CN113305596B - 超精密加工对心机构 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种超精密加工对心机构，包括机床本体、真空吸盘、对心卡盘、翻转机构，真空吸盘连接于机床本体上的旋转主轴，翻转机构转动连接于机床本体，对心卡盘连接于翻转机构，翻转机构翻转，驱动对心卡盘转动，以使对心卡盘的中心轴线与真空吸盘的中心轴线重合。与现有技术相比，本申请超精密加工对心机构，通过翻转机构翻转，使对心卡盘与真空吸盘的中心对齐，实现对心卡盘与真空吸盘之间的自动精准对心，简化对心步骤，提高对心精度以及生产效率。

Description

超精密加工对心机构

技术领域

本申请属于机床本体技术领域，更具体地说，是涉及一种超精密加工对心机构。

背景技术

随着微电子技术、信息技术、航空航天技术等高新技术的飞速发展，迫使超精密加工技术需要不断进步，以满足上述行业对零件的加工质量越来越高的需求。超精密切削是超精密加工中的一个重要领域，主要是通过使用精密的单晶金刚石刀具，直接在工件表面加工出超光滑的镜面，保证工件的加工精度和表面质量，减少后续工件表面的抛光等精加工工序，极大的提高加工效率。

超精密加工中，工件通过中间夹具吸附在真空吸盘上，由于夹具与主轴分体设置，在夹具将工件放置在真空吸盘过程中，需要手动调整夹具，使夹具的中心轴线与真空吸盘轴线对齐。

采用上述方案，手动调整夹具对心的过程比较繁琐，且自动化程度低，加工效率低下。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种超精密加工对心机构，以解决现有技术中存在的夹具对心的过程比较繁琐、且自动化程度低的技术问题。

