CN113340975A - 一种同时测定铜矿石中18种元素的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种同时测定铜矿石中18种元素的方法,属于检测领域。该方法包括待测样品的预处理、标准系列溶液的配制、标准曲线的绘制以及待测样品的测量。本发明通过仪器参数的优化、消解酸与复溶酸的选择和配比、前处理流程的再造等方面,能够实现铜矿石中常量元素与微痕量元素共18种元素的同时测定,方法准确,重现性高,节约了检测时间和成本,具有良好的推广应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及检测领域,具体涉及一种同时测定铜矿石中18种元素的方法。
背景技术
铜是人类最早发现和使用的金属之一,对人类早期文明进步和社会发展发挥了重要作用。铜至今仍是仅次于钢铁和铝以外耗量最大的金属材料,成为国计民生、国防乃至高新技术领域中不可缺少的基础材料和战略物资。铜在地壳中的质量分数约为0.01%,多数以铜矿石的形式存在。目前已发现的含铜矿石有280多种,铜的工业矿石有自然铜、黄铜矿、辉铜矿、斑铜矿、黝铜矿、蓝铜矿、铜蓝、孔雀石等。铜矿的特点是储量丰富,但可开采矿藏相对稀少,而中国铜资源无论是矿床类型、储量还是开发利用条件与技术都相对薄弱。多年来,铜矿一直列入我国矿产资源的急需紧缺矿产,每年都需大量进口。所以,我国对铜矿资源的勘查、开发及综合利用都非常重视,铜矿资源的地质找矿,也一直是地质勘查的重要战略任务。有鉴于此,准确、快速分析测定铜矿石中元素,对矿产资源的勘查、开发及综合利用,均具有十分重要的意义。此外,铜矿石中Mg、Pb、Zn、Ni、Cr、Cd、As、Sb、Bi、Co等元素对铜矿石的冶炼而言是有害元素,其不但会形成放射性污染、危害操作人员健康,还会污染环境、腐蚀生产设备管道、使触酶中毒并降低触酶效率,并影响最终成品电解铜和副产品硫酸质量等,因此这些元素的准确测定也有着重要作用。
目前,铜矿石的分析测试方法主要有滴定法、原子吸收光谱法(AAS)、原子荧光法(AFS)、电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)、电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)、X射线荧光光谱法(XRF)等,其中,由于多元素同时分析能极大提高分析效率,因此使用能够多元素同时分析的XRF、ICP-OES以及ICP-MS分析铜矿石更为便利。但是铜矿石中常量、微痕量元素含量差距极大,同时测定较为困难。如XRF、ICP-OES由于检出限较高,对于部分微痕量元素的分析就存在着很大的局限性。ICP-MS由于检出限低、线性范围广,非常适合地质样品分析,但是ICP-MS分析铜矿石目前大多仅用于微痕量元素的分析,分析铜矿石中主量元素则鲜见报导,主要原因在于矿石消解后总盐度(TDS)对ICP-MS雾化器、检测器有一定的影响。
发明内容
本发明是针对上述存在的问题提供一种电感耦合等离子体质谱法同时测定铜矿石中18种元素的方法。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现:
一种同时测定铜矿石中18种元素的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:
(1)待测样品的预处理
准确称取0.1000g样品并加水润湿;之后第一次加入3.0mL的王水并于200℃电热板上加热至湿盐状,冷却后依次加入HNO3、HF和HClO4,150~230℃蒸至白烟冒尽,冷却后第二次加入王水20~30mL,于160℃加热至样品全部溶解,冷却后用纯水转移至100mL容量瓶中定容,摇匀后待测;
(2)标准系列溶液的配制
Cu、Ni、Co、Zn、Cd、As、Pb、Mo、Ti、Ag、Mn、Sb、Bi、Na、Mg、K、Ca、Al单元素标准储备液:1000μg/mL;
使用液1:由Ni、Co、Cd、Mo、Ag单元素标准储备液混合后稀释而来,介质是体积分数为5%HNO3和痕量HF,各元素浓度均为1 000ng/mL;
