CN110339620A - 一种抛光液循环净化处理装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种抛光液循环净化处理装置,包括箱体,所述箱体的一侧底部设有抛光液储液罐,所述抛光液储液罐的顶部设有抛光液分隔装置,所述抛光液储液罐内设有抛光液搅拌装置,所述箱体的另一侧底部设有抛光液配比搅拌装置,所述抛光液配比搅拌装置的上方设有抛光液沉降二次分离装置;所述抛光液分隔装置包括转筒、转筒驱动电机和提升机构;所述转筒包括内筒和外筒。废抛光液在抛光液分隔装置与所述抛光液储液罐的配合中产生了三级分层,可以对高速旋转的抛光液根据抛光液中磨粒浓度不同进行分离,可以对不符合要求的抛光溶液进行二次分离,符合使用要求的磨粒直接输出进行抛光加工,极大地提高了分离效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种抛光液处理装置,具体地说是一种抛光液循环净化处理装置。
背景技术
目前,随着科学技术的发展与行业产业链的升级,社会各个领域的加工标准不断升高,光滑或者超光滑表面元器件的需求越来越大。在光学领域的标准中,复杂曲面原件的面型精度要求在几十分之一个波长,而其表面粗糙度更是要求在5纳米一下。针对抛光过程中对各个环节中的影响抛光质量的因素的把控,从而提高抛光工件表面的精度与降低表面粗糙度是一个重要的研究方向。而在进行抛光加工中,核心材料抛光液进行抛光作业时候需要大量的消耗,并且某些抛光液中的抛光颗粒硬度高、颗粒小、制造困难且造价高。若是将抛光后使用的抛光液进行二次三次使用,由于抛光液中混合的工件表面脱落颗粒的影响,会大大降低工件的加工精度表面质量。若是将抛光液只进行单次加工,会大大增加工件的加工成本。
目前进行的抛光加工时,降低工件抛光加工成本的同时,来保持工件的加工质量,一直是一个待解决的难题。而且当采用抛光液进行普通抛光或者是超声抛光时,使用后的抛光液的合理的处理方式是一个待解决的问题,处理不当会造成环境的污染,与资源的浪费。现在常见的抛光液如金刚石抛光液,其具有抛光能力强,抛光工件硬度大,抛光效率高等优势。金刚石抛光液的主要成分包括金刚石颗粒、水、抛光液悬浮剂,且抛光液悬浮剂的主要作用是使金刚石颗粒悬浮在抛光液中,减少其沉降聚集。
在进行对工件进行抛光时候,抛光液磨粒在电主轴的振动下,对工件的表面进行冲击与划擦,工件的部分表面材料在磨粒冲击与划擦下会剥离工件表面,并与切削液相混合。若是不及时更换抛光液,混合在抛光液中剥落下来的工件表面材料颗粒会进入抛光颗粒进入工件表面微切削划痕中,从而弱化抛光颗粒的切削效果,降低加工效率,其加工过程中容易出现因为团聚现象或抛光颗粒分散不均现象所导致的抛光表面划痕或者局部抛光去除程度不均匀。此类现象虽然可能会在后续的抛光过程中得到消除,但这极大的增加了抛光时间与抛光液的使用量,使得产品的生产成本得到提高,降低的整体的表面质量。
而在工厂大面积大批量材料的抛光加工过程中,由于需要抛光的工件多,总体面积大,抛光液的使用量大,其使用后的处理方式也需要深入研究。需要通过某种技术与方式来处理加工后的抛光液从而降低工件的抛光加工成本并降低或排除加工后抛光液的环境污染。
发明内容
根据上述提出的技术问题,而提供一种抛光液循环净化处理装置。本发明采用的技术手段如下:
一种抛光液循环净化处理装置,包括箱体,所述箱体的一侧底部设有抛光液储液罐,所述抛光液储液罐的顶部设有抛光液分隔装置,所述抛光液储液罐内设有抛光液搅拌装置,所述箱体的另一侧底部设有抛光液配比搅拌装置,所述抛光液配比搅拌装置的上方设有抛光液沉降二次分离装置;
所述抛光液分隔装置包括转筒、驱动所述转筒围绕其轴线周向旋转的转筒驱动电机和驱动所述转筒沿其轴线方向上下移动的提升机构;所述转筒包括内筒和与所述内筒同轴设置的外筒,所述外筒的外径小于所述抛光液储液罐的内径;
