CN210048846U - 一种测温装置及其蒸镀坩埚 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种测温装置及其蒸镀坩埚。该测温装置通过彼此相对设置至少两个测温单元，该测温单元具有用于与蒸镀坩埚内壁相接触以监测其内壁温度的测温端，同时在相对设置的两个测温单元之间设置与其连接的弹性件，通过弹性件使相对设置的两个测温单元彼此远离，并使测温端紧密地抵接于蒸镀坩埚内壁上，这种独特的结构设置能准确测量坩埚内壁的实际温度，从而能获悉有机材料实际受到的加热温度，进而能准确判断有机材料是否存在裂解现象。同时，测温端与坩埚内壁仅仅是接触，并不会对坩埚造成污染和破坏，结构简单，安全性高。

Description

一种测温装置及其蒸镀坩埚

技术领域

本实用新型属于加热技术领域，具体涉及一种测温装置及其蒸镀坩埚。

背景技术

在显示面板的制造过程中，特别是OLED显示面板的制造过程中，通常会使用蒸镀工艺来形成膜层。在蒸镀操作时，一般将蒸镀源(常见的是有机材料)放置在蒸镀坩埚内，然后对蒸镀坩埚进行加热，使蒸镀源受热，并气化离开蒸镀坩埚，最后蒸镀源镀覆在待蒸镀基材上，从而在待蒸镀基材上形成膜层。

在蒸镀过程中，准确监控蒸镀坩埚内温度是及时调控加热温度、避免有机材料裂解、保证屏体发光效果的关键所在。目前，监控蒸镀坩埚内温度的手段一般是通过热电偶测量加热丝的温度而实现。但是该手段无法测量蒸镀坩埚内壁的实际温度，从而无法获悉有机材料实际受到的加热温度，进而无法判断有机材料是否存在裂解现象。

实用新型内容

因此，本实用新型所要解决的技术问题是现有蒸镀坩埚内温度不能准确监控，无法获悉有机材料实际受到的加热温度的缺陷，从而提供一种能有效监控蒸镀坩埚内温度，同时不会对蒸镀坩埚造成污染和破坏的测温装置及其蒸镀坩埚。

为此，本申请采取的技术方案为，

一种测温装置，包括本体，所述本体包括，

至少两个测温单元，彼此相对设置，所述测温单元具有用于与蒸镀坩埚内壁相接触以监测其内壁温度的测温端；

弹性件，设置于相对设置的两个测温单元之间并与其连接，以通过弹性件使相对设置的两个测温单元彼此远离，并使测温端紧密地抵接于蒸镀坩埚内壁上。

进一步地，所述测温单元包括彼此连接的直线段和相对于所述直线段偏折的偏折段，所述测温端位于所述偏折段上。

进一步地，所述偏折段相对于所述直线段偏折的偏折角α为90°≤α＜180°。

进一步地，所述弹性件与所述直线段连接。

进一步地，还包括设置于所述直线段上的固定装置，用于将相对设置的两个直线段固定在一起。

进一步地，沿靠近所述偏折段的方向，相对设置的两个直线段间的间距逐渐增大；

所述固定装置为固定片，所述固定片上至少开设有相对设置的两个固定孔，所述固定孔适于所述直线段嵌套其中。

进一步地，还包括，温度显示装置，与所述测温单元连接，以接收来自所述测温单元的温度信号，并将所述温度信号在所述温度显示装置上显示出来。

进一步地，所述弹性件为绝热弹簧；所述测温单元为热电偶。

此外，本实用新型还提供了一种蒸镀坩埚，包括壳体，所述壳体内设置上述测温装置。

进一步地，沿所述壳体的高度方向，所述壳体中部、靠近所述壳体顶部和靠近所述壳体底部分别设置所述测温装置。

进一步地，所述测温单元的测温端伸入所述壳体内并在所述弹性件作用下抵接于所述壳体内壁上；

所述测温单元的连接端贯穿所述壳体在其上形成贯穿孔，并从所述壳体内伸至外界，所述贯穿孔内壁与所述测温单元间设置绝热层。

本实用新型技术方案，具有如下优点：通过彼此相对设置至少两个测温单元，该测温单元具有用于与蒸镀坩埚内壁相接触以监测其内壁温度的测温端，同时在相对设置的两个测温单元之间设置与其连接的弹性件，通过弹性件使相对设置的两个测温单元彼此远离，并使测温端紧密地抵接于蒸镀坩埚内壁上，这种独特的结构设置能准确测量坩埚内壁的实际温度，从而能获悉有机材料实际受到的加热温度，进而能准确判断有机材料是否存在裂解现象。同时，测温端与坩埚内壁仅仅是接触，并不会对坩埚造成污染和破坏，结构简单，安全性高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中测量装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中含有图1中测量装置的蒸镀坩埚的结构示意图；

其中附图标记表示为：

1-测温单元；1-1-直线段；1-2-偏折段；1-3-测温端；1-4-连接端；2-弹性件；3-固定装置；4-温度显示装置；5-壳体；5-1-贯穿孔；6-喷嘴。

具体实施方式

下面对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供了一种测温装置，如图1所示，包括本体，本体包括，

至少两个测温单元1，彼此相对设置，测温单元1具有用于与蒸镀坩埚内壁相接触以监测其内壁温度的测温端1-3；在本实施例中，测温单元1为热电偶，测温单元1的个数为2个；

弹性件2，设置于相对设置的两个测温单元1之间并与其连接，以通过弹性件2使相对设置的两个测温单元1彼此远离，并使测温端1-3抵接于蒸镀坩埚内壁上；在本实施例中，弹性件2为绝热弹簧，绝热弹簧缠绕固定于测温单元1上，弹性件2的个数为1个。

上述测温装置中，通过彼此相对设置至少两个测温单元1，该测温单元 1具有用于与蒸镀坩埚内壁相接触以监测其内壁温度的测温端1-3，同时在相对设置的两个测温单元1之间设置与其连接的弹性件2，通过弹性件2使相对设置的两个测温单元1彼此远离，并使测温端1-3紧密地抵接于蒸镀坩埚内壁上，这种独特的结构设置能准确测量坩埚内壁的实际温度，从而能获悉有机材料实际受到的加热温度，进而能准确判断有机材料是否存在裂解现象。同时，测温端1-3与坩埚内壁仅仅是接触，并不会对坩埚造成污染和破坏，结构简单，安全性高。

为了提高测温端1-3与蒸镀坩埚内壁抵接的紧密程度，同时方便在相对设置的两个测温单元1之间设置弹性件2，测温单元1包括彼此连接的直线段1-1和相对于直线段1-1偏折的偏折段1-2，测温端1-3位于偏折段1-2 上，具体地，测温端1-3位于偏折段1-2的端部上。

进一步地，偏折段1-2相对于直线段1-1偏折的偏折角α为90°≤α＜ 180°，通过该特定角度便于弹性件2的弹性力作用于偏折段1-2，从而提高测温端1-3与蒸镀坩埚内壁抵接的紧密程度，真实测量坩埚内壁的实际温度。

同样，为了提高测温端1-3与蒸镀坩埚内壁抵接的紧密程度，弹性件2 靠近偏折段1-2相对于直线段1-1偏折的偏折处，并与直线段1-1连接，以向直线段1-1施加弹性力促使其移动，从而带动与其连接的偏折段1-2移动，以使偏折段1-2上的测温端抵接于蒸镀坩埚内壁上。

实施例2

本实施例提供了一种测温装置，在上述实施例1的基础上，为了将相对设置的两个直线段1-1固定在一起，还包括固定装置3，远离偏折段1-2 设置于直线段1-1上；具体地，固定装置3为固定片，固定片上开设有相对设置的两个固定孔，固定孔适于直线段1-1嵌套其中；

为了接收来自测温单元1的温度信号，并将温度信号在温度显示装置4 上显示出来，还包括温度显示装置4，与测温单元1连接；

为了进一步保证监测温度的准确性，沿靠近偏折段1-2的方向，相对设置的两个直线段1-1间的间距逐渐增大；具体地，沿直线段1-1的延伸方向上，相对设置的两个直线段1-1间的间隙形状为等腰梯形。

实施例3

本实施例提供了一种测温装置，在上述实施例1或2的基础上，作为可变型的实施方式，测温单元1仅有直线段组成；测温单元1的个数为4 个；固定片上开设有两对相对设置的两个固定孔；，弹性件2的个数为2个；

弹性件2为普通弹簧，非绝热，但是普通弹簧与测温单元1的连接处必须设置隔热层(由隔热材料形成)，以将两者隔绝，防止两者间出现热传递。

实施例4

本实施例提供了一种蒸镀坩埚，如图2所示，包括壳体5，壳体5内设置上述实施例1-3中任一种测温装置。进一步地，为了全面监测壳体5内部不同深度处的温度，沿壳体5的高度方向，壳体5中部、靠近壳体5顶部和靠近壳体5底部分别设置测温装置，这样就能很好地监测壳体5顶部、中部和底部的温度，便于及时调控蒸镀坩埚内温度。

进一步地，测温单元1的测温端1-3伸入壳体5内并在弹性件2作用下抵接于壳体5内壁上；测温单元1的连接端1-4贯穿壳体5在其上形成贯穿孔5-1，并从壳体5内伸至外界，贯穿孔5-1内壁与测温单元1间设置绝热层，以防止壳体5与测温单元1间出现热传递现象；具体地，测温单元1 的连接端1-4可从设置于壳体5顶端上的喷嘴6中伸至外界，绝热层设置于壳体5、喷嘴6内壁与测温单元1间，防止两者间出现热传递现象。

为了便于调控和安装，固定装置3设置于壳体5外并位于喷嘴6上方；弹性件2设置于壳体5内部，这样能较好地发挥其弹性力，并弹性力作用于测温端1-3上；当然，弹性件2也可以设置于壳体5外部，比如可以设置于固定装置3与喷嘴6之间，这样可以方便调控和安装。

进一步地，还包括加热结构，环绕壳体5外壁设置于壳体5上，具体地，加热结构可为均匀地环绕在壳体5外壁上的加热电阻丝。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种测温装置，包括本体，其特征在于，所述本体包括，

至少两个测温单元，彼此相对设置，所述测温单元具有用于与蒸镀坩埚内壁相接触以监测其内壁温度的测温端；

弹性件，设置于相对设置的两个测温单元之间并与其连接，以通过弹性件使相对设置的两个测温单元彼此远离，并使测温端紧密地抵接于蒸镀坩埚内壁上。

2.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述测温单元包括彼此连接的直线段和相对于所述直线段偏折的偏折段，所述测温端位于所述偏折段上。

3.根据权利要求2所述的测温装置，其特征在于，所述偏折段相对于所述直线段偏折的偏折角α为90°≤α＜180°。

4.根据权利要求2或3所述的测温装置，其特征在于，所述弹性件与所述直线段连接。

5.根据权利要求2或3所述的测温装置，其特征在于，还包括设置于所述直线段上的固定装置，用于将相对设置的两个直线段固定在一起。

6.根据权利要求5所述的测温装置，其特征在于，沿靠近所述偏折段的方向，相对设置的两个直线段间的间距逐渐增大；

所述固定装置为固定片，所述固定片上至少开设有相对设置的两个固定孔，所述固定孔适于所述直线段嵌套其中。

7.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，还包括，

温度显示装置，与所述测温单元连接，以接收来自所述测温单元的温度信号，并将所述温度信号在所述温度显示装置上显示出来。

8.一种蒸镀坩埚，包括壳体，其特征在于，所述壳体内设置权利要求1-7中任一项所述的测温装置。

9.根据权利要求8所述的蒸镀坩埚，其特征在于，沿所述壳体的高度方向，所述壳体中部、靠近所述壳体顶部和靠近所述壳体底部分别设置所述测温装置。

10.根据权利要求8或9所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述测温单元的测温端伸入所述壳体内并在所述弹性件作用下抵接于所述壳体内壁上；

所述测温单元的连接端贯穿所述壳体在其上形成贯穿孔，并从所述壳体内伸至外界，所述贯穿孔内壁与所述测温单元间设置绝热层。

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