CN113265597B - 一种耐磨耐腐蚀材料及其制备方法和齿轮 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及复合材料科技领域，具体为一种耐磨耐腐蚀材料及其制备方法和齿轮，包括合金基体、过渡层和外增强层，所述合金基体、过渡层和外增强层由内而外设置；所述合金基体为Fe‑Cr‑Ni‑Cu‑C‑Mo‑P合金材料；所述过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；所述外增强层为硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，本发明合金基体具有优良的力学性能，其抗拉强度≥1555MPa，屈服强度≥1339MPa，硬度(HRC)≥63.89，过渡层和外增强层的引入，可以降低摩擦系数和磨损率，提升耐磨性能，且外增强层具有良好的抗腐蚀性能。

Description

一种耐磨耐腐蚀材料及其制备方法和齿轮
技术领域
本发明涉及复合材料科技领域，具体涉及一种耐磨耐腐蚀材料及其制备方法和齿轮。
背景技术
齿轮是最基本的机械基础零部件之一，具有精确传动比、传动平稳、工作速率高、互换性好、服役寿命长及成本低廉等优点。在汽车工业、船舶、能源、航空、航天等各个工业领域中得到了广泛的应用。因此一定程度上说，齿轮的制造水平和质量是衡量工业水平的重要标志。
随着现代科技的进步，齿轮作为传动系统的重要元件，越来越向高速和重载的趋势发展，但是很多时候齿轮的工况往往非常恶劣，常常受到不对称循环载荷的作用以及腐蚀介质的侵蚀，易发生疲劳断裂和腐蚀疲劳断裂，还面临着齿面耐磨性能不足的问题，这极大影响了齿轮作为传动系统的正常工作，甚至带来危险。
发明内容
发明目的：针对上述技术问题，本发明提供了一种耐磨耐腐蚀材料及其制备方法和齿轮。
本发明所采用的技术方案如下：
一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层，所述合金基体、过渡层和外增强层由内而外设置；
所述合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
所述过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
所述外增强层为硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层。
进一步地，所述Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料由以下重量分数的元素组成：
Cr 0.85-1.25％、Ni 0.48-0.50％、Cu 0.05-0.10％、C 0.22-0.37％、Mo 0.20-0.25％、P 0.008-0.015％、余量为Fe。
进一步地，所述Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料由以下重量分数的元素组成：
Cr 1.25％、Ni 0.50％、Cu 0.08％、C 0.35％、Mo 0.22％、P 0.008％、余量为Fe。
进一步地，硬质陶瓷颗粒为ZTA与SiC、TiC、WC、WCCO、B4C、TiN、BN、AlN、Si3N4、ZrB2、TiB2中的任意一种或多种复合而成。
进一步地，所述硬质陶瓷颗粒为ZTA和TiB2复合而成。
本发明还提供了上述耐磨耐腐蚀材料的制备方法，即对合金基体进行表面处理后，再依次将Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层沉积到合金基体表面，最后沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，再热处理即可。
进一步地，上述耐磨耐腐蚀材料的制备方法具体如下：
S1：将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体混合均匀后，20-30MPa下预压10-15s后，再于100-120MPa下压制30-60min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1200-1400℃下烧结1-3h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材；
S2：对合金基体表面先进行喷丸处理再进行电子束处理后，水洗，丙酮清洗后干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至5×10-3-8×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行10-30min溅射清洗；
S3：先使用Ti靶沉积Ti层和TiN层，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，再用TiB2靶沉积TiB2层，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，取出热处理消除应力，恢复室温即可。
进一步地，S1中ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体的质量比为2-5：1-1.5:10-30。
进一步地，S2中喷丸处理采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.15-0.18mmN，喷丸时间15-25s，覆盖率100％；
电子束处理时的加速电压为25-30kV，脉冲次数为25-30次。
进一步地，S3中热处理消除应力的具体操作如下：
