CN113355639A - 温度检测装置及蒸镀设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种温度检测装置及蒸镀设备，其中，温度检测装置，包括第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。由于连接选择单元可以通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接，就可以在工作腔不停机的情况下来定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线。

Description

温度检测装置及蒸镀设备

技术领域

本发明一般涉及蒸镀设备技术领域，具体涉及一种温度检测装置及蒸镀设备。

背景技术

蒸镀是一种用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。例如，在OLED(Organic Light-Emitting Diode；有机发光二极管)制备工艺中，通过蒸镀设备将工作腔(蒸发腔)中的材料蒸镀到玻璃基板或对应的附着层上，完成蒸镀工艺。在蒸镀过程中，工作腔内的温度可以达到500℃～1200℃，为了监控工作腔内的温度，会在工作腔中设置热电偶来进行温度检测。

在蒸镀过程中，工作腔内温度的稳定性是保证膜厚和均一性的重要指标，因此需要根据热电偶所检测的温度，对工作腔的温度进行调节，但是，当热电偶或与热电偶连接的热电偶补偿导线发生异常时，其所反馈的温度示数也会出现波动，这时基于测量温度调控的其他参数如Power(电源)便会受到影响，最终影响速率的稳定，从而导致无法进行正常工艺。

目前，在所检测的温度示数出现波动时，无法直接定位异常是出现在热电偶，还是出现在与热电偶连接的热电偶补偿导线，这用情况下，需要对蒸镀设备进行停机，采用人工拆解工作腔，并对热电偶进行检测，在拆解的过程中，存在对工作腔造成损坏的风险，另外，在对工作腔进行拆解后，工作腔处于冷却状态，无法重现异常发生时的波动状态，同样难以定位异常位置，导致无效操作，且因停机对生产进度造成严重损失。

发明内容

本申请期望提供一种温度检测装置及蒸镀设备，用以解决现有技术中，在所检测的温度示数出现波动时，无法直接定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线的问题。

第一方面，本发明提供一种温度检测装置，包括：

第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；

第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；

测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；

连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。

作为一种可实现方式，所述第一温度检测单元及所述第二温度检测单元均为热电偶。

作为一种可实现方式，所述连接导线为热电偶补偿导线。

作为一种可实现方式，所述测量单元为二次仪表。

作为一种可实现方式，所述连接选择单元包括基体，所述基体上设置有电磁铁、衔铁以及衔铁复位弹性件，所述电磁铁用于吸引所述衔铁向靠近所述电磁铁的方向运动，所述衔铁复位弹性件用于驱动所述衔铁向远离所述电磁铁的方向运动；

所述衔铁上设置有绝缘件，所述绝缘件上设置有分别能与所述第一温度检测单元和所述第二温度检测单元电连接的第一触点，所述第一触点与所述连接导线电连接。

作为一种可实现方式，所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件分置于，所述衔铁与所述基体转动中心的两侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的拉簧。

作为一种可实现方式，所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件设置于，所述衔铁与所述基体转动中心的同侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的压簧。

作为一种可实现方式，所述衔铁与所述基体或所述电磁铁滑动配合，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体或所述电磁铁之间的压簧。

作为一种可实现方式，所述绝缘件在其运动方向上，相背的两侧分别设置有所述第一触点，其中一侧的所述第一触点正对与所述第一温度检测单元连接的第二触点设置，另一侧的所述第一触点正对与所述第二温度检测单元连接的第三触点设置。

