，包括如下份数的组份：
氧化单层石墨烯300份，单壁碳纳米管40份，发泡剂(碳化硅)80份，分散剂(选用硬脂酸锌类)28份，丙烯酸树脂(分子量28000)80份，乙酸乙酯溶剂120份，酸酐(选用六氢苯酐)40份，偶联剂(选用含有氯化烷基的硅氧烷偶联剂)8份，聚醚改性硅类消泡剂5份，氟类润湿剂5份，流平剂(选用丙烯酸流平剂)5份，交联剂(叔丁基过氧化氢)10份，还原剂(选用茶多酚，当然也可选用生育酚、黄酮类、抗坏血酸等其他抗氧化剂)80份，pH调节剂(选用2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇)6份，甲基异丁酮溶剂400份。
浆料固含量为56.5％，粘度4000mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备工艺流程：干膜厚度为70μm，热压机热压温度为180℃，热压压力为5MPa；得到石墨烯复合散热膜8。
【实施例9】
与实施例1基本相同，区别在于：
1.石墨烯复合浆料，包括如下份数的组份：
氧化单层石墨烯200份，单壁碳纳米管10份，发泡剂(碳化硅)65份，分散剂(选用硬脂酸锌类)15份，丙烯酸树脂(分子量28000)55份，乙酸乙酯溶剂85份，酸酐(选用六氢苯酐)65份，偶联剂(选用含有氯化烷基的硅氧烷偶联剂)20份，聚醚改性硅类消泡剂8份，氟类润湿剂8份，流平剂(选用丙烯酸流平剂)8份，交联剂(叔丁基过氧化氢)8份，还原剂(选用茶多酚，当然也可选用生育酚、黄酮类、抗坏血酸等其他抗氧化剂)38份，pH调节剂(选用2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇)18份，甲基异丁酮溶剂380份。
浆料固含量为51.88％，粘度3600mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备工艺流程：干膜厚度为70μm，热压机热压温度为150℃，热压压力为8MPa；得到石墨烯复合散热膜9。
【实施例10】
与实施例1基本相同，区别在于：
1.石墨烯复合浆料，包括如下份数的组份：
氧化单层石墨烯290份，单壁碳纳米管40份，发泡剂(碳化硅)85份，分散剂(选用硬脂酸锌类)28份，丙烯酸树脂(分子量28000)70份，乙酸乙酯溶剂70份，酸酐(选用六氢苯酐)20份，偶联剂(选用含有氯化烷基的硅氧烷偶联剂)30份，聚醚改性硅类消泡剂10份，氟类润湿剂13份，流平剂(选用丙烯酸流平剂)15份，交联剂(叔丁基过氧化氢)12份，还原剂(选用茶多酚，当然也可选用生育酚、黄酮类、抗坏血酸等其他抗氧化剂)65份，pH调节剂(选用2-氨基-2-乙基-1,3丙二醇)10份，甲基异丁酮溶剂420份。
浆料固含量为57.13％，粘度4300mPa·s。
2.石墨烯散热复合膜制备工艺流程：干膜厚度为70μm，热压机热压温度为180℃，热压压力为8MPa；得到石墨烯复合散热膜10。
【对比例】
对比例为市场比较常用的石墨烯散热膜。
对实施例1-10提供的散热膜1-10以及对比例进行性能对比，结果如表 1所示。
表1
检测项目 实施例1-5 实施例6-10 对比例
外观 平整、光滑、饱满 平整、光滑、饱满 平整、光滑、饱满
密度g/cm<sup>3</sup> 2.1 2.1 2.1
厚度μm 50 70 50
热扩散系数(mm<sup>2</sup>/S) 750 900 700
导热系数性W/(m·K) 1300 1600 1200
耐磨性(次) 8万 10万 6万
弯折次数(次) 108 120 100
抗拉强度(MPa) 20 22 19
耐热温度(℃) 400 400 360
耐水性 150h无异常 180h无异常 130h无异常
耐碱性，0.1％NaOH 101h无异常 130h无异常 100h无异常
耐盐雾性 95h无异常 98h无异常 95h无异常
耐乙醇性，50％C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>OH 118h无异常 138h无异常 100h无异常
耐冲击性 48kg·cm 63kg·cm 48kg·cm
耐盐水性，3％NaCl 136h无异常 188h无异常 126h无异常
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种高导热石墨烯复合散热膜，其特征在于，按照质量份包括：
石墨烯180-230份、碳纳米管10-50份、发泡剂10-100份、树脂5-80份、溶剂50-120份、酸酐20-90份、偶联剂5-40份。
2.根据权利要求1所述的散热膜，其特征在于，按照质量份还包括：
分散剂2-32份、消泡剂1.0-15份、润湿剂0.5-20份、流平剂0.5-20份、交联剂3.0-15份、还原剂20-80份、pH调节剂1.0-30份、溶剂100-500份。
3.一种高导热石墨烯复合散热膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S10：制备石墨烯复合浆料；
S20：将所述石墨烯复合浆料经涂布烘干、热压、分离得到如权利要求2所述的散热膜。
4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述制备石墨烯复合浆料包括以下步骤：
S11：按照质量份获取石墨烯180-230份、碳纳米管10-50份、发泡剂10-100份、树脂5-80份、溶剂50-120份以及分散剂2-32份，进行第一次搅拌研磨；
S12：加入酸酐20-90份、偶联剂5-40份，进行第二次搅拌研磨；
S13：加入消泡剂1.0-15份、润湿剂0.5-20份、流平剂0.5-20份、交联剂3.0-15份、还原剂20-80份、pH调节剂1.0-30份、溶剂100-500份；进行第三次搅拌研磨，得到所述石墨烯复合浆料。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述第一次搅拌研磨的温度条件控制在0-5℃。
6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述石墨烯复合浆料的固含量为30-90％，粘度为800-9000mPa·s。
7.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述热压的热压温度为120-220℃，热压压力为2-10MPa。
8.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述散热膜的厚度为10-100μm。
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