先升温至300-500℃保温1-1.5h，再升温至800-850℃保温1-1.5h，最后以1-1.5℃/min的速度降温至室温即可。
更进一步地，本发明还公开了一种由上述耐磨耐腐蚀材料制备的齿轮。
本发明的有益效果：
本发明提供了一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层，其中合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料，其具有优良的力学性能，抗拉强度≥1555MPa，屈服强度≥1339MPa，硬度(HRC)≥63.89，是良好的齿轮基体材料，外增强层为硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，相比于一般的类金刚石碳膜层，本发明中加入了硬质陶瓷颗粒对其进行增强以进一步改善其耐磨耐腐蚀性能，尤其是ZTA和TiB2复合加入，提升效果最佳，在磨损工况中，外增强层对合金基体起到“保护效应”，同时合金基体对外增强层起到“支撑效应”，可以避免外增强层过早剥落，二者的共同作用大幅提高了材料的耐磨耐腐蚀性能，但是将合金基体与外增强层机械的结合后存在内应力大、结合性能差等问题，发明人在两层之间引入多层复合的过渡层，测试发现，过渡层的引入不仅能有效提高外增强层与合金基体的结合力，而且还可使其耐磨损性耐腐蚀性能进一步上升，本发明材料中过渡层和外增强层的引入，可以降低摩擦系数和磨损率，提升耐磨性能，且外增强层具有良好的抗腐蚀性能，单独合金基体的自腐蚀电位为-1.52V，自腐蚀电流密度为7.70×10-6A/cm2，但是在引入过渡层和外增强层后，自腐蚀电位升高至-1.34V，自腐蚀电流密度为下降至2.86×10-7A/cm2，显示出良好的抗腐蚀性能。
具体实施方式
实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
实施例1：
一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层；
其中合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
由以下重量分数的元素组成：
Cr 1.25％、Ni 0.50％、Cu 0.08％、C 0.35％、Mo 0.22％、P 0.008％、余量为Fe。
过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
外增强层为ZTA和TiB2复合增强类金刚石碳膜层。
制备方法具体如下：
将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体按质量比2：1：10混合均匀后，25MPa下预压15s后，再于120MPa下压制50min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1200℃下烧结1h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材，采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.15mmN，喷丸时间25s，覆盖率100％，对合金基体表面进行湿喷丸处理后，再进行电子束处理，电子束处理时的加速电压为30kV，脉冲次数为25次，水洗后丙酮清洗，干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至8×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行30min溅射清洗，溅射清洗后，调整靶基距为30mm，溅射功率为400W，溅射温度为120℃，通入氩气为工作气体，氩气流量为120sccm，先使用Ti靶沉积Ti层，沉积时间10min，更换氮气为工作气体沉积TiN层，氮气流量为150sccm，沉积时间10min，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，沉积时间10min，此时切换回氩气为工作气体再用TiB2靶沉积TiB2层，沉积时间10min，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，沉积时间50min，关机取出，先升温至300℃保温1.5h，再升温至850℃保温1.5h，最后以1℃/min的速度降温至室温即可。
实施例2：
一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层；
其中合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
由以下重量分数的元素组成：
Cr 0.85％、Ni 0.50％、Cu 0.05％、C 0.37％、Mo 0.20％、P 0.015％、余量为Fe。
过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
外增强层为ZTA和TiB2复合增强类金刚石碳膜层。
制备方法具体如下：
