CN113365796B - 用于使用均匀平坦表面防止在3d打印系统中光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法 - Google Patents

用于使用均匀平坦表面防止在3d打印系统中光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113365796B
CN113365796B CN201980082465.7A CN201980082465A CN113365796B CN 113365796 B CN113365796 B CN 113365796B CN 201980082465 A CN201980082465 A CN 201980082465A CN 113365796 B CN113365796 B CN 113365796B
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
curable material
light
workpiece
transparent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201980082465.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113365796A (zh
Inventor
迈克尔·泽诺
吉夫·吉兰
丹尼尔·利普茨
尤瓦尔·谢伊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IO Tech Group Ltd
Original Assignee
IO Tech Group Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IO Tech Group Ltd filed Critical IO Tech Group Ltd
Publication of CN113365796A publication Critical patent/CN113365796A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113365796B publication Critical patent/CN113365796B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
    • B29C35/0288Controlling heating or curing of polymers during moulding, e.g. by measuring temperatures or properties of the polymer and regulating the process
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
    • B29C35/08Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
    • B29C35/0805Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/02Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing
    • B29C59/04Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by mechanical means, e.g. pressing using rollers or endless belts
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/106Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/10Processes of additive manufacturing
    • B29C64/106Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material
    • B29C64/124Processes of additive manufacturing using only liquids or viscous materials, e.g. depositing a continuous bead of viscous material using layers of liquid which are selectively solidified
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B29C64/245Platforms or substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B29C64/264Arrangements for irradiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/30Auxiliary operations or equipment
    • B29C64/364Conditioning of environment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/30Auxiliary operations or equipment
    • B29C64/364Conditioning of environment
    • B29C64/371Conditioning of environment using an environment other than air, e.g. inert gas
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/40Structures for supporting 3D objects during manufacture and intended to be sacrificed after completion thereof
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y40/00Auxiliary operations or equipment, e.g. for material handling
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C35/00Heating, cooling or curing, e.g. crosslinking or vulcanising; Apparatus therefor
    • B29C35/02Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould
    • B29C35/08Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation
    • B29C35/0805Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
    • B29C2035/0827Heating or curing, e.g. crosslinking or vulcanizing during moulding, e.g. in a mould by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation using UV radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33YADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y10/00Processes of additive manufacturing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Oral & Maxillofacial Surgery (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
  • Processes Of Treating Macromolecular Substances (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

通过迫使氧气离开反应表面来防止光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法。在一些实施方案中,通过以下方法清除氧气:使平坦化表面(例如,透明薄膜和/或透明平坦表面)与设置在工件上的一层可UV固化材料接触;然后一旦所述UV材料固化,就将所述平坦化表面从所述工件移开。