为实现上述目的，本申请提供一种超精密加工对心机构，包括：

机床本体，包括旋转主轴；

真空吸盘，连接于所述旋转主轴，且所述真空吸盘随所述旋转主轴转动，并通过真空吸附固定待加工工件；

对心卡盘，用于夹持待加工工件；

翻转机构，转动连接于所述机床本体，所述对心卡盘连接于所述翻转机构，所述翻转机构转动驱动所述对心卡盘转动，以使所述对心卡盘的中心轴线与所述真空吸盘的中心轴线重合。

一实施例中，所述翻转机构包括第一翻转机构和第二翻转机构；

所述第一翻转机构转动连接于所述机床本体，所述第二翻转机构转动连接于所述第一翻转机构，所述第一翻转机构的转动轴线与所述第二翻转机构的转动轴线平行；

所述对心卡盘连接于所述第二翻转机构。

一实施例中，所述第一翻转机构包括：

第一旋转驱动件，连接于所述机床本体；

转轴，连接于所述第一旋转驱动件的转动部；

连杆组件，一端连接于所述转轴，所述第二翻转机构转动连接于所述连杆组件的另一端。

一实施例中，所述第一翻转机构还包括万向节连轴器，所述万向节连轴器一端连接于所述第一旋转驱动件的转动部，另一端连接于所述转轴。

一实施例中，所述第二翻转机构包括：

保持架，连接于所述连杆组件；

第二旋转驱动件，所述第二旋转驱动件的固定部连接于所述保持架；

夹持架，所述夹持架连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持架。

一实施例中，所述夹持架包括连接段以及与所述连接段连接的夹持段

所述连接段远离所述夹持段的一端转动连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持段。

一实施例中，所述超精密加工对心机构还包括第一定位机构、第二定位机构、第三定位机构；

所述第一定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体Y轴方向的相对位置；

所述第二定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体X轴方向的相对位置；

所述第三定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体Z轴方向的相对位置。

一实施例中，所述第一定位机构、第二定位机构均包括第一定位件和第二定位件；

所述第一定位件和所述第二定位件两者中的一者连接于所述真空吸盘，所述第一定位件和所述第二定位件两者中的另一者连接于所述对心卡盘；

所述第一定位件和所述第二定位件可拆卸地插接配合。

一实施例中，所述第一定位件连接于对心卡盘，所述第二定位件连接于所述真空吸盘；

所述第一定位件为凸起结构，所述凸起结构采用磁性金属制成且形状为球形；

所述第二定位件为凹槽结构；所述凹槽结构内包括电磁棒，所述电磁棒的数目为两根，两根所述电磁棒间隔且平行；

所述第一定位机构中的电磁棒的轴向方向和所述第二定位机构中的电磁棒的轴向方向垂直；

所述凸起结构可拆卸地插接于两根电磁棒之间。

一实施例中，所述第三定位机构包括两个相互能够吸合的磁吸件，两个所述磁吸件分别设置于所述对心卡盘和所述真空吸盘相对的两个侧面。

本申请提供的超精密加工对心机构的有益效果在于：与现有技术相比，本申请所提供的超精密加工对心机构在机床本体上设置有翻转机构，通过翻转机构翻转，使翻转机构沿预设路径将对心卡盘翻转至真空吸盘，并使对心卡盘的中心轴线与真空吸盘的中心轴线重合，实现对心卡盘与真空吸盘之间的自动精准对心，简化对心步骤以及降低对心卡盘的行程，提高对心精度以及生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的超精密加工对心机构的示意图；

图2为本申请实施例提供的超精密加工对心机构的爆炸示意图；

图3为本申请实施例提供的翻转机构位于第一位置的示意图；

图4为本申请实施例提供的翻转机构位于第二位置的示意图；

图5为本申请实施例提供的翻转机构位于第三位置的示意图；

图6为本申请实施例提供的翻转机构的示意图；

图7为本申请实施例提供的万向节连轴器的示意图；

图8为本申请实施例提供的定位机构的示意图；

图9为本申请实施例提供的凸起结构的示意图；

图10为本申请实施例提供的真空吸盘的示意图；

图11为本申请实施例提供的凹槽结构的示意图。

其中，图中各附图标记：

1、主轴箱；2、真空吸盘；3、对心卡盘；4、翻转机构；5、第一翻转机构；6、第二翻转机构；7、第一旋转驱动件；8、转轴；9、连杆；10、万向节连轴器；11、保持架；12、第二旋转驱动件；13、夹持架；14、第一定位机构；15、第二定位机构；16、第三定位机构；17、凹槽结构；18、凸起结构；19、电磁棒；20、磁铁；

101、主轴电机；102、固定盘；103、底座；

301、卡爪；302、伺服电机；

131、夹持板；

1311、连接段；1312、夹持段。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1至图11，现对本申请实施例提供的超精密加工对心机构进行说明。

本申请提供的超精密加工对心机构，请参阅图1至图2，包括机床本体、真空吸盘2、对心卡盘3以及翻转机构4。机床本体上设置有旋转主轴，真空吸盘2连接于旋转主轴，且真空吸盘2随旋转主轴转动，并通过真空吸附固定待加工工件。对心卡盘3用于夹持待加工工件。翻转机构4转动连接于机床本体，对心卡盘3连接于翻转机构4，翻转机构4转动驱动对心卡盘3转动，以使对心卡盘3的中心轴线与真空吸盘2的中心轴线重合。

与现有技术相比，本申请所提供的超精密加工对心机构，在机床本体上设置翻转机构4，通过翻转机构4翻转，使翻转机构4沿预设路径将对心卡盘3翻转至真空吸盘2，并使对心卡盘3的中心轴线与真空吸盘2的中心轴线重合，实现对心卡盘3与真空吸盘2之间的自动精准对心，简化对心步骤以及降低对心卡盘3的行程，提高对心精度以及生产效率。

具体的，机床本体上包括主轴箱1和刀架，刀架上安装有采用金刚石制成的加工刀具。主轴箱1包括主轴电机101、旋转主轴和固定盘102，固定盘102固定在旋转主轴，旋转主轴由主轴电机101驱动旋转，真空吸盘2连接有真空发生装置，通过开启真空发生装置的开关，使真空发生装置工作，进而使真空吸盘2真空吸附并固定待加工工件。

