CN113289409A - 一种抛光液回收的过滤系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种抛光液回收的过滤系统，包括液体收集筒、输送管、废液收集筒、搅拌杆和搅拌叶，液体收集筒的外部设有废液收集筒，废液收集筒一侧的液体收集筒外壁上安装有输送管，废液收集筒的顶端安装有进液口，且进液口的底端延伸至废液收集筒的内部，废液收集筒远离液体收集筒的一侧设有压缩机，压缩机远离废液收集筒的一侧设有水液分离器，水液分离器的底端安装有排水管，且排水管的顶端延伸至水液分离器的内部，排水管上方的水液分离器外部设有循环管路。本发明不仅实现了过滤系统对抛光液高效的回收利用，解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，降低了生产成本，而且提高了过滤系统的工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及过滤系统技术领域，具体为一种抛光液回收的过滤系统。
背景技术
化学机械抛光技术是迄今唯一可以提供全局平坦化的表面精加工技术，目前已广泛用于继承电路芯片和微型机械系统等表面的平坦化，随着加工工件的尺寸越来越大，且加工精度逐渐提高，化学机械抛光作为适合这一需求的技术，现已发展成为抛光过程中的必然选择，例如微电子工艺金属抛光都只使用一次，整体影响成本较大，抛光液一般包括水、磨料、各种化学试剂等，抛光液使用过程中，化学试剂与被抛材料发生反应，生成各种离子，另外在加工过程中由于环境温度冷热差的原因，抛光液产生结晶颗粒，以上离子及结晶颗粒对被抛材料产生二次损伤和污染，废弃的抛光液一般都中和处理，排到废液池，造成了污染和很大的浪费，因此需要一种抛光液回收的过滤系统，对使用后的抛光液进行回收，回收后搭配一种抛光液回收过滤系统，以经过滤系统后，得以控制抛光液粒径、浓度、粘度、pH等相关技术参数，达到抛光液的二次利用效果，来降低加工成本。
如授权公告号为CN109227398A所公开的一种抛光液过滤系统，其虽然实现了使抛光液过滤或更换时，大大减少了占用抛光机的工作时间，使抛光机停机时间减少，使用效率增加，但是并未解决现有抛光液回收的过滤系统不便于对抛光液高效的回收利用，严重的影响了过滤系统使用时的便利程度，大大的提高了过滤系统使用时的生产成本的问题，为此我们提出一种抛光液回收的过滤系统。
发明内容
本发明的目的在于提供一种抛光液回收的过滤系统，以解决上述背景技术中提出过滤系统不便于对抛光液高效的回收利用的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种抛光液回收的过滤系统，包括液体收集筒、输送管、废液收集筒、搅拌杆和搅拌叶，所述液体收集筒的外部设有废液收集筒，所述废液收集筒一侧的液体收集筒外壁上安装有输送管，所述废液收集筒的顶端安装有进液口，且进液口的底端延伸至废液收集筒的内部，所述废液收集筒远离液体收集筒的一侧设有压缩机，所述压缩机远离废液收集筒的一侧设有水液分离器，所述水液分离器的底端安装有排水管，且排水管的顶端延伸至水液分离器的内部，所述排水管上方的水液分离器外部设有循环管路，且循环管路的一端延伸至水液分离器的内部，并且循环管路的另一端延伸至输送管的内部。
优选的，所述液体收集筒的外部设有药液调配器，所述药液调配器下方的液体收集筒外部设有成品收集区。
优选的，所述废液收集筒的内部安装有搅拌杆，所述搅拌杆的外壁上安装有驱动架，所述驱动架的外壁上安装有搅拌叶，且搅拌叶的外壁与驱动架固定连接，实现了过滤系统对沉积的颗粒快速的清洗。
优选的，所述搅拌杆上方的废液收集筒顶端安装有步进电机，步进电机的型号为MR-J2S-20A，所述步进电机的输出端通过联轴器安装有第二转轴。
优选的，所述液体收集筒的内部设有传动杆，所述传动杆的外壁上安装有混合叶。