Description

用于使用均匀平坦表面防止在3D打印系统中光引发聚合反应 的氧阻聚的系统和方法
相关申请
这是2018年12月11日提交的美国临时申请号62/777,902的非临时版本(NONPROVISIONAL),要求所述专利申请的优先权并以引用方式并入。
技术领域
本发明涉及一种系统,所述系统通过使用惰性气体流从反应表面清除氧气,或者通过用刚性平面覆盖氧气来迫使氧气离开反应表面来防止3D打印系统使用的光引发聚合反应的氧阻聚。
背景技术
许多增材制造或所谓的三维(“3D”)打印、应用使用可紫外线(“UV”)光固化的聚合物。UV固化过程由三个阶段组成:光引发、增长(propagation)和终止。在光引发期间,光引发剂在暴露于UV辐射时产生自由基。这些自由基与附近的单体反应并将它们转化为自由基。接下来,在增长阶段,自由基单体与其他单体键合并将那些单体转变为自由基。以此方式单体形成聚合物链。该过程继续直到到达终止为止。终止可以多种方式发生,包括如果两条链彼此键合,自由基转移到单体,或者如果该链与来自环境中的分子发生反应,而不是与单体发生反应。
氧气与光致聚合物之间存在抑制固化的两种相互作用:淬灭和清除。在光引发剂已经通过暴露于UV辐射而激发之后,它产生自由基。分子氧容易与此自由基反应,从而防止其在链增长过程中与单体反应。这是淬灭反应。此反应还产生氧自由基。在清除反应中,这种氧自由基与是正在增长的聚合物链的一部分的自由基反应。这个反应产生反应性较低的自由基,这导致聚合过程提前终止。这两个过程可写成:
淬灭反应:PI*+O2 *→PI+O2 *
清除反应:R·+O2 *→R-O-O·
由于这些现象,如果光致聚合物在3D打印过程中的固化期间暴露于氧气,则它可能在暴露于空气的表面上产生未固化的聚合物残余物。
发明内容
在本发明的一个实施方案中,使用与可UV固化材料接触的透明薄膜和/或透明平坦表面从可UV固化材料的表面清除氧气。在一个实例中,将具有一层可UV固化材料的工件提起到与膜接触。控制膜张力以优化氧气气泡的去除。也可使用滚筒来去除气泡。向下旋转保持透明平坦表面的臂,致使板在一端处开始接触膜和可UV固化材料,并逐渐延伸(continue)到另一端。这进一步帮助去除气泡。可UV固化材料与平坦化表面之间的接触使用测量平坦化表面的反射率的相机来监测。这个过程还使可UV固化材料层平坦化,从而确保在UV固化期间该层的顶部的平坦性。在完成完全接触之后,UV光固化可UV固化材料层。然后将平坦化表面提离打印物品,并且将膜剥离。
在本发明的其他实施方案中,仅使用处于张力下的薄膜来接触可UV固化材料并实现平坦化,而无需使用刚性板。可使用用滚筒剥离膜的相同方法。或者,可仅使用刚性板来接触可UV固化材料并实现平坦化,而无需使用处于张力下的膜。
下面参考附图描述本发明的这些和另外的实施方案,在附图中以举例而非限制的方式示出本发明。
附图说明
图1a至图1c示出常规3D打印过程中的要点,其中待打印物体(图1a)已经在其上沉积一层可UV固化材料(图1b),其随后通过暴露于UV光(图1c)而固化。
图2示出根据本发明的另一个实施方案进行配置的UV固化系统,其中使用透明板和膜来防止在UV固化期间聚合过程的氧阻聚。
图3a和图3b示出图2所示的UV固化系统的操作方面,具体地:在图3a中将可UV固化材料层提起(lift)到与膜和板布置接触,从而挤出(force out)于其间的界面处的氧气;以及在图3b中,在已经去除氧气之后,UV固化可UV固化材料层。
图4a、图4b和图4c示出图2所示的UV固化系统的操作方面,具体地,在图4a中将透明板提离工件并且滚筒剥离膜,并示出在具有(图4b)和不具有(图4c)恒定膜张力的情况下通过滚筒剥离的膜,从而分别产生膜与固化层小的脱离角度或膜与固化层大的脱离角度。
图5是示出根据本发明实施方案UV固化系统的操作过程的步骤的流程图。
图6a和6b示出根据本发明实施方案的高度传感器的实例,所述高度传感器测量在固化之前工件的高度并且使用先前校准的测量结果来确定与膜的接触距离。
图7a和7b示出根据本发明实施方案的高度传感器的实例,所述高度传感器实时测量可UV固化层的高度以控制与膜和透明表面的接触。
图8、图9、图11和图12示出组件的方面,所述组件用于承载与图2所示的UV固化系统结合使用的透明膜和透明表面,以在UV固化之前去除氧气。
图10a至图10d示出一种用于优化在图2所示的UV固化系统中的膜接触的方法的方面。
图13、图14a和图14b示出与图2所示的UV固化系统结合使用的UV固化模块的方面。
具体实施方式
本发明的实施方案提供用于防止在环境条件下光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法。在详细描述本发明之前,提供概述是有帮助的。参考图1a、图1b和图1c所示的图像的顺序,在其中物体10正在进行制造的许多3D打印过程中,材料打印系统12用于将可UV固化材料14沉积在表面16上。然后用UV光源18固化这些沉积的材料,以产生新的一层期望部分10'。这个过程继续直到完成正在进行制造的部分为止。