沿固定盘102的周向等间隔设置有若干内螺纹孔，真空吸盘2上设有与内螺纹孔数目相对应的安装孔，真空吸盘2采用螺栓固定在固定盘102上，螺栓穿过安装孔后与内螺纹孔螺纹连接，使真空吸盘2固定在固定盘102上。主轴电机101转动并带动旋转主轴转动，旋转主轴驱动固定盘102带动真空吸盘2转动。

沿对心卡盘3的中心轴线的周向等间距分布有六个卡爪301。卡爪301由安装在对心卡盘3上的伺服电机302驱动，伺服电机302转动时，六个卡爪301同时靠近或背离对心卡盘3的中心，以实现对待加工工件装夹，其中，待加工工件为棒料。

棒料装夹在对心卡盘3，伺服电机302驱动使卡爪301夹紧棒料，使棒料的中心轴线与对心卡盘3得中心轴线重合，随后翻转机构4翻转，使对心卡盘3的中心中心轴线与真空吸盘2的中心轴线重合，从而使棒料的中心轴线与真空吸盘2的中心轴重合。按下真空发生装置的开关，使真空吸盘2将棒料真空吸附在真空吸盘2上，真空吸盘2真空吸附固定棒料后，伺服电机302驱动卡爪301松开棒料，翻转机构4翻转驱动对心卡盘3脱离棒料，随后刀架移动，使刀架上的刀具在工件的表面加工出光滑的镜面，实现对棒料表面的超精密加工。

在本申请的一个实施例中，请参阅图3，翻转机构4包括第一翻转机构5和第二翻转机构6。第一翻转机构5转动连接于主轴箱1的上表面，第二翻转机构6转动连于第一翻转机构5，第一翻转机构5的转动轴线与第二翻转机构6的转动轴线间隔且平行。对心卡盘3连接于第二翻转机构6。

在本实施例中，第二翻转机构6转动连于第一翻转机构5，使第一翻转机构5和第二翻转机构6之间可相对翻转和折叠，减少翻转机构4的占用空间。

具体的，当需要对棒料与真空吸盘2进行对心时，翻转机构4由第一位置转动至第二位置，翻转机构4的第一位置如图3所示，翻转机构4的第二位置如图4所示，且翻转机构4的第一位置为初始位置。当翻转机构4位于第一位置时，此时第一翻转机构5垂直于主轴箱1上表面，第二翻转机构6与第一翻转机构5垂直，且此时第二翻转机构6位于第一翻转机构5靠近底座103的一侧。

翻转机构4位于第二位置时，如图4所示，此时第一翻转机构5与主轴箱1的上表面平行，第一翻转机构5位于主轴箱1靠近于真空吸盘2一侧；此时，第二翻转机构6垂直于第一翻转机构5，并位于第一翻转机构5的上侧。此时，将棒料装夹至卡爪301之间，伺服电机302驱动卡爪301向对心卡盘3中心部位靠拢，以夹紧棒料，并使棒料的中心轴线与对心卡盘3的中心轴线重合。

随后，第一翻转机构5保持不变，第二翻转机构6继续转动，使翻转机构4转动至第三位置，如图5所示，此时第一翻转机构5与主轴箱1的上表面平行，第一翻转机构5位于主轴箱1靠近于真空吸盘2一侧；且此时第二翻转机构6垂直于第一翻转机构5，并位于第一翻转机构5的下侧，使第二翻转机构6上所连接的对心卡盘3抵接于真空吸盘2，此时，对心卡盘3中心轴线与真空吸盘2的中心轴线重合，从而使棒料的中心轴线与真空吸盘2的中心轴线重合，完成棒料与真空吸盘2的自动对心。

真空吸盘2通过真空吸附并固定棒料后，伺服电机302驱动卡爪301向背离对心卡盘3中心的位置移动，以松开棒料，第二翻转机构6驱动对心卡盘3与真空吸盘2分离，并使翻转机构4处于第二位置，便于下次对棒料进行装夹，在加工完成后，第一翻转机构5和第二翻转机构6均回到初始位置，即回到第一位置。

