CN113249693A - 一种管靶绑定装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于靶材技术领域，具体涉及一种管靶绑定装置。目的是解决目前针对小型管靶及背板的绑定设备结构复杂，操作繁琐的技术问题。技术方案为：一种管靶绑定装置，它包括台架、固定板、加热棒升降机构、管靶加热机构、管靶固定机构和控制器，固定板通过若干个连杆设置在台架顶板的下方，加热棒升降机构设置在固定板的下方，管靶加热机构和管靶固定机构设置在台架的顶面，控制器与加热棒升降机构、管靶加热机构连接。本发明结构简单，操作简便，可以快速地对管靶进行固定，同时还可以对背板和管靶同时进行内外加热，使得铟能够均匀受热，流入间隙内，最大限度地增大背板和管靶的接触率。
Description
技术领域
本发明属于靶材技术领域，具体涉及一种管靶绑定装置。
背景技术
靶材产品主要分为平面靶和管靶，与平面靶材相比，管靶材具有利用率高、镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点，是理想的溅射靶材，市场需求量巨大，随着镀膜行业从使用平面靶材向使用旋转管靶材转变，管靶材正在成为磁控溅射设备的标准选材，目前针对管靶与管状背板的绑定设备结构复杂，操作繁琐，对于小型管靶及背板善无切实可用的绑定设备。
发明内容
本发明的目的是解决目前针对小型管靶及背板的绑定设备结构复杂，操作繁琐的技术问题，提供一种管靶绑定装置。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
一种管靶绑定装置，它包括台架、固定板、加热棒升降机构、管靶加热机构、管靶固定机构和控制器，所述固定板通过若干个连杆设置在台架顶板的下方，所述加热棒升降机构设置在固定板的下方，所述管靶加热机构和管靶固定机构设置在台架的顶面；
所述加热棒升降机构包括升降底座、底座导杆、第一螺纹导杆、加热棒和第一电机，所述升降底座设置在台架的底面上，所述底座导杆的上端与固定板连接，下端穿过升降底座与台架的底面连接，所述第一电机设置在固定板的顶面上，所述第一螺纹导杆与升降底座设置的螺孔连接，其上端穿过固定板与第一电机的输出轴连接，下端与台架的底面连接，所述加热棒设置在底座导杆和第一螺纹导杆之间，加热棒的下端与升降底座的顶面连接；
所述管靶固定机构包括背板、若干个管靶和背板固定夹，所述背板为空心筒状结构，所述背板的下端穿过台架顶板和固定板设置的背板孔并通过背板固定夹设置在台架的顶板上，所述加热棒的上端插入背板下端的空心筒内，所述若干个管靶套设在背板上且位于背板固定夹的上方，所述管靶之间均设有垫片，所述背板与管靶之间设有粘结层；
所述管靶加热机构包括第二电机、第二螺纹导杆和靶材加热套管，所述第二电机设置在台架的顶板上，所述第二螺纹导杆设置在第二电机的上方且第二螺纹导杆的下端与第二电机的输出轴连接，所述靶材加热套管通过连杆及螺纹套管设置在第二螺纹导杆上，所述靶材加热套管套设在背板上并位于管靶的上方；
所述控制器与加热棒、靶材加热套管内设置的热电偶、第一电机、第二电机电气连接。
进一步的，所述背板的外径小于管靶的内径且背板外壁与管靶内壁之间的间距为0.3-0.6mm。
进一步的，所述加热棒内沿轴向方向均匀设有若干个孔，所述孔内均匀设有若干个热电偶。
进一步的，所述背板与管靶之间的粘结层采用铟、导电胶和铟硒混合料中的任意一种。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明结构简单，操作简便，可以快速的对管靶进行固定，同时还可以对背板和管靶同时进行内外加热，使得铟能够均匀受热，流入间隙内，最大限度地增大背板和管靶的接触率。