现在参考示出本发明的一个实施方案的图2至图5,在UV固化系统60中,使用由具有抗粘性质的材料(诸如纤维素、Parafilm(塑料石蜡膜)、Teflon或其他基于聚四氟乙烯的聚合物等)制成的透明薄膜62和透明平坦表面64从可UV固化层36的表面54清除氧气,所述透明薄膜62和透明平坦表面64设置在UV源26与可UV固化层36之间。膜62和表面64在UV源62的一个或多个波长下是透明的,在所述波长下实现用于制造建造中部分的可光固化材料的固化。
如这些图示中所示,在已经将可UV固化材料36沉积在打印表面上之后,将可UV固化材料层(即,工件34)提起到与膜62接触。通过使可UV固化材料36的表面压贴透明薄膜62,将氧气从所述两者之间的界面中挤出。可使用一对(或多对)滚筒66来调节膜张力从而从可UV固化材料36的表面去除氧气泡,来协助此过程。
UV固化系统60的臂68保持透明表面64,并如附图中所表示围绕轴向下旋转,致使表面64从表面64的一端处开始以角度的方式接触膜62和可UV固化材料36,并逐渐延伸到另一端。这个动作类似于在铰链上关门的动作,其中铰链点在表面64的端部附近以首先接触膜62。在透明表面64的长度之上缓慢接触整个膜62的此类似铰链的方式进一步帮助从膜62和可UV固化材料36的界面去除(例如,以气泡形式的)氧气。透明表面64有时称为平坦化表面,因为它的存在趋于确保在UV固化期间可UV固化材料层的顶部的平坦性。也就是说,透明表面64(为邻接覆盖并触碰可UV固化材料36的膜62的刚性表面)充当止挡件,从而确保在其暴露于来自UV源的光时一层均匀的可UV固化材料。
可将相机或测量反射率的其他传感器用作高度传感器70来检查膜62和可UV固化材料36与平坦化表面64之间的接触。当在顶部上具有可UV固化材料36的工件与膜62接触时,膜的反射率改变。通过测量反射率,系统可确定何时已经达到完全接触。
高度传感器存在若干选项。在图2至图4a和图7a所示的一个实例中,高度传感器被移位到UV源26与工件之间的光路的一侧,并且在这个光路中定位有部分反射镜或其他光学部件72,所述部分反射镜或其他光学部件72允许在用于固化可UV固化材料36的感兴趣波长下的UV光48通过,同时反射在用于高度传感器的感兴趣波长下的光90。在本文描述的各种实例中,高度传感器使用在将不引发UV材料可固化层的光致固化的波长下的光进行操作。例如,可使用红外光谱中的光。现在,当在顶部上具有可UV固化材料36的工件与膜62接触并且透明表面64下降到其顶部之上的位置中时,高度传感器70监测这个过程,所述传感器70接收来自由镜72从膜62朝向高度传感器70反射的光90的输入。
如图3b所示,在膜62和透明表面64与工件34实现完全接触之后,来自UV源26的UV光48固化可UV固化材料层36。由于镜72、透明板64和透明膜62在固化UV光的一个或多个波长下是透明的(或几乎是透明的),因此UV源26发出的在这个波长下的光相对不变地穿过镜72、透明板64和透明膜62,并入射在可UV固化材料36上。在可UV固化材料层36已被固化之后,来自源26的UV光被停止并且透明表面64被提离打印物体。
图7b中示出高度传感器的替代布置。在此实例中,光源92引导光束94朝向检测器96。光源和检测器被布置在工件34的相对侧上,使得当提升工件以接触膜62时,光束94将被从检测器96阻挡。没有光到达检测器充当已将工件提升到适当高度并且可开始UV固化过程的信号。注意,在本说明书中描述单个高度传感器,然而实际上,对于所描述的实施方案中的任一个,可同时使用多个高度传感器,并且可基于此类多个高度传感器中的每一个提供的输出的组合(可能地加权组合)来评估工件与膜之间的相对距离。
图6a示出高度传感器70的再一布置。在此实例中,高度传感器被定位并从UV固化系统远程操作,并且在固化过程开始之前测量工件34的高度。如图6b所示,然后将工件带入UV固化系统60的操作区域内,并且基于先前校准的测量结果将工件从所测量的高度提升认为有必要的量,以使其与膜62接触。又另外的高度传感器布置可利用一个或多个压力传感器或应变规(未示出)来确定工件何时已经接触膜62。例如,当工件与膜62接触时,可预期膜的某种变形。如果膜处于张力下,与膜相关联的导电条(在其非工作区域中)可能同样变形,并且所得的流经导电条的电流测量结果的变化发信号通知已经在工件与膜之间实现足够的接触。
一旦已经完成固化过程且已经提离透明表面64,然后可从工件去除膜62。然而,在此过程期间必须注意不要损坏新固化的可UV固化材料层。因此,不是简单地使工件下降远离透明膜62(这可能致使膜附着到工件上,并在膜从其分离时最终撕裂新固化的可UV固化材料层),而是采用一系列的滚筒将膜剥离工件。通过在膜与工件之间的分离点处实现大角度,避免(例如)侧向力或其他力对打印物体的损坏。即使在本发明的实施方案中,其中仅使用处于张力下的薄膜62来接触工件34并实现平坦化,而不用透明表面64,可使用通过滚筒去除膜的此相同方法。在仅使用透明表面64来接触工件并实现平坦化而不用膜的实施方案中,也可采用此方法。