所述抛光液储液罐的轴线与所述转筒的轴线重合,且所述抛光液储液罐底部设有与所述外筒的底部外沿相匹配的环形凹槽Ⅰ和与所述内筒的底部外沿相匹配的环形凹槽Ⅱ,所述抛光液搅拌装置包括与所述抛光液储液罐同轴设置的转动轴Ⅰ,所述转动轴Ⅰ的一端穿出所述抛光液储液罐与转动轴驱动电机Ⅰ连接,所述转动轴Ⅰ在所述抛光液储液罐内的部分固定有多个与所述转动轴Ⅰ同轴设置的搅动叶片Ⅰ,所述搅动叶片Ⅰ的外径小于所述环形凹槽Ⅱ的内径;所述抛光液储液罐的底部外沿与所述环形凹槽Ⅰ之间的部分设有一级抛光液分离液出口,所述抛光液储液罐底部在所述环形凹槽Ⅰ与所述环形凹槽Ⅱ之间的部分设有二级抛光液分离液出口,所述抛光液储液罐底部在所述环形凹槽Ⅱ与所述转动轴Ⅰ之间的部分设有三级抛光液分离液出口,所述抛光液储液罐的侧壁上设有储液罐入料口;
所述抛光液配比搅拌装置包括混合室壳体、设置在所述混合室壳体底部的超声波发生装置和设置在所述混合室壳体内的混合搅拌装置,所述混合室壳体的顶部设有一级分离液进液口和辅料入口,所述混合室壳体的底部设有一级出料口,所述一级出料口通过阀门与设置在所述箱体底部的收集口连通;
所述抛光液沉降二次分离装置包括分离筒,所述分离筒的顶部设有二级分离液入口,所述分离筒的中上部设有分隔板,所述分隔板上设有多个沉降用通孔,所述分离筒在所述分隔板的下方设有注水孔,所述分离筒的底部设有分离筒出液口,所述分离筒的底部侧壁设有循环水排水口;
所述一级抛光液分离液出口通过阀门与一级管道的一端连通,所述一级管道的中部通过泵Ⅰ与所述一级分离液进液口连通,且所述一级管道的另一端通过阀门与设置在所述箱体底部的排液口连通;所述二级抛光液分离液出口通过阀门与二级管道的一端连通,所述二级管道内设有泵Ⅱ,所述二级管道的另一端为二级出料口,且所述二级出料口与所述二级分离液进液口连通;所述分离筒出液口通过阀门与所述一级分离液进液口连通,所述循环水排水口通过阀门与穿出所述箱体的排水管路连通,所述三级分离液出口通过阀门与三级管道的一端连通,所述三级管道的另一端与设置在所述箱体上的三级排料口连通。
所述提升机构包括固定在所述箱体内的丝杠、驱动所述丝杠转动的步进电机和与所述丝杠的输出端固定连接的升降台,所述转筒驱动电机与所述升降台的中部固定连接。
所述混合搅拌装置包括转动轴Ⅱ,所述转动轴Ⅱ的一端穿出所述混合室壳体与驱动所述转动轴Ⅱ转动的驱动电机Ⅱ连接,且所述转动轴Ⅱ在所述混合室壳体内的部分上安装有与所述转动轴Ⅱ同轴设置的搅动叶片Ⅱ,所述驱动电机Ⅱ通过驱动电机安装支架与所述箱体底部固定连接。
所述抛光液储液罐和所述抛光液沉降二次分离装置均通过支架与所述箱体固定连接。
所述抛光液储液罐的侧壁上设有速度传感器。
使用状态下:通过所述储液罐入料口向所述抛光液储液罐内加入抛光废液和用以减弱所述抛光废液中抛光磨粒悬浮作用的辅料,所述辅料可为水或悬浮剂综合剂,驱动所述抛光液搅拌装置搅动所述抛光废液与所述辅料形成的混合液;驱动所述转筒驱动电机,使所述转筒转动,通过观察所述速度传感器所测量的混合液的角速度,可判断所述混合液的角速度是否与转筒的转速相同,当所述转筒的转速与所述混合液的旋转速度一致时,驱动所述提升机构使所述转筒向下运动直至所述外筒的底部外沿与所述环形凹槽Ⅰ槽底接触、所述内筒的外沿与所述环形凹槽Ⅱ的槽底接触,之后关闭所述提升机构、所述转筒驱动电机和所述抛光液搅拌装置;混合液在离心力的作用下实现了分层,第一层在所述抛光液储液罐的内壁与所述外筒之间为杂质交低的一级混合液,第二层在所述内筒与所述外筒之间为杂质中等的二级混合液,第三层在所述内筒内为杂质较多的三级混合液;观察一级混合液的状态,若其符合要求可直接打开所述一级管道与所述排液口之间的阀门和所述一级抛光液分离液出口与所述一级管道之间的阀门,使其流出箱体进行收集;若其不符合要求则打开所述一级抛光液分离液出口与所述一级管道之间的阀门、所述泵Ⅰ,使所述一级混合液进入所述抛光液配比搅拌装置内,第二级混合液通过打开二级抛光液分离液出口与所述二级管道之间的阀门和泵Ⅱ,使所述二级混合液进入抛光沉淀二次分离装置内;二级混合液在所述抛光沉淀二次分离装置中的分隔板处进行筛选,颗粒较小的通过通孔进入分隔板下层,分离筒在所述分隔板下层中注有水,筛选后的二级混合液在水中沉积与水形成明显的分层,沉积后的二级混合液通过打开所述分离筒出液口与所述一级分离液进液口之间的阀门,使所述沉积后的二级混合液进入所述抛光液配比搅拌装置的混合室壳体中,且通过所述循环水排水口将分隔板下方的水排出,通过所述辅料入口向所述混合室壳体内加入适量的抛光液悬浮剂与抛光磨粒以提高至磨粒浓度与悬浮程度合格标准,之后打开所述驱动电机Ⅱ带动所述转动轴Ⅱ与搅动叶片Ⅱ进行转动,提高其磨粒均匀化程度,同时打开超声波发生器,促使颗粒的更好分离,最后打开所述一级出料口与所述收集口之间的阀门,使得净化配比后的抛光液从收集口流出进行收集。三级混合液通过打开所述三级分离液出口与三级管道之间的阀门,使其从三级排料口排出。
