CN113341622B - 阵列基板、阵列基板的加工工艺及显示面板 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种阵列基板、阵列基板的加工工艺及显示面板。其中，阵列基板具有相邻设置的像素显示区和像素非显示区；在像素非显示区，阵列基板包括基板和平坦层；平坦层设于基板的一侧，平坦层具有通孔，通孔包括第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁靠近像素显示区，第二侧壁连接于第一侧壁并远离像素显示区，且第二侧壁的至少部分与基板的夹角小于第一侧壁与基板的夹角。本发明技术方案可改善配向液扩散不良和像素显示区膜厚不均而导致的暗态漏光问题。

Description

阵列基板、阵列基板的加工工艺及显示面板

技术领域

本发明涉及显示面板技术领域，特别涉及一种阵列基板、制作该阵列基板所采用的阵列基板的加工工艺及应用该阵列基板的显示面板。

背景技术

显示面板的阵列基板包括像素显示区和像素非显示区，在像素非显示区，阵列基板包括基板和设于基板一侧的平坦层，平坦层通常通过光罩的中心透光孔光刻出一个较深的通孔，该通孔的孔壁与基板的夹角较大，通孔的孔壁较陡，从而导致配向液滴在平坦层时，其扩散性不佳。

为了改善配向膜扩散不佳的问题，传统的解决方案是通过在光罩的中心透光孔四周均开设狭缝，从而使得曝光于平坦层上的通孔的孔壁变得较为平缓，但使得地势不平坦，影响了像素显示区膜厚的均匀性，进而导致了暗态漏光的问题。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种阵列基板，旨在改善阵列基板暗态漏光的问题。

为实现上述目的，本发明提出的阵列基板，具有相邻设置的像素显示区和像素非显示区；在所述像素非显示区，所述阵列基板包括基板和平坦层；所述平坦层设于所述基板的一侧，所述平坦层具有通孔，所述通孔包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近所述像素显示区，所述第二侧壁连接于第一侧壁并远离所述像素显示区，且所述第二侧壁的至少部分与所述基板的夹角小于所述第一侧壁与所述基板的夹角。

在本申请一实施例中，所述第二侧壁包括连接子侧壁和对应子侧壁，所述连接子侧壁的一边缘与所述第一侧壁连接，另一边缘朝远离所述像素显示区的方向延伸；所述对应子侧壁与所述连接子侧壁连接，并与所述第一侧壁相对设置；所述连接子侧壁与基板的夹角小于所述第一侧壁与基板的夹角；和/或，所述对应子侧壁与基板的夹角小于所述第一侧壁与基板的夹角。

在本申请一实施例中，所述第一侧壁和所述第二侧壁的壁面均呈平滑状态。

在本申请一实施例中，所述第二侧壁与所述基板的夹角为α，22°≤α≤38°。

在本申请一实施例中，所述通孔的开口形状为矩形或者圆形。

本发明还提出一种如上述的阵列基板的加工工艺，该阵列基板的加工工艺包括：

形成自下而上依次叠层的金属层、第一绝缘层、第二绝缘层及平坦层；

将光罩设置在所述平坦层的上方，并采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成通孔，所述通孔包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近所述像素显示区，所述第二侧壁连接于第一侧壁并远离所述像素显示区，且所述第二侧壁的至少部分与所述基板的夹角小于所述第一侧壁与所述基板的夹角。

在本申请一实施例中，所述光罩具有透光区和围绕所述透光区的透光缝，在所述采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成所述通孔时，通过所述透光区形成所述通孔，通过所述透光缝形成所述第二侧壁。

在本申请一实施例中，在所述光罩具有透光区和围绕所述透光区的透光缝时，所述光罩的透光区设置为具有第一边缘和连接所述第一边缘的连接边缘，所述第一边缘用于在所述平坦层上被显影形成所述第一侧壁；所述透光缝设置为具有第一透光缝，所述第一透光缝与所述透光区的连接边缘间隔设置，且所述第一透光缝设于所述连接边缘的外侧；或者，所述透光缝设置为具有多个第二透光缝，多个所述第二透光缝依次排列于所述连接边缘的外周；所述第二透光缝的一端与所述透光区连接，另一端朝远离所述透光区的一端延伸。