参考图4a、图4b和图4c,最好地理解关于滚筒动作的另外的细节。在图4a中,已将透明表面64提离工件34。然后,为了将膜62与工件34(即,在其顶部的新固化层)分离,借助于提升在其上安装滚筒的臂(图11,元件114)的活塞(未在此视图中示出,但是参考图11,元件112),将设置于膜的一侧的一对滚筒66提离膜(例如,大约0.1-3mm)。
如图4b和图4c所示,滚筒的布置在跨工件顶表面横向延伸(进入附图所示页面)的分离线处在工件34的新固化层与膜62之间创建一个角度。如图4b所示,如果膜62在与工件34分离期间维持张力,则膜将继续保持与下滚筒661接触并以小的分离角度74与工件分离。然而,如图4c所示,如果随着滚筒移动而释放膜中的张力,则膜62附着到工件34上的相同接触点,并缠绕在上滚筒66u周围。当再次将膜置于处于张力下时,这使分离角度76变宽。
通过周期性地释放膜中的张力来优化膜的剥离。在分离过程期间,一对滚筒66搁置在其上的框架朝向工件的相对端滑动,从而将膜62剥离工件。当在参考图4c描述的条件下进行此操作时(其中膜62与工件34的表面之间存在大的分离角),仅对工件34的顶层的狭窄区域施加剥离力。这允许膜62与工件34分离,同时在工件表面的平面(即,图4b和图4c中的x-y平面)中对新固化层施加最小的力,从而使对工件的新固化层的损坏最小化。因此,与一次性(all at once)从工件的整个新固化的表面分离相反,从工件的一侧开始将膜62从工件上去除并且在另一侧结束。这将使膜从工件上分离的力集中到一条线上以实现最佳分离,以及新固化层在分离之前在z方向上的最小弹性变形。在这整个过程期间,可使用电机在膜的卷带盘(take up reel)上将膜维持处于张力下(未在这些视图中示出,但是参考图8,元件104a、104b和106a、106b)。
上面提及,在一些情况下,在将工件34提升以与膜接触之后,可使透明表面64下降到膜62之上的位置。替代地,如图5中的流程图所示,并且如图7a至图7b和图3a至图3b所表明,(例如)可通过使透明表面64下降到膜62之上的位置(172)来启动(170)层打印顺序,然后提升工件34使得可UV固化层接触膜(174)。根据如上面所讨论的反射率测量,这个过程可处于高度传感器70的控制下(175)。在UV固化(176)完成之后,提起透明表面64(178),并且将膜从工件剥离(180)。然后去除具有新固化层的工件(182)或打印另一层。
现在参考图8至图12,描述根据本发明的实施方案的用途的用于承载透明薄膜62的组件100的实例。组件包括框架102,在其上安装有相对卷轴(reel)104a、104b用于承载膜62。在可编程控制器(未示出)的控制下,卷轴由相应的电机106a、106b(例如步进电机)操作。组件100还支撑安装在旋转臂68上的透明表面64。旋转臂由电机108操作,并通过适当连杆110附接到其上。在操作中,可通过从一个卷轴上卷出(spool out)膜并在另一个卷轴上收卷(take up)膜来使膜62在UV固化过程之间推进。这使装置能够通过推进膜来刷新和替换平坦化表面,并且还避免固化步骤之间的材料污染。
如上面所指出,在本发明的此实施方案中,使用透明膜62和透明平坦表面64从待固化的表面清除氧气。如图9所示,在将可UV固化层36沉积在工件34上之后,将工件朝向膜和表面提起。当工件与膜和表面接触时,气泡被挤出从而创建无氧环境,以实现最佳UV固化。可通过控制工件34的垂直位置、膜62中的张力以及膜的垂直位置来优化这个挤出气泡的过程。例如,并且如图10a所示,可(例如,通过控制卷轴104a、104b和/或滚筒66)释放膜62中的张力,使得膜62的底部近似位于工件34的中心上方。如图10b所示,随着样品被提起,膜62中的张力增大,并且接触面积逐渐变宽以覆盖整个可UV固化层36。以此方式,在膜搁置在可UV固化层上时,其将气泡推到一边。另一种可能的方法是控制膜的高度。如图10c所示,使膜62在其一侧与可UV固化层36接触。在另一侧,膜悬浮在工件上方。然后,如图10d所示,(例如)通过控制滚筒66的位置来逐渐使膜62下降,并且接触面积逐渐变宽以覆盖整个可UV固化层36。
在膜62已经完全与工件接触之后,通过电机108和臂68使透明表面64下降到与膜62接触。透明表面64的使用增加工件34上的打印层的平坦性。然后激活UV光以固化样品。
图13、图14a和图14b示出UV固化组件120的实例。在这个实例中,UV固化组件包括一对UV LED灯模块122a、122b,其各自可包括一个或多个LED。LED发射在适合于固化层36中的可UV固化材料的波长下的光。还包括相机124。相机可以上述方式用作高度传感器并且/或者用于对制造中的部分成像。图14a呈现UV固化组件120的底视图,并示出相机124的照明单元126。在图14b中,示出在罩130内的UV固化组件120的布置的剖视图,所述罩设置在框架102的区域之上,工件将位于所述区域内以进行固化。