附图说明
图1为本发明的总体布置图；
图2为本发明的主视结构示意图；
图中：1-台架、2-升降底座、3-底座导杆、4-第一螺纹导杆、5-加热棒、6-固定板、7-第一电机、8-第二电机、9-第二螺纹导杆、10-背板、11-靶材加热套管、12-管靶、13-垫片、14-背板固定夹。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1-2所示，一种管靶绑定装置，它包括台架1、固定板6、加热棒升降机构、管靶加热机构、管靶固定机构和控制器，所述固定板6通过若干个连杆设置在台架1顶板的下方，所述加热棒升降机构设置在固定板6的下方，所述管靶加热机构和管靶固定机构设置在台架1的顶面；
所述加热棒升降机构包括升降底座2、底座导杆3、第一螺纹导杆4、加热棒5和第一电机7，所述升降底座2设置在台架1的底面上，所述底座导杆3的上端与固定板6连接，下端穿过升降底座2与台架1的底面连接，所述第一电机7设置在固定板6的顶面上，所述第一螺纹导杆4与升降底座2设置的螺孔连接，其上端穿过固定板6与第一电机7的输出轴连接，下端与台架1的底面连接，所述加热棒5设置在底座导杆3和第一螺纹导杆4之间，加热棒5的下端与升降底座2的顶面连接，所述加热棒5内沿轴向方向均匀设有若干个孔，所述孔内均匀设有若干个热电偶。
所述管靶固定机构包括背板10、若干个管靶12和背板固定夹14，所述背板10为空心筒状结构，所述背板10的下端穿过台架1顶板和固定板6设置的背板孔并通过背板固定夹14设置在台架1的顶板上，所述加热棒5的上端插入背板10下端的空心筒内，所述若干个管靶12套设在背板10上且位于背板固定夹14的上方，所述背板10的外径小于管靶12的内径且背板10外壁与管靶12内壁之间的间距为0.5mm，所述管靶12之间均设有垫片13，所述背板10与管靶12之间设有铟粘结层；
所述管靶加热机构包括第二电机8、第二螺纹导杆9和靶材加热套管11，所述第二电机8设置在台架1的顶板上，所述第二螺纹导杆9设置在第二电机8的上方且第二螺纹导杆9的下端与第二电机8的输出轴连接，所述靶材加热套管11通过连杆及螺纹套管设置在第二螺纹导杆9上，所述靶材加热套管11套设在背板10上并位于管靶12的上方；
所述控制器与加热棒5、靶材加热套管11内设置的热电偶、第一电机7、第二电机8电气连接。
所述背板10外壁与管靶12内壁之间的间距还可以为0.3-0.6mm之间的任意数值。
所述背板10与管靶12之间的粘结层还可以采用导电胶或铟硒混合料中的任意一种。
本发明工作原理如下：
在进行磁控溅射前，将背板10的下端穿过台架1顶板和固定板6设置的背板孔并用固定夹14夹住，设置在台架1顶板上，接着将第一个管靶12套在背板10上并放在固定夹14上，使用控制器开启第一电机7，使得第一螺纹导杆4旋转，加热棒5随着升降底座2升降，将加热棒5调节至第一个管靶12的位置时，关闭第一电机7，开启第二电机8，使得靶材加热套管11升降，将靶材加热套管11升降调节至套设在第一个管靶12的位置，然后用控制器开启加热棒5和靶材加热套管11内的热电偶，对第一个管靶12和背板10从内外两边同时进行加热，当第一个管靶12和背板10的温度达到预设的温度后，向背板10与第一个管靶12之间的间隙内注入铟，铟在背板10与第一个管靶12的高温作用下融化，用铜丝引流，流入间隙内部，0.5mm的间隙可以克服铟液表面张力，最大限度提高靶和背板的接触率；