第二方面，本发明提供一种蒸镀设备，包括上述的温度检测装置。

上述方案，由于连接选择单元可以通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接，就可以在工作腔不停机的情况下来定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线。例如，在工作腔工作时，连接选择单元通过连接导线，选择性的将第一温度检测单元与测量单元电连接，以检测工作腔的工作温度，在检测的温度示数出现波动时，连接选择单元通过连接导线，选择性的将第二温度检测单元与测量单元电连接，若此时检测的温度示数无波动，则可以确定第一温度检测单元存在故障，若此时检测的温度示数仍存在波动，那么至少可以确定连接导线存在故障，可以对连接导线进行更换，并在更换后，再次由连接选择单元通过跟换后的连接导线，选择性的将第一温度检测单元与测量单元电连接，若此时检测的温度示数仍存在波动，则可以确定第一温度检测单元亦存在故障，否则，第一温度检测单元不存在故障。可见，在对第一温度检测单元及连接导线进行故障定位过程中，无需进行停机，亦无需对工作腔进行拆解，因此，可以避免在拆解的过程中，存在对工作腔造成损坏的风险发生，另外，由于工作腔未停机，因此可以重现异常发生时的波动状态，对故障进行准确定位，还可以保证在第一温度检测单元正常的情况下生产进度的顺利进行。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明实施例提供的温度检测装置的使用状态的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的温度检测装置的另一使用状态的结构示意图；

图3为本发明另一实施例提供的温度检测装置的使用状态的结构示意图；

图4为本发明又一实施例提供的温度检测装置的使用状态的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

至少如图1、图2所述，本发明实施例示出的一种温度检测装置，包括：

第一温度检测单元1，用于设置在所需测温的工作腔9内；例如，第一温度检测单元1通过法兰6设置在工作腔9内。第一温度检测单元1用来检测工作腔9内的工作温度。工作腔9例如但不限于蒸镀设备的蒸镀腔，蒸镀腔内设置坩埚8，坩埚8内放置所要蒸镀的材料。坩埚8外侧设置电加热丝7以对坩埚8进行加热，电加热丝7可以但不限于设置为上下两层。第一温度检测单元1例如但不限于设置在坩埚8的下方，当然，还可以根据具体的需要来设置第一温度检测单元1的具体位置。

第二温度检测单元2，用于设置在所述工作腔9外；

测量单元5，用于设置在所述工作腔9外，至少确定所述第一温度检测单元1或所述第二温度检测单元2的检测温度；在测量单元5与第一温度检测单元1连接时，确定由第一温度检测单元1检测获得的检测温度，在测量单元5与第二温度检测单元2连接时，确定由第二温度检测单元2检测获得的检测温度。

连接选择单元3，用于设置在所述工作腔9外，通过连接导线4，选择性的将所述第一温度检测单元1或所述第二温度检测单元2与所述测量单元5电连接。连接选择单元3可以通过人为控制或自动控制等方式，使第一温度检测单元1通过连接导线4与测量单元5电连接，或者，使第二温度检测单元2通过连接导线4与测量单元5电连接。

一般地，连接导线4的一端连接测量单元5，另一端连接连接选择单元3，连接选择单元3在第一温度检测单元1和第二温度检测单元2之间进行选择，每次仅第一温度检测单元1或第二温度检测单元2通过连接导线4与测量单元5形成测量回路。

上述方案，由于连接选择单元3可以通过连接导线4，选择性的将所述第一温度检测单元1或所述第二温度检测单元2与所述测量单元5电连接，就可以在工作腔9不停机的情况下来定位异常是出现在温度检测单元，还是出现在与温度检测单元连接的导线。例如，在工作腔9工作时，连接选择单元3通过连接导线4，选择性的将第一温度检测单元1与测量单元5电连接，以检测工作腔9的工作温度，在检测的温度示数出现波动时，连接选择单元3通过连接导线4，选择性的将第二温度检测单元2与测量单元5电连接，若此时检测的温度示数无波动，则可以确定第一温度检测单元1存在故障，若此时检测的温度示数仍存在波动，那么至少可以确定连接导线4存在故障，可以对连接导线4进行更换，并在更换后，再次由连接选择单元3通过跟换后的连接导线4，选择性的将第一温度检测单元1与测量单元5电连接，若此时检测的温度示数仍存在波动，则可以确定第一温度检测单元1亦存在故障，否则，第一温度检测单元1不存在故障。可见，在对第一温度检测单元1及连接导线4进行故障定位过程中，无需进行停机，亦无需对工作腔9进行拆解，因此，可以避免在拆解的过程中，存在对工作腔9造成损坏的风险发生，另外，由于工作腔9未停机，因此可以重现异常发生时的波动状态，对故障进行准确定位，还可以保证在第一温度检测单元1正常的情况下生产进度的顺利进行。