将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体按质量比2：1.5：10混合均匀后，30MPa下预压10s后，再于120MPa下压制30min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1400℃下烧结1h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材，采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.18mmN，喷丸时间15s，覆盖率100％，对合金基体表面进行湿喷丸处理后，再进行电子束处理，电子束处理时的加速电压为30kV，脉冲次数为25次，水洗后丙酮清洗，干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至8×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行10min溅射清洗，溅射清洗后，调整靶基距为35mm，溅射功率为400W，溅射温度为120℃，通入氩气为工作气体，氩气流量为120sccm，先使用Ti靶沉积Ti层，沉积时间10min，更换氮气为工作气体沉积TiN层，氮气流量为150sccm，沉积时间10min，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，沉积时间10min，此时切换回氩气为工作气体再用TiB2靶沉积TiB2层，沉积时间10min，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，沉积时间50min，关机取出，先升温至300℃保温1.5h，再升温至800℃保温1.5h，最后以1℃/min的速度降温至室温即可。
实施例3：
一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层；
其中合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
由以下重量分数的元素组成：
Cr 1.25％、Ni 0.48％、Cu 0.10％、C 0.22％、Mo 0.25％、P 0.008％、余量为Fe。
过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
外增强层为ZTA和TiB2复合增强类金刚石碳膜层。
制备方法具体如下：
将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体按质量比5：1：30混合均匀后，20MPa下预压15s后，再于100MPa下压制60min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1200℃下烧结3h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材，采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.15mmN，喷丸时间25s，覆盖率100％，对合金基体表面进行湿喷丸处理后，再进行电子束处理，电子束处理时的加速电压为25kV，脉冲次数为30次，水洗后丙酮清洗，干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至5×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行30min溅射清洗，溅射清洗后，调整靶基距为30mm，溅射功率为450W，溅射温度为100℃，通入氩气为工作气体，氩气流量为150sccm，先使用Ti靶沉积Ti层，沉积时间10min，更换氮气为工作气体沉积TiN层，氮气流量为120sccm，沉积时间10min，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，沉积时间10min，此时切换回氩气为工作气体再用TiB2靶沉积TiB2层，沉积时间10min，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，沉积时间50min，关机取出，先升温至500℃保温1h，再升温至850℃保温1h，最后以1.5℃/min的速度降温至室温即可。
实施例4：
一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层；
其中合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
由以下重量分数的元素组成：
Cr 0.85％、Ni 0.48％、Cu 0.05％、C 0.22％、Mo 0.20％、P 0.008％、余量为Fe。
过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
外增强层为ZTA和TiB2复合增强类金刚石碳膜层。
制备方法具体如下：
将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体按质量比2：1：10混合均匀后，20MPa下预压10s后，再于100MPa下压制30min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1200℃下烧结1h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材，采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.15mmN，喷丸时间15s，覆盖率100％，对合金基体表面进行湿喷丸处理后，再进行电子束处理，电子束处理时的加速电压为25kV，脉冲次数为25次，水洗后丙酮清洗，干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至5×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行10min溅射清洗，溅射清洗后，调整靶基距为30mm，溅射功率为400W，溅射温度为100℃，通入氩气为工作气体，氩气流量为120sccm，先使用Ti靶沉积Ti层，沉积时间10min，更换氮气为工作气体沉积TiN层，氮气流量为120sccm，沉积时间10min，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，沉积时间10min，此时切换回氩气为工作气体再用TiB2靶沉积TiB2层，沉积时间10min，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，沉积时间50min，关机取出，先升温至300℃保温1h，再升温至800℃保温1h，最后以1℃/min的速度降温至室温即可。