本发明的工作原理:在抛光液储液罐与抛光液分隔装置的配合下中,去悬浮状态后的废抛光液在搅动叶片Ⅰ的高速旋转下高速旋转,因废抛光液中的抛光磨粒的质量远远大于工件表面微切削下材料的质量。固在高速旋转中两种颗粒的所受离心力不同,固在一定的时间与速度的旋转下两种颗粒发生分离。
在所述抛光液沉降二次分离装置采用沉降法分离抛光液,沉降法又叫重力法,是根据公式:V=d2·(P-P0)g/18μ的原理进行工艺设计的。(V物料的沉降速度;d物料的直径;P物料的密度;P0介质的密度;μ介质的粘稠度。)在同一种介质中,物料的沉降速度和物料的直径的平方成正比。即物料的直径越大,沉降速度越快。而在使用后的抛光液中,工件表面掉落材料体积大概相对于磨粒体积的5%-20%,沉降效果明显。
本发明具有以下优点:
1、在抛光液分隔装置与所述抛光液储液罐的配合中产生了三级分层,可以对高速旋转的抛光液根据抛光液中磨粒浓度不同进行分离,可以对不符合要求的抛光溶液进行二次分离,符合使用要求的磨粒直接输出进行抛光加工,极大地提高了分离效率。
2、在抛光液分隔装置工作时候,其转桶会在电机的带动下根据下方离心装置壳体内的抛光液的转速调整速度,从而避免在转筒在进入溶液进行分离时引起抛光溶液的扰流,维持了更好的溶液离心分级效果。
3、抛光液储液及其离心分离装置底部设置有与外筒和内筒相接合的环形凹槽Ⅰ和环形凹槽Ⅱ,防止在溶液停止离心后不同层级间的溶液相互流动。
4、设置有抛光液沉降二次分离装置,可以对二级不符合要求的溶液使用沉降法进行二次分离,能够极大提高分离效果。
5、抛光液沉降二次分离装置装置中间安装有分隔板,分隔板用来缓冲进料时,二级出料口的溶液对沉降溶液的冲击,且分离板上有微小的通孔,帮助溶液更均匀的进入沉降液中。
6、抛光液配比搅拌装置可以实现对净化后的溶液实现实时的重新配比,以达到使用要求。
7、装置自动化程度高。在分选过程中不需要人的干预,减少了人为因素对产品品质的影响,也减小了工人的劳动强度。
8、是生产效率高。一次性投料量大,可24小时自动连续运行,其阀的开关与溶液投放可通过自动化程序自动控制。
本发明所述的一种抛光液循环净化处理装置,是一种能够在抛光时对抛光液进行实时净化循环利用,或在抛光后对抛光液进行回收处理的装置,大大降低了抛光过程中的经济成本,提高了抛光过程绿色制造程度。
基于上述理由本发明可在抛光液回收再利用等领域广泛推广。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明具体实施方式中一种抛光液循环净化处理装置外部结构示意图。
图2是本发明具体实施方式中一种抛光液循环净化处理装置内部结构示意图。
图3是本发明具体实施方式中抛光液储液罐底部结构示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1-3所示,一种抛光液循环净化处理装置,包括箱体1,所述箱体1的一侧底部设有抛光液储液罐2,所述抛光液储液罐2的顶部设有抛光液分隔装置3,所述抛光液储液罐2内设有抛光液搅拌装置4,所述箱体1的另一侧底部设有抛光液配比搅拌装置5,所述抛光液配比搅拌装置5的上方设有抛光液沉降二次分离装置6;
所述抛光液分隔装置3包括转筒31、驱动所述转筒31围绕其轴线周向旋转的转筒驱动电机32和驱动所述转筒31沿其轴线方向上下移动的提升机构33;所述转筒31包括内筒311和与所述内筒311同轴设置的外筒312,所述外筒312的外径小于所述抛光液储液罐2的内径;