在第一个管靶12内注铟结束后，开启第二电机8，将靶材加热套管11升降调节退出到背板10的外侧，然后在管靶12顶面盖上一个垫片13，垫片13上面放置第二个管靶12，垫片13的设置可以有效地防止上层管靶12注铟时流出，然后依次开启第一电机7和第二电机8，重复上述步骤，将靶材加热套管11和加热棒5调节至第二个管靶12的位置，加热并向背板10与第二个管靶12之间的间隙内注入铟，继续重复上述操作，直至全部管靶12安装完毕，关闭靶材加热套管11和加热棒5并将其退出，待背板10及管靶12冷却后，间隙内的铟冷却凝结，将背板10和管靶12牢固地粘结在一起；
打开固定夹14，将背板10及安装好的管靶12取下，装入磁控溅射装置内，进行溅射；
在管靶12的整个固定安装过程中，本装置结构简单、操作简便，同时还可以对背板10和管靶12进行内外同时加热，使得铟能够均匀受热，流入间隙内，最大限度地增大背板10和管靶12的接触率，固定效果显著。
Claims (4)
1.一种管靶绑定装置，其特征在于：它包括台架(1)、固定板(6)、加热棒升降机构、管靶加热机构、管靶固定机构和控制器，所述固定板(6)通过若干个连杆设置在台架(1)顶板的下方，所述加热棒升降机构设置在固定板(6)的下方，所述管靶加热机构和管靶固定机构设置在台架(1)的顶面；
所述加热棒升降机构包括升降底座(2)、底座导杆(3)、第一螺纹导杆(4)、加热棒(5)和第一电机(7)，所述升降底座(2)设置在台架(1)的底面上，所述底座导杆(3)的上端与固定板(6)连接，下端穿过升降底座(2)与台架(1)的底面连接，所述第一电机(7)设置在固定板(6)的顶面上，所述第一螺纹导杆(4)与升降底座(2)设置的螺孔连接，其上端穿过固定板(6)与第一电机(7)的输出轴连接，下端与台架(1)的底面连接，所述加热棒(5)设置在底座导杆(3)和第一螺纹导杆(4)之间，加热棒(5)的下端与升降底座(2)的顶面连接；
所述管靶固定机构包括背板(10)、若干个管靶(12)和背板固定夹(14)，所述背板(10)为空心筒状结构，所述背板(10)的下端穿过台架(1)顶板和固定板(6)设置的背板孔并通过背板固定夹(14)设置在台架(1)的顶板上，所述加热棒(5)的上端插入背板(10)下端的空心筒内，所述若干个管靶(12)套设在背板(10)上且位于背板固定夹(14)的上方，所述管靶(12)之间均设有垫片(13)，所述背板(10)与管靶(12)之间设有粘结层；
所述管靶加热机构包括第二电机(8)、第二螺纹导杆(9)和靶材加热套管(11)，所述第二电机(8)设置在台架(1)的顶板上，所述第二螺纹导杆(9)设置在第二电机(8)的上方且第二螺纹导杆(9)的下端与第二电机(8)的输出轴连接，所述靶材加热套管(11)通过连杆及螺纹套管设置在第二螺纹导杆(9)上，所述靶材加热套管(11)套设在背板(10)上并位于管靶(12)的上方；
所述控制器与加热棒(5)、靶材加热套管(11)内设置的热电偶、第一电机(7)、第二电机(8)电气连接。
2.根据权利要求1所述的一种管靶绑定装置，其特征在于：所述背板(10)的外径小于管靶(12)的内径且背板(10)外壁与管靶(12)内壁之间的间距为0.3-0.6mm。
3.根据权利要求1所述的一种管靶绑定装置，其特征在于：所述加热棒(5)内沿轴向方向均匀设有若干个孔，所述孔内均匀设有若干个热电偶。
4.根据权利要求1所述的一种管靶绑定装置，其特征在于：所述背板(10)与管靶(12)之间的粘结层采用铟、导电胶和铟硒混合料中的任意一种。
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