实施例5：
一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层；
其中合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
由以下重量分数的元素组成：
Cr 1.25％、Ni 0.50％、Cu 0.10％、C 0.37％、Mo 0.25％、P 0.015％、余量为Fe。
过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
外增强层为ZTA和TiB2复合增强类金刚石碳膜层。
制备方法具体如下：
将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体按质量比5：1.5：30混合均匀后，30MPa下预压15s后，再于120MPa下压制60min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1400℃下烧结3h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材，采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.18mmN，喷丸时间25s，覆盖率100％，对合金基体表面进行湿喷丸处理后，再进行电子束处理，电子束处理时的加速电压为30kV，脉冲次数为30次，水洗后丙酮清洗，干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至8×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行30min溅射清洗，溅射清洗后，调整靶基距为35mm，溅射功率为450W，溅射温度为120℃，通入氩气为工作气体，氩气流量为150sccm，先使用Ti靶沉积Ti层，沉积时间10min，更换氮气为工作气体沉积TiN层，氮气流量为150sccm，沉积时间10min，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，沉积时间10min，此时切换回氩气为工作气体再用TiB2靶沉积TiB2层，沉积时间10min，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，沉积时间50min，关机取出，先升温至500℃保温1.5h，再升温至850℃保温1.5h，最后以1.5℃/min的速度降温至室温即可。
实施例6：
一种耐磨耐腐蚀材料，包括合金基体、过渡层和外增强层；
其中合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
由以下重量分数的元素组成：
Cr 0.85％、Ni 0.48％、Cu 0.08％、C 0.37％、Mo 0.22％、P 0.008％、余量为Fe。
过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
外增强层为ZTA和TiB2复合增强类金刚石碳膜层。
制备方法具体如下：
将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体按质量比5：1：20混合均匀后，20MPa下预压15s后，再于110MPa下压制40min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1200℃下烧结2h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材，采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.15mmN，喷丸时间25s，覆盖率100％，对合金基体表面进行湿喷丸处理后，再进行电子束处理，电子束处理时的加速电压为30kV，脉冲次数为25次，水洗后丙酮清洗，干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至6×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行10min溅射清洗，溅射清洗后，调整靶基距为30mm，溅射功率为450W，溅射温度为120℃，通入氩气为工作气体，氩气流量为120sccm，先使用Ti靶沉积Ti层，沉积时间10min，更换氮气为工作气体沉积TiN层，氮气流量为120sccm，沉积时间10min，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，沉积时间10min，此时切换回氩气为工作气体再用TiB2靶沉积TiB2层，沉积时间10min，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，沉积时间50min，关机取出，先升温至400℃保温1.5h，再升温至800℃保温1.5h，最后以1.2℃/min的速度降温至室温即可。
对比例1：
对比例1与实施例1基本相同，区别在于，过渡层仅包括Ti层。
对比例2：
对比例2与实施例1基本相同，区别在于，过渡层包括Ti层、TiN层。