在本申请一实施例中，所述将光罩设置在所述平坦层的上方，并采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成通孔，通过所述透光区形成所述通孔的所述第一侧壁，通过所述透光缝形成所述通孔的第二侧壁的步骤之后，还包括：

在所述平坦层背离所述基板的一侧、并由靠近所述第二侧壁处开始涂布配向液，以形成配向膜。

本发明还提出一种显示面板，包括彩膜基板、液晶及上述的阵列基板；所述彩膜基板设于所述平坦层背离所述基板的一侧，所述液晶设于所述平坦层与所述彩膜基板之间。

本发明技术方案通过将平坦层中通孔的第一侧壁靠近像素显示区，第二侧壁连接第一侧壁并远离像素显示区，且第二侧壁与基板的夹角小于第一侧壁与基板的夹角，则一方面使得在平坦层上涂布配向液时，配向液在第二侧壁附近的扩散性较佳，进而避免配向液在通孔边缘附近过多堆积；另一方面，第一侧壁较陡，则可减少第一侧壁伸向像素显示区的范围，避免当第一侧壁的壁面不平滑而使得像素显示区具有较多地势不平的位置，从而改善了像素显示区出现膜厚不均现象而导致的暗态漏光的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明阵列基板一实施例的局部剖面示意图；

图2为本发明通过光罩透光于阵列基板的平坦层以曝光显影形成通孔的剖面结构示意图；

图3为本发明光罩一实施例的俯视图(阴影部分表示不透光区域，空白部分表示透光区域)；

图4为本发明光罩另一实施例的俯视图(阴影部分表示不透光区域，空白部分表示透光区域)；

图5为图4中A处的局部放大图；

图6为本发明显示面板一实施例的纵向剖面示意图。

附图标号说明：

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

本发明提出一种阵列基板。

在本发明实施例中，如图1所示，该阵列基板具有相邻设置的像素显示区和像素非显示区；在像素非显示区，阵列基板包括基板100和平坦层200；平坦层200设于基板100的一侧，平坦层200具有通孔210，通孔210包括第一侧壁211和第二侧壁212，第一侧壁211靠近像素显示区，第二侧壁212连接于第一侧壁211并远离像素显示区，且第二侧壁212与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角。

平坦层200上的通孔210用以将平坦层200靠近基板100一侧的金属层300与平坦层200远离基板100一侧的金属层300连接时形成避让空间。当平坦层200上涂布配向液时，配向液会在通孔210的边缘附近堆积，本发明中通过将通孔210的第二侧壁212与基板100的夹角设置成小于第一侧壁211与基板100的夹角，则配向液在靠近第二侧壁212的位置与配向液在靠近第一侧壁211的位置相比，更加容易扩散开，进而至少能够避免配向液在靠近第二侧壁212的位置出现过度堆积的现象。同时由于第一侧壁211靠近像素显示区，第一侧壁211与基板100的夹角大于第二侧壁212与基板100的夹角，因此可避免第一侧壁211延伸至像素显示区后使得像素显示区出现较多不平坦的地势，进而避免像素显示区膜厚不均而出现暗态漏光的现象。

本发明中，平坦层200上通孔210的形成过程可以为：在平坦层200上方设置光罩600，该光罩600上具有透光的区域，该透光的区域的图案不同，其曝光显影在平坦层200上的孔的形状也不同。由于第二侧壁212与基板100的夹角较小，因此第二侧壁212的坡度较为平缓，为了形成坡度较为平缓的第二侧壁212，则光罩600上需要设置一个中心透光孔和设于透光孔边缘外侧并对应形成第二侧壁212的狭缝；由于光透过狭缝时具有衍射现象，其在平坦层200上的光刻范围大于狭缝的范围，进而使得第二侧壁212靠近光罩600的部分(即第二侧壁212的顶端)被光刻掉，使得新形成的第二侧壁212的底端至顶端的坡度较为平缓。可以理解的是，第一侧壁211与基板100的夹角大于第二侧壁212与基板100的夹角，即第一侧壁211无需制作成较为平缓的地势，因此光罩600的透光孔对应第一侧壁211的边缘外侧不设置狭缝，进而使得第一侧壁211较为平滑，且避免第一侧壁211伸向像素显示区，保证了像素显示区的地势较为平坦，改善了像素显示区膜厚不均而导致的暗态漏光的问题。

具体地，第二侧壁212连接第一侧壁211时，二者可以直接连接或者可以间接连接。例如第二侧壁212可以直接连接第一侧壁211，该第二侧壁212可呈平直状，从而该第二侧壁212不仅与第一侧壁211连接，还与第一侧壁211相邻并呈夹角设置；当然，该第二侧壁212还可呈“7”字状、“L”型、倒“L”型或者“U”型，可以理解的是，此时第二侧壁212的其中一子侧壁与第一侧壁211连接且相邻，至少另一子侧壁可通过该子侧壁与第一侧壁211间接连接，并可与第一侧壁211相对设置。

本发明技术方案通过将平坦层200通孔210的第一侧壁211靠近像素显示区，第二侧壁212连接第一侧壁211并远离像素显示区，且第二侧壁212与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角，则一方面使得在平坦层200上涂布配向液时，配向液在第二侧壁212附近的扩散性较佳，进而避免配向液在通孔210边缘附近过多堆积；另一方面，第一侧壁211较陡，则可减少第一侧壁211伸向像素显示区的范围，避免当第一侧壁211的壁面不平滑而使得像素显示区具有较多地势不平的位置，从而改善了像素显示区出现膜厚不均现象而导致的暗态漏光的问题。

在本申请一实施例中，第二侧壁212包括连接子侧壁和对应子侧壁，连接子侧壁的一边缘与第一侧壁211连接，另一边缘朝远离像素显示区的方向延伸；对应子侧壁与连接子侧壁连接，并与第一侧壁211相对设置。如此设置，则第二侧壁212与第一侧壁211共同组成了通孔210的所有侧壁。

具体地，第二侧壁212的连接子侧壁与基板100的夹角可小于第一侧壁211与基板100的夹角，从而避免连接子侧壁附近的配向液过度堆积，进而使得连接子侧壁附近的配向液具有良好的扩散性。或者，第二侧壁212的对应子侧壁与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角，从而避免对应子侧壁附近的配向液过度堆积，进而使得对应子侧壁附近的配向液具有良好的扩散性。或者，连接子侧壁与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角；且对应子侧壁与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角；则可避免连接子侧壁和对应子侧壁附近的配向液均出现过度堆积现象，进而使得连接子侧壁和对应子侧壁附近的配向液均具有良好的扩散性，从而使得平坦层200尽可能多的地方能够保证配向液具有良好的扩散性。其中，基于连接子侧壁与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角；且对应子侧壁与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角的方案，进一步地，连接子侧壁与基板100的夹角和对应子侧壁与基板100的夹角可以相同，也可以不同。

进一步地，如图1所示，第一侧壁211和第二侧壁212的壁面均呈平滑状态。

通过将第一侧壁211的壁面呈平滑状态，则可避免第一侧壁211对像素显示区的地势具有影响，从而避免像素显示区地势不平坦而使得膜厚不均导致出现的暗态漏光现象。通过将第二侧壁212的避免呈平滑状态，则可使得避免第二侧壁212出现沟槽结构，从而可避免沟槽结构内积聚过多配向液。