使用液2:由Zn、Sb、Mn、Bi、Ti单元素标准储备液混合稀释而来,介质为5%HNO3,各元素浓度均为20μg/mL;
使用液3:由Cu、Mg、As、K、Na、Ca、Pb、Al混合储备液稀释而来,介质为5%HNO3,各元素浓度为200μg/mL;
分别取一定体积的使用液1、2、3逐级稀释,其中使用液1稀释至浓度分别为0、100、500、800、1000ng/mL,使用液2稀释至浓度分别为0、2、10、15、20μg/mL,使用液3稀释至浓度分别为0、20、100、150、200μg/mL;
(3)标准曲线的绘制
测定所用的仪器是美国Thermo公司的ICAP Q电感耦合等离子体质谱仪;
测试条件如下:
且:垂直位置-0.120~-0.013mm、水平位置-1.15~-1.11mm、雾化气流量0.985~1.015L/min、CCT聚焦透镜电压-17.0~-10.0V、提取透镜电压-120~-100V。
采取三通阀在线添加的方式加入内标混合溶液,在选定的仪器工作条件下进行测定并绘制校准曲线;
(4)测定待测样品
将步骤(1)待测样品按照步骤(3)的条件进行测定,即可得到目标产品中18种元素的含量。
本发明技术方案中:步骤(1)中HNO3、HF和HClO4的体积依次为2mL、3mL和2mL,第二次王水的加入量为25mL。
本发明技术方案中:步骤(1)中蒸至白烟冒尽的温度为200℃。
本发明技术方案中:步骤(2)中加入10ng/mL45Sc、103Rh、187Re混合内标溶液,选择45Sc选为内标校正Ti、Na、Mg、K、Ca、Al,选择103Rh为内标校正Cu、Ni、Co、Zn、Cd、As、Pb、Mo、Ag、Mn、Sb,187Re为内标校正Bi。
本发明技术方案中:步骤(3)的测试条件中:铜矿石中各待测元素的最佳分析同位素为别为63Cu、60Ni、59Co、66Zn、114Cd、75As、208Pb、95Mo、48Ti、55Mn、121Sb、209Bi、23Na、26Mg、39K、44Ca、27Al、107Ag。
本发明技术方案中:步骤(3)的测试条件中:对低含量且质谱干扰小的元素Co、Mo,采用正常测定模式,而Cu、Ni、Zn、Cd、As、Pb、Ag、Ti、Mn、Sb、Bi、Na、Mg、K、Ca、Al等元素为降低干扰,采用引入He进行碰撞的方式进行测定。
在一些优选的技术方案中:步骤(3)的测试条件中:垂直位置-0.067mm、水平位置-1.130mm、雾化气流量1.010L/min、CCT聚焦透镜电压-12.6V、提取透镜电压-108V。
本发明的有益效果:
铜矿石中常量元素的测定一般通过化学方法进行前处理,利用滴定法测定,该方法虽然准确但流程长,处理较繁琐。而铜矿石中微痕量元素的测定一般通过化学方法进行前处理,利用光学仪器测定,由于不同微痕量元素的含量及性质差异,该方法仅能同时测定少量几种元素。本发明通过仪器参数的优化、消解酸与复溶酸的选择和配比、前处理流程的再造等方面,能够实现铜矿石中常量元素与微痕量元素共18种元素的同时测定,方法准确,重现性高,节约了检测时间和成本,具有良好的推广应用前景。
附图说明
图1矩管的垂直位置与信号值的关系。
图2矩管的水平位置与信号值的关系。
图3雾化气流量与信号值的关系。
图4CCT聚焦透镜电压与信号值的关系。
图5提取透镜电压与信号值的关系。
图6内标元素对测定结果的影响。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步说明,但本发明的保护范围不限于此:
1 实验部分
1.1 主要仪器
ICAP Q电感耦合等离子体质谱仪(美国Thermo公司)。
表1ICP-MS工作参数Table 1Working parameters of ICP-MS
1.2主要试剂
Cu、Ni、Co、Zn、Cd、As、Pb、Mo、Ti、Ag、Mn、Sb、Bi、Na、Mg、K、Ca、Al单元素标准储备液(国家有色金属及电子材料研究所):1000μg/mL;
使用液1:由Ni、Co、Cd、Mo、Ag单元素标准储备液混合后稀释而来,介质为5%HNO3和痕量HF(体积分数,下同),各元素浓度均为1 000ng/mL;
使用液2:由Zn、Sb、Mn、Bi、Ti单元素标准储备液混合稀释而来,介质为5%HNO3,各元素浓度均为20μg/mL;