对比例3：
对比例3与实施例1基本相同，区别在于，过渡层仅包括Ti层、TiN层、TiAlN层。
对比例4：
对比例4与实施例1基本相同，区别在于，外增强层为类金刚石碳膜层，不加入ZTA和TiB2复合增强。
对比例5：
对比例5与实施例1基本相同，区别在于，外增强层为ZTA增强类金刚石碳膜层，不加入TiB2复合增强。
对比例6：
对比例6与实施例1基本相同，区别在于，外增强层为TiB2增强类金刚石碳膜层，不加入ZTA复合增强。
对比例7：
对比例7与实施例1基本相同，区别在于，只包括合金基体。
性能测试：
①摩擦磨损性能测试
本测试利用型号为MFT-R4000高速往复摩擦磨损试验仪对实施例1-6及对比例1-7材料试样进行摩擦磨损的测试，测试载荷为30N，测试时间为5min，摩擦长度为5×10-3m，摩擦球为φ4mm的Al2O3材料，再利用三维形貌仪对摩擦磨损后的材料进行磨损体积的测量，得到摩擦系数和磨损率。
磨损率W的计算公式如下：
W＝m/N·L其中，W为磨损率(g/N·m)；m为磨损质量(g)；N为载荷(N)；L为总行程(m)。试验结束后，利用扫描电镜观察试样表面磨损形貌。
②耐腐蚀性能测试
本测试利用普林斯顿273A电化学工作站对实施例1-6及对比例3-6的外增强层试样及对比例7进行耐腐蚀性能测试，试验采用常规的三电极体系，被测试样、铂、甘汞分别作为工作电极、辅助电极和参比电极，腐蚀试验所用的腐蚀液为3.5％的NaC1溶液，测试面积为0.785cm2，扫描速率为0.5mV/s，得到自腐蚀电位以及自腐蚀电流密度。
①和②测试结果如下表1所示：
表1：
Figure BDA0003068286270000131
Figure BDA0003068286270000141
由上表1可知，本发明材料中过渡层和外增强层的引入，可以降低摩擦系数和磨损率，提升耐磨性能，且外增强层具有良好的抗腐蚀性能，对比例7中合金基体的自腐蚀电位为-1.52V，自腐蚀电流密度为7.70×10-6A/cm2，但是在引入过渡层和外增强层后，自腐蚀电位升高至-1.34V，自腐蚀电流密度为下降至2.86×10-7A/cm2，显示出良好的抗腐蚀性能。
③对本发明实施例1-6所制备的合金基体进行力学性能测试；
④采用划痕法测试本发明实施例1-6及对比例1-3所制备的材料试样涂层界面结合性能。
③和④测试结果如下表2所示：
表2：
Figure BDA0003068286270000142
Figure BDA0003068286270000151
由上表2可知，本发明合金基体具有优良的力学性能，其抗拉强度≥1555MPa，屈服强度≥1339MPa，硬度(HRC)≥63.89，且复合过渡层的引入，一定程度上提高了涂层的韧性和结合强度，既保证了合金基体与过渡层和外增强层之间具有良好的结合强度，又增强了涂层体系的抗摩擦磨损能力。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种耐磨耐腐蚀材料，其特征在于，包括合金基体、过渡层和外增强层，所述合金基体、过渡层和外增强层由内而外设置；
所述合金基体为Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料；
所述过渡层包括Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层；
所述外增强层为硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层；
所述Fe-Cr-Ni-Cu-C-Mo-P合金材料由以下重量分数的元素组成：
Cr 1.25％、Ni 0.50％、Cu 0.08％、C 0.35％、Mo 0.22％、P 0.008％、余量为Fe；
所述硬质陶瓷颗粒为ZTA和TiB2复合而成。
2.一种如权利要求1所述耐磨耐腐蚀材料的制备方法，其特征在于，对合金基体进行表面处理后，再依次将Ti层、TiN层、TiAlN层、TiB2层沉积到合金基体表面，最后沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，再热处理即可。
3.如权利要求2所述的耐磨耐腐蚀材料的制备方法，其特征在于，具体如下：
S1：将ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体混合均匀后，20-30MPa下预压10-15s后，再于100-120MPa下压制30-60min得到胚体，将胚体于惰性气体保护下，1200-1400℃下烧结1-3h，自然恢复室温得到ZTA/TiB2/石墨靶材；
S2：对合金基体表面先进行喷丸处理再进行电子束处理后，水洗，丙酮清洗后干燥，装入磁控溅射镀膜机的真空室中，预先将真空室抽真空至5×10-3-8×10-3Pa，使用氩气，对合金基体表面表面进行10-30min溅射清洗；
S3：先使用Ti靶沉积Ti层和TiN层，再用TiAl合金靶沉积TiAlN层，再用TiB2靶沉积TiB2层，最后用ZTA/TiB2/石墨靶材沉积沉积硬质陶瓷颗粒增强类金刚石碳膜层，取出热处理消除应力，恢复室温即可。
4.如权利要求3所述的耐磨耐腐蚀材料的制备方法，其特征在于，S1中ZTA粉体、TiB2粉体、石墨粉体的质量比为2-5：1-1.5:10-30。
5.如权利要求3所述的耐磨耐腐蚀材料的制备方法，其特征在于，S2中喷丸处理采用湿喷丸工艺，磨液为陶瓷丸和水，陶瓷丸规格为250-425μm，喷丸强度0.15-0.18mmN，喷丸时间15-25s，覆盖率100％；
电子束处理时的加速电压为25-30kV，脉冲次数为25-30次。
6.一种齿轮，其特征在于，由权利要求1所述的耐磨耐腐蚀材料制备而成。
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