在本申请的一个实施例中，请参阅图1至图5，主轴箱1上设有底座103，底座103位于主轴箱1远离真空吸盘2一端的上表面，底座103用于支撑卡爪301。

该超精密加工对心机构在完成棒料的超精密加工后，翻转机构4旋转至初始位置。在第一翻转机构5转动的同时，第二翻转机构6转动至与第一翻转机构5垂直的位置，使连接在第二翻转机构6上的对心卡盘3与第一翻转机构5垂直，随后，第一翻转机构5绕其翻转的轴线继续旋转，使对心卡盘3上的卡爪301支撑于底座103上，从而使翻转机构4回到初始状态。

在本申请的一个实施例中，请参阅图6，第一翻转机构5包括第一旋转驱动件7、转轴8、连杆组件。第一旋转驱动件7固定于主轴箱1的上表面，转轴8连接于第一旋转驱动件7的转动部。连杆组件包括两根平行且间隔的连杆9，两个连杆9中，其中一根的轴向方向的一端连接于转轴8靠近第一旋转驱动件7的一端，另一根轴向方向的一端连接于转轴8远离第一旋转驱动件7的一端，第二翻转机构6转动连接于两根连杆9远离转轴8的一端。

在本实施例中，第一旋转驱动件7为旋转气缸，第一旋转驱动件7转动，驱动转轴8转动，连杆9轴向方向的一端连接转轴8的外表面，另一端与第二翻转机构6连接。转轴8转动，带动两根连杆9转动，连杆9带动第二翻转机构6转动，使第二翻转机构6带动对心卡盘3抵接于真空吸盘2，并使对心卡盘3的中心轴线与真空吸盘2的中心轴线重合，从而使装夹在对心卡盘3上的棒料的中心轴线与真空吸盘2的中心轴线的重合，完成棒料和真空吸盘2的自动对心。

在本申请的一个实施例中，请参阅图7，第一翻转机构5还包括万向节连轴器10，转轴8为筒状，万向节连轴器10一端连接于第一旋转驱动件7的转动部，另一端连接于转轴8内部，转轴8远离第一旋转驱动件7的一端采用轴承与支撑座转动连接，支撑座固定连接在主轴箱1上表面。

在本实施例中，万向节连轴器10用于第一旋转驱动件7动转轴8时进行缓冲，避免第一旋转驱动件7驱动转轴8转动的瞬间转轴8承受瞬时冲击，使第一翻转机构5运行平稳，从而降低第一翻转机构5的行程误差。

在本申请的一个实施例中，请继续参阅图6，第二翻转机构6包括保持架11、第二旋转驱动件12、夹持架13，保持架11长度方向的两端分别连接于两个连杆9远离转轴8的一端，第二旋转驱动件12的固定部连接于保持架11，夹持架13连接于第二旋转驱动件12的转动部。对心卡盘3连接于夹持架13。

在本实施例中，第二旋转驱动件12为旋转电机，第二旋转驱动件12转动时，第二旋转驱动件12的转动部驱动夹持架13带动对心卡盘3相对于第一翻转机构5转动，使对心卡盘3靠近真空吸盘2并与真空吸盘2抵接，同时使对心卡盘3的中心轴线与使真空吸盘2的中心轴线重合，从而使装夹在对心卡盘3上的棒料的中心轴线与真空吸盘2的中心轴线的重合，完成棒料和真空吸盘2的自动对心。

在本申请的一个实施例中，请再次参阅图6，夹持架13包括两个相对设置的夹持板131，第二旋转驱动件12的数目为两个，两个第二旋转驱动件12的转动部分别位于保持架11长度方向的两端。两个夹持架13分别连接于与其对应的第二旋转驱动件12的转动部。

具体的，夹持板131包括连接段1311以及与连接段1311连接的夹持段1312，连接段1311远离夹持段1312的一端转动连接于第二旋转驱动件12的转动部，夹持段1312的形状与对心卡盘3的外缘轮廓相适应，对心卡盘3连接于夹持段1312。