作为一种可实现方式，所述第一温度检测单元1及所述第二温度检测单元2均为热电偶。

作为一种可实现方式，所述连接导线4为热电偶补偿导线。连接导线4采用热电偶补偿导线，以补偿其与热电偶连接处的温度变化所产生的误差，提高温度测量的精度。一般地，热电偶补偿导线是在一定温度范围内与所匹配的热电偶的热电动势的标称值相同的一对带有绝缘层的金属导线，其中一条金属导线用于连接热电偶的正极，另一条金属导线用于连接热电偶的负极。一般地，两根金属导线的材质采用不同的合金，如，与正极练级的采用SPC(铜)、NPC(铁)、KPC(铜)、KPX(镍铬)、KPX(镍铬)与负极练级的采用SNC(铜镍)、NNC(铜镍)、KNC(铜镍)、KNX(镍硅)、KNX(镍硅)，这里的材料仅是示例，可以根据热电偶的不同来匹配不同材质的金属导线。

作为一种可实现方式，所述测量单元5为二次仪表。二次仪表是指用以指示、记录或积算来自一次仪表、测量元器件的测量结果。该示例中的二次仪表至少用于对热电偶采集的电信号计算获得对应的温度并予以显示。

作为一种可实现方式，所述连接选择单元3包括基体31，这里不对基体31的具体形状进行限定，其主要用来承载其它部件即可，所述基体31上设置有电磁铁33、衔铁34以及衔铁复位弹性件，所述电磁铁33用于吸引所述衔铁34向靠近所述电磁铁33的方向运动，所述衔铁复位弹性件用于驱动所述衔铁34向远离所述电磁铁33的方向运动；

所述衔铁34上设置有绝缘件35，所述绝缘件35上设置有分别能与所述第一温度检测单元1和所述第二温度检测单元2电连接的第一触点36，第一触点36之间是相互电导通的，所述第一触点36与所述连接导线4电连接，例如在绝缘件35上设置一个金属头37，金属头37上通过螺钉连接上述的连接导线4，第一触点36、金属头37、连接导线4三者电导通。电磁铁33通电后，将衔铁34向靠近电磁铁33的方向吸引，以使第一触点36与第一温度检测单元1和第二温度检测单元2中的其中一者电连接，在电磁铁33断电后，在衔铁复位弹性件的作用下，衔铁34向远离电磁铁33的方向运动，以使第一触点36与第一温度检测单元1和第二温度检测单元2中的另一者电连接，来实现连接选择单元3通过连接导线4，选择性的将所述第一温度检测单元1或所述第二温度检测单元2与所述测量单元5电连接的目的。

作为一种可实现方式，所述衔铁34与所述基体31转动配合，所述电磁铁33与所述衔铁复位弹性件分置于，所述衔铁34与所述基体31转动中心30的两侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁34与所述基体31之间的拉簧32。

作为一种可实现方式，如图3所示，所述衔铁34与所述基体31转动配合，所述电磁铁33与所述衔铁复位弹性件设置于，所述衔铁34与所述基体31转动中心30的同侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁34与所述基体31之间的压簧38。

作为一种可实现方式，如图4所示，所述衔铁34与所述基体31或所述电磁铁33滑动配合，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁34与所述基体31或所述电磁铁33之间的压簧39。例如，电磁铁33的铁芯中具有通孔，衔铁34上设置有导向柱40，导向柱40滑动插装在通孔内，通孔内设置压簧39，且该压簧39位于基体31与衔铁34之间。