优选的，所述混合叶上方的液体收集筒顶端安装有伺服电机，伺服电机的型号为MR-J4S-20A，所述伺服电机的输出端通过联轴器安装有第一转轴，实现了过滤系统对浓缩后磨粒快速均匀的分布。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该过滤系统不仅实现了过滤系统对抛光液高效的回收利用，解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，降低了生产成本，而且提高了过滤系统的工作效率；
（1）通过将收集好的废液经过进液口抽取到废液收集筒中，并且将其进行静置一小时，使其废液里含有的大颗粒进行沉积，沉积颗粒每次循环后进行清洁，以避免循环浓缩过程中堵塞管路造成生产效率和品质浪费，将沉积好的废液开始过压缩机进行浓缩，主要目的为通过压缩机进行水液分离，将压缩机浓缩后的抛光液和水通过水液分离器进行分离，水经过排水管流出，水液分离后，将分离出的抛光液通过循环管路和输送管转换至液体收集筒进行搅拌融合，以达到浓缩后磨粒均匀分布，来进行药液调配，将浓缩好的抛光液进行调配，调配参数如下：pH值为常温状态下进行调配，调配剂为NaOH溶液进行调配，配比为NaOH：抛光液=1：33.33ml,调配后pH值稳定在10.0~11.0即可，粒径为原始抛光液粒径使用后衰减11.00%进行计算，经量测后，浓缩后粒径稳定在89±2nm，固含量通过浓缩时间来控制，2~4h后，抛光液固含量可稳定在46%，浓缩后的抛光液可进行二次使用，使用效果与现行相当，对其成本贡献较大，整体较现行可降低50.00%，浓缩后的抛光液解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，同时将抛光液的使用量降低50.00%，本方法具有回收率高，环保且节省资源，实现了过滤系统对抛光液高效的回收利用，解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，降低了生产成本；
（2）通过将废液经过进液口输送至废液收集筒的内部，废液收集筒静置一小时后，使其废液里含有的大颗粒进行沉积，沉积颗粒每次循环后进行清洁，当进行清洁时，打开步进电机,步进电机驱动第二转轴转动，第二转轴带动搅拌杆旋转，搅拌杆驱动驱动架转动，驱动架带动搅拌叶转动，搅拌叶对废液收集筒内部的清洗液进行搅拌冲刷，将沉积的颗粒清洗掉，实现了过滤系统对沉积的颗粒快速的清洗，加快了过滤系统清洗的速度；
（3）通过打开伺服电机,伺服电机驱动第一转轴转动，第一转轴带动传动杆旋转，传动杆驱动混合叶转动，混合叶对液体收集筒内部的液体进行搅拌混合，来达到浓缩后磨粒均匀分布，来进行药液调配，混合叶的搅拌来加快浓缩后磨粒均匀分布的速度，实现了过滤系统对浓缩后磨粒快速均匀的分布，提高了过滤系统的工作效率。
附图说明
图1为本发明的正视结构示意图；
图2为本发明的液体收集筒正视剖面结构示意图；
图3为本发明的液体收集筒侧视结构示意图；
图4为本发明的图2中A处放大结构示意图。
图中：1、液体收集筒；2、输送管；3、废液收集筒；4、进液口；5、压缩机；6、水液分离器；7、排水管；8、循环管路；9、药液调配器；10、成品收集区；11、伺服电机；12、第一转轴；13、传动杆；14、步进电机；15、第二转轴；16、驱动架；17、搅拌杆；18、搅拌叶；19、混合叶。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4，本发明提供的一种实施例：一种抛光液回收的过滤系统，包括液体收集筒1、输送管2、废液收集筒3、搅拌杆17和搅拌叶18，液体收集筒1的外部设有废液收集筒3，废液收集筒3一侧的液体收集筒1外壁上安装有输送管2，输送管2的一端延伸至液体收集筒1的内部，废液收集筒3的顶端安装有进液口4，且进液口4的底端延伸至废液收集筒3的内部，废液收集筒3远离液体收集筒1的一侧设有压缩机5，压缩机5远离废液收集筒3的一侧设有水液分离器6，水液分离器6的底端安装有排水管7，且排水管7的顶端延伸至水液分离器6的内部，排水管7上方的水液分离器6外部设有循环管路8，且循环管路8的一端延伸至水液分离器6的内部，并且循环管路8的另一端延伸至输送管2的内部，液体收集筒1的外部设有药液调配器9，药液调配器9下方的液体收集筒1外部设有成品收集区10；