在本申请的一个实施例中，该超精密加工对心机构还包括定位机构，对心卡盘3通过定位机构可拆离的连接于真空吸盘2，对心卡盘3与真空吸盘2向抵接的过程中，定位机构用于限定对心卡盘3相对于真空吸盘2的相对位置，进一步提高对心卡盘3与真空吸盘2之间的对心精度。

在本实施例中，请参阅图8和图10，定位机构包括第一定位机构14、第二定位机构15、第三定位机构16。

第一定位机构14用于限定对心卡盘3与真空吸盘2沿机床本体的Y轴方向的相对位置。

第二定位机构15用于限定对心卡盘3与真空吸盘2沿机床本体的X轴方向的相对位置。

第三定位机构16用于限定对心卡盘3与真空吸盘2沿机床本体的Z轴方向的相对位置。

其中，机床本体的X轴方向为图1所示的X轴方向，机床本体的Y轴方向为图1所示的Y轴方向，机床本体的Z轴方向为图1所示的Z轴方向。

在本申请的一个实施例中，请参阅图8至图10，第一定位机构14、第二定位机构15均包括第一定位件和第二定位件。第一定位机构14、第二定位机构15中的第一定位件均连接于对心卡盘3，第一定位机构14、第二定位机构15中的第二定位件均连接于真空吸盘2。第一定位件为凸起结构18，第二定位件为凹槽结构17，凸起结构18与凹槽结构17可拆卸插接配合。第一定位件和第二定位件可拆卸地插接配合。

具体的，当翻转机构4处于第三位置时，对心卡盘3抵接于真空吸盘2，手动转动真空吸盘2，调整真空吸盘2的位置，使第一定位机构14中的第一定位件、第二定位件的位置相对应，以及第二定位机构15中的第一定位件、第二定位件的位置相对应，随后第一定位机构14中的第一定位件和第二定位件可拆卸的插接，第二定位机构15中的第一定位件和第二定位件可拆卸的插接。进一步提高对心卡盘3与真空吸盘2之间的对心精度。

在本申请的一个实施例中，第一定位件螺纹连接或过盈插接于对心卡盘3，第二定位结构螺纹连接或过盈插接在于真空吸盘2。

在本申请的一个实施例中，请参阅图8至图11，凸起结构18的形状为球形，并采用磁性金属制成。凹槽结构17内包括电磁棒19，电磁棒19的数目为两根，两根电磁棒19间隔且平行。第一定位机构14中的电磁棒19的轴向方向和第二定位机构15中的电磁棒19的轴向方向垂直。凸起结构18可分离的插接在两个电磁棒19之间。

在本实施例中，第一定位机构14中凹槽结构17内的两根电磁棒19的轴向方向与机床本体的X轴的方向平行，第二定位机构15中凹槽结构17内的两根电磁棒19的轴向方向与机床本体的Y轴的方向平行。电磁棒19接通电源通磁，第一定位机构14中的凸起结构18可拆卸插接在第一定位机构14中的凹槽内，并被第一定位机构14中的凹槽内的两根电磁棒19磁吸，以限制对心卡盘3相对于真空吸盘2沿机床本体的Y轴移动。第二定位机构15中的凸起结构18可拆卸插接在第二定位机构15中的凹槽内，并被第二定位机构15中的凹槽内的两根电磁棒19磁吸，以限制对心卡盘3相对于真空吸盘2沿机床本体的X轴移动。

第三定位机构16包括两个相互磁吸的磁吸件，两个磁吸件分别设置于对心卡盘3和真空吸盘2相对的两个侧面。通过两个磁吸件的磁吸作用，以限制对心卡盘3相对于真空吸盘2沿机床本体的Z轴移动。