使用液3:由Cu、Mg、As、K、Na、Ca、Pb、Al混合储备液稀释而来,介质为5%HNO3,各元素浓度为200μg/mL。
45Sc、103Rh、187Re单元素内标储备液(赛默飞公司):1 000μg/mL;内标混合溶液:45Sc、103Rh、187Re的质量浓度均为10ng/mL,由45Sc、103Rh、187Re单元素内标储备液混合后逐级稀释而成,介质为2%HNO3。
HCl、HNO3、HF、HClO4均为优级纯;高纯液Ar(质量分数w>99.999%);实验用水均为超纯水(电阻率不小于18MΩ·cm)。
1.3实验方法
1.3.1样品的测定
准确称取0.1000g样品于50mL聚四氟乙烯烧杯中,加少量水润湿,先加入3.0mL的王水并于200℃电热板上加热至湿盐状,冷却后依次加入2.0mL HNO3、3.0mL HF、2.0mLHClO4,200℃蒸至白烟冒尽,冷却后加入新配制的王水25mL,于160℃加热至样品全部溶解,冷却后用纯水转移至100mL容量瓶中定容,摇匀后待测。
1.3.2标准系列溶液的配制
分别取一定体积的使用液1、2、3逐级稀释,其中使用液1稀释至浓度分别为0、100、500、800、1000ng/mL,使用液2稀释至浓度分别为0、2、10、15、20μg/mL,使用液3稀释至浓度分别为0、20、100、150、200μg/mL;
2 结果讨论
2.1 最佳仪器条件的优化
铜矿石中多元素测定,含量较高的元素问题不大,但是微痕量元素如Ag、Ni、Co、Cd、Mo的准确测定,与仪器灵敏度和干扰程度密切相关。因此在测定前,需提高仪器灵敏度以及降低干扰,而这离不开仪器参数的设置。这些参数中,矩管的垂直和水平位置、CCT聚焦透镜电压、提取透镜电压均影响仪器灵敏度,而雾化气流量不但影响仪器灵敏度,还影响干扰程度(以1.9%CeO表征)。分别用59Co、115In、238U三种元素代表低中高三种质量数的元素,让仪器吸入10ng/mL的Co、In、U混合溶液,分别改变以上仪器参数,观察仪器灵敏度和干扰的变化,综合取舍,将最大信号值或干扰最低处对应的参数设为仪器最佳参数。仪器信号值或干扰程度随仪器参数的变化如图1至图5所示。最终选取的仪器最佳参数范围为:垂直位置-0.120~-0.013mm(最优值为-0.067mm)、水平位置-1.15~-1.11mm(最优值为-1.130mm)、雾化气流量0.985~1.015L/min(最优值为1.010L/min)、CCT聚焦透镜电压-17.0~-10.0V(最优值为-12.6V)、提取透镜电压-120~-100V(最优值为-108V)。
2.2最佳前处理条件的优化
2.2.1最佳消解酸的配比
矿石样品的消解,常用的酸包括HNO3、HF、和HClO4,而H2SO4和H3PO4由于沸点高而不易赶尽,影响仪器进样系统,故使用较少。我们研究了HNO3、HF和HClO4不同组合对铜精矿的消解效果,结果见表1。结果表明,单独加入硝酸和氢氟酸,消解效果均不尽人意,主要原因:硝酸单独使用时,无法破坏矿石样品中的二氧化硅晶格,导致消解不彻底;而氢氟酸单独使用时,铜矿石中大量的硫化铜、硫化铁晶体则无法被氧化破坏,仍然导致消解不彻底。二者搭配使用时,则能分解铜矿石中绝大部分物质。值得注意的是,选择HClO4是因为它的强氧化性可以辅助消解硫化铜、硫化铁晶体,且其还具有高沸点的特性,有利于把过量的HF除尽,进而不会损坏质谱仪石英材质的进样系统。在实际分析铜矿石样品时发现,大部分铜矿石用HNO33 mL,HF 3mL,HClO4 1mL这个搭配均能有效消解,但少部分难溶铜矿石消解后仍有少量残渣,而提高HClO4的加入量则能有效解决,因此将HClO4的加入量由1mL提高至2mL。值得注意的是,HNO3和HF的量,并不是越多越好,过量的酸会导致浪费,而HNO3和HF低于3mL,则会导致消解效果不理想。
表1不同的酸用量对消解效果的影响Table 1Effect of different acid dosageon digestion effect
2.2.2最佳复溶酸的用量