如图11所示,一旦固化完成,就将透明表面64提离工件。如上面所指出,为了将膜与工件分离同时确保对工件的损坏最小,通过活塞112将膜62的一侧上的滚筒66提离膜近似0.1-3mm,所述活塞112提升在其上安装滚筒66的臂114。滚筒的布置在分离线处在膜与工件表面之间形成大的角度,因此,仅对工件的顶层的狭窄区域施加如图12所示移动滚筒66时的剥离力。这允许膜62与工件34上的新固化的材料分离,同时在x-y平面中在其上施加最小的力,从而使对新固化的材料的损坏最小化。在分离过程期间,滚筒66搁置在其上的框架朝向第三滚筒118滑动。以此方式,与一次性从工件的整个表面分离相反,从一侧开始将膜62从工件上去除并且在另一侧结束。这将使膜从工件上分离的力集中到一条线上以实现最佳以及新近固化的材料在分离之前在z方向上的最小弹性变形。在这整个过程期间,卷轴104a、104b上的电机106a、106b维持膜62中的张力。如上面参考图4b和图4c所指出,如果在分离期间在膜中维持张力,则膜将继续保持与下滚筒接触并以小的分离角度分离。然而,如果随着滚筒移动而释放张力,则膜附着到相同接触点,并缠绕在上滚筒周围。当再次将膜置于处于张力下时,这使分离角度变宽。
在本发明的另一个实施方案中,所使用的表面仅是刚性板,没有处于张力下的膜。如在上述实施方案中那样,通过电机和连杆使板下降,然后将打印表面提起以接触。在平坦化和固化(如有必要)或其他后处理之后,将板提离打印表面。
在本发明的又一实施方案中,所使用的表面是保持张力的薄膜,但是不存在刚性板。此实施方案的构型和操作与上述实施方案中的相同,除了不存在下降或提升刚性板以帮助平坦化之外。
实施方案:
实施方案1.一种用于防止在环境条件下光引发聚合反应的氧阻聚的系统,所述系统包括:紫外线(UV)光源;UV固化空间,所述UV固化空间用于接收具有一层可UV固化材料的工件;以及构件,所述构件用于从所述UV固化空间清除氧气以当所述UV光源将光发射到所述一层可UV固化材料上时促进在所述UV固化空间内所述可UV固化材料的UV固化。
实施方案2.如实施方案1所述的系统,其中所述用于清除氧气的构件包括UV透明表面,以使所述一层可UV固化材料平坦化。
实施方案3.如前述实施方案中任一项所述的系统,其中所述UV透明表面包括处于张力的薄膜、固体材料板或处于张力的薄膜和固体材料板的组合。
实施方案4.如前述实施方案中任一项所述的系统,其还包括构件,所述构件用于确定在所述一层可UV固化材料与所述UV透明表面之间是否已经实现接触。
实施方案5.如前述实施方案中任一项所述的系统,其中所述用于确定的构件包括相机,所述相机被布置来评估所述UV透明表面的反射性质。
实施方案6.如前述实施方案中任一项所述的系统,其还包括构件,所述构件用于去除所述UV透明表面,使其不与所述工件的固化的可UV固化层接触。
实施方案7.如前述实施方案中任一项所述的系统,其中所述用于去除的构件包括一对滚筒,所述一对滚筒被构造来在去除过程期间使所述膜保持处于张力。
实施方案8.一种防止在环境条件下光引发聚合反应的氧阻聚的方法,所述方法包括:在制造中的物体的打印表面上沉积一层可紫外线(UV)光固化材料;从UV固化空间清除氧气,其上具有所述一层可UV光固化材料的制造中的物体位于所述UV固化空间内,以当UV源将光发射到所述一层可UV光固化材料上时促进在所述UV固化空间内所述可UV光固化材料的UV固化;以及激活所述UV源以固化设置在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述一层可UV光固化材料的至少一部分。
实施方案9.如实施方案8所述的方法,其中从所述UV固化空间清除氧气包括:在沉积所述一层可UV光固化材料之后,使其上具有所述一层可UV光固化材料的所述制造中的物体的所述打印表面与UV透明平坦化表面接触。
实施方案10.如实施方案8或9之一所述的方法,其还包括:在固化所述一层可UV光固化材料的所述至少一部分之后,将所述平坦化表面移位远离所述制造中的物体。
实施方案11.如实施方案8至10中任一项所述的方法,其中所述平坦化表面包括UV透明膜,并且将所述平坦化表面移位远离所述制造中的物体包括将所述膜剥离设置在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述一层可UV光固化材料的固化部分。
实施方案12.如实施方案8至11中任一项所述的方法,其中所述平坦化表面还包括UV透明平坦表面,并且将所述平坦化表面移位远离所述制造中的物体包括在将所述膜剥离设置在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述一层可UV光固化材料的所述固化部分之前,将所述平坦表面提离所述膜。
实施方案13.如实施方案8至11中任一项所述的方法,其还包括:使用滚筒控制所述膜的张力。
因此,已经描述通过使用惰性气体流从反应表面清除氧气或者通过迫使氧气离开所述反应表面来防止光引发聚合反应的氧阻聚的系统。