在本申请一实施例中，如图1所示，第二侧壁212与基板100的夹角为α，22°≤α≤38°。

例如，α可以为22°、23°、24°、25°、26°、27°、28°、29°、30°、31°或者32°等。如此设置，一方面便于第二侧壁212的制作，另一方面保证第二侧壁212的坡度较为平缓。当α小于22°时，第二侧壁212的坡度过于平缓，从而难以通过合适的光罩600显影形成，制作工艺较难；当α大于38°，难以保证第二侧壁212具有较为平缓的坡度，从而难以避免配向液在第二侧壁212附近过多堆积，难以保证配向液具有良好的扩散性。

在本申请一实施例中，通孔210的开口形状为矩形或者圆形。

通孔210的开口形状与光罩600的透光孔的图案相对应。当光罩600的透光孔形状为矩形时，该透光孔被显影于平坦层200上的通孔210的开口形状也为矩形；当光罩600的透光孔形状为圆形时，该透光孔被显影于平坦层200上的通孔210的开口形状也为圆形。通过通孔210的开口形状为矩形或者圆形，则更加便于光罩600的透光孔的形成。

当然，在其他实施例中，通孔210的开口形状还可为其他形状，例如三角形、五边形、其他多边形、椭圆形或者其他异性形状等。

本发明还提出一种阵列基板的加工工艺，该阵列基板的具体结构参照上述实施例，由于本阵列基板的加工工艺采用了上述阵列基板所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。其中，请结合参照图2至图5，阵列基板的加工工艺包括：

形成自下而上依次叠层的金属层300、第一绝缘层400、第二绝缘层500及平坦层200；

将光罩600设置在平坦层的上方，并采用光罩600对所述平坦层进行光刻形成通孔210，通孔210包括第一侧壁211和第二侧壁212，第一侧壁211靠近像素显示区，第二侧壁212连接于第一侧壁211并远离像素显示区，且第二侧壁212的至少部分与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角。

通过将平坦层200通孔210的第一侧壁211靠近像素显示区，第二侧壁212连接第一侧壁211并远离像素显示区，且第二侧壁212与基板100的夹角小于第一侧壁211与基板100的夹角，则一方面使得在平坦层200上涂布配向液时，配向液在第二侧壁212附近的扩散性较佳，进而避免配向液在通孔210边缘附近过多堆积；另一方面，第一侧壁211较陡，则可减少第一侧壁211伸向像素显示区的范围，避免当第一侧壁211的壁面不平滑而使得像素显示区具有较多地势不平的位置，从而改善了像素显示区出现膜厚不均现象而导致的暗态漏光的问题。

进一步地，光罩600具有透光区610和围绕透光区610的透光缝，在采用光罩600对平坦层进行光刻形成通孔210时，通过透光区610形成通孔210，通过透光缝形成第二侧壁212。

可以理解的是，透光缝的宽度较窄，因此光透过透光缝后会发生衍射现象，进而可以扩大对平坦层的光刻范围。由于透光缝围绕透光区设置，因此透过透光缝形成的第二侧壁可延伸至通过透光区形成的孔的侧壁，进而相对于仅通过透光区形成的第一侧壁而言，第二侧壁的顶端至底端的坡度更加平缓，因此可以改善配向液扩散不均的现象。同时，第一侧壁与基板的夹角更大，减少第一侧壁伸向像素显示区的情况，且第一侧壁仅由透光区形成后壁面更加平滑，进而改善像素显示区地势不均而导致的暗态漏光的问题。

进一步地，本发明提供一种光罩600的实施例，光罩600具有透光区610和围绕透光区610的第一透光缝622；透光区610包括第一边缘611和连接第一边缘611的连接边缘601，第一边缘611用于在平坦层200上被显影形成第一侧壁211；第一透光缝622与透光区610的连接边缘601间隔设置，且第一透光缝622设于连接边缘601的外侧，第一透光缝622用于在平坦层200上被显影形成第二侧壁212。

通过将本实施例中的光罩600设于平坦层200的上方，则光罩600的透光区610和第一透光缝622在显示面板的平坦层200上均被显影时形成孔结构，其中透光区610在显示面板的平坦层200上被显影时形成一个深孔，本发明技术方案中的第一透光缝622很窄，因此光通过第一透光缝622时具有衍射现象，进而能够扩大显影于平坦层200的显影范围，即扩大了对平坦层200的光刻范围，从而该第一透光缝622的曝光范围与透光区610的曝光范围具有部分重叠或者与透光区610的曝光范围相接，则通过第一透光缝622在平坦层200上显影形成的孔和通过透光区610在平坦层200上形成的深孔组合形成一个较大的通孔210(即上述至少一实施例中的通孔210)，且使得通孔210通过第一透光缝622形成的侧壁(即通孔210的第二侧壁212的至少部分)的坡度较为平缓，进而提高了设于平坦层200上的配向膜的扩散性。

具体地，请继续结合参照图2和图3，连接边缘601可包括第二边缘612、第三边缘613及第四边缘614；第一边缘611、第二边缘612、第三边缘613及第四边缘614依次首尾相接呈矩形；第一透光缝622至少设有一条，且设于第二边缘612、第三边缘613及第四边缘614的至少其中一者的外侧。其中，第二边缘612和第四边缘614可分别垂直连接于第一边缘611相对的两端，第三边缘613与第一边缘611相对设置，且第三边缘613的两端分别连接第二边缘612和第四边缘614。

第一透光缝622可设置有一条、两条、三条、四条或者更多条。例如，当第一透光缝622设置有一条时，该第一透光缝622可设于第二边缘612的外侧，或者该第一透光缝622可设于第三边缘613的外侧，或者该第一透光缝622设于第四边缘614的外侧。当第一透光缝622设置有两条时，两条第一透光缝622可分别设于第二边缘612的外侧和第三边缘613的外侧，或者两条第一透光缝622可分别设于第三边缘613的外侧和第四边缘614的外侧，或者两条第一透光缝622可分别设于第二边缘612的外侧和第四边缘614的外侧；或者两条第一透光缝622均设于第二边缘612的外侧，且两条第一透光缝622沿第二边缘612的长度方向并排设置，或者两条第一透光缝622均设于第二边缘612的外侧，且两条第一透光缝622沿垂直于第二边缘612的长度方向间隔设置；或者两条第一透光缝622均设于第三边缘613的外侧，且两条第一透光缝622沿第三边缘613的长度方向并排设置，或者两条第一透光缝622均设于第三边缘613的外侧，且两条第一透光缝622沿垂直于第三边缘613的长度方向间隔设置；或者两条第一透光缝622均设于第四边缘614的外侧，且两条第一透光缝622沿第四边缘614的长度方向并排设置，或者两条第一透光缝622均设于第四边缘614的外侧，且两条第一透光缝622沿垂直于第四边缘614的长度方向间隔设置。

当第一透光缝622设置有三条时，三条第一透光缝622可分别设于第二边缘612的外侧、第三边缘613的外侧及第四边缘614的外侧；或者三条第一透光缝622中的其中之一设于第二边缘612的外侧，三条第一透光缝622中的其中之另外两条均设于第三边缘613(或第四边缘614)的外侧，均设于第三边缘613(或第四边缘614)的外侧的两条第一透光缝622可沿第三边缘613(或第四边缘614)的长度方向并排设置，也可沿垂直于第三边缘613(或第四边缘614)的长度方向间隔设置；或者三条第一透光缝622中的其中之一设于第三边缘613的外侧，三条第一透光缝622中的其中之另外两条均设于第四边缘614(或第二边缘612)的外侧，均设于第四边缘614(或第二边缘612)的外侧的两条第一透光缝622可沿第四边缘614(或第二边缘612)的长度方向并排设置，也可沿垂直于第四边缘614(或第二边缘612)的长度方向间隔设置；或者三条第一透光缝622中的其中之一设于第四边缘614的外侧，三条第一透光缝622中的其中之另外两条均设于第二边缘612(或第三边缘613)的外侧，均设于第二边缘612(或第三边缘613)的外侧的两条第一透光缝622可沿第二边缘612(或第三边缘613)的长度方向并排设置，也可沿垂直于第二边缘612(或第三边缘613)的长度方向间隔设置；或者三条第一透光缝622可均设于第二边缘612的外侧，或者三条第一透光缝622可均设于第三边缘613的外侧；或者三条第一透光缝622可均设于第三边缘613的外侧。设于同一边缘外侧的三条第一透光缝622可沿该边缘的长度方向依次并排首尾相接；或者三条第一透光缝622可沿垂直于该边缘的长度方向间隔分布。

进一步地，当第一透光缝622设有两条或三条，至少两条第一透光缝622首尾相连。如此设置，则设置有收尾相连的至少两条第一透光缝622对应在平坦层200上显影的通孔210的侧壁均具有较平缓的坡度，从而进一步提高了配向液在平坦层200未靠近像素显示区部分的扩散性，以进一步利于形成较好的配向膜。具体地，该第一透光缝622的形状可以为直线状、弧线状或者其他形状。

进一步地，当第一透光缝622具有至少两条，且至少两条第一透光缝622分别设于第二边缘612、第三边缘613及第四边缘614的其中两边缘的外侧时，这两条第一透光缝622之间与透光区610之间夹设的遮光部的宽度可以相同，也可以不同。

当第一透光缝622设置有至少两条时，所有的第一透光缝622的宽度也可设置成一致的。如此设置，可以使得光罩600的第一透光缝622制作简单，且使得这些第一透光缝622在平坦层200的显影相同，进而使得平坦层200的通孔210除了第一侧壁211以外的其他侧壁的坡度尽可能相同，使得配向液扩散地较为均匀。当然，本发明中至少两条第一透光缝622的宽度也可以设置成不同的。

进一步地，请继续结合参照图2和图3，基于至少两条第一透光缝622首尾相连的方案，在本实施例中，第一透光缝622具有多条，多条第一透光缝622首尾连接形成的形状于第二边缘612、第三边缘613及第四边缘614连接形成的形状一致。

如此设置，则使得首尾相接的各第一透光缝622组成的形状与透光区610的形状大体相同，从而使得各第一透光缝622在平坦层200上被显影形成的通孔210的侧壁(除第一侧壁211外)在周向上均具有较为平缓的坡度，从而最大程度地保证配向液在平坦层200的大部分区域具有较好的扩散性。

本发明还提供光罩600的另一实施例，请结合参照图2、图4和图5，光罩600具有透光区610和围绕透光区610的多个第二透光缝624；透光区610包括第一边缘611和连接第一边缘611的连接边缘601，第一边缘611用于在平坦层200上被显影形成第一侧壁211；多个第二透光缝624依次排列于连接边缘601的外周；第二透光缝624的一端与透光区610连接，另一端朝远离透光区610的一端延伸，第二投光缝624用于在平坦层200上被显影形成第二侧壁212。

本实施例中的透光区610在显示面板的平坦层200上被显影时形成一个深孔，第二透光缝624在平坦层200被显影时，使得平坦层200由深孔内侧至外侧的方向受到逐渐变弱的曝光程度，从而在平坦层200上有深孔的内壁至对应第二透光缝624的地方形成多个坡面；从整体上看，由第二透光缝624在平坦层200上被显影形成的侧壁(即第二侧壁212)呈一个整体坡度变得更加平缓的侧壁，从而提高了配向液滴在此处附近时的扩散性。另外，在第一边缘611的外周没有设置第二透光缝624，则使得第一边缘611在平坦层200上被显影形成的第一侧壁211及其周围区域较为光滑，从而可以提高像素显示区的膜厚均匀性，改善暗态漏光的问题。具体地，该第二透光缝624的形状可以为柱状或者锥状等。

进一步地，请继续结合参照图2、图4至图5，第二透光缝624的宽度由连接透光区610的一端至远离透光区610的一端逐渐减小。

如此设置，则该第二透光缝624在平坦层200被显影时，使得平坦层200的通孔210内壁由通孔210内侧至外侧的方向受到逐渐减小的曝光程度，从而在通孔210的孔壁形成有沟槽，沟槽将通孔210的孔壁分成多个坡面，多个坡面连接后近似形成一个平整的整体坡度变缓的坡面，进而使得配向液在这些坡度较缓的坡面时具有较好的扩散性。

具体地，该第二透光缝624的形状可以为三角形、圆锥形或者满足其宽度由连接透光区610的一端至远离透光区610的一端逐渐减小的其他形状。

进一步地，请结合参照图3和图5，基于第二透光缝624的宽度由连接透光区610的一端至远离透光区610的一端逐渐减小的方案，定义该第二透光缝624靠近透光区610的一端的宽度为D3，本实施例中2.0μm≤D3≤3.0μm。例如D3可以为2.0μm、2.1μm、2.2μm、2.3μm、2.4μm、2.5μm、2.6μm、2.7μm、2.8μm、2.9μm或者3.0μm。

当第二透光缝624靠近透光区610的一端的宽度D3大于3.0μm时，第二透光缝624靠近透光区610的一端宽度过大，进而使得光通过该第二透光缝624时，在平坦层200上，该第二透光缝624被显影所形成的孔的侧壁与透光区610被显影所形成的孔的侧壁无法平滑衔接，进而导致平坦层200出现较多凹凸不平的地势。当第二透光缝624靠近透光区610的一端的宽度D3小于2.0μm时，第二透光缝624靠近透光区610的一端宽度过小，从而使得通过第二透光缝624的光强过弱，从而导致第二透光缝624在平坦层200被显影所形成的孔的侧壁坡度仍然较陡，难以保证配向液具有较好的扩散性；且光罩600的制作过程较为困难。

进一步地，定义第二透光缝624的长度为H，该第二透光缝624的长度决定通孔210的侧壁所形成的的斜坡的长度。本实施例中可选3.0μm≤H≤5.0μm。例如H可以为3.0μm、3.1μm、3.2μm、3.3μm、3.4μm、3.5μm、3.6μm、3.7μm、3.8μm、3.9μm、4.0μm、4.1μm、4.2μm、4.3μm、4.4μm、4.5μm、4.6μm、4.7μm、4.8μm、4.9μm或者5.0μm。

进一步地，请结合参照图1、图3至图5，本实施例中，相邻的两个第二透光缝624靠近透光区610的一端相接，从而可以使得第二透光缝624被显影在平坦层200形成的侧壁表面呈光滑的状态。

定义相邻的两个第二透光缝624靠近透光区610的一端之间的距离范围可以与上述D3的范围一致。通过上述设置，可以保证光透过本实施例中的第二透光缝624后，能够发生较佳的衍射现象；且通过第二透光缝624的宽度尺寸D3、第二透光缝624的高度尺寸H及相邻两个第二透光缝624远离透光区61021的一端之间的距离这三者的综合限定，可使得第二透光缝624对应在平坦层200上被显影形成的第二侧壁2121的平面较为平整，避免平坦层200出现凹凸不平的地势。

进一步地，上述将光罩600设置在于平坦层200的上方、并采用光罩600对平坦层200进行光刻形成通孔210，通过透光区610形成通孔210的第一侧壁211，通过透光缝形成通孔210的第二侧壁212的步骤之后，还包括在平坦层200背离基板100的一侧涂布配向液，以形成配向膜。

通过在平坦层200背离基板100的一侧涂布配向膜，则可对使液晶的排列更加整齐。具体地，涂布配向膜时，可从平坦层200的任何位置开始涂布。

进一步地，本实施例中，基于平坦层200具有上述通孔210的结构，在平坦层200背离基板100的一侧涂布配向液时，配向液由靠近第二侧壁212处开始涂布。

通过将配向液由靠近第二侧壁212处开始涂布，则使得配向液一开始就具有较好的扩散效果，提高了扩散效率；从而避免配向液由靠近第一侧壁211处开始涂布而容易在第一侧壁211附近进行堆积的现象。

本发明还提出一种显示面板，如图6所示，该显示面板包括阵列基板，该阵列基板的具体结构参照上述实施例，由于本显示面板采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

其中，显示面板还包括彩膜基板700和液晶800，彩膜基板700设于平坦层200背离基板100的一侧，液晶800设于平坦层200与彩膜基板700之间。

具体地，阵列基板的平坦层200于背离基板100的一侧可设有配向膜，液晶800夹设于配向膜与彩膜基板100之间。通过对阵列基板和彩膜基板700施加电压，液晶800根据这两者的电压差大小而决定其偏转的角度大小，进而控制透光量。彩膜基板700具有滤光片，进而通过液晶的光再通过彩膜基板700的滤光片后发出不同颜色的光。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (8)

1.一种阵列基板的加工工艺，其特征在于，所述阵列基板的加工工艺包括：

形成自下而上依次叠层的金属层、第一绝缘层、第二绝缘层及平坦层；

将光罩设置在所述平坦层的上方，并采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成通孔，所述通孔包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近像素显示区，所述第二侧壁连接于第一侧壁并远离所述像素显示区，且所述第二侧壁的至少部分与所述基板的夹角小于所述第一侧壁与所述基板的夹角；

所述光罩具有透光区和围绕所述透光区的透光缝，在所述采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成所述通孔时，通过所述透光区形成所述通孔，通过所述透光缝形成所述第二侧壁；

其中，所述光罩的透光区设置为具有第一边缘和连接所述第一边缘的连接边缘，所述第一边缘用于在所述平坦层上被显影形成所述第一侧壁；所述透光缝设置为具有第一透光缝，所述第一透光缝与所述透光区的连接边缘间隔设置，且所述第一透光缝设于所述连接边缘的外侧；

或者，所述透光缝设置为具有多个第二透光缝，多个所述第二透光缝依次排列于所述连接边缘的外周；所述第二透光缝的一端与所述透光区连接，另一端朝远离所述透光区的一端延伸。

2.如权利要求1所述的阵列基板的加工工艺，其特征在于，所述将光罩设置在所述平坦层的上方，并采用所述光罩对所述平坦层进行光刻形成通孔，通过所述透光区形成所述通孔的所述第一侧壁，通过所述透光缝形成所述通孔的第二侧壁的步骤之后，还包括：

在所述平坦层背离所述基板的一侧、并由靠近所述第二侧壁处开始涂布配向液，以形成配向膜。

3.一种阵列基板，采用如权利要求1或2所述的阵列基板的加工工艺制作，其特征在于，所述阵列基板具有相邻设置的像素显示区和像素非显示区；在所述像素非显示区，所述阵列基板包括：

基板；和

平坦层，所述平坦层设于所述基板的一侧，所述平坦层具有通孔，所述通孔包括第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁靠近所述像素显示区，所述第二侧壁连接于第一侧壁并远离所述像素显示区，且所述第二侧壁的至少部分与所述基板的夹角小于所述第一侧壁与所述基板的夹角。

4.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第二侧壁包括：

连接子侧壁，所述连接子侧壁的一边缘与所述第一侧壁连接，另一边缘朝远离所述像素显示区的方向延伸；和

对应子侧壁，所述对应子侧壁与所述连接子侧壁连接，并与所述第一侧壁相对设置；

所述连接子侧壁与基板的夹角小于所述第一侧壁与基板的夹角；和/或，所述对应子侧壁与基板的夹角小于所述第一侧壁与基板的夹角。

5.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一侧壁和所述第二侧壁的壁面均呈平滑状态。

6.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第二侧壁与所述基板的夹角为α，22°≤α≤38°。

7.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述通孔的开口形状为矩形或者圆形。

8.一种显示面板，其特征在于，包括彩膜基板、液晶及如权利要求3至7中任意一项所述的阵列基板；所述彩膜基板设于所述平坦层背离所述基板的一侧，所述液晶设于所述平坦层与所述彩膜基板之间。

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