CN113284935B - 显示基板及其制备方法、显示装置 - Google Patents
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Abstract
本公开提供了显示基板及其制备方法、显示装置,所述显示基板包括显示区域和位于显示区域一侧的扇出区域,扇出区域包括第一隔离区;在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区包括设置在基底上的第二复合绝缘层以及设置于所述第二复合绝缘层的第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层,所述第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层在基底上的正投影与所述第二平坦层在基底上的正投影至少存在重叠区域。
Description
技术领域
本公开实施例涉及但不限于显示技术领域,尤指一种显示基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,简称OLED)为主动发光显示器件,具有自发光、广视角、高对比度、低耗电、极高反应速度等优点。随着显示技术的不断发展,以OLED为发光器件、由薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)进行信号控制的柔性显示装置(Flexible Display)已成为目前显示领域的主流产品。
发明内容
以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
本公开所要解决的技术问题是,提供一种显示基板及其制备方法、显示装置,能够有效隔绝水汽同时避免静电释放击伤。
为了解决上述技术问题,本公开提供了一种显示基板,包括显示区域和位于显示区域一侧的扇出区域,所述扇出区域包括第一隔离区;在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区包括设置在基底上的第二复合绝缘层以及设置于所述第二复合绝缘层的第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层,所述第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层在基底上的正投影与所述第二平坦层在基底上的正投影至少存在重叠区域。
为了解决上述技术问题,本公开还提供了一种显示基板的制备方法,所述显示基板包括显示区域和位于显示区域一侧的扇出区域,所述制备方法包括:
在所述扇出区域形成第一隔离区,在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区包括设置在基底上的第二复合绝缘层以及设置于所述第二复合绝缘层的第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层,所述第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层在基底上的正投影与所述第二平坦层在基底上的正投影至少存在重叠区域。
为了解决上述技术问题,本公开还提供了一种显示装置,包括上述显示基板。
本公开实施例提供的显示基板及其制备方法、显示装置,通过设置第三导电层和第二平坦层作为隔离结构,代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层和第二平坦层在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果(即ESD的防护能力),可以有效避免ESD击伤。
在阅读并理解了附图和详细描述后,可以明白其他方面。
附图说明
附图用来提供对本申请技术方案的理解,并且构成说明书的一部分,与本申请的实施例一起用于解释本申请的技术方案,并不构成对本申请技术方案的限制。
图1为一种显示基板的结构示意图;
图2为图1中C区域的放大图;
图3为一种触控结构层的结构示意图;
图4a为测试收发及不良现象的示意图;
图4b为不良高发位置示意图;
图5为一种触控连接线跨越隔离槽和隔离坝的示意图;
图6a为本公开实施例一种扇出区域局部的示意图;
图6b为图6a中A-A向的剖视图;
图7为图6所示实施例形成第一导电层和第二导电层后的示意图;
图8为图6所示实施例形成钝化层后的示意图;
图9为图6所示实施例形成第一平坦层后的示意图;
图10为图6所示实施例形成隔离层后的示意图;
图11为图6所示实施例形成隔离坝后的示意图;
图12为图6所示实施例形成第三导电层后的示意图;
图13为图6所示实施例形成第二平坦层后的示意图;
图14为图6所示实施例形成封装层后的示意图;
图15为本公开实施例另一种扇出区域局部的示意图;
图16为本公开实施例再一种扇出区域局部的示意图。
附图标记说明:
具体实施方式
为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下文中将结合附图对本公开的实施例进行详细说明。注意,实施方式可以以多个不同形式来实施。所属技术领域的普通技术人员可以很容易地理解一个事实,就是方式和内容可以在不脱离本公开的宗旨及其范围的条件下被变换为各种各样的形式。因此,本公开不应该被解释为仅限定在下面的实施方式所记载的内容中。在不冲突的情况下,本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
在附图中,有时为了明确起见,夸大表示了各构成要素的大小、层的厚度或区域。因此,本公开的一个方式并不一定限定于该尺寸,附图中各部件的形状和大小不反映真实比例。此外,附图示意性地示出了理想的例子,本公开的一个方式不局限于附图所示的形状或数值等。
本说明书中的“第一”、“第二”、“第三”等序数词是为了避免构成要素的混同而设置,而不是为了在数量方面上进行限定的。
在本说明书中,为了方便起见,使用“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系的词句以参照附图说明构成要素的位置关系,仅是为了便于描述本说明书和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本公开的限制。构成要素的位置关系根据描述各构成要素的方向适当地改变。因此,不局限于在说明书中说明的词句,根据情况可以适当地更换。