Claims (8)

1.一种用于防止在环境条件下光引发聚合反应的氧阻聚的系统,所述系统包括:
第一光源,所述第一光源用于发射UV光;
UV固化空间,所述UV固化空间用于接收工件,在所述工件上具有可UV固化材料层;
用于清除氧气的构件,所述用于清除氧气的构件用于从所述UV固化空间清除氧气以当所述第一光源将所述UV光发射到所述可UV固化材料层上时促进在所述UV固化空间内所述工件上的所述可UV固化材料层的UV固化,其中所述用于清除氧气的构件包括UV透明表面以使所述可UV固化材料层平坦化,并且其中所述UV透明表面包括处于张力的薄膜、固体材料板或所述处于张力的薄膜和所述固体材料板的组合;
相机,所述相机被布置来评估所述UV透明表面的反射性质以在所述工件上的所述可UV固化材料层尚未被所述第一光源固化时,确定在所述工件上的所述可UV固化材料层与所述UV透明表面之间是否已经实现接触;以及
高度传感器,所述高度传感器用于检测所述工件的高度,所述高度传感器包括用于发射光束的第二光源和用于检测所述光束的检测器,所述第二光源和所述检测器被布置在所述工件的相对侧上并且邻近所述UV透明表面,使得所述检测器检测到所述光束指示了所述工件尚未升高到开始所述可UV固化材料层的UV固化的适当高度,并且所述检测器未检测到所述光束指示了所述工件已升高到开始所述可UV固化材料层的UV固化的适当高度。
2.如权利要求1所述的系统,其还包括用于去除的构件,所述用于去除的构件用于去除所述UV透明表面,使其不与所述工件的固化的可UV固化材料层接触。
3.如权利要求2所述的系统,其中所述UV透明表面包括所述处于张力的薄膜,并且其中所述用于去除的构件包括一对滚筒,所述一对滚筒被构造来在去除过程期间使所述处于张力的薄膜保持处于张力。
4.一种防止在环境条件下光引发聚合反应的氧阻聚的方法,所述方法包括:
在制造中的物体的打印表面上沉积可UV光固化材料层;
从UV固化空间清除氧气,其上具有所述可UV光固化材料层的制造中的物体位于所述UV固化空间内,以当第一光源将UV光发射到所述可UV光固化材料层上时促进在所述UV固化空间内所述可UV光固化材料层的UV固化,其中从所述UV固化空间清除氧气包括:在沉积所述可UV光固化材料层之后,使其上具有所述可UV光固化材料层的所述制造中的物体的所述打印表面朝向UV透明表面升高,并使用相机评估所述UV透明表面的反射性质,所述相机被布置为在所述可UV光固化材料层尚未被所述第一光源固化时进行所述评估,以确定在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述可UV光固化材料层与所述UV透明表面之间是否已经实现接触;
由高度传感器检测所述制造中的物体的高度,所述高度传感器包括用于发射光束的第二光源和用于检测所述光束的检测器,所述第二光源和所述检测器被布置在所述制造中的物体的相对侧上并且邻近所述UV透明表面,使得所述检测器检测到所述光束指示了所述制造中的物体尚未升高到开始所述可UV光固化材料层的UV固化的适当高度,并且所述检测器未检测到所述光束指示了所述制造中的物体已升高到开始所述可UV光固化材料层的UV固化的适当高度;以及
在通过评估所述UV透明表面的反射性质以及由所述高度传感器检测所述制造中的物体的高度,确定在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述可UV光固化材料层与所述UV透明表面之间已经实现接触之后,激活所述第一光源以固化设置在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述可UV光固化材料层的至少一部分。
5.如权利要求4所述的方法,其还包括:在固化所述可UV光固化材料层的所述至少一部分之后,将所述UV透明表面移位远离所述制造中的物体。
6.如权利要求5所述的方法,其中所述UV透明表面包括UV透明膜,并且将所述UV透明表面移位远离所述制造中的物体包括将所述UV透明膜剥离设置在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述可UV光固化材料层的固化部分。
7.如权利要求6所述的方法,其中所述UV透明表面还包括UV透明平坦表面,并且将所述UV透明表面移位远离所述制造中的物体包括在将所述UV透明膜剥离设置在所述制造中的物体的所述打印表面上的所述可UV光固化材料层的所述固化部分之前,将所述UV透明平坦表面提离所述UV透明膜。
8.如权利要求6所述的方法,其还包括:使用滚筒控制所述UV透明膜的张力。
CN201980082465.7A 2018-12-11 2019-12-04 用于使用均匀平坦表面防止在3d打印系统中光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法 Active CN113365796B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201862777902P 2018-12-11 2018-12-11
US62/777,902 2018-12-11
PCT/IB2019/060451 WO2020121131A1 (en) 2018-12-11 2019-12-04 Systems and methods for preventing oxygen inhibition of a light-initiated polymerization reaction in a 3d printing system using uniform planar surfaces