所述抛光液储液罐2的轴线与所述转筒31的轴线重合,且所述抛光液储液罐3底部设有与所述外筒312的底部外沿相匹配的环形凹槽Ⅰ21和与所述内筒311的底部外沿相匹配的环形凹槽Ⅱ22,所述抛光液搅拌装置4包括与所述抛光液储液罐2同轴设置的转动轴Ⅰ41,所述转动轴Ⅰ41的一端穿出所述抛光液储液罐2与转动轴驱动电机Ⅰ42连接,所述转动轴Ⅰ41在所述抛光液储液罐2内的部分固定有多个与所述转动轴Ⅰ41同轴设置的搅动叶片Ⅰ43,所述搅动叶片Ⅰ43的外径小于所述环形凹槽Ⅱ22的内径;所述抛光液储液罐2的底部外沿与所述环形凹槽Ⅰ21之间的部分设有一级抛光液分离液出口23,所述抛光液储液罐2底部在所述环形凹槽Ⅰ21与所述环形凹槽Ⅱ22之间的部分设有二级抛光液分离液出口24,所述抛光液储液罐2底部在所述环形凹槽Ⅱ22与所述转动轴Ⅰ41之间的部分设有三级抛光液分离液出口25,所述抛光液储液罐2的侧壁上设有储液罐入料口26;
所述抛光液配比搅拌装置5包括混合室壳体51、设置在所述混合室壳51体底部的超声波发生装置52和设置在所述混合室壳体51内的混合搅拌装置53,所述混合室壳体51的顶部设有一级分离液进液口54和辅料入口55,所述混合室壳体51的底部设有一级出料口56,所述一级出料口56通过阀门与设置在所述箱体1底部的收集口11连通;
所述抛光液沉降二次分离装置6包括分离筒61,所述分离筒61的顶部设有二级分离液入口62,所述分离筒61的中上部设有分隔板63,所述分隔板63上设有多个沉降用通孔64,所述分离筒61在所述分隔板63的下方设有注水孔65,所述分离筒61的底部设有分离筒出液口66,所述分离筒61的底部侧壁设有循环水排水口67;
所述一级抛光液分离液出口23通过阀门与一级管道7的一端连通,所述一级管道7的中部通过泵Ⅰ71与所述一级分离液进液口54连通,且所述一级管道7的另一端通过阀门与设置在所述箱体1底部的排液口12连通;所述二级抛光液分离液出口24通过阀门与二级管道8的一端连通,所述二级管道8内设有泵Ⅱ81,所述二级管道8的另一端为二级出料口82,且所述二级出料口82与所述二级分离液进液口62连通;所述分离筒出液口66通过阀门与所述一级分离液进液口54连通,所述循环水排水口67通过阀门与穿出所述箱体1的排水管路13连通,所述三级分离液出口25通过阀门与三级管道9的一端连通,所述三级管道9的另一端与设置在所述箱体1上的三级排料口14连通。
所述提升机构33包括固定在所述箱体1内的丝杠331、驱动所述丝杠331转动的步进电机332和与所述丝杠331的输出端固定连接的升降台333,所述转筒驱动电机32与所述升降台333的中部固定连接。
所述混合搅拌装置53包括转动轴Ⅱ531,所述转动轴Ⅱ531的一端穿出所述混合室壳体51与驱动所述转动轴Ⅱ531转动的驱动电机Ⅱ532连接,且所述转动轴Ⅱ531在所述混合室壳体51内的部分上安装有与所述转动轴Ⅱ531同轴设置的搅动叶片Ⅱ533,所述驱动电机Ⅱ532通过驱动电机安装支架534与所述箱体1底部固定连接。
所述抛光液储液罐2和所述抛光液沉降二次分离装置6均通过支架68与所述箱体1固定连接。
所述抛光液储液罐2的侧壁上设有速度传感器27。
使用状态下:通过所述储液罐入料口26向所述抛光液储液罐2内加入抛光废液和用以减弱所述抛光废液中抛光磨粒悬浮作用的辅料,所述辅料可为水或悬浮剂综合剂,驱动所述抛光液搅拌装置4搅动所述抛光废液与所述辅料形成的混合液;驱动所述转筒驱动电机32,使所述转筒31转动,通过观察所述速度传感器27所测量的混合液的角速度,可判断所述混合液的角速度是否与转筒31的转速相同,当所述转筒31的转速与所述混合液的旋转速度一致时,驱动所述提升机构33使所述转筒31向下运动直至所述外筒312的底部外沿与所述环形凹槽Ⅰ21槽底接触、所述内筒311的外沿与所述环形凹槽Ⅱ22的槽底接触,之后关闭所述提升机构33、所述转筒驱动电机32和所述抛光液搅拌装置4;混合液在离心力的作用下实现了分层,第一层在所述抛光液储液罐2的内壁与所述外筒312之间为杂质交低的一级混合液,第二层在所述内筒311与所述外筒312之间为杂质中等的二级混合液,第三层在所述内筒311内为杂质较多的三级混合液;观察一级混合液的状态,若其符合要求可直接打开所述一级管道7与所述排液口12之间的阀门和所述一级抛光液分离液出口23与所述一级管道7之间的阀门,使其流出箱体1进行收集;若其不符合要求则打开所述一级抛光液分离液出口23与所述一级管道7之间的阀门、所述泵Ⅰ71,使所述一级混合液进入所述抛光液配比搅拌装置5内,第二级混合液通过打开二级抛光液分离液出口24与所述二级管道8之间的阀门和泵Ⅱ81,使所述二级混合液进入抛光沉淀二次分离装置6内;二级混合液在所述抛光沉淀二次分离装置6中的分隔板64处进行筛选,颗粒较小的通过通孔进入分隔板64下层,分离筒61在所述分隔板64下层中注有水,筛选后的二级混合液在水中沉积与水形成明显的分层,沉积后的二级混合液通过打开所述分离筒出液口66与所述一级分离液进液口54之间的阀门,使所述沉积后的二级混合液进入所述抛光液配比搅拌装置5的混合室壳体51中,且通过所述循环水排水口67将分隔板64下方的水排出,通过所述辅料入口55向所述混合室壳体51内加入适量的抛光液悬浮剂与抛光磨粒以提高至磨粒浓度与悬浮程度合格标准,之后打开所述驱动电机Ⅱ532带动所述转动轴Ⅱ531与搅动叶片Ⅱ533进行转动,提高其磨粒均匀化程度,同时打开超声波发生器52,促使颗粒的更好分离,最后打开所述一级出料口56与所述收集口11之间的阀门,使得净化配比后的抛光液从收集口11流出进行收集。三级混合液通过打开所述三级分离液出口25与三级管道9之间的阀门,使其从三级排料口14排出。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (5)
1.一种抛光液循环净化处理装置,其特征在于,包括箱体,所述箱体的一侧底部设有抛光液储液罐,所述抛光液储液罐的顶部设有抛光液分隔装置,所述抛光液储液罐内设有抛光液搅拌装置,所述箱体的另一侧底部设有抛光液配比搅拌装置,所述抛光液配比搅拌装置的上方设有抛光液沉降二次分离装置;
所述抛光液分隔装置包括转筒、驱动所述转筒围绕其轴线周向旋转的转筒驱动电机和驱动所述转筒沿其轴线方向上下移动的提升机构;所述转筒包括内筒和与所述内筒同轴设置的外筒,所述外筒的外径小于所述抛光液储液罐的内径;
所述抛光液储液罐的轴线与所述转筒的轴线重合,且所述抛光液储液罐底部设有与所述外筒的底部外沿相匹配的环形凹槽Ⅰ和与所述内筒的底部外沿相匹配的环形凹槽Ⅱ,所述抛光液搅拌装置包括与所述抛光液储液罐同轴设置的转动轴Ⅰ,所述转动轴Ⅰ的一端穿出所述抛光液储液罐与转动轴驱动电机Ⅰ连接,所述转动轴Ⅰ在所述抛光液储液罐内的部分固定有多个与所述转动轴Ⅰ同轴设置的搅动叶片Ⅰ,所述搅动叶片Ⅰ的外径小于所述环形凹槽Ⅱ的内径;所述抛光液储液罐的底部外沿与所述环形凹槽Ⅰ之间的部分设有一级抛光液分离液出口,所述抛光液储液罐底部在所述环形凹槽Ⅰ与所述环形凹槽Ⅱ之间的部分设有二级抛光液分离液出口,所述抛光液储液罐底部在所述环形凹槽Ⅱ与所述转动轴Ⅰ之间的部分设有三级抛光液分离液出口,所述抛光液储液罐的侧壁上设有储液罐入料口;
所述抛光液配比搅拌装置包括混合室壳体、设置在所述混合室壳体底部的超声波发生装置和设置在所述混合室壳体内的混合搅拌装置,所述混合室壳体的顶部设有一级分离液进液口和辅料入口,所述混合室壳体的底部设有一级出料口,所述一级出料口通过阀门与设置在所述箱体底部的收集口连通;
所述抛光液沉降二次分离装置包括分离筒,所述分离筒的顶部设有二级分离液入口,所述分离筒的中上部设有分隔板,所述分隔板上设有多个沉降用通孔,所述分离筒在所述分隔板的下方设有注水孔,所述分离筒的底部设有分离筒出液口,所述分离筒的底部侧壁设有循环水排水口;