在本说明书中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解。例如,可以是固定连接,或可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或通过中间件间接相连,或两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据情况理解上述术语在本公开中的含义。
在本说明书中,晶体管是指至少包括栅电极、漏电极以及源电极这三个端子的元件。晶体管在漏电极(漏电极端子、漏区域或漏电极)与源电极(源电极端子、源区域或源电极)之间具有沟道区域,并且电流能够流过漏电极、沟道区域以及源电极。注意,在本说明书中,沟道区域是指电流主要流过的区域。
在本说明书中,第一极可以为漏电极、第二极可以为源电极,或者第一极可以为源电极、第二极可以为漏电极。在使用极性相反的晶体管的情况或电路工作中的电流方向变化的情况等下,“源电极”及“漏电极”的功能有时互相调换。因此,在本说明书中,“源电极”和“漏电极”可以互相调换。
在本说明书中,“电连接”包括构成要素通过具有某种电作用的元件连接在一起的情况。“具有某种电作用的元件”只要可以进行连接的构成要素间的电信号的授受,就对其没有特别的限制。“具有某种电作用的元件”的例子不仅包括电极和布线,而且还包括晶体管等开关元件、电阻器、电感器、电容器、其它具有各种功能的元件等。
在本说明书中,“平行”是指两条直线形成的角度为-10°以上且10°以下的状态,因此,也包括该角度为-5°以上且5°以下的状态。另外,“垂直”是指两条直线形成的角度为80°以上且100°以下的状态,因此,也包括85°以上且95°以下的角度的状态。
在本说明书中,“膜”和“层”可以相互调换。例如,有时可以将“导电层”换成为“导电膜”。与此同样,有时可以将“绝缘膜”换成为“绝缘层”。
本公开中的“约”,是指不严格限定界限,允许工艺和测量误差范围内的数值。
为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明,本公开省略了部分已知功能和已知部件的详细说明。本公开实施例附图只涉及到与本公开实施例涉及到的结构,其他结构可参考通常设计。
图1为一种显示基板的结构示意图,如图1所示,显示基板包括显示区100,和位于显示区域100一侧的扇出区201和弯折区202。所述显示区100可以包括规则排列的多个子像素,子像素可以包括像素驱动电路和发光器件。扇出区201包括数据扇出线和电源线,数据扇出线包括多条数据连接线,多条数据连接线被配置为连接显示区域100的数据线(DataLine),电源线包括被配置为连接高电压的电源线(VDD)和连接低电压的电源线(VSS)。
图2为一种扇出区一种结构的示意图,为图1中C区域的放大图。扇出区201除了包括数据扇出线和电源线外。扇出区201还包括第一隔离坝410、第二隔离坝420和隔断槽500,被配置为阻隔水汽进入显示区域100。第一隔离坝410和第二隔离坝420设置在扇出区域201,第一隔离坝410和第二隔离坝420被配置为阻隔从显示区域100外围进入显示区域100的水汽。
图3为一种触控结构层的结构示意图,如图3所示,触控结构层包括多个第一触控单元101和多个第二触控单元102,多个第一触控单元101沿第二延伸方向D2依次排列,多个第二触控单元102沿第一延伸方向D1依次排列。每个第一触控单元101包括沿第一延伸方向D1依次排列的多个第一触控电极。每个第二触控单元102包括沿第二延伸方向D2依次排列的多个第二触控电极。第一触控电极可以是驱动电极(Tx),第二触控电极可以是感应电极(Rx),或者,第一触控电极可以是感应电极(Rx),第二触控电极可以是驱动电极(Tx)。
每个第一触控单元101通过第一传输线103连接到第一焊盘电极105,每个第二触控单元102通过第二传输线104连接到第二焊盘电极106。在示例性实施方式中,第一触控电极通过第一焊盘电极105连接到显示面板的驱动器,第二触控电极通过第二焊盘电极106连接到驱动器,驱动器将驱动信号施加到第二触控电极上,并且接收来自第一触控电极的输出信号,或者,驱动器可以将驱动信号施加到第一触控电极,并且接收来自第二触控电极的输出信号。驱动器通过检测不同电极发射触控信号时多个电极中产生的感应信号,即可确定出触摸发生的位置。
本申请发明人发现在ESD(Electro-Static discharge,静电释放)信赖性测试时,存在高电压对倒角位置处金属走线ESD击伤。测试收发及不良现象如图4a所示,不良高发位置如图4b所示。致使显示面板出现亮线及TSP断线的风险。
发明人经研究发现,由于扇出区201中,第一焊盘电极105与驱动器的触控连接线和第二焊盘电极106与驱动器的触控连接线(图5中TSP)需要跨越第一隔离坝410、第二隔离坝420和隔断槽500、才能与驱动器连接。而TSD击伤往往发生在触控连接线与隔断槽500相交的位置,如图5所示。这是由于为了阻隔进入显示区域100的水汽,隔断槽位置处的平坦层被隔断,而由于缺少了平坦层的保护,导致该位置容易发生ESD击伤。且在隔断槽出,触控连接线越接近倒角及近弯折区位置发生ESD击伤的风险越高。
为此本公开实施例提供一种显示基板,包括显示区域和位于显示区域一侧的扇出区域,所述扇出区域包括第一隔离区;在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区包括设置在基底上的第二复合绝缘层以及设置于所述第二复合绝缘层的第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层,所述第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层在基底上的正投影与所述第二平坦层在基底上的正投影至少存在重叠区域。
在本实施例中,通过设置第三导电层和第二平坦层作为隔离结构,代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层和第二平坦层在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果(即ESD的防护能力),可以有效避免ESD击伤。
在一示例性实施例中,所述扇出区域还包括第二隔离区,所述第二隔离区设置于所述第一隔离区靠近所述显示区域的一侧,或者设置于所述第一隔离区远离所述显示区域的一侧,即所述第一隔离区相比第二隔离区可以更靠近显示区域边缘,或者相比第二隔离区更远离显示区域,所述第二隔离区包括沿平行于显示区域边缘的方向延伸的隔离坝,所述显示区域边缘为所述显示区域靠近所述扇出区域一侧的边缘。通过设置隔离坝,可以进一步阻隔水汽进入显示区域。隔离坝可以是双层结构(第一隔离层为PLN),或三层结构(第一、第二、第三隔离层依次为PLN、PDL和PS),或四层结构(第一、第二、第三、第四隔离层依次为PLN1、PLN2、PDL和PS)。
在一示例性实施例中,在所述第一隔离区,在平行于基底方向上,所述第二导电层包括沿远离显示区域方向依次设置的第一金属线和第二金属线,所述第一金属线和所述第二金属线之间形成有隔离槽,所述第一平坦层包括覆盖所述第一金属线的第一平坦部和覆盖所述第二金属线的第二平坦部,所述第三导电层设置于所述隔离槽内,所述第三导电层的靠近所述显示区域的第一侧设置于所述第一平坦部远离所述显示区域的第一侧上,所述第三导电层远离所述显示区域的第二侧设置于所述第二平坦部靠近所述显示区域的第一侧上,所述第二平坦层覆盖所述第三导电层,所述第二平坦层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦部的第一侧在基底上的正投影重叠,所述第二平坦层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二平坦部的第一侧在基底上的正投影重叠。在本实施例中,所述第三导电层和第二平坦层作为隔离结构,代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层和第二平坦层在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果。
可选地,可以设置所述第二导电层在基底上的正投影与所述第三导电层在基底上的正投影至少存在重叠区域,所述第二导电层与所述第三导电层之间通过过孔电连接。具体地,所述第三导电层的第一侧在基底上的正投影与第一金属线远离显示区域的一端在基底上的正投影重叠,所述第三导电层的第二端在基底上的正投影与第二金属线靠近显示区域的一端在基底上的正投影重叠,以便于第三导电层与第二导电层通过过孔电连接。在其他实施例中,在所述第一隔离区内,所述第二导电层与第三导电层之间可以不电连接,而在其他区域实现电连接。
在一示例性实施例中,所述第二平坦层在所述基底上的正投影小于所述第三导电层在基底上的正投影。
在一示例性实施例中,在平行于基底方向上,所述第一平坦部远离显示区域边缘的第一侧与所述显示区域边缘的距离大于所述第一金属线远离所述显示区域边缘的一端与所述显示区域边缘的距离;所述第二平坦部靠近所述显示区域边缘的第一侧与所述显示区域边缘的距离小于所述第二金属线靠近所述显示区域边缘的一端与所述显示区域边缘的距离。通过设置第一平坦部半包裹第一金属线,第二平坦部半包裹第二金属线可以获得更好的隔绝水氧的效果。在其他实施例中,所述第一平坦部可以向第二平坦部延伸至所述复合绝缘层上,所述第二平坦部可以向第一平坦部延伸至所述复合绝缘层上,以获得更好的隔离水汽和防止ESD的效果。
在一示例性实施例中,所述第一隔离区还包括钝化层,所述钝化层包括位于所述第一金属线与第一平坦部之间的第一钝化层,位于所述隔离槽内所述第二导电层与所述第二复合绝缘层之间的第二钝化层,以及位于所述第二金属线与第二平坦部之间的第三钝化层。所述第一钝化层、第二钝化层和第三钝化层组成连续的钝化层。所述钝化层可以进一步起到隔离水汽的作用。
在一示例性实施例中,在所述第一隔离区,所述第二导电层上覆盖有第一平坦层,所述第一平坦层远离所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离大于所述第二导电层远离所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离;在垂直于基底方向上,所述第三导电层靠近所述显示区域的一侧设置于所述第一平坦层远离所述显示区域的一侧上,所述第二平坦层覆盖所述第三导电层,所述第二平坦层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠。在本实施例中,所述第三导电层和第二平坦层与所述第二导电层和第一平坦层交叠,交叠部分可以代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层和第二平坦层在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果。
可选地,可以设置所述第二导电层在基底上的正投影与所述第三导电层在基底上的正投影至少存在重叠区域,所述第二导电层与所述第三导电层之间通过过孔电连接。具体地,所述第三导电层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二导电层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠,以便于第三导电层与第二导电层通过过孔电连接。在其他实施例中,在所述第一隔离区内,所述第二导电层与第三导电层之间可以不电连接,而在其他区域实现电连接,或者第二导电层与第三导电层分别包括不同的电源线。
在一示例性实施例中,所述第二平坦层靠近所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离大于所述第三导电层靠近所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离。避免位于第三导电层靠近基底一侧的第一平坦层与位于第三导电层远离基底一侧的第二平坦层相连。
在一示例性实施例中,在所述第一隔离区,所述第二导电层上覆盖有第一平坦层,所述第一平坦层靠近所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离小于所述第二导电层靠近所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离;在垂直于基底方向上,所述第三导电层的远离所述显示区域的一侧设置于所述第一平坦层靠近所述显示区域的一侧上,所述第二平坦层覆盖所述第三导电层,所述第二平坦层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠。与前述实施例类似,在本实施例中,所述第三导电层和第二平坦层与所述第二导电层和第一平坦层交叠,交叠部分可以代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层和第二平坦层在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果。
可选地,可以设置所述第二导电层在基底上的正投影与所述第三导电层在基底上的正投影至少存在重叠区域,所述第二导电层与所述第三导电层之间通过过孔电连接。具体地,所述第三导电层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二导电层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠,以便于第三导电层与第二导电层通过过孔电连接。在其他实施例中,在所述第一隔离区内,所述第二导电层与第三导电层之间可以不电连接,而在其他区域实现电连接,或者第二导电层与第三导电层分别包括不同的电源线。
在一示例性实施例中,所述第二平坦层远离所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离小于所述第三导电层远离所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离。避免位于第三导电层靠近基底一侧的第一平坦层与位于第三导电层远离基底一侧的第二平坦层相连。
在一示例性实施例中,所述第一隔离区还包括钝化层,所述钝化层包括位于第二导电层与所述第一平坦层之间的第一钝化层,位于第一平坦层与所述第二复合绝缘层之间的第二钝化层,以及位于所述第三导电层与所述第二复合绝缘层之间的第三钝化层。所述第一钝化层、第二钝化层和第三钝化层组成连续的钝化层。所述钝化层可以进一步起到隔离水汽的作用。
在一示例性实施例中,所述显示基板还包括位于第二平坦层上的第一封装层,以及位于所述封装层远离基底一侧的触控走线层,所述触控走线层包括依次设置的触控绝缘层、第一触控金属层、层间绝缘层、第二触控金属层和封装层;或者,所述显示基板还包括位于第二平坦层远离基底一侧的触控走线层,所述触控走线层包括依次设置的触控绝缘层、第一触控金属层、层间绝缘层、第二触控金属层和封装层。
在一示例性实施例中,所述显示基板还包括设置于所述基底和所述第二复合绝缘层之间沿远离基底方向依次设置的第一复合绝缘层和第一导电层。可选地,所述第一导电层可以包括数据线。
在一示例性实施例中,所述第二隔离区中的隔离坝至少包括第一隔离层和设置在所述第一隔离层上的第二隔离层,所述第一隔离层与第一隔离区中的第一平坦层同层设置,或者与第一隔离区中的第二平坦层同层设置。
下面通过示例性实施例对本公开实施例进行说明。
图6a为本公开实施例一种扇出区局部的示意图,图6b为图6a中A-A向的剖视图。在本实施例中,扇出区域201包括第一隔离区310和第二隔离区320,在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区310包括设置在基底10上的第二复合绝缘层13以及设置于所述第二复合绝缘层13的第二导电层14、第一平坦层16、第三导电层17和第二平坦层18,所述第二导电层14、第一平坦层16、第三导电层17和第二平坦层18沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层16在基底上的正投影与所述第二平坦层18在基底上的正投影至少存在重叠区域。
在本实施例中,所述第二隔离区320设置于所述第一隔离区310靠近所述显示区域的一侧,所述第二隔离区320包括沿平行于显示区域边缘的方向延伸的隔离坝,如图中第一隔离坝410和第二隔离坝420。在其他实施例中,所述第二隔离区320可以设置于所述第一隔离区310远离所述显示区域的一侧。
在所述第一隔离区310,在平行于基底方向上,所述第二导电层14包括沿远离显示区域方向依次设置的第一金属线141和第二金属线142,所述第一金属线141和所述第二金属线142之间形成有隔离槽,所述第一平坦层16包括覆盖所述第一金属线141的第一平坦部161和覆盖所述第二金属线142的第二平坦部162,所述第三导电层17设置于所述隔离槽内,所述第三导电层17的靠近所述显示区域的第一侧设置于所述第一平坦部161远离所述显示区域的第一侧上,所述第三导电层17远离所述显示区域的第二侧设置于所述第二平坦部162靠近所述显示区域的第一侧上,所述第二平坦层18覆盖所述第三导电层17,所述第二平坦层18靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦部161的第一侧在基底上的正投影重叠,所述第二平坦层18远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二平坦部162的第一侧在基底上的正投影重叠。在本实施例中,所述第三导电层17和第二平坦层18作为隔离结构,代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层16和第二平坦层18在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果,可以有效避免ESD击伤。
在本实施例中,所述第二导电层14在基底上的正投影与所述第三导电层17在基底上的正投影至少存在重叠区域,具体地,所述第三导电层17的第一侧在基底上的正投影与第一金属线141远离显示区域的一端在基底上的正投影重叠,所述第三导电层17的第二端在基底上的正投影与第二金属线142靠近显示区域的一端在基底上的正投影重叠。以便于所述第二导电层14与所述第三导电层17之间通过过孔(图中未示出)电连接。
在本实施例中,所述第二平坦层18在所述基底上的正投影小于所述第三导电层17在基底上的正投影。
在平行于基底10方向上,所述第一平坦部161远离显示区域边缘的第一侧与所述显示区域边缘的距离大于所述第一金属线141远离所述显示区域边缘的一端与所述显示区域边缘的距离;所述第二平坦部162靠近所述显示区域边缘的第一侧与所述显示区域边缘的距离小于所述第二金属线142靠近所述显示区域边缘的一端与所述显示区域边缘的距离。通过设置第一平坦部161半包裹第一金属线141,第二平坦部162半包裹第二金属线142可以获得更好的隔绝水氧的效果。在其他实施例中,所述第一平坦部161可以向第二平坦部162延伸至所述第二复合绝缘层13上,所述第二平坦部162可以向第一平坦部161延伸至所述第二复合绝缘层13上。
在本实施例中,第一隔离区310还包括钝化层15,所述钝化层15包括位于所述第一金属线141与第一平坦部161之间的第一钝化层,位于所述隔离槽内所述第二导电层17与所述第二复合绝缘层13之间的第二钝化层,以及位于所述第二金属线142与第二平坦部162之间的第三钝化层。所述第一钝化层、第二钝化层和第三钝化层组成连续的钝化层。所述钝化层可以进一步起到隔离水汽的作用。
所述显示基板还包括位于第二平坦层18远离基底一侧的触控走线层20,所述触控走线层包括依次设置的触控绝缘层(TBL)、第一触控金属层(TMA)、层间绝缘层(TLD)、第二触控金属层(TMB)和第二封装层(TOC)。在其他实施例中,当第一隔离区位于第二隔离区靠近显示区域的一侧时,所述第二平坦层18上设置有第一封装层19,所述触控走线层20设置于所述第一封装层19远离基底的一侧。
所述显示基板还包括设置于所述基底10和所述第二复合绝缘层13之间的第一复合绝缘层11和第一导电层12。所述第一导电层12包括数据线(Vdata)。
所述第二隔离区320中的隔离坝至少包括第一隔离层和设置在所述第一隔离层上的第二隔离层。在本实施例中,图中所示隔离坝包括三个隔离层,第一隔离坝410包括与第一隔离区中的第一平坦层16(第二平坦部162)同层设置的第一隔离层,位于第一隔离层上的第二隔离层31以及第三隔离层33,第二隔离坝420包括与第一隔离区中第一平坦层16(第二平坦部162)同层设置的第一隔离层、位于第一隔离层上的第二隔离层32以及第三隔离层33)。在其他实施例中所述隔离坝还可以包括四个隔离层。
下面通过显示基板的制备过程的示例说明本公开显示基板的结构。本公开所说的“构图工艺”包括沉积膜层、涂覆光刻胶、掩模曝光、显影、刻蚀和剥离光刻胶等处理。沉积可以采用选自溅射、蒸镀和化学气相沉积中的任意一种或多种,涂覆可以采用选自喷涂和旋涂中的任意一种或多种,刻蚀可以采用选自干刻和湿刻中的任意一种或多种。“薄膜”是指将某一种材料在基底上利用沉积或涂覆工艺制作出的一层薄膜。若在整个制作过程当中该“薄膜”无需构图工艺,则该“薄膜”还可以称为“层”。当在整个制作过程当中该“薄膜”还需构图工艺,则在构图工艺前称为“薄膜”,构图工艺后称为“层”。经过构图工艺后的“层”中包含至少一个“图案”。本公开中所说的“A和B同层设置”是指,A和B通过同一次构图工艺同时形成。“A的正投影包含B的正投影”是指,B的正投影落入A的正投影范围内,或者A的正投影覆盖B的正投影。
(1)在基底10上制备驱动结构层和导电结构层图案。显示区域100的驱动结构层包括构成像素驱动电路的第一晶体管和第一存储电容,扇出区域201的导电结构层包括第一导电层12和第二导电层14,如图7所示。
在示例性实施方式中,制备过程可以包括:
在基底10上依次沉积第一绝缘薄膜和有源层薄膜,通过构图工艺对有源层薄膜进行构图,形成覆盖整个柔性基底10的第一绝缘层,以及设置在第一绝缘层上的第一有源层。随后,依次沉积第二绝缘薄膜和第一金属薄膜,通过构图工艺对第一金属薄膜进行构图,形成覆盖有源层图案的第二绝缘层,以及设置在第二绝缘层上的第一栅金属层,第一栅金属层至少包括位于显示区100的第一栅电极和第一电容电极、以及位于扇出区域201的第一导电层12。第一绝缘层和第二绝缘层为第一复合绝缘层11。
随后,依次沉积第三绝缘薄膜和第二金属薄膜,通过构图工艺对第二金属薄膜进行构图,形成覆盖第一栅金属层的第三绝缘层,以及设置在第三绝缘层上的第二栅金属层(包括第二电容电极)。随后,沉积第四绝缘薄膜,通过构图工艺对第四绝缘薄膜进行构图,形成覆盖第二栅金属层的第四绝缘层,第四绝缘层开设有至少两个第一过孔。随后,沉积第三金属薄膜,通过构图工艺对第三金属薄膜进行构图,在第四绝缘层上形成源漏金属层,源漏金属层至少包括位于显示区域100的第一源电极和第一漏电极、以及位于扇出区域201的第二导电层14,第一源电极和第一漏电极分别通过第一过孔与第一有源层连接。第三绝缘层和第四绝缘层为第二复合绝缘层13。
至此,在基底10上制备完成显示区域100的驱动结构层和扇出区域201的导电结构层图案。显示区域100的驱动结构层中,第一有源层、第一栅电极、第一源电极和第一漏电极组成第一晶体管,第一电容电极和第二电容电极组成第一存储电容。扇出区域201的导电结构层包括设置在基底10上的第一复合绝缘层11以及设置在第一复合绝缘层11上的第一导电层12,第二复合绝缘层13以及设置在第二复合绝缘层13上的第二导电层14。其中,第一导电层12可以设置为数据线(Vdata),第二导电层14可以设置为电源线(Vss)。
在示例性实施方式中,第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层可以采用硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和氮氧化硅(SiON)中的任意一种或更多种,可以是单层、多层或复合层。
(2)在形成前述图案的基底上沉积第五绝缘薄膜,通过构图工艺对第五绝缘薄膜进行构图,形成覆盖第二导电层14的第五绝缘层(或称钝化层(PVX))15,其中,第五绝缘层15可以采用SiOx、SiNx、SiON或其组合,如图8所示。
(3)在形成前述图案的基底上涂覆有机材料的平坦薄膜,形成覆盖整个基底10的第一平坦(PLN)层16,通过掩膜、曝光、显影工艺,在第一平坦层16上形成隔离槽311,在垂直于基底方向上,包含所述隔离槽311的区域为第一隔离区,所述第一隔离区靠近(或远离)显示区域一侧的区域为第二隔离区,第二隔离区中的第一平坦层作为第一隔离层。隔离槽311内的第一平坦层16被显影掉,暴露出第五绝缘层15,进而形成组成第一平坦层16的第一平坦部161和第二平坦部162。如图9所示。
(4)在形成前述图案的基底上涂覆隔离层薄膜,通过掩膜、曝光、显影工艺,在第二隔离区形成第二隔离层(如图中31和32),第二隔离层可以与显示区的像素定义(PDL)层同时形成。第二隔离层形成在扇出区域201所述隔离槽311靠近显示区100的一侧,如图10所示。本公开中,靠近显示区域的第二隔离层31是用于形成第一隔离坝,远离显示区域的第二隔离层32是用于形成第二隔离坝。在示例性实施方式中,第二隔离层可以采用聚酰亚胺、亚克力或聚对苯二甲酸乙二醇酯等。
在其他实施例中,当所述隔离坝包含四隔离层时,可以先执行步骤(7),在隔离槽形成第三导电层17,再执行步骤(8),形成覆盖第三导电层17的第二平坦层18,在形成第二平坦层18的同时,在隔离坝的第一隔离层上形成第二隔离层(PLN),再执行上述步骤(5),在第二隔离层上形成第三隔离层(PDL),再执行下述步骤(6),在第三隔离层上形成第四隔离层(PS)。
(6)在形成前述图案的基底上涂覆有机材料薄膜,通过掩膜、曝光、显影工艺,形成多个隔垫柱(PS)33图案,多个隔垫柱33分别形成在第一隔离坝的第二隔离层31和第二隔离坝的第二隔离层32上,作为第三隔离层,如图11所示。在示例性实施方式中,在垂直于基底10的方向上,第一隔离坝的第二隔离层31、第一隔离坝的第二隔离层32和隔垫柱33的横截面形状可以为梯形。第一隔离层、第二隔离层31和其上的隔垫柱33组成第一隔离坝410,第一隔离层、第二隔离层32和其上的隔垫柱33组成第二隔离坝420,本实施例中以隔离坝包含三个隔离层为例进行说明,在其他实施例中,所述隔离坝可以只包含两个隔离层,例如只包含第一隔离层和第二隔离层,或者至包含前述第一隔离层和第三隔离层。再例如,所述隔离坝可以包括四个隔离层,其中第一隔离层和第二隔离层可以是平坦层(PLN),第三隔离层可以与像素定义层(PDL)同层制备,第四隔离层可以为隔离柱(PS)。第一隔离坝410和第二隔离坝420沿着平行于显示区域边缘110的方向延伸,第一隔离坝410与显示区域100的距离小于第二隔离坝420与显示区域100的距离,即第二隔离坝420设置在第一隔离坝410远离显示区域100的一侧。在示例性实施方式中,第一隔离坝410和第二隔离坝420在基底10上正投影的宽度可以为约20μm到约60μm,第一隔离坝410与第二隔离坝420之间的间距可以为约20μm到约60μm。在一些实施例中,第一隔离坝410和第二隔离坝420在基底10上正投影的宽度为约40μm,第一隔离坝410与第二隔离坝420之间的间距为约40μm。
(7)在形成前述图案的基底上形成第三金属层,第三金属层至少包括位于扇出区域201的第三导电层17。所述第三导电层17的靠近所述显示区域的第一侧形成于所述第一平坦部161远离所述显示区域的第一侧上,所述第三导电层17远离所述显示区域的第二侧形成于所述第二平坦部162靠近所述显示区域的第一侧上,所述第三导电层17的第一侧在基底上的正投影可以与第一金属线141远离显示区域的一端在基底上的正投影重叠,所述第三导电层17的第二侧在基底上的正投影可以与第二金属线142靠近显示区域的一端在基底上的正投影重叠。如图12所示。
(8)在形成前述图案的基底上涂覆有机材料的平坦薄膜,形成覆盖第三导电层17的第二平坦层18,所述第二平坦层17在所述基底上的正投影小于所述第三导电层18在基底上的正投影。如图13所示。
在示例性实施例中,可以先执行(7)和(8),再执行(5)和(6),即先形成第三导电层17和第二平坦层18,再形成隔离坝的第二隔离层和第三隔离层。
(9)在形成前述图案的基础上形成封装层19,如图14所示。第一封装层25采用无机材料,所述封装层19覆盖第二隔离区。采用无机封装材料可以阻隔外界水汽,提高了封装效果和工艺质量。在其他实施例中,当所述第一隔离区位于所述第二隔离区靠近显示区的一侧,所述封装层19覆盖所述第一隔离区和第二隔离区。
(10)在形成前述图案的基础上形成触控走线层20,包括在远离基底方向上依次形成触控绝缘层(TBL)、第一触控金属层(TMA)、层间绝缘层(TLD)、第二触控金属层(TMB)和封装层(TOC),如图6b所示。
图15为本公开实施例另一种扇出区局部的示意图(未示出触控走线层),在本实施例中,与前述实施例相同的是,扇出区域201包括第一隔离区310和第二隔离区320,在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区310包括设置在基底10上的第二复合绝缘层13以及设置于所述第二复合绝缘层13的第二导电层14、第一平坦层16、第三导电层17和第二平坦层18,所述第二导电层14、第一平坦层16、第三导电层17和第二平坦层18沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层16在基底上的正投影与所述第二平坦层18在基底上的正投影至少存在重叠区域。
具体地,在所述第一隔离区310,所述第二导电层14上覆盖有第一平坦层16,所述第一平坦层16远离所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离大于所述第二导电层14远离所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离;在垂直于基底方向上,所述第三导电层17靠近所述显示区域的一侧设置于所述第一平坦层16远离所述显示区域的一侧上,所述第二平坦层18覆盖所述第三导电层17,所述第二平坦层18靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦层16远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠。在本实施例中,所述第三导电层17和第二平坦层18与所述第二导电层14和第一平坦层16交叠,交叠部分可以代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层16和第二平坦层18在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果。
在本实施例中,所述第三导电层17靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二导电层14远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠,可使第三导电层17与第二导电层14通过过孔(图中未示出)电连接。
所述第二平坦层18靠近所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离大于所述第三导电层17靠近所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离。即避免所述第二平坦层18与所述第一平坦层16连接。
在本实施例中,所述第二隔离区中的隔离坝的第一隔离层与第一隔离区中的第二平坦层18同层。
图16为本公开实施例再一种扇出区局部的示意图(未示出触控走线层),本实施例与图15所示实施例类似,区别在于,图15实施例中,所述第二导电层设置于所述第一隔离区靠近显示区域的一侧,所述第三导电层靠近显示区域的一侧设置于第一平坦层上,而图16实施例中,所述第二导电层设置于所述第一隔离区远离显示区域的一侧,所述第三导电层远离所述显示区域的一侧设置于第一平坦层上。具体地,在所述第一隔离区310,所述第二导电层14上覆盖有第一平坦层16,所述第一平坦层16靠近所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离小于所述第二导电层14靠近所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离;在垂直于基底方向上,所述第三导电层17的远离所述显示区域的一侧设置于所述第一平坦层16靠近所述显示区域的一侧上,所述第二平坦层18覆盖所述第三导电层17,所述第二平坦层18远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦层16靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠。与前述实施例类似,在本实施例中,所述第三导电层和第二平坦层与所述第二导电层和第一平坦层交叠,交叠部分可以代替隔断槽实现水汽隔绝,并且通过设置第一平坦层和第二平坦层在基底上的正投影相交,保证在隔离区内,在平行于基底方向上,第二导电层上方均有平坦层保护,增强显示基板的绝缘效果。
本实施例中,所述第三导电层17远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二导电层14远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠,可使第三导电层17与第二导电层14通过过孔(图中未示出)电连接。
所述第二平坦层18远离所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离大于所述第三导电层远离所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离,避免所述第二平坦层18与所述第一平坦层16连接。
在本实施例中,所述第二隔离区中的隔离坝的第一隔离层与第一隔离区中的第一平坦层16同层。
图15实施例和图16实施例中显示基板的具体制备过程,可参照图6所示实施例中显示基板的制备过程,这里不再赘述。
本公开实施例还提供了一种显示基板的制备方法,显示基板包括显示区域和位于显示区域一侧的扇出区域,所述制备方法包括:
在所述扇出区域形成第一隔离区,在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区包括设置在基底上的第二复合绝缘层以及设置于所述第二复合绝缘层的第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层,所述第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层在基底上的正投影与所述第二平坦层在基底上的正投影至少存在重叠区域。
本公开还提供了一种显示装置,包括前述的阵列基板。显示装置可以是手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
本申请中的附图只涉及本公开涉及到的结构,其他结构可参考通常设计。在不冲突的情况下,本公开的实施例即实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例。
虽然本公开所揭露的实施方式如上,但所述的内容仅为便于理解本公开而采用的实施方式,并非用以限定本发明。任何所属领域内的技术人员,在不脱离本公开所揭露的精神和范围的前提下,可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化,但本发明的专利保护范围,仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (14)
1.一种显示基板,其特征在于,包括显示区域和位于显示区域一侧的扇出区域,所述扇出区域包括第一隔离区;在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区包括设置在基底上的第二复合绝缘层以及设置于所述第二复合绝缘层的第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层,所述第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层在基底上的正投影与所述第二平坦层在基底上的正投影至少存在重叠区域;
其中,在所述第一隔离区,在平行于基底方向上,所述第二导电层包括沿远离显示区域方向依次设置的第一金属线和第二金属线,所述第一金属线和所述第二金属线之间形成有隔离槽,所述第一平坦层包括覆盖所述第一金属线的第一平坦部和覆盖所述第二金属线的第二平坦部,所述第三导电层设置于所述隔离槽内,所述第三导电层的靠近所述显示区域的第一侧设置于所述第一平坦部远离所述显示区域的第一侧上,所述第三导电层远离所述显示区域的第二侧设置于所述第二平坦部靠近所述显示区域的第一侧上,所述第二导电层与所述第三导电层通过过孔连接,所述第二平坦层覆盖所述第三导电层,所述第二平坦层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦部的第一侧在基底上的正投影重叠,所述第二平坦层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二平坦部的第一侧在基底上的正投影重叠。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述扇出区域还包括第二隔离区,所述第二隔离区设置于所述第一隔离区远离所述显示区域的一侧,或者设置于所述第一隔离区靠近所述显示区域的一侧,所述第二隔离区包括沿平行于显示区域边缘的方向延伸的隔离坝,所述显示区域边缘为所述显示区域靠近所述扇出区域一侧的边缘。
3.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第二平坦层在所述基底上的正投影小于所述第三导电层在基底上的正投影。
4.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,在平行于基底方向上,所述第一平坦部远离显示区域边缘的第一侧与所述显示区域边缘的距离大于所述第一金属线远离所述显示区域边缘的一端与所述显示区域边缘的距离;所述第二平坦部靠近所述显示区域边缘的第一侧与所述显示区域边缘的距离小于所述第二金属线靠近所述显示区域边缘的一端与所述显示区域边缘的距离;所述显示区域边缘为所述显示区域靠近所述扇出区域一侧的边缘。
5.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述第一隔离区还包括钝化层,所述钝化层包括位于所述第一金属线与第一平坦部之间的第一钝化层,位于所述隔离槽内所述第二导电层与所述第二复合绝缘层之间的第二钝化层,以及位于所述第二金属线与第二平坦部之间的第三钝化层。
6.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,在所述第一隔离区,所述第二导电层上覆盖有第一平坦层,所述第一平坦层远离所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离大于所述第二导电层远离所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离,所述显示区域边缘为所述显示区域靠近所述扇出区域一侧的边缘;在垂直于基底方向上,所述第三导电层靠近所述显示区域的一侧设置于所述第一平坦层远离所述显示区域的一侧上,所述第二平坦层覆盖所述第三导电层,所述第二平坦层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠。
7.根据权利要求6所述的显示基板,其特征在于,
所述第二平坦层靠近所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离大于所述第三导电层靠近所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离。
8.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,在所述第一隔离区,所述第二导电层上覆盖有第一平坦层,所述第一平坦层靠近所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离小于所述第二导电层靠近所述显示区域的一侧与所述显示区域边缘之间的距离,所述显示区域边缘为所述显示区域靠近所述扇出区域一侧的边缘;在垂直于基底方向上,所述第三导电层的远离所述显示区域的一侧设置于所述第一平坦层靠近所述显示区域的一侧上,所述第二平坦层覆盖所述第三导电层,所述第二平坦层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影重叠。
9.根据权利要求8所述的显示基板,其特征在于,
所述第二平坦层远离所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离小于所述第三导电层远离所述显示区域边缘的一侧与所述显示区域边缘的距离。
10.根据权利要求6或8所述的显示基板,其特征在于,所述第一隔离区还包括钝化层,所述钝化层包括位于第二导电层与所述第一平坦层之间的第一钝化层,位于第一平坦层与所述第二复合绝缘层之间的第二钝化层,以及位于所述第三导电层与所述第二复合绝缘层之间的第三钝化层。
11.根据权利要求1-9中任一项所述的显示基板,其特征在于,所述第二导电层在基底上的正投影与所述第三导电层在基底上的正投影至少存在重叠区域,所述第二导电层与所述第三导电层之间通过过孔电连接。
12.根据权利要求1所述的显示基板,其特征在于,所述显示基板还包括位于第二平坦层远离基底一侧的触控走线层,所述触控走线层包括依次设置的触控绝缘层、第一触控金属层、层间绝缘层、第二触控金属层和封装层。
13.一种显示基板的制备方法,其特征在于,所述显示基板包括显示区域和位于显示区域一侧的扇出区域,所述制备方法包括:
在所述扇出区域形成第一隔离区,在垂直于显示基板的平面上,所述第一隔离区包括设置在基底上的第二复合绝缘层以及设置于所述第二复合绝缘层的第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层,所述第二导电层、第一平坦层、第三导电层和第二平坦层沿着远离所述基底的方向依次设置;所述第一平坦层在基底上的正投影与所述第二平坦层在基底上的正投影至少存在重叠区域;
其中,在所述第一隔离区,在平行于基底方向上,所述第二导电层包括沿远离显示区域方向依次设置的第一金属线和第二金属线,所述第一金属线和所述第二金属线之间形成有隔离槽,所述第一平坦层包括覆盖所述第一金属线的第一平坦部和覆盖所述第二金属线的第二平坦部,所述第三导电层设置于所述隔离槽内,所述第三导电层的靠近所述显示区域的第一侧设置于所述第一平坦部远离所述显示区域的第一侧上,所述第三导电层远离所述显示区域的第二侧设置于所述第二平坦部靠近所述显示区域的第一侧上,所述第二导电层与所述第三导电层通过过孔连接,所述第二平坦层覆盖所述第三导电层,所述第二平坦层靠近所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第一平坦部的第一侧在基底上的正投影重叠,所述第二平坦层远离所述显示区域的一侧在基底上的正投影与所述第二平坦部的第一侧在基底上的正投影重叠。
14.一种显示装置,其特征在于,包括根据权利要求1-12所述的显示基板。
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