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113365796A CN113365796A (zh) 2021-09-07
CN113365796B true CN113365796B (zh) 2023-03-21

Family

ID=69143619

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980082395.5A Active CN113412186B (zh) 2018-12-11 2019-12-04 用于使用惰性气体防止在3d打印系统中光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法
CN201980082465.7A Active CN113365796B (zh) 2018-12-11 2019-12-04 用于使用均匀平坦表面防止在3d打印系统中光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980082395.5A Active CN113412186B (zh) 2018-12-11 2019-12-04 用于使用惰性气体防止在3d打印系统中光引发聚合反应的氧阻聚的系统和方法

Country Status (6)

Country Link
US (4) US11453164B2 (zh)
EP (3) EP4183554A1 (zh)
JP (2) JP7476197B2 (zh)
KR (2) KR20210134304A (zh)
CN (2) CN113412186B (zh)
WO (2) WO2020121132A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11654618B2 (en) * 2019-04-25 2023-05-23 3D Systems, Inc. Three dimensional printing system with partially immersed imaging bar defining build plane below a free surface of photocurable resin
US20230202098A1 (en) 2021-12-23 2023-06-29 Reophotonics, Ltd. Systems for printing viscous materials using laser assisted deposition

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0435564A2 (en) * 1989-12-22 1991-07-03 E.I. Du Pont De Nemours And Company Solid imaging system
US5447822A (en) * 1989-09-28 1995-09-05 3D Systems, Inc. Apparatus and related method for forming a substantially flat stereolithographic working surface
CN1131741A (zh) * 1995-03-22 1996-09-25 载歌公司 光学间隙测量装置和方法
CN205467381U (zh) * 2016-01-13 2016-08-17 中国科学院福建物质结构研究所 一种3d打印设备

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2233928B (en) 1989-05-23 1992-12-23 Brother Ind Ltd Apparatus and method for forming three-dimensional article
JP4033987B2 (ja) 1998-11-19 2008-01-16 ナブテスコ株式会社 光学的立体造形方法
JP2000318050A (ja) 1999-05-11 2000-11-21 Sanyo Electric Co Ltd 光造形装置及び光造形方法
US20100259589A1 (en) 2009-04-14 2010-10-14 Jonathan Barry Inert uv inkjet printing
JP5364439B2 (ja) * 2009-05-15 2013-12-11 パナソニック株式会社 三次元形状造形物の製造方法
KR101896607B1 (ko) 2010-10-19 2018-09-07 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 나노큐어 자외선 챔버용 석영 샤워헤드
US9904223B2 (en) * 2011-09-23 2018-02-27 Stratasys, Inc. Layer transfusion with transfixing for additive manufacturing
DE102011085154A1 (de) * 2011-10-25 2013-04-25 Evonik Industries Ag Vorrichtung zur Vermeidung von Ablagerungen an optischen Komponenten im Laser-Sintern
TWI667146B (zh) * 2012-10-04 2019-08-01 日商大日本印刷股份有限公司 壓印方法
TWI561401B (en) * 2014-04-29 2016-12-11 Xyzprinting Inc Three dimensional printing apparatus
US10160194B2 (en) * 2015-03-03 2018-12-25 Xerox Corporation Systems and methods for implementing high speed final surface curing for three dimensional (3D) printed parts and components
EP3147047B1 (en) * 2015-09-25 2023-08-02 SLM Solutions Group AG Apparatus for producing a three-dimensional workpiece with improved gas flow and manufacturing method of a three-dimensional workpiece
JP6095147B1 (ja) * 2016-07-13 2017-03-15 株式会社ソディック 積層造形装置
DE102016216678A1 (de) 2016-09-02 2018-03-08 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren und Vorrichtung zum generativen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
DE102016216682A1 (de) 2016-09-02 2018-03-08 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren und Vorrichtung zum generativen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
JP6866152B2 (ja) 2016-12-22 2021-04-28 キヤノン株式会社 三次元造形装置および三次元造形方法
DE102016117633A1 (de) * 2016-09-19 2018-03-22 Cl Schutzrechtsverwaltungs Gmbh Vorrichtung zur Herstellung dreidimensionaler Objekte
CN206551490U (zh) * 2016-12-16 2017-10-13 北京隆源自动成型系统有限公司 带有激光加热的3d打印机
US11007708B2 (en) * 2018-03-01 2021-05-18 NEXA3D Inc. Methods and systems for measuring a pressure distribution between a surface of an object and a pressure sensitive surface during formation of the object
US10809205B2 (en) * 2018-07-27 2020-10-20 Intrepid Automation Detection of 3D printing failure using imaging