所述一级抛光液分离液出口通过阀门与一级管道的一端连通,所述一级管道的中部通过泵Ⅰ与所述一级分离液进液口连通,且所述一级管道的另一端通过阀门与设置在所述箱体底部的排液口连通;所述二级抛光液分离液出口通过阀门与二级管道的一端连通,所述二级管道内设有泵Ⅱ,所述二级管道的另一端为二级出料口,且所述二级出料口与所述二级分离液进液口连通;所述分离筒出液口通过阀门与所述一级分离液进液口连通,所述循环水排水口通过阀门与穿出所述箱体的排水管路连通,所述三级分离液出口通过阀门与三级管道的一端连通,所述三级管道的另一端与设置在所述箱体上的三级排料口连通。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液循环净化处理装置,其特征在于:所述提升机构包括固定在所述箱体内的丝杠、驱动所述丝杠转动的步进电机和与所述丝杠的输出端固定连接的升降台,所述转筒驱动电机与所述升降台的中部固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种抛光液循环净化处理装置,其特征在于:所述混合搅拌装置包括转动轴Ⅱ,所述转动轴Ⅱ的一端穿出所述混合室壳体与驱动所述转动轴Ⅱ转动的驱动电机Ⅱ连接,且所述转动轴Ⅱ在所述混合室壳体内的部分上安装有与所述转动轴Ⅱ同轴设置的搅动叶片Ⅱ,所述驱动电机Ⅱ通过驱动电机安装支架与所述箱体底部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种抛光液循环净化处理装置,其特征在于:所述抛光液储液罐和所述抛光液沉降二次分离装置均通过支架与所述箱体固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种抛光液循环净化处理装置,其特征在于:所述抛光液储液罐的侧壁上设有速度传感器。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113289409A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-08-24 | 东莞市柯林奥环保科技有限公司 | 一种抛光液回收的过滤系统 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11188369A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Toshiba Mach Co Ltd | Cmp装置の研磨廃液の処理方法 |
EP0947291A2 (en) * | 1998-03-30 | 1999-10-06 | Speedfam Co., Ltd. | Slurry recycling system of CMP apparatus and method of same |
JP2001225268A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-21 | Kurita Water Ind Ltd | 研磨材の回収装置 |
CN201342376Y (zh) * | 2008-12-25 | 2009-11-11 | 洛阳博丹机电科技有限责任公司 | 一种用于纳米级颗粒多段分级的离心式分级机 |
CN202277879U (zh) * | 2011-09-27 | 2012-06-20 | 江门市科恒实业股份有限公司 | 一种粉体沉淀分级装置 |
JP2014046396A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Daishinku Corp | 回収方法および回収システム |
CN104029130A (zh) * | 2014-06-06 | 2014-09-10 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种智能抛光液供给循环装置 |
CN205613356U (zh) * | 2016-01-15 | 2016-10-05 | 天津西美半导体材料有限公司 | 氧化铝抛光液配置装置 |
JP6041380B2 (ja) * | 2012-11-09 | 2016-12-07 | 株式会社industria | 加工液浄化システム |
CN207430535U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-06-01 | 横峰县赛力康科技有限公司 | 用于双液体分离的离心分离装置 |
CN208512073U (zh) * | 2018-06-15 | 2019-02-19 | 江西省耐力科技股份有限公司 | 一种锂电池用废水处理装置 |
CN109731699A (zh) * | 2019-01-18 | 2019-05-10 | 西安交通大学 | 一种液液两相流体离心分离装置及方法 |
-
2019
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11188369A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-13 | Toshiba Mach Co Ltd | Cmp装置の研磨廃液の処理方法 |
EP0947291A2 (en) * | 1998-03-30 | 1999-10-06 | Speedfam Co., Ltd. | Slurry recycling system of CMP apparatus and method of same |
JP2001225268A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-21 | Kurita Water Ind Ltd | 研磨材の回収装置 |
CN201342376Y (zh) * | 2008-12-25 | 2009-11-11 | 洛阳博丹机电科技有限责任公司 | 一种用于纳米级颗粒多段分级的离心式分级机 |
CN202277879U (zh) * | 2011-09-27 | 2012-06-20 | 江门市科恒实业股份有限公司 | 一种粉体沉淀分级装置 |
JP2014046396A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Daishinku Corp | 回収方法および回収システム |
JP6041380B2 (ja) * | 2012-11-09 | 2016-12-07 | 株式会社industria | 加工液浄化システム |
CN104029130A (zh) * | 2014-06-06 | 2014-09-10 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种智能抛光液供给循环装置 |
CN205613356U (zh) * | 2016-01-15 | 2016-10-05 | 天津西美半导体材料有限公司 | 氧化铝抛光液配置装置 |
CN207430535U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-06-01 | 横峰县赛力康科技有限公司 | 用于双液体分离的离心分离装置 |
CN208512073U (zh) * | 2018-06-15 | 2019-02-19 | 江西省耐力科技股份有限公司 | 一种锂电池用废水处理装置 |
CN109731699A (zh) * | 2019-01-18 | 2019-05-10 | 西安交通大学 | 一种液液两相流体离心分离装置及方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113289409A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-08-24 | 东莞市柯林奥环保科技有限公司 | 一种抛光液回收的过滤系统 |
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Publication number | Publication date |
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