地质样品在消解过程中复溶酸的加入量往往较少,10mL以内王水即可使残渣溶解完全。但是经多次实验发现,当加入10mL王水复溶时,Ag的测定值偏小,见表2。这可能是因为复溶酸的加入量不足,导致制备的溶液里少量Fe3+、Al3+等在pH值较高的情况下易沉淀并吸附Ag+,造成Ag结果偏低,而Fe3+、Al3+等由于含量很高故结果偏差忽略不计。当加入25mL王水复溶时,Ag+的测得值和认定值接近,这是由于加大酸度使溶液pH降低,能够有效减少Fe3 +、Al3+对Ag+的吸附,从而解决Ag测定偏低。此外,高酸度也能抑制As的水解,使As的测定结果更加准确。
表2复溶酸加入量对Ag测得值的影响Table 2Effect of amount of redissolvedacid on Ag w/10-6
2.2.3最佳消解温度
固定其他实验条件不变,分别试验了150℃、180℃、200℃、230℃4个不同消解温度对测定的影响,结果见表3。从结果可以看出,温度低于200℃,均不影响各元素的测定,但是却影响消解效率;而消解温度大于230℃时,As则会因高温而损失,影响待测元素测定。因此,选择的消解温度为200℃。
表3消解温度对测定结果的影响Table 3Effect of digestion temperature ondetermination results
2.3最佳测定条件
2.3.1最佳内标元素
在ICP-MS分析方法中,内标元素发挥着重要的作用,它能有效监测和校正分析信号的短期漂移和长期漂移,并且可以校正一般的基体效应。在实际测定时,内标元素通常选择在试样中几乎不存在且质量数与待测元素相近的元素,地质样品的内标元素通常选用45Sc、89Y、103Rh、185Re、209Bi等元素。按照实验方法将GBW07234制备为试液,根据质量数以及铜矿石中元素含量,在线加入10ng/mL45Sc、103Rh、187Re混合内标溶液,选择45Sc选为内标校正Ti、Na、Mg、K、Ca、Al,选择103Rh为内标校正Cu、Ni、Co、Zn、Cd、As、Pb、Mo、Ag、Mn、Sb,187Re为内标校正Bi,对各元素测定结果与认定值的相对误差进行了考察,并与校正前进行了对比,结果见图6。由图6可见,采用内标校正后,各元素测定结果的相对误差介于2.5%~6.5%之间,优于未加内标元素的测定结果,因此实验选取上述方法对测定结果进行校正。
2.3.2最佳测定同位素
除Na、Mn、Co、Al、As、Bi外,铜精矿中其余待测元素均有多个同位素。选择合适的测定同位素能有效降低干扰,使测定结果更为准确,原则上分析同位素要选择丰度大、干扰少的同位素。按照实验方法将GBW07234制备为试液,有多个同位素的待测元素分别选择两种分析同位素,测得各待测元素结果如表4。根据结果,Mg、K、Ti、Zn、Ag等元素,两种分析同位素均能得到准确结果,由于Mg、K两种元素信号响应很大,加之铜精矿中两种元素含量较高,为保护检测器,可选择丰度较低的分析同位素,而Ti、Zn、Ag三种元素可选择丰度较高的分析同位素,以降低检出限;而其余元素则选择测定结果准确的分析同位素进行测定。综上,最终选定的铜精矿中各待测元素的最佳分析同位素为别为63Cu、60Ni、59Co、66Zn、114Cd、75As、208Pb、95Mo、48Ti、55Mn、121Sb、209Bi、23Na、26Mg、39K、44Ca、27Al、107Ag。
表4不同分析同位素对测定结果的影响Table 4Influence of differentanalytical isotopes on the determination results
注:带*元素测定结果单位为10-6。
2.4消除干扰的方式
2.4.1校正公式
由于铜精矿基体复杂,部分待测元素易受到其他元素,尤其是高含量元素的干扰,影响结果准确度。虽然多数元素可以通过选取合适的分析同位素避免干扰,但是个别元素,如Cd和Ti,还是需要以校正公式的方式消除干扰。以114Cd为例,114Cd易受118Sn的干扰,需扣除118Sn的干扰才能得到准确结果。实验通过准确测定118Sn,采用数学校正公式(式1)来校正118Sn对114Cd产生的质谱干扰。
ρCd=114Cd-K*118Sn (1)