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5447822A (en) * 1989-09-28 1995-09-05 3D Systems, Inc. Apparatus and related method for forming a substantially flat stereolithographic working surface
EP0435564A2 (en) * 1989-12-22 1991-07-03 E.I. Du Pont De Nemours And Company Solid imaging system
US5143817A (en) * 1989-12-22 1992-09-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Solid imaging system
CN1131741A (zh) * 1995-03-22 1996-09-25 载歌公司 光学间隙测量装置和方法
CN205467381U (zh) * 2016-01-13 2016-08-17 中国科学院福建物质结构研究所 一种3d打印设备

Also Published As

Publication number Publication date
US11453164B2 (en) 2022-09-27
EP4183554A1 (en) 2023-05-24
US11590701B2 (en) 2023-02-28
US20220055302A1 (en) 2022-02-24
WO2020121132A1 (en) 2020-06-18
JP7476197B2 (ja) 2024-04-30
US20200180225A1 (en) 2020-06-11
EP3894180C0 (en) 2023-11-01
EP3894181B1 (en) 2022-11-16
CN113412186B (zh) 2023-04-04
US11673328B2 (en) 2023-06-13
WO2020121131A1 (en) 2020-06-18
CN113412186A (zh) 2021-09-17
KR20210134304A (ko) 2021-11-09
JP2022512224A (ja) 2022-02-02
EP3894180A1 (en) 2021-10-20
JP2022512225A (ja) 2022-02-02
KR20210132640A (ko) 2021-11-04
US20200180190A1 (en) 2020-06-11
US20220379560A1 (en) 2022-12-01
US11203154B2 (en) 2021-12-21
EP3894180B1 (en) 2023-11-01
JP7471299B2 (ja) 2024-04-19
CN113365796A (zh) 2021-09-07
EP3894181A1 (en) 2021-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11590701B2 (en) Systems for preventing oxygen inhibition of a light-initiated polymerization reaction in a 3D printing system using uniform planar surfaces
EP1743217B1 (en) Method for imprint lithography at constant temperature
KR101788421B1 (ko) 화상 표시 장치의 제조 방법, 수지용 디스펜서
US7232651B2 (en) Optical recording materials
JP2004322641A (ja) エンボス加工装置
JP5583374B2 (ja) 光硬化樹脂の特性試験装置、その試験装置で使用する保持具、特性試験方法
CN113382846B (zh) 用于增材制造中的处理监测的方法和设备
JP2017143229A (ja) インプリント装置および物品製造方法
KR20180112205A (ko) 임프린트 장치 및 이의 박리 결함 검출 방법
JP5465474B2 (ja) インプリント装置およびインプリント方法
CN105759566A (zh) 压印装置、压印方法以及物品的制造方法
CN111422823A (zh) 一种基板剥离装置及方法
JP6448741B2 (ja) インプリント装置および物品製造方法
CN111592835B (zh) 光学透明胶的固化方法
JP5241343B2 (ja) 微細構造転写装置
KR102308544B1 (ko) 3d프린터
JP2000035588A (ja) 液晶セルの封止方法及びその装置
CN112236691B (zh) 光学层压体、转印用层压体以及光学层压体的制造方法
KR102013320B1 (ko) 디스플레이 패널 제조장치
JPWO2020121131A5 (zh)
TWI499834B (zh) 電光調制器的製造方法及應用此方法製成的電光調制器
KR20210032701A (ko) 회절 도광판 제조용 나노 임프린팅 장치 및 이를 이용한 나노 임프린팅 방법
KR20070017981A (ko) 대면적 리소그래피용 장치 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant