CN113342290A - 显示系统、分析装置、控制方法以及计算机可读存储介质 - Google Patents

显示系统、分析装置、控制方法以及计算机可读存储介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供显示系统、分析装置、控制方法以及计算机可读存储介质，用于使用户通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。显示系统具备第一显示器(12)、第二显示器(22)、控制第一显示器(12)的第一计算机(10)以及控制第二显示器(22)的第二计算机(20)，第一计算机(10)在第一显示器(12)中显示与试样的分析有关的第一画面，通过复制第一画面来生成第二画面，并且在第二显示器(22)中显示第二画面。

Description

显示系统、分析装置、控制方法以及计算机可读存储介质
技术领域
本发明涉及一种显示系统、分析装置、控制方法以及计算机可读存储介质。
背景技术
电子探针显微分析仪(EPMA：Electron Probe Micro Analyzer)和扫描电子显微镜(SEM：Scanning Electron Microscope)等分析装置向试样照射电子束和离子束等带电粒子束。分析装置构成为：检测通过该照射而从试样产生的信号(二次电子射线、反射电子射线和特征X射线等)，由此进行试样的观察和分析。
在日本特开2015-17971号公报(专利文献1)中公开了使用分光显微镜来观察试样的分光测定装置。专利文献1所记载的分光测定装置具有使显示装置(以下称作“第一显示装置”。)显示由分光显微镜获取到的分光数据的图像处理装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-17971号公报
发明内容
发明要解决的问题
另外，用户有时想要在与设置有第一显示装置的场所不同的场所对显示于第一显示装置的画面进行目视确认。在这样的情况下，考虑在与第一显示装置不同的场所设置第二显示装置并使该第二显示装置也显示在第一显示装置中显示的画面的结构。然而，在该结构的情况下，由于第一显示装置的显示区域和第二显示装置的显示区域的大小等不同等理由，会在第二显示装置中显示与显示于第一显示装置的画面不同尺寸的画面。在该情况下，会产生用户无法通过第二显示装置对与显示于第一显示装置的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
本发明是为了解决上述的课题而完成的，其目的在于提供一种使用户通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
用于解决问题的方案
根据本公开的某个方面的显示系统具备第一显示装置、第二显示装置、以及控制第一显示装置和第二显示装置的控制装置。控制装置使第一显示装置显示与试样的分析有关的第一画面，通过复制第一画面来生成第二画面，并且使第二显示装置显示第二画面。
发明的效果
根据本公开的技术，将第二画面以成为与在第一显示装置中显示的第一画面的尺寸相同的尺寸的方式显示于第二显示装置，因此用户能够通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
附图说明
图1是说明根据本发明的实施方式的分析装置和显示系统的结构例的概要图。
图2是概要性地表示分析部的结构例的图。
图3是概要性地表示第一计算机、第二计算机以及第三计算机的硬件结构的图。
图4是表示第一显示器和第三显示器的显示例的图。
图5是比较例的显示系统中的远程显示器显示的观察图像的一例。
图6是本实施方式的第二显示器显示的捕获画面的一例。
图7是用于说明响应于用户的操作来变更捕获画面的显示区域的图。
图8是用于说明第二用户进行的远程操作的图。
图9是用于说明第二计算机将第二分析画面和第二观察画面一体地显示的例子的图。
图10是用于说明第二计算机将第二分析画面和第二观察画面以可切换的方式显示的例子的图。
图11是第三计算机的功能块图。
图12是第一计算机和第二计算机的功能块图。
图13是表示在第一计算机和第二计算机中执行的处理的流程图。
附图标记说明
1：电子枪；2：偏转线圈；3：物镜；4：试样台；5：试样台驱动部；7：偏转线圈控制部；8：电子检测器；10：第一计算机；11：第一输入装置；12：第一显示器；20：第二计算机；21：第二输入装置；22：第二显示器；30：第三计算机；32：第三显示器；50：分析部；100：显示系统；120：第一显示区域；200：第二显示画面；220：第二显示区域；320：第三显示区域；502、602：接收部；504：捕获部；506：生成部；508、610：发送部；510、604：显示控制部；606：输入部；608：获取部；1000：分析装置。
具体实施方式
下面，参照附图来详细地说明本公开的实施方式。此外，在图中，对相同或相当的部分标注相同的标记，不重复其说明。另外，在附图中没有按照实际尺寸的比率进行图示，为了使构造容易理解，在某些地方以使构造变得明确的方式变更比率来进行图示。
[关于显示系统和分析装置]
图1是说明根据本发明的实施方式的分析装置1000和显示系统100的结构例的概要图。根据本实施方式的分析装置构成为：向试样照射带电粒子束，检测从试样产生的信号来进行试样的观察和分析。分析装置1000例如为电子探针显微分析仪(EPMA：ElectronProbe Micro Analyzer)。
在图1中，示出了分析部50、第一计算机10、第二计算机20、第三计算机30、第一输入装置11、第二输入装置21、第一显示器12、第二显示器22、第三显示器32以及网络700。第一显示器12与本公开的“第一显示装置”对应，第二显示器22与本公开的“第二显示装置”对应，第三显示器32与本公开的“第三显示装置”对应。另外，第一计算机10、第二计算机20以及第三计算机30与本公开的“控制装置”对应。
参照图1，根据本实施方式的分析装置1000具备分析部50、第一计算机10、第三计算机30、第一显示器12、第三显示器32以及第一输入装置11。
分析部50例如为电子束照射装置。此外，分析部50也可以为其它装置。分析部50构成为向试样的表面照射电子束并且检测从试样表面发出的信号。检测信号包括具有试样表面中包含的元素所特有的能量的特征X射线、二次电子及反射电子等。分析装置1000对检测出的特征X射线的能量和强度进行分析，由此能够进行存在于试样表面的分析位置的元素的识别和定量。
第一显示器12和第三显示器32根据检测出的二次电子和反射电子来显示试样表面的形状和成分像、凹凸形状。分析者(以下也称作“第一用户”。)能够观察试样表面的形状和成分像、凹凸形状。第一用户能够一边观察二次电子像或反射电子像一边寻找试样表面上的分析位置。具体地说，第一用户能够一边观察电子像一边设定试样表面上的被照射电子射线的照射位置(即，试样表面的测定位置)，并且能够指定试样表面上的分析对象区域。
在分析装置1000中，一般来说，在与电子束照射装置的控制有关的处理以及与通过电子束照射装置检测出的特征X射线的分析有关的处理的各处理中要处理大量的信息，由此存在该信息的运算量变多的倾向。因而，在根据本实施方式的分析装置1000中，设为通过利用不同的处理部执行与分析部50的控制有关的处理以及与特征X射线的分析有关的处理来分散负荷的结构。
具体地说，第一计算机10为用于分析由分析部50检测出的特征X射线的分析用计算机。第三计算机30为用于控制分析部50的控制用计算机。
如图1所示，第一计算机10与第三计算机30以可通信的方式连接。第三计算机30还与分析部50以可通信的方式连接。第三计算机30生成用于控制分析部50的各部的动作的控制信号，并且将生成的控制信号输出至分析部50。另外，第三计算机30接收由分析部50检测出的信号(二次电子和反射电子中的至少一方、以及特征X射线)。第三计算机30从分析部50接收二次电子和反射电子中的至少一方的信号，并生成分析位置的观察图像(二次电子像和反射电子像中的至少一方)。另外，第三计算机30根据在试样表面的分析位置处进行的电子射线的位置扫描，来生成分析位置处的元素的分布图像(X射线像)。
第一计算机10从第三计算机30接收特征X射线的信号，基于接收到的特征X射线的信号对试样表面的分析位置处包含的元素进行定性/定量分析。具体地说，第一计算机10制作与特征X射线的波长扫描相应的X射线谱，并且基于该X射线谱来进行定性分析和定量分析。
分析装置1000具有显示器，该显示器为用于将生成的观察图像和分析结果等各种信息提供给第一用户的输出设备。如上述那样，与分析部50的控制有关的处理以及与特征X射线的分析有关的处理的各处理的信息量多，因此在本实施方式中使用第一显示器12和第三显示器32。第一显示器12与第一计算机10连接，该第一显示器12具有第一显示区域120。第一计算机10控制第一显示器12。第一显示器12显示与特征X射线的分析有关的处理的信息。在第一显示区域120中显示X射线谱以及基于该X射线谱进行的定性分析和定量分析的结果等。
第三显示器32与第三计算机30连接，该第三显示器32具有第三显示区域320。第三计算机30控制第三显示器32。第三显示器32显示与分析部50的控制有关的处理的信息。在第三显示区域320中显示在设定试样的分析位置时第一用户要观察的图像(二次电子像和反射电子像中的至少一方、以及X射线像)。
如图1所示，为了第一用户的操作性，将第一显示器12和第三显示器32相接近地配置。
第一输入装置11与第一计算机10连接。第一输入装置11构成为能够与第一计算机10及第三计算机30进行通信。第一输入装置11为用于向第一计算机10输入第一用户的指令的装置。第一输入装置11为键盘、鼠标以及触摸面板等。
第一用户使用第一输入装置11，通过指针P1来指定第一显示区域120上的位置，由此读出所指定的该位置的坐标以及针对该位置进行输入操作。具体地说，在第一显示区域120中显示有表示定性分析或定量分析等分析项目的图标。第一用户使用第一输入装置11，通过指针P1来指定与期望的分析项目对应的图标。第一计算机10将针对第一输入装置11的操作输入转换为显示于第一显示区域120的指针P1的操作。由此，第一用户能够使用第一输入装置11来指定分析项目和分析项目的详细设定等分析条件等。此外，在第一显示区域120和第三显示区域320中显示图标。图标只要是在分析装置1000的操作或分析装置1000进行的分析(例如物质的识别或定量)中使用的图像即可，并无特别限定。
与第一输入装置11对应的指针P1构成为：通常在第一显示区域120上发挥功能，但当指针P1如箭头A1所示那样超过第一显示区域120的端部(在图1中为第一显示区域120的右端)并移动至第三显示区域320的端部(在图1中为第三显示区域320的左端)时，在第三显示区域320中发挥功能。即，指针P1以第一显示区域120的右端与第三显示区域320的左端虚拟地相连的方式发挥功能。
于是，第一用户使用第一输入装置11，通过指针P1来指定第二显示画面200上的位置，由此能够读出所指示的该位置的坐标以及针对该位置进行输入操作。具体地说，在第三显示区域320中显示表示分析部50的控制项目的图标。第一用户使用第一输入装置11，通过指针P1来指定与期望的控制项目对应的图标。第一计算机10将针对第一输入装置11的操作输入转换为显示于第三显示区域320的指针P1的操作。由此，第一用户能够使用第一输入装置11来指定期望的控制项目的条件等。
根据本实施方式的显示系统100具备第一计算机10、第二计算机20、第三计算机30、第一显示器12、第二显示器22、第三显示器32、第一输入装置11、第二输入装置21以及网络700。
显示系统100在第二显示器22中显示“在第一显示器12中显示的画面的捕获画面”的至少一部分以及“在第三显示器32中显示的画面的捕获画面”的至少一部分。有时将在第一显示器12中显示的画面称作“第一画面”，有时将在第三显示器32中显示的画面称作“第三画面”。有时将“第一画面的捕获画面”和“第三画面的捕获画面”概括性地称作“捕获画面”。在此，“捕获画面”是通过利用分析装置1000侧的计算机(第一计算机10和第三计算机30)捕获在显示器(第一显示器12和第三显示器32)中显示的画面而生成的画面。有时将捕获画面称作“第二画面”。第二显示器22显示第二画面的整个区域的至少一部分区域(参照图7等)。
另外，第一画面、第二画面以及第三画面的各画面中包括一个以上的图像。在本实施方式中，图像为后述的图标和观察图像等。另外，在第一画面或第三画面中包括用户能够操作的图像(例如下面说明的图标)的情况下，捕获画面中也包括该图标的图像。在用户对在第一画面或第三画面中显示的图标进行了操作的情况下，该图标以被操作了的形式(例如图标被按下了的形式)显示。另一方面，即使在用户对捕获画面中显示的图标进行了操作的情况下，该图标的显示形式也不发生变更。此外，如通过图8也进行了说明的那样，在用户对捕获画面中显示的图标进行了操作的情况下，通过第一计算机10或第三计算机30来执行与该图标相应的处理。
另外，第一画面与第一画面的捕获画面尺寸相同。在此，代表性地，“与第一画面的捕获画面尺寸相同”是指第一画面与第一画面的捕获画面的尺寸及比例尺相同。另外，“与第一画面的捕获画面尺寸相同”是指第一画面中包括的图像与第一画面的捕获画面中包括的图像的尺寸及比例尺相同。另外，第三画面与第三画面的捕获画面的尺寸也相同。
在本实施方式中，说明第二显示器22的第二显示区域220比第一显示器12的第一显示区域120及第三显示器32的第三显示区域320小的例子。因而，第二显示器22显示第一画面的捕获画面的整个区域中的一部分区域或第三画面的捕获画面的整个区域中的一部分区域。此外，也可以是第二显示器22的第二显示区域220的面积为第一显示器12的第一显示区域120的面积以上且为第三显示器32的第三显示区域320的面积以上的结构。在该情况下，第二显示器22显示第一画面的捕获画面的整个区域和第三画面的捕获画面的整个区域。根据以上记载，第二显示器22显示第一画面的捕获画面的整个区域中的至少一部分区域的画面和第三画面的捕获画面的整个区域中的至少一部分区域的画面。
第二显示器22为位于与分析装置1000分离的场所的显示器，是所谓的远程显示器。根据如图1那样的结构，用户(以下也称作“第二用户”。)即使在与分析装置1000分离的场所，也能够通过第二显示器22对在第一显示器12中显示的画面和在第三显示器32中显示的画面进行目视确认。
第一计算机10及第二计算机20与网络700连接，构成为彼此能够进行通信。第二计算机20控制第二显示器22。第二显示器22具有第二显示区域220。第二计算机20在第二显示区域220中显示第一显示器12中显示的画面和第三显示器32中显示的画面的捕获画面。
第二输入装置21与第二计算机20连接。第二输入装置21构成为能够与第二计算机20进行通信。第二输入装置21为用于向第二计算机20输入第二用户的指令的装置。第二输入装置21为键盘、鼠标以及触摸面板等。第二用户能够使用第二输入装置21，通过指针P2来指定第二显示区域220上的位置。另外，第二计算机20能够将从第二输入装置21输入的信息发送至第一计算机10。第一计算机10还能够将该信息发送至第三计算机30。由此，第二用户能够使用第二输入装置21来进行分析装置1000的远程操作。
在本实施方式中，第二用户可以为分析装置1000的维护者。维护者例如确认在第一显示器12和第三显示器32中是否显示了恰当的显示画面等。在该情况下，第二用户即使位于与分析装置1000分离的场所，也能够在第二显示器中对第一显示器12中显示的画面和第三显示器32中显示的画面进行目视确认。与此同时，第二用户能够使用第二输入装置21来进行分析装置1000的远程操作。因而，第二用户能够恰当地进行分析装置1000的远程维护。
另外，在本实施方式中，第二用户也可以为试样的分析者。在该情况下，第二用户即使位于与分析装置1000分离的场所也能够恰当地分析试样。
[分析部的结构]
图2是概要性地表示图1所示的分析部50的结构例的图。参照图2，分析部50具备电子枪1、偏转线圈2、物镜3、试样台4、试样台驱动部5、多个分光器6a、6b、偏转线圈控制部7以及电子检测器8。电子枪1、偏转线圈2、物镜3、试样台4、分光器6a、6b以及电子检测器8设置于未图示的测量室内。在测量X射线的期间，将测量室内进行排气使之成为接近真空的状态。
电子枪1为产生向试样台4上的试样S照射的电子射线E的激发源，能够通过控制聚光镜(未图示)来调整电子射线E的束流。偏转线圈2通过被偏转线圈控制部7供给驱动电流来形成磁场。通过由偏转线圈2形成的磁场，能够使电子射线E偏转。
物镜3设置于偏转线圈2与被载置于试样台4上的试样S之间，将通过了偏转线圈2的电子射线E收缩为微小直径。试样台4为用于载置试样S的台，构成为通过试样台驱动部5而能够在水平面内移动。
在分析部50中，通过试样台驱动部5对试样台4的驱动以及/或者偏转线圈控制部7对偏转线圈2的驱动，能够二维地扫描试样S上的被照射电子射线E的照射位置。偏转线圈2以及/或者试样台4构成使电子射线E在试样S上扫描的“扫描部”。通常，在扫描范围比较小时，通过偏转线圈2进行扫描，在扫描范围比较大时，通过试样台4的移动进行扫描。
分光器6a、6b为用于检测从被照射了电子射线E的试样S发出的特征X射线的设备。此外，在图2中仅示出两个分光器6a、6b，但实际上，在分析部50以包围试样S的方式总共设置有四个分光器。各分光器的结构除了分光晶体以外都相同，下面，有时将各分光器简称为“分光器6”。
分光器6a包括分光晶体61a、检测器63a以及狭缝64a。试样S上的被照射电子射线E的照射位置、分光晶体61a以及检测器63a配置在未图示的罗兰圆上。分光晶体61a通过未图示的驱动机构一边在直线62a上移动一边倾斜。检测器63a通过未图示的驱动机构，以特征X射线相对于分光晶体61a的入射角与衍射X射线的出射角满足布拉格衍射的条件的方式，响应于分光晶体61a的移动而如图示那样转动。由此，能够进行从试样S发出的特征X射线的波长扫描。
分光器6b构成为包括分光晶体61b、检测器63b以及狭缝64b。分光器6b和未图示的分光器的结构除了分光晶体以外均与分光器6a相同，因此不重复进行说明。此外，各分光器的结构并不限于上述那样的结构，能够采用以往以来公知的各种结构。
电子检测器8为用于检测从被照射了电子射线E的试样S发出的电子射线的设备。电子检测器8检测二次电子。电子检测器8的检测信号被传送至第三计算机30。
另外，通过未图示的电子检测器还检测反射电子。反射电子的检测信号也被传送至第三计算机30。
偏转线圈控制部7根据来自第三计算机30的指示来控制向偏转线圈2供给的驱动电流。通过按照预先确定出的驱动电流模式(大小和变更速度)来控制驱动电流，能够在试样S上以期望的扫描速度进行电子射线E的照射位置的扫描。
第三计算机30根据内置的程序和表来执行与分析部50的控制有关的各种处理。另外，第三计算机30根据试样S上的分析对象区域中的电子射线E的位置扫描，来生成分析对象区域的观察图像。具体地说，第三计算机30基于由电子检测器8检测出的二次电子，来生成试样S的分析对象区域的二次电子像。另外，第三计算机30基于由四个分光器6检测出的特征X射线，来生成试样S的分析对象区域中的分析对象元素的分布图像(X射线像)。
第一计算机10当从第三计算机30接收到分析对象的X射线的波长扫描时，基于接收到的波长扫描来制作X射线谱。第一计算机10基于X射线谱进行定性分析以及/或者定量分析等。
[各计算机的硬件结构]
图3是概要性地表示第一计算机10、第二计算机20以及第三计算机30的硬件结构的图。
参照图3，第一计算机10具备CPU 13、存储器14、输入接口(以下也称作输入I/F15)、显示控制器16以及通信接口(以下也称作通信I/F 17)。
第一计算机10构成为按照存储器14中保存的程序进行动作。存储器14包括未图示的ROM(Read Only Memory：只读存储器)、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)及HDD(Hard Disk Drive：硬盘驱动器)。
ROM能够保存由CPU 13执行的程序。程序包括与对由分析部50检测出且经由第三计算机30接收到的特征X射线进行分析的处理有关的程序。RAM暂时地保存CPU 13在执行程序的过程中利用的数据，并且能够作为被用作工作区域的临时数据存储器发挥功能。HDD为非易失性的存储装置，能够保存从第三计算机30接收到的特征X射线、以及特征X射线的分析结果等。除HDD以外还可以采用闪存等半导体存储装置，或者采用闪存等半导体存储装置来代替HDD。
CPU 13控制第一计算机10。CPU 13将存储器14的ROM中保存的程序在RAM等中展开并执行该程序。
输入I/F 15与第一输入装置11连接。输入I/F 15为用于第一计算机10与第一输入装置11进行通信的接口，该输入I/F 15从第一输入装置11接收各种信号。
显示控制器16与第一显示器12连接。显示控制器16向第一显示器12输出指示第一显示区域120中的显示内容的信号。在第一显示器12为具备触摸面板的显示器的情况下，显示控制器16从第一显示器12接收表示第一用户的触摸操作的信号。
通信I/F 17与第二计算机20的通信I/F 27及第三计算机30的通信I/F 37连接。通信I/F 17为用于第一计算机10与第二计算机20及第三计算机30进行通信的接口，用于在第二计算机20与第三计算机30之间输入输出各种信号。
第一计算机10是通过在具有一般功能的计算机中安装与特征X射线的分析有关的软件并且在存储器14中保存专用的程序和数据来实现的。具体地说，在第一计算机10上始终运行着被称作操作系统(OS)的基本软件程序。该基本软件程序负责第一显示器12中的显示、针对第一输入装置11的操作输入的处理、对存储器14的访问等，能够并行地进行处理。
另一方面，在基本软件程序上执行与特征X射线的分析有关的软件程序。从外部向第一计算机10的存储器14供给与特征X射线的分析有关的软件程序，CPU 13读出所供给的程序代码并执行该程序代码，由此实现该与特征X射线的分析有关的软件程序。
第二计算机20具备CPU 23、存储器24、输入I/F 25、显示控制器26以及通信I/F27。第二计算机20构成为按照存储器24中保存的程序进行动作。存储器24包括未图示的ROM、RAM及HDD。
ROM能够保存由CPU 23执行的程序。程序包括与第二显示器22的控制以及基于来自第二输入装置21的信息进行的控制有关的处理的程序。RAM能够暂时地保存CPU 23在执行程序的过程中使用的数据，并且能够作为被用作工作区域的临时数据存储器发挥功能。HDD为非易失性的存储装置，能够保存分析部50的检测信号和由第二计算机20生成的信息。除HDD以外还可以采用闪存等半导体存储装置，或者采用闪存等半导体存储装置来代替HDD。
CPU 23控制分析部50和分析装置1000整体。CPU 23将存储器24的ROM中保存的程序在RAM等中展开并执行该程序。
输入I/F 25与第二输入装置21连接。输入I/F 25为用于第二计算机20与第二输入装置21进行通信的接口，该输入I/F 25从第二输入装置21接收各种信号。
显示控制器26与第二显示器22连接。显示控制器26向第二显示器22输出指示第二显示区域220的显示内容的信号。在第二显示器22为具备触摸面板的显示器的情况下，显示控制器26从第二显示器22接收表示分析者针对第二显示区域220的触摸操作的信号。
通信I/F 27与第一计算机10的通信I/F 17连接。通信I/F 27为用于第二计算机20与第一计算机10进行通信的接口，该通信I/F 27与第一计算机10之间输入输出各种信号。
第二计算机20能够通过在具备一般功能的计算机中安装与第二显示器22的控制有关的软件并且在存储器24中保存专用的程序和数据来实现。该程序使从第一计算机10发送的捕获画面以与该捕获画面相同的尺寸显示于第二显示器22。另外，该程序可以使从第一计算机10发送的捕获画面以与该捕获画面相同的分辨率显示于第二显示器22。关于该程序，具体地说，在第二计算机20上始终运行着被称作OS的基本软件程序。该基本软件程序负责第二显示器22中的显示、针对第二输入装置21的操作输入的处理以及对存储器24的访问等，能够并行地进行处理。
第三计算机30具备CPU 33、存储器34、输入I/F 25、显示控制器36以及通信I/F37。第三计算机30构成为按照存储器34中保存的程序进行动作。存储器34包括未图示的ROM、RAM及HDD。
ROM能够保存由CPU 33执行的程序。程序包括与分析部50的控制有关的处理的程序。RAM能够暂时保存CPU 33在执行程序的过程中利用的数据，并且能够作为被用作工作区域的临时数据存储器发挥功能。HDD为非易失性的存储装置，能够保存分析部50的检测信号和由第三计算机30生成的信息。除HDD以外还可以采用闪存等半导体存储装置，或者采用闪存等半导体存储装置来代替HDD。
CPU 33控制分析部50和分析装置1000整体。CPU 33将存储器34的ROM中保存的程序在RAM等中展开并执行该程序。
显示控制器36与第三显示器32连接。显示控制器36向第三显示器32输出指示第三显示区域320的显示内容的信号。在第三显示器32为具备触摸面板的显示器的情况下，显示控制器36从第三显示器32接收表示第一用户针对第三显示区域320的触摸操作的信号。
通信I/F 37与第一计算机10的通信I/F 17及分析部50连接。通信I/F 37为用于第三计算机30与分析部50及第一计算机10进行通信的接口，该通信I/F 37分析部50及第一计算机10之间输入输出各种信号。
第三计算机30是通过在具有一般功能的计算机中安装与分析部50的控制有关的软件并且在存储器34中保存专用的程序和数据来实现的。具体地说，在第三计算机30上始终运行被称作OS的基本软件程序。该基本软件程序负责第三显示器32中的显示和对存储器34的访问等，能够并行地进行处理。
另一方面，在基本软件程序上执行与分析部50的控制有关的软件程序。从外部向第三计算机30的存储器34供给与分析部50的控制有关的软件程序，CPU 33读出所供给的该程序代码并执行该程序代码，由此实现与分析部50的控制有关的软件程序。
另外，存储器14中保存的程序、存储器24中保存的程序以及存储器34中保存的程序中的至少一个程序可以保存于存储介质中并作为程序产品流通。或者，程序也可以作为能够由信息提供业人员通过所谓的因特网等进行下载的程序产品来提供。控制器读取通过存储介质或因特网等提供的程序。控制器将读取到的程序存储于规定的存储区域(例如ROM)。控制器通过执行所存储的该程序，来执行上述的显示处理。
存储介质不限于DVD-ROM(Digital Versatile Disk Read Only Memory：数字多功能只读光盘)、CD-ROM(compact disc read-only memory：只读光盘)、FD(FlexibleDisk：软盘)、硬盘，也可以为磁带、盒式磁带、光盘(MO(Magnetic Optical Disc：磁光盘)/MD(Mini Disc：迷你盘)/DVD(Digital Versatile Disc：数字多功能光盘))、光卡、掩模ROM、EPROM(Electronically Programmable Read-Only Memory：可擦可编程只读存储器)、EEPROM(Electronically Erasable Programmable Read-Only Memory：电可擦可编程只读存储器)、闪存ROM等半导体存储器等固定地携带程序的介质。另外，记录介质为可由计算机能够读取程序等的非瞬态的介质。
[第一显示器和第二显示器的显示例]
图4是表示第一显示器12和第三显示器32的显示例的图。参照图4，第三显示器32显示与分析部50的控制有关的信息。第一用户能够向第三计算机30提供用于基于该显示、使用第一输入装置11来控制分析部50的各种指示。在第三显示器32的第三显示区域320中能够显示：表示分析部50中的观察条件的图标、表示观察条件的数值、以及观察图像I1(二次电子像和反射电子像中的任一方、以及X射线像)。第三计算机30基于从分析部50发送至第三计算机30的特征X射线的信号来生成观察图像I1。
表示观察条件的图标包括图标221、图标222、图标223以及图标224。图标221为用于调整试样台4(参照图2)的位置的图标。数值M1为表示与试样台4的驱动有关的数值(例如试样台4的驱动量)的数值。图标222是用于调整电子束的焦点的图标。数值M2为与焦点有关的数值。图标223为用于调整像点校正的图标。数值M3为与像点校正有关的数值。图标224为用于调整观察图像I1的倍率的图标。数值M4为与倍率有关的数值。第一用户能够一边观看观察图像I1一边使用第一输入装置11来调整数值M1～数值M4的各数值。像这样，第三显示器32显示的画面为包括观察条件(表示观察条件的图标)和试样的观察图像I1的画面。下面，将第三显示器32显示的画面也称作“第一观察画面”。此外，作为变形例，第一观察画面可以为不包括观察条件(表示观察条件的图标)的画面。
另一方面，在第一显示器12的第一显示区域120中显示用于对从第三计算机30传输至第一计算机10的特征X射线进行处理和分析的图标、表示分析结果的窗口W1、以及对显示于第一显示器12的观察图像I1进行了图像处理后的图像I2。
图标包括图标121、图标122以及图标123。图标121、图标122以及图标123为表示分析内容的图标。图标121为表示定性分析的图标。图标122为表示定量分析的图标。图标123为表示面分析的图标。
第一用户能够使用第一输入装置11来选择作为分析对象的观察图像，通过图标等选择分析内容，通过窗口W1和图像I2等确认分析和处理的结果。此外，在图4的图像I2中示出进行了提高观察图像I1的对比度的处理来提高第一用户的目视确认性的例子。
像这样，第一显示器12显示的画面为包括试样的分析内容和试样的分析结果的画面。下面，将第一显示器12显示的画面也称作“第一分析画面”。此外，作为变形例，第一分析画面可以设为包括试样的分析内容或试样的分析结果的画面。
如上述那样，在分析装置1000进行的试样观察中，在变更作为观察对象的试样S的情况下，进行试样S的对位、电子束的焦点以及倍率的变更等针对分析部50的各部的控制。来自分析部50的信息被发送至控制分析部50的第三计算机30，并且在用于显示与控制有关的信息的第三显示器32中进行显示。第一用户基于显示于第三显示器32的信息来对第三计算机30提供与分析部50的各部的控制有关的指示。第三计算机30将第一用户的指示反映到分析部50的控制中。
图5是比较例的显示系统中的远程显示器显示的观察图像I100的一例。由于分析装置侧的第三显示器32与远程显示器的分辨率不同、或者分析装置侧的第三显示器32的显示区域与远程显示器的显示区域不同等理由，分析装置侧的第三显示器32显示的观察图像在远程显示器中以不同的尺寸被显示。在图5的例子中，显示有纵长的观察图像I100。另外，在分析装置侧的显示器在一个画面中显示多个观察图像的情况下，观察图像以尺寸不同的方式被显示，因此有时多个观察图像在远程显示器中以该多个观察图像的配置不同的状态被显示。
在分析装置侧的显示器显示的观察图像在远程显示器中以不同的尺寸被显示的情况下，第二用户无法对实际的观察图像(与显示于分析装置侧的显示器的观察图像相同尺寸的观察图像)进行目视确认。其结果是，例如在第二用户为维护者的情况下，会妨碍远程维护的作业，可能会变得无法进行恰当的远程维护。另外，在第二用户为分析者的情况下，可能会变得无法对试样进行恰当的分析。
因此，第一计算机10生成在第一显示器12中显示的第一分析画面的捕获画面。另外，第三计算机30生成在第三显示器32中显示的第一观察画面的捕获画面。下面，将第一观察画面的捕获画面也称作“第二观察画面”，将第一分析画面的捕获画面也称作“第二分析画面”。
第二计算机20在第二显示器22中显示由第一计算机生成的捕获画面(第二观察画面和第二分析画面)。
图6是本实施方式的第二显示器22显示的捕获画面的一例。在图6的例子中，显示有第二分析画面中包括的观察图像I1。如图6所示，在本实施方式中，第二显示器22对显示于分析装置1000侧的显示器(也就是第一显示器12和第三显示器32)的画面的捕获画面进行显示。另外，在第二计算机20中存储有将该捕获画面以与发送来的捕获画面相同的尺寸进行显示的程序(参照图3的说明)。因而，能够使显示于分析装置1000侧的显示器的画面与显示于第二显示器22的画面尺寸相同。因而，能够使第二用户在第二显示器22中对与显示于分析装置1000侧的显示器的画面相同尺寸的画面进行目视确认。另外，在分析装置1000侧的显示器的分辨率与第二显示器22的分辨率为同等程度的情况下，能够使显示于分析装置1000侧的显示器的画面与显示于第二显示器22的画面分辨率相同。
另外，第二显示器22显示捕获画面的整个区域中的至少一部分区域的画面。第二计算机20能够根据用户的操作来变更捕获画面的整个区域中的由第二显示器22显示的区域。图7是表示变更捕获画面的整个区域中的由第二显示器22的区域的图。此外，在图7～图10中，实线表示捕获画面的整个区域中的在第二显示器22的第二显示区域220中显示的区域。另外，虚线表示捕获画面的整个区域中的未在第二显示器22中显示的区域。在图7的(A)中，图标221和图标222被显示。在显示有图7的画面(用实线包围的画面)的状态下例如由用户进行了向下方的滚动操作的情况下，第二显示器22显示图7的(B)所示的画面(用实线包围的画面)。在图7的(B)中，图标223和图标224被显示。根据这样的结构，第二用户能够使第二显示器22显示捕获画面中的用户想要确认的区域。
另外，第二用户能够使用第二显示器22中显示的捕获画面来执行分析装置1000的远程操作。图8是用于说明第二用户进行的远程操作的图。
图8的(A)是第三显示器32显示的第一观察画面，图8的(B)是第二显示器22显示的第二观察画面。如图8的(B)所示，在第二用户指定了第二观察画面(捕获画面)的图标224时，第三计算机30判断为虚拟地指定了第一观察画面的图标224(参照图8的(A)中用虚线表示的指针P1)。像这样，第三计算机30判断为虚拟地指定了第二用户在第二观察画面的区域中指定的部位以及第一观察画面中的同一部位。第三计算机30使分析部50执行与指定的该图标224相应的处理。下面，说明图8的处理的具体例。
在第一观察画面中设定有第一基准点。在图8的(A)的例子中，将第一观察画面的左上点设为第一基准点。在第二观察画面中设定有第二基准点。在图8的(B)的例子中，将第二观察画面的整个区域的左上点设为第二基准点。像这样，由第一基准点表示的位置与由第二基准点表示的位置相同。此外，第一基准点和第二基准点均用(X坐标，Y坐标)来表示。在图8的例子中，第一基准点和第二基准点均用(0，0)来表示。
另外，如图8的(B)所示，基于第二用户的操作，通过指针P2来指定第二观察画面的区域中的图标224。将通过指针P2指定了的位置的坐标设为(X，Y)。第二计算机20获取第二观察画面中的由第二用户指定了的位置的、以第二基准点(0，0)为基准的相对位置。该相对位置为(X，Y)。
接着，第二计算机20经由第一计算机10将相对位置(X，Y)发送至第三计算机30。第三计算机30基于发送来的相对位置(X，Y)来确定第一观察画面中的基于第一基准点的相对位置。在图8的(A)的例子中，第三计算机30将通过虚线所示的指针P1正指定的位置确定为相对位置。第三计算机30执行与确定出的该相对位置(通过虚线所示的指针P1正指定的位置)相应的处理。在图8的(A)的例子中，第三计算机30执行变更观察图像I1的倍率的处理。在图8的例子中说明了第二显示器22显示第二观察画面的情况，但即使在第二显示器22显示第二分析画面的情况下，第二用户也能够对第二分析画面进行远程操作。
根据这样的结构，第二用户能够使用第二显示器22显示的捕获画面(第二分析画面和第二观察画面)来进行分析装置1000的远程操作。
接着，说明第二计算机20中的第二分析画面和第二观察画面的其它显示例。第二计算机20能够将第二分析画面和第二观察画面一体地显示于第二显示器22。图9是用于说明第二计算机20将第二分析画面和第二观察画面一体地显示于第二显示区域220的例子的图。下面，有时将第二分析画面和第二观察画面一体化的画面称作“一体化画面”。
第二计算机20通过将第二分析画面的端部A1与第二观察画面的端部A2结合来生成一体化画面。第二计算机20将一体化画面的整个区域中的至少一部分区域显示于第二显示器22。另外，第二用户能够变更一体化画面的整个区域中的在第二显示器中显示的区域(参照图7的说明)。
像这样，第二显示器22显示一体化画面，由此用户能够在同一画面中对第二分析画面和第二观察画面进行目视确认。
接着，说明第二计算机20中的第二分析画面和第二观察画面的其它显示例。第二计算机20能够将第二分析画面和第二观察画面以可切换的方式显示于第二显示区域220。
图10是用于说明第二计算机20将二分析画面和第二观察画面以可切换的方式显示第二显示区域220的例子的图。在第二计算机20正显示第二分析画面和第二观察画面中的某一个画面时第二用户进行了规定操作时，切换为另一个画面。在图10的例子中，规定操作为使指针P2移动至第二分析画面的端的操作。此外，规定操作也可以设为其它操作，例如可以设为针对显示于第二显示器的切换按钮(未图示)进行的操作。像这样，第二计算机20将第二分析画面和第二观察画面以可切换的方式显示，因此第二用户能够对第二观察画面和第二画面中的第二用户期望的画面进行目视确认。
另外，也可以是，使第二用户能够选择是将第二观察画面和第二画面(参照图9)一体地显示于第二显示器22、还是将第二观察画面和第二画面以可切换的方式显示于第二显示器22(参照图10)。
[第一计算机和第二计算机的功能块图]
图11是第三计算机30的功能块图。第三计算机30具有接收部402、生成部406、显示控制部410、捕获部404以及发送部408。
分析部50对第三计算机30发送特征X射线等的数据。第三计算机30的接收部402接收特征X射线等的数据。生成部406基于特征X射线的数据来生成第一观察画面。显示控制部410将生成的第一观察画面显示于第三显示器32。捕获部404通过捕获第一观察画面来生成第二观察画面。第三计算机30的发送部408向第一计算机10发送第二观察画面的数据和特征X射线的数据。
图12是第一计算机10和第二计算机20的功能块图。第一计算机10具有接收部502、捕获部504、生成部506、发送部508以及显示控制部510。第二计算机20具有接收部602、显示控制部604、输入部606、获取部608以及发送部610。
第一计算机10的接收部502从第三计算机30接收第二观察画面的数据和特征X射线的数据。生成部506基于来自第三计算机30的特征X射线的数据来生成第一分析画面。显示控制部510将生成的第一分析画面显示于第一显示器12。
捕获部504通过捕获第一分析画面来生成第二分析画面。发送部508将通过接收部502接收到的第二观察画面的数据和通过捕获部504生成的第二分析画面的数据发送至第二计算机20。
第二计算机20的接收部602从第一计算机10接收第二分析画面的数据和第二观察画面的数据。第二计算机20将第二分析画面的数据和第二观察画面的数据存储于规定的存储区域。显示控制部604将第二分析画面和第二观察画面显示于第二显示器22。
另外，第二用户能够使用鼠标等第二输入装置21向第二计算机20输入命令。输入部606接受来自第二输入装置21的命令。在通过输入部606接受到的命令为使指针P2移动的命令的情况下，显示控制部604响应于该命令来使显示于第二显示器22的指针P2移动。另外，在通过输入部606接受到的命令为指定图标的命令的情况下，获取部608获取所指定的位置的、以第二基准点(参照图8)为基准的相对位置。
发送部610将获取部608获取到的相对位置发送至第一计算机10。第一计算机10当接收到相对位置时，将该相对位置发送至第三计算机30。第三计算机30当接收到该相对位置时，基于该相对位置来确定相对于第一基准点的、在第一观察画面中的相对位置(参照图8)。第三计算机30执行与确定出的该相对位置相应的处理。
[第一计算机和第二计算机的流程图]
图13是表示在第一计算机10和第二计算机20中执行的处理的流程图。在步骤S2中，第二计算机20判断第二用户是否执行了远程开始操作。远程开始操作例如为针对显示于第二显示器22的远程开始按钮(未图示)进行的操作。
在未执行远程开始操作的情况下(步骤S2中为“否”)，第二计算机20重复进行步骤S2的处理，直至远程开始操作被执行为止。在判断为执行了远程开始操作的情况下(步骤S2中为“是”)，使处理进入步骤S4。在步骤S4中，第二计算机20将请求信号发送至第一计算机10。请求信号为用于请求第二观察画面和第二分析画面的信号。
在步骤S102中，第一计算机10接收请求信号。接着，在步骤S104中，第一计算机10的捕获部504通过捕获第一分析画面和第一观察画面来生成第二分析画面和第二观察画面。接着，在步骤S106中，第一计算机10将第二分析画面和第二观察画面发送至第二计算机20。
在步骤S6中，第二计算机20接收第二分析画面和第二观察画面。接着，在步骤S8中，将第二分析画面和第二观察画面显示于第二显示器22。
[变形例]
(1)在上述的实施方式中，作为使第二显示器22将在第一显示器12和第三显示器32中显示的画面以相同的尺寸进行显示的方法的一例，说明了第一计算机10生成捕获画面的结构。然而，该方法也可以为其它方法。例如，第一计算机10也可以将第一分析画面的数据和第一观察画面的数据、以及用于使得将第一分析画面和第一观察画面以相同的尺寸进行显示的控制信号发送至第二计算机20。第二显示器22基于控制信号来显示与第一分析画面及第一观察画面相同尺寸的分析画面及观察画面。在该结构的情况下，第二显示器22能够显示与第一分析画面及第一观察画面相同尺寸的分析画面及观察画面。
(2)在上述的实施方式中，说明了分析装置1000具备两个显示器(第一显示器12和第三显示器32)的结构。然而，分析装置1000也可以为具备一个显示器的结构，也可以采用具备三个以上的显示器的结构。另外，第二显示器22可以为多个。即使为这样的结构，第一计算机10也执行用于使第二显示器22显示与分析装置1000具备的显示器所显示的画面相同尺寸的画面的处理(例如生成捕获画面的处理)。
(3)在上述的实施方式中，说明了分析装置1000具备第一计算机10和第三计算机30的结构。然而，分析装置1000也可以具备一个计算机，也可以采用具备三个以上的计算机的结构。
(4)在上述的实施方式中，说明了第二显示器22的第二显示区域220比第一显示器12的第一显示区域120及第三显示器32的第三显示区域320小的结构。然而，第二显示器22的第二显示区域220也可以设为第一显示器12的第一显示区域120和第三显示器32的第三显示区域320以上的大小。
(5)在上述的实施方式中，说明了第一计算机10与网络700连接的结构。然而，第一计算机10也可以通过有线方式来与其它计算机连接。在该结构的情况下，其它计算机及第二计算机20与网络700连接，构成为彼此能够进行通信。
[方式]
本领域人员应当理解，上述的多个例示性的实施方式是下面的方式的具体例。
(第一项)一个方式所涉及的显示系统具备第一显示装置、第二显示装置、以及控制第一显示装置和第二显示装置的控制装置。控制装置使第一显示装置显示与试样的分析有关的第一画面，通过复制第一画面来生成第二画面，并且使第二显示装置显示第二画面。
根据第一项所记载的显示系统，在第二显示装置中将第二画面以成为与在第一显示装置中显示的第一画面的尺寸相同尺寸的方式进行显示。因而，用户能够通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
(第二项)在第一项的显示系统中，控制装置通过捕获第一画面来生成第二画面。
根据第二项所记载的显示系统，能够恰当地生成与第一显示装置显示的画面相同尺寸的画面。
(第三项)在第一项或第二项所记载的显示系统中，控制部能够根据用户的操作来变更第二画面中的由第二显示装置显示的区域。
根据第三项所记载的显示装置，用户能够使第二显示装置显示第二图像中的用户想要目视确认的区域。
(第四项)在第一项～第三项中的任一项所记载的显示系统中，在第一画面中设定第一基准点，在第二画面中设定表示与通过第一基准点表示的位置相同的位置的第二基准点，控制装置接受用户针对第二画面进行的指定，基于第二画面中的由用户指定出的位置的、以第二基准点为基准的相对位置，来在第一画面中确定以第一基准点为基准时的与相对位置对应的位置，并根据确定出的该位置来执行与试样的分析有关的处理。
根据第四项所记载的显示装置，用户能够通过远程操作来使分析装置执行与试样的分析有关的处理。
(第五项)在第一项～第四项中的任一项所记载的显示系统中，显示系统具备第三显示装置，第一画面为包括试样的分析内容和分析结果中的至少一方的画面，控制装置使第三显示装置显示包括试样的观察图像的第一观察画面，通过复制第一观察画面来生成第二观察画面，并且使第二显示装置显示第二画面和第二观察画面。
根据第五项所记载的显示装置，第二显示装置能够将分析部的分析条件和分析结果中的至少一方以与第一分析画面相同的尺寸进行显示，并且能够将试样的观察内容以与第一观察画面相同的尺寸进行显示。
(第六项)在第五项所记载的显示系统中，控制装置使第二显示装置显示将第二画面的端部与第二观察画面的端部结合所得到的画面中的至少一部分。
根据第六项所记载的显示系统，第二显示装置能够显示将第二观察画面的端部与第二画面的端部结合所得到的一体化画面，因此用户能够在同一画面中对第二观察画面和第二画面这两方进行目视确认。