使用时通过将收集好的废液经过进液口4抽取到废液收集筒3中，并且将其进行静置一小时，使其废液里含有的大颗粒进行沉积，沉积颗粒每次循环后进行清洁，以避免循环浓缩过程中堵塞管路造成生产效率和品质浪费，将沉积好的废液开始过压缩机5进行浓缩，主要目的为通过压缩机5进行水液分离，将压缩机5浓缩后的抛光液和水通过水液分离器6进行分离，水经过排水管7流出，水液分离后，将分离出的抛光液通过循环管路8和输送管2转换至液体收集筒1进行搅拌融合，以达到浓缩后磨粒均匀分布，来进行药液调配，将浓缩好的抛光液进行调配，调配参数如下：pH值为常温状态下进行调配，调配剂为NaOH溶液进行调配，配比为NaOH：抛光液= 1：33.33ml,调配后pH值稳定在10.0~11.0即可，粒径为原始抛光液粒径使用后衰减11.00%进行计算，经量测后，浓缩后粒径稳定在89±2nm，固含量通过浓缩时间来控制，2~4h后，抛光液固含量可稳定在46%，浓缩后的抛光液可进行二次使用，使用效果与现行相当，对其成本贡献较大，整体较现行可降低50.00%，浓缩后的抛光液解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，同时将抛光液的使用量降低50%，本方法具有回收率高，环保且节省资源，实现了过滤系统对抛光液高效的回收利用，解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，降低了生产成本；
废液收集筒3的内部安装有搅拌杆17，搅拌杆17的外壁上安装有驱动架16，搅拌杆17与驱动架16固定连接，驱动架16的外壁上安装有搅拌叶18，且搅拌叶18的外壁与驱动架16固定连接，搅拌杆17上方的废液收集筒3顶端安装有步进电机14，步进电机14的外壁与废液收集筒3固定连接，步进电机14的输出端通过联轴器安装有第二转轴15；
使用时通过将废液经过进液口4输送至废液收集筒3的内部，废液收集筒3静置一小时后，使其废液里含有的大颗粒进行沉积，沉积颗粒每次循环后进行清洁，当进行清洁时，打开步进电机14,步进电机14驱动第二转轴15转动，第二转轴15带动搅拌杆17旋转，搅拌杆17驱动驱动架16转动，驱动架16带动搅拌叶18转动，搅拌叶18对废液收集筒3内部的清洗液进行搅拌冲刷，将沉积的颗粒清洗掉，实现了过滤系统对沉积的颗粒快速的清洗，加快了过滤系统清洗的速度；
液体收集筒1的内部设有传动杆13，传动杆13的外壁上安装有混合叶19，传动杆13与混合叶19固定连接，混合叶19上方的液体收集筒1顶端安装有伺服电机11，伺服电机11的外壁与液体收集筒1固定连接，伺服电机11的输出端通过联轴器安装有第一转轴12；
使用时通过打开伺服电机11,伺服电机11驱动第一转轴12转动，第一转轴12带动传动杆13旋转，传动杆13驱动混合叶19转动，混合叶19对液体收集筒1内部的液体进行搅拌混合，来达到浓缩后磨粒均匀分布，来进行药液调配，混合叶19的搅拌来加快浓缩后磨粒均匀分布的速度，实现了过滤系统对浓缩后磨粒快速均匀的分布，提高了过滤系统的工作效率。
本申请实施例在使用时：外接电源，首先通过将收集好的废液经过进液口4抽取到废液收集筒3中，并且将其进行静置一小时，使其废液里含有的大颗粒进行沉积，沉积颗粒每次循环后进行清洁，以避免循环浓缩过程中堵塞管路造成生产效率和品质浪费，将沉积好的废液开始过压缩机5进行浓缩，主要目的为通过压缩机5进行水液分离，将压缩机5浓缩后的抛光液和水通过水液分离器6进行分离，水经过排水管7流出，水液分离后，将分离出的抛光液通过循环管路8和输送管2转换至液体收集筒1进行搅拌融合，以达到浓缩后磨粒均匀分布，来进行药液调配，将浓缩好的抛光液进行调配，调配参数如下：pH值为常温状态下进行调配，调配剂为NaOH溶液进行调配，配比为NaOH：抛光液=1：33.33ml,调配后pH值稳定在10.0~11.0即可；粒径为原始抛光液粒径使用后衰减11.00%进行计算，经量测后，浓缩后粒径稳定在89±2nm，固含量通过浓缩时间来控制， 