在本申请的一个实施例中，请参阅图9至图10，两个磁吸件中其中一个为磁铁20，磁铁20为圆形，真空吸盘2上设有与安装槽，安装槽的形状与磁铁20的形状相同，磁铁20过盈连接在安装槽内。两个磁吸件中另外一个为球形的凸起结构18，凸起结构18螺纹连接或过盈插接于对心卡盘3，磁铁20上设有与凸起结构18适配的容纳槽，凸起结构18的端头部位被磁铁20磁吸后可拆卸插接在容纳槽内，以限制对心卡盘3相对于真空吸盘2沿机床本体的Z轴移动。

在本申请的另一个实施例中，两个磁吸件均为圆形的磁铁20，真空吸盘2和对心卡盘3相对的两个侧面上均设有形状与磁铁20形状相同的安装槽，两个磁铁20分别安装在两个安装槽内，且两个磁铁20相对的两个侧面极性相反。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种超精密加工对心机构，其特征在于，包括：

机床本体，包括旋转主轴；

真空吸盘，连接于所述旋转主轴，且所述真空吸盘随所述旋转主轴转动，并通过真空吸附固定待加工工件；

对心卡盘，用于夹持待加工工件；

翻转机构，转动连接于所述机床本体，所述对心卡盘连接于所述翻转机构，所述翻转机构转动驱动所述对心卡盘转动，以使所述对心卡盘的中心轴线与所述真空吸盘的中心轴线重合；

所述翻转机构包括第一翻转机构和第二翻转机构；所述第一翻转机构转动连接于所述机床本体，所述第二翻转机构转动连接于所述第一翻转机构，所述第一翻转机构的转动轴线与所述第二翻转机构的转动轴线平行；所述对心卡盘连接于所述第二翻转机构；

所述第一翻转机构包括第一旋转驱动件、转轴和连杆组件，所述第一旋转驱动件连接于所述机床本体；所述转轴连接于所述第一旋转驱动件的转动部；所述连杆组件一端连接于所述转轴，所述第二翻转机构转动连接于所述连杆组件的另一端；

所述第二翻转机构包括保持架、第二旋转驱动件和夹持架，所述保持架连接于所述连杆组件；所述第二旋转驱动件的固定部连接于所述保持架；所述夹持架连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持架。

2.如权利要求1所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第一翻转机构还包括万向节连轴器，所述万向节连轴器一端连接于所述第一旋转驱动件的转动部，另一端连接于所述转轴。

3.如权利要求2所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述夹持架包括连接段以及与所述连接段连接的夹持段；

所述连接段远离所述夹持段的一端转动连接于所述第二旋转驱动件的转动部，所述对心卡盘连接于所述夹持段。

4.如权利要求1～3任意一项所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述超精密加工对心机构还包括第一定位机构、第二定位机构、第三定位机构；

所述第一定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体Y轴方向的相对位置；

所述第二定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体X轴方向的相对位置；

所述第三定位机构用于限定所述对心卡盘与所述真空吸盘沿所述机床本体Z轴方向的相对位置。

5.如权利要求4所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第一定位机构、第二定位机构均包括第一定位件和第二定位件；

所述第一定位件和所述第二定位件两者中的一者连接于所述真空吸盘，所述第一定位件和所述第二定位件两者中的另一者连接于所述对心卡盘；

所述第一定位件和所述第二定位件可拆卸地插接配合。

6.如权利要求5所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第一定位件连接于对心卡盘，所述第二定位件连接于所述真空吸盘；

所述第一定位件为凸起结构，所述凸起结构采用磁性金属制成且形状为球形；

所述第二定位件为凹槽结构；所述凹槽结构内包括电磁棒，所述电磁棒的数目为两根，两根所述电磁棒间隔且平行；

所述第一定位机构中的电磁棒的轴向方向和所述第二定位机构中的电磁棒的轴向方向垂直；

所述凸起结构可拆卸地插接于两根电磁棒之间。

7.如权利要求6所述的超精密加工对心机构，其特征在于，所述第三定位机构包括两个相互能够吸合的磁吸件，两个所述磁吸件分别设置于所述对心卡盘和所述真空吸盘相对的两个侧面。

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