式中:K为干扰元素的干扰校正因子;ρCd为经校正后Cd的实际质量浓度;114Cd代表114Cd的表观质量浓度;118Sn代表118Sn的实际质量浓度。通过在含不同质量浓度Cd的标准溶液中加入不同量干扰元素Sn的方式反复试验,最终确定K值为0.026 837 3,所以,ρCd=114Cd-0.0268373*118Sn。同理,能确定ρTi=48Ti-0.0896453*44Ca。
2.4.2碰撞气
质谱分析时会产生大量的多原子离子、氧化物、双电荷干扰,形成非常复杂的质谱干扰,如60Ni会受到27AlO2+H+、28SiO2 +、30Si2 +等多原子离子的干扰;114Cd会受到14O+130Te、40Ar+154Sm等多原子离子的干扰,采用普通模式分析会导致结果偏差过大。此外,使用普通模式测定时,部分痕量元素如Ag、Cd等易受到Zr、Nb等元素产生的大量氧化物干扰,影响测定结果。而仪器引入He进行碰撞,则能有效消除此类干扰。值得注意的是,使用此技术会导致仪器灵敏度下降。综合考虑,对低含量且质谱干扰小的元素Co、Mo,采用正常测定模式,而Cu、Ni、Zn、Cd、As、Pb、Ag、Ti、Mn、Sb、Bi、Na、Mg、K、Ca、Al等元素为降低干扰,采用引入He进行碰撞的方式进行测定。
2.5最佳稀释倍数和放置时间
2.5.1稀释倍数的选择
地质样品消解后含盐量较大,会产生基体效应,且可能会存在少量残渣堵塞雾化器,故较高的稀释倍数对测定较为有利,但稀释倍数太高又会导致部分元素灵敏度不足,且可能存在背景干扰。本文考察了两种稀释倍数对样品测定结果的影响,按照选定的实验方法将铜矿石标准物质GBW07234消解后,一组稀释至100mL(稀释倍数为1000倍),另一组稀释至250mL(稀释倍数为2500倍),每组平行测定3次并取平均值,结果见表5。结果表明,稀释至100mL后结果更加稳定,各元素相对误差均小于5%;而稀释至250mL多数元素也能得到准确结果,但GBW07234中Ni、Co、Cd、Mo等相对误差较大,可能是稀释倍数过大导致痕量元素灵敏度下降,因此偏差增大;此外稀释倍数过大可能会导致酸度不足,进而导致Ag、As偏低。因此选择稀释至100mL。
表5稀释倍数对测定结果的影响Table 5Influence of dilution ratio ondetermination results
2.5.2放置时间
将将铜矿石国家标准物质GBW07234消解并稀释后后的样品,分别放置0、10、24、48h后进行测定,验证放置时间对测定的影响,结果见表6。由结果可见,放置时间在48h以内,大多数元素仍然能得到准确结果,但是As、Ag、Ti三种元素随着放置时间的延长,测定结果出现了一定的偏差,这可能是由于这些元素会发生缓慢水解导致的。因此,为保证18种元素同时分析能得到准确结果,消解、稀释后需及时测定。
表6放置时间对测定结果的影响Table 6Effect of storage time ondetermination results
2.6方法的线性方程、检出限
按照实验方法,测定标准系列溶液,以每个元素的质量浓度为横坐标,其对应的信号强度为纵坐标绘制校准曲线,并对全流程空白溶液连续进行12次测定,以测定结果的3倍标准偏差计算方法检出限。校准曲线线性方程、线性范围、相关系数、方法检出限见表7。
表7校准曲线和检出限Table 4Calibration curve and detection limit
注:带*元素线性范围及检出限单位为ng/mL。
2.7精密度试验
将铜矿石国家标准物质GBW07234平行称取6份,按实验方法进行测定,计算其相对标准偏差(RSD),结果表8。从表8可知,各待测元素相对标准偏差(RSD,n=6)均在7.8%以内。
表8精密度试验结果Table 8Results of precision test
注:带*元素测定结果单位为10-6。
2.8准确度试验
按实验方法测定了铜矿石标准物质,每个样品平行制备3份,结果取平均值,并与认定值进行比较,结果见表9。从表9能看出,待测元素测定值均与认定值基本一致。
表9铜矿石国家标准物质测定结果Table 9Determination results of nationalreference materials for copper ores w/%
注:带*数据单位为10-6。