(第七项)在第五项所记载的显示系统中，控制装置在第二画面与第二观察画面之间进行切换并使第二显示装置显示切换后的画面。
根据第七项所记载的显示装置，第二显示装置能够在第二观察画面与第二画面之间进行切换并显示切换后的画面，因此用户能够对第二观察画面和第二画面中的某一方进行目视确认。
(第八项)一个方式所涉及的分析装置具备根据第一项～第七项中的任一项所记载的第一显示装置和控制装置、以及分析部，该分析部对试样进行分析。
根据第八项所记载的分析装置，在第二显示装置中将第二画面以成为与在第一显示装置中显示的第一画面的尺寸相同的尺寸的方式进行显示。因而，用户能够通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同分析部进行的试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
(第九项)一个方式所涉及的控制方法用于控制第一显示装置，所述控制方法包括以下步骤：通过复制第一画面来生成第二画面，所述第一画面与试样的分析有关且显示于第一显示装置；以及向使第二显示装置显示第二画面的控制装置发送该第二画面。
根据第九项所记载的控制方法，在第二显示装置中将第二画面以成为与在第一显示装置中显示的第一画面的尺寸相同的尺寸的方式进行显示。因而，用户能够通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
(第十项)一个方式所涉及的控制程序使控制第一显示装置的控制装置执行以下步骤：通过复制与试样的分析有关且在第一显示装置中显示的第一画面来生成第二画面；以及向控制第二显示装置的控制装置发送第二画面。
根据第十项所记载的控制程序，使第二显示装置将第二画面以成为与在第一显示装置中显示的第一画面的尺寸相同的尺寸的方式进行显示。因而，用户能够通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
(第十一项)一个方式所涉及的控制方法用于控制第二显示装置，所述控制方法包括以下步骤：接收与试样的分析有关、显示于第一显示装置并且通过控制装置被进行了复制的画面；以及在第二显示装置中显示画面。
根据第十一项所记载的显示装置，在第二显示装置中将第二画面以成为与在第一显示装置中显示的第一画面的尺寸相同的尺寸的方式进行显示。因而，用户能够通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
(第十二项)一个方式所涉及的控制程序使控制第二显示装置的控制装置执行以下步骤：接收与试样的分析有关、显示于第一显示装置并且被控制第一显示装置的控制装置进行了复制的画面；以及在第二显示装置中显示画面。
根据第十二项所记载的程序，在第二显示装置中将第二画面以成为与在第一显示装置中显示的第一画面的尺寸相同的尺寸的方式进行显示。因而，用户能够通过第二显示装置对与在第一显示装置中显示的同试样的分析有关的画面相同尺寸的画面进行目视确认。
也计划将本次公开的各实施方式在技术上不矛盾的范围内恰当地进行组合来实施。而且，应当认为本次公开的实施方式在所有方面均为例示，而非限制性的。本实施方式的范围不通过上述的实施方式的说明示出，而通过权利要求书示出，本实施方式的范围包括与权利要求书同等的含义和范围内的所有变更。

Claims (12)

1.一种显示系统，具备：
第一显示装置；
第二显示装置；以及
控制装置，其控制所述第一显示装置和所述第二显示装置，
其中，所述控制装置将与试样的分析有关的第一画面显示于所述第一显示装置，
所述控制装置通过复制所述第一画面来生成第二画面，
所述控制装置使所述第二显示装置显示所述第二画面。
2.根据权利要求1所述的显示系统，其特征在于，
所述控制装置通过捕获所述第一画面来生成所述第二画面。
3.根据权利要求1或2所述的显示系统，其特征在于，
所述控制装置能够根据用户的操作来变更所述第二画面中的由所述第二显示装置进行显示的区域。
4.根据权利要求1或2所述的显示系统，其特征在于，
在所述第一画面中设定第一基准点，
在所述第二画面中设定表示与通过所述第一基准点表示的位置相同的位置的第二基准点，
所述控制装置接受用户针对所述第二画面进行的指定，
所述控制装置基于所述第二画面中的由用户指定出的位置的、以所述第二基准点为基准的相对位置，来在所述第一画面中确定以所述第一基准点为基准时的与所述相对位置对应的位置，并执行与确定出的该位置相应的处理。
5.根据权利要求1或2所述的显示系统，其特征在于，
所述显示系统具备第三显示装置，
所述第一画面为包括所述试样的分析内容和分析结果中的至少一方的画面，
所述控制装置使所述第三显示装置显示包括所述试样的观察图像的第一观察画面，
所述控制装置通过复制所述第一观察画面来生成第二观察画面，
所述控制装置使所述第二显示装置显示所述第二画面和所述第二观察画面。
6.根据权利要求5所述的显示系统，其特征在于，
所述控制装置使所述第二显示装置显示将所述第二画面的端部与所述第二观察画面的端部结合所得到的画面中的至少一部分。
7.根据权利要求5所述的显示系统，其特征在于，
所述控制装置在所述第二画面与所述第二观察画面之间进行切换并使所述第二显示装置显示切换后的画面。
8.一种分析装置，具备：
根据权利要求1～7中的任一项所记载的第一显示装置和控制装置；以及
分析部，其对所述试样进行分析。
9.一种控制方法，用于控制第一显示装置，所述控制方法包括以下步骤：
通过复制第一画面来生成第二画面，所述第一画面与试样的分析有关且显示于所述第一显示装置；以及
向使第二显示装置显示所述第二画面的控制装置发送该第二画面。
10.一种计算机可读存储介质，保存有控制程序，该控制程序使控制第一显示装置的控制装置执行以下步骤：
通过复制第一画面来生成第二画面，所述第一画面与试样的分析有关且显示于所述第一显示装置；以及
向控制第二显示装置的控制装置发送所述第二画面。
11.一种控制方法，用于控制第二显示装置，所述控制方法包括以下步骤：
接收与试样的分析有关、显示于第一显示装置并且通过控制装置被进行了复制的画面；以及
在所述第二显示装置中显示所述画面。
12.一种计算机可读存储介质，保存有控制程序，该控制程序使控制第二显示装置的控制装置执行以下步骤：
接收与试样的分析有关、显示于第一显示装置并且被控制所述第一显示装置的控制装置进行了复制的画面；以及
在所述第二显示装置中显示所述画面。
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