2~4h后，抛光液固含量可稳定在46%，浓缩后的抛光液可进行二次使用，使用效果与现行相当，对其成本贡献较大，整体较现行可降低50.00%，浓缩后的抛光液解决了废弃抛光液污染和浪费的问题，同时将抛光液的使用量降低50%，本方法具有回收率高，环保且节省资源，之后通过将废液经过进液口4输送至废液收集筒3的内部，废液收集筒3静置一小时后，使其废液里含有的大颗粒进行沉积，沉积颗粒每次循环后进行清洁，当进行清洁时，打开步进电机14,步进电机14驱动第二转轴15转动，第二转轴15带动搅拌杆17旋转，搅拌杆17驱动驱动架16转动，驱动架16带动搅拌叶18转动，搅拌叶18对废液收集筒3内部的清洗液进行搅拌冲刷，将沉积的颗粒清洗掉，再通过打开伺服电机11,伺服电机11驱动第一转轴12转动，第一转轴12带动传动杆13旋转，传动杆13驱动混合叶19转动，混合叶19对液体收集筒1内部的液体进行搅拌混合，来达到浓缩后磨粒均匀分布，来进行药液调配，混合叶19的搅拌来加快浓缩后磨粒均匀分布的速度，来完成过滤系统的使用工作。
Claims (6)
1.一种抛光液回收的过滤系统，其特征在于：包括液体收集筒（1）、输送管（2）、废液收集筒（3）、搅拌杆（17）和搅拌叶（18），所述液体收集筒（1）的外部设有废液收集筒（3），所述废液收集筒（3）一侧的液体收集筒（1）外壁上安装有输送管（2），所述废液收集筒（3）的顶端安装有进液口（4），且进液口（4）的底端延伸至废液收集筒（3）的内部，所述废液收集筒（3）远离液体收集筒（1）的一侧设有压缩机（5），所述压缩机（5）远离废液收集筒（3）的一侧设有水液分离器（6），所述水液分离器（6）的底端安装有排水管（7），且排水管（7）的顶端延伸至水液分离器（6）的内部，所述排水管（7）上方的水液分离器（6）外部设有循环管路（8），且循环管路（8）的一端延伸至水液分离器（6）的内部，并且循环管路（8）的另一端延伸至输送管（2）的内部。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液回收的过滤系统，其特征在于：所述液体收集筒（1）的外部设有药液调配器（9），所述药液调配器（9）下方的液体收集筒（1）外部设有成品收集区（10）。
3.根据权利要求1所述的一种抛光液回收的过滤系统，其特征在于：所述废液收集筒（3）的内部安装有搅拌杆（17），所述搅拌杆（17）的外壁上安装有驱动架（16），所述驱动架（16）的外壁上安装有搅拌叶（18），且搅拌叶（18）的外壁与驱动架（16）固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种抛光液回收的过滤系统，其特征在于：所述搅拌杆（17）上方的废液收集筒（3）顶端安装有步进电机（14），所述步进电机（14）的输出端通过联轴器安装有第二转轴（15）。
5.根据权利要求1所述的一种抛光液回收的过滤系统，其特征在于：所述液体收集筒（1）的内部设有传动杆（13），所述传动杆（13）的外壁上安装有混合叶（19）。
6.根据权利要求5所述的一种抛光液回收的过滤系统，其特征在于：所述混合叶（19）上方的液体收集筒（1）顶端安装有伺服电机（11），所述伺服电机（11）的输出端通过联轴器安装有第一转轴（12）。
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| JP2014046396A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Daishinku Corp | 回収方法および回収システム |
| CN110339620A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-10-18 | 东北大学 | 一种抛光液循环净化处理装置 |
-
2021
- 2021-07-05 CN CN202110755409.4A patent/CN113289409A/zh active Pending
Patent Citations (5)
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