作为一种可实现方式，所述绝缘件在其运动方向上，相背的两侧分别设置有所述第一触点36，其中一侧的所述第一触点36正对与所述第一温度检测单元1连接的第二触点11设置，另一侧的所述第一触点36正对与所述第二温度检测单元2连接的第三触点21设置。通过控制绝缘件在其运动方向上往返运动，可以选择性的将一侧的第一触点36与第一温度检测单元1连接的第二触点11电连接，以使第一温度检测单元1、连接导线4及测量单元5形成测量回路，或者，将一侧的第一触点36与第二温度检测单元2连接的第三触点21电连接，以使第二温度检测单元2、连接导线4及测量单元5形成测量回路。

第二方面，本发明提供一种蒸镀设备，包括上述的温度检测装置。

例如但不限于，与第一温度检测单元1连接的第二触点11，以及与第二温度检测单元2连接的第三触点21呈上下设置，连接在金属头37上的第一触点36位于第二触点11和第三触点21之间，在蒸镀过程中，电磁铁33处于断电状态，此时，第一触点36与第二触点11接触，那么，第一温度检测单元1、连接导线4及测量单元5形成测量回路，以对蒸镀腔进行温度检测，在检测的温度出现示数波动的情况下，对电磁铁进行通电，以吸引衔铁向下运动，则第一触点36与第三触点21接触，那么，第二温度检测单元2、连接导线4及测量单元5形成测量回路，同时，通过判断温度示数是否存在波动，即可定位出故障是在连接导线4，还是在第一温度检测单元1。

需要理解的是，上文如有涉及术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。另外，部件不部件的连接，可以是直接连接，也可以借由其它部件进行间接连接。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明，每一种实施方式中可以包括一个以上的实施例。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种温度检测装置，其特征在于，包括：

第一温度检测单元，用于设置在所需测温的工作腔内；

第二温度检测单元，用于设置在所述工作腔外；

测量单元，用于设置在所述工作腔外，至少确定所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元的检测温度；

连接选择单元，用于设置在所述工作腔外，通过连接导线，选择性的将所述第一温度检测单元或所述第二温度检测单元与所述测量单元电连接。

2.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述第一温度检测单元及所述第二温度检测单元均为热电偶。

3.根据权利要求2所述的温度检测装置，其特征在于，所述连接导线为热电偶补偿导线。

4.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，所述测量单元为二次仪表。

5.根据权利要求1-4任一项所述的温度检测装置，其特征在于，所述连接选择单元包括基体，所述基体上设置有电磁铁、衔铁以及衔铁复位弹性件，所述电磁铁用于吸引所述衔铁向靠近所述电磁铁的方向运动，所述衔铁复位弹性件用于驱动所述衔铁向远离所述电磁铁的方向运动；

所述衔铁上设置有绝缘件，所述绝缘件上设置有分别能与所述第一温度检测单元和所述第二温度检测单元电连接的第一触点，所述第一触点与所述连接导线电连接。

6.根据权利要求5所述的温度检测装置，其特征在于，所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件分置于，所述衔铁与所述基体转动中心的两侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的拉簧。

7.根据权利要求5所述的温度检测装置，其特征在于，所述衔铁与所述基体转动配合，所述电磁铁与所述衔铁复位弹性件设置于，所述衔铁与所述基体转动中心的同侧，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体之间的压簧。

8.根据权利要求5所述的温度检测装置，其特征在于，所述衔铁与所述基体或所述电磁铁滑动配合，所述衔铁复位弹性件为设置于所述衔铁与所述基体或所述电磁铁之间的压簧。

9.根据权利要求5所述的温度检测装置，其特征在于，所述绝缘件在其运动方向上，相背的两侧分别设置有所述第一触点，其中一侧的所述第一触点正对与所述第一温度检测单元连接的第二触点设置，另一侧的所述第一触点正对与所述第二温度检测单元连接的第三触点设置。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的温度检测装置。

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