Claims (7)
1.一种同时测定铜矿石中18种元素的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:
(1)待测样品的预处理
准确称取0.1000g样品并加水润湿;之后第一次加入3.0mL的王水并于200℃电热板上加热至湿盐状,冷却后依次加入HNO3、HF和HClO4,150~230℃蒸至白烟冒尽,冷却后第二次加入王水20~30mL,于160℃加热至样品全部溶解,冷却后用纯水转移至100mL容量瓶中定容,摇匀后待测;
(2)标准系列溶液的配制
Cu、Ni、Co、Zn、Cd、As、Pb、Mo、Ti、Ag、Mn、Sb、Bi、Na、Mg、K、Ca、Al单元素标准储备液:1000μg/mL;
使用液1:由Ni、Co、Cd、Mo、Ag单元素标准储备液混合后稀释而来,介质是体积分数为5%HNO3和痕量HF,各元素浓度均为1 000ng/mL;
使用液2:由Zn、Sb、Mn、Bi、Ti单元素标准储备液混合稀释而来,介质为5%HNO3,各元素浓度均为20μg/mL;
使用液3:由Cu、Mg、As、K、Na、Ca、Pb、Al混合储备液稀释而来,介质为5%HNO3,各元素浓度为200μg/mL;
分别取一定体积的使用液1、2、3逐级稀释,其中使用液1稀释至浓度分别为0、100、500、800、1000ng/mL,使用液2稀释至浓度分别为0、2、10、15、20μg/mL,使用液3稀释至浓度分别为0、20、100、150、200μg/mL;
(3)标准曲线的绘制
测定所用的仪器是美国Thermo公司的ICAP Q电感耦合等离子体质谱仪;
测试条件如下:
且:垂直位置-0.120~-0.013mm、水平位置-1.15~-1.11mm、雾化气流量0.985~1.015L/min、CCT聚焦透镜电压-17.0~-10.0V、提取透镜电压-120~-100V。
采取三通阀在线添加的方式加入内标混合溶液,在选定的仪器工作条件下进行测定并绘制校准曲线;
(4)测定待测样品
将步骤(1)待测样品按照步骤(3)的条件进行测定,即可得到目标产品中18种元素的含量。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤(1)中HNO3、HF和HClO4的体积依次为2mL、3mL和2mL,第二次王水的加入量为25mL。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤(1)中蒸至白烟冒尽的温度为200℃。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤(2)中加入10ng/mL45Sc、103Rh、187Re混合内标溶液,选择45Sc选为内标校正Ti、Na、Mg、K、Ca、Al,选择103Rh为内标校正Cu、Ni、Co、Zn、Cd、As、Pb、Mo、Ag、Mn、Sb,187Re为内标校正Bi。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤(3)的测试条件中:铜矿石中各待测元素的最佳分析同位素为别为63Cu、60Ni、59Co、66Zn、114Cd、75As、208Pb、95Mo、48Ti、55Mn、121Sb、209Bi、23Na、26Mg、39K、44Ca、27Al、107Ag。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤(3)的测试条件中:对低含量且质谱干扰小的元素Co、Mo,采用正常测定模式,而Cu、Ni、Zn、Cd、As、Pb、Ag、Ti、Mn、Sb、Bi、Na、Mg、K、Ca、Al等元素为降低干扰,采用引入He进行碰撞的方式进行测定。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:步骤(3)的测试条件中:垂直位置-0.067mm、水平位置-1.130mm、雾化气流量1.010L/min、CCT聚焦透镜电压-12.6V、提取透镜电压-108V。
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