CN208104530U - 一种旋转靶靶材分节绑定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种旋转靶靶材分节绑定装置，包括用于定位及安装背管的移动定位器、外加热装置、移动导杆和内加热装置，背管的下部插设于移动定位器中，移动导杆插入在背管中，内加热装置固定在移动导杆的上部，且背管的下部定位固定于移动定位器；外加热装置和内加热装置的相对位置保持不变，以实现在背管的外缘形成一连结下一节金属层的浇铸空间，以实现使依次成型在背管的表面的相邻两节金属层连结成一体。本实用新型能够生产任意长度的背管成型金属层，根据金属层的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，使用相当方便。

Description

一种旋转靶靶材分节绑定装置

技术领域

本实用新型涉及靶材成型加工领域，特别是一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的一种旋转靶靶材分节绑定装置。

背景技术

磁控溅射广泛应用，推动了靶材产品的丰富发展，很多靶材的性质决定了不能直接使用，需要背管与靶材绑定，来满足生产设备的安装及导电、散热要求。因此，靶材与背管的绑定技术就成为了关键技术，直接影响靶材的正常使用。

旋转靶与背管之间的绑定是整个环形面的接触焊合，很容易产生气泡、疏松，使得背管效能降低甚至脱落。旋转靶长度越长，越难绑定，绑定焊合率越低。有些靶材绑定过长时还会发生变形。

旋转靶与背管之间的接触面为曲面，与平面靶不同，旋转靶的绑定，一般以旋转靶和背管为模具，将绑定材料溶化后进行浇铸。绑定原理与铸造管材类似，管壁越薄，长度越长，浇铸的均匀性越难控制。对于一些靶材，绑定的温度也收到限制。为了解决绑定长度过长造成的绑定不均匀、焊合率低，本实用新型提出了分节绑定的方案。本方案可根据靶材材质灵活调整，适用于任意长度的旋转靶，通用性好。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的旋转靶分节绑定装置，通用性高。

本实用新型解决其技术问题所采用技术方案是：一种旋转靶靶材分节绑定装置，包括用于定位及竖直安装背管的移动定位器、外加热装置、移动导杆和内加热装置，背管的下部插设于移动定位器中，且背管的下部定位固定于移动定位器；

内加热装置固定在移动导杆的上部，内加热装置及移动导杆的上部活动插设于背管的内腔中，以实现通过移动导杆及内加热装置相对背管移动而改变内加热装置相对背管的位置；背管的外缘活动套设有外加热装置，外加热装置的上端部开设有浇口，在背管和外加热装置之间形成一用于浇铸并形成靶材的浇铸空间，以实现浇铸形成的靶材固定在该背管的外表面；

在外加热装置和内加热装置每次相对背管向上移动设定距离的过程中，外加热装置和内加热装置的相对位置保持不变，以实现在背管的外缘形成一连结下一节靶材的浇铸空间，以实现使依次成型在背管的表面的相邻两节靶材连结成一体。

优选的，所述移动定位器设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管的下部插设并固定于定位器，以实现驱动背管相对外加热装置或内加热装置上下移动。

优选的，所述背管的外缘设置有定位架，外加热装置固定于定位架，外加热装置相对内加热装置的位置保持不变。

优选的，所述外加热装置的长度为所述背管的1/n，n为自然数，1≤n≤20。

优选的，所述移动定位器设置有震动装置。

优选的，所述移动导杆的下部连接有用于驱动移动导杆上下移动的升降机构，以实现驱动移动导杆插入背管或从背管中移出。

本实用新型的有益效果是：本实用新型能够生产任意长度的背管成型靶材，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据靶材的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图中：1、背管 2、浇口 3、外加热装置 4、靶材层 5、内加热装置 6、内加热装置移动导杆 7、移动定位器 8、金属层。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一个实施例，而不是全面的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

一种旋转靶靶材分节绑定装置，图1所示，包括用于定位背管1的移动定位器7、外加热装置3、移动导杆6和内加热装置5，背管1的下部插设于移动定位器7中，且背管1的下部定位固定于移动定位器7。使背管1竖直安装在移动定位器7之上。

移动导杆6的下部连接有升降机构，用于驱动移动导杆6上下移动，在将背管1固定于移动定位器7之后，升降机构驱动移动导杆6插入背管1中，在完成分节绑定之后，升降机构驱动移动导杆6从背管1中移出。

移动定位器7设置有震动装置，在浇铸过程使背管1产生震动，使浇铸到浇铸空间的液态靶材顺利填充满浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态靶材内部的气泡、轻渣等上浮，提升靶材质量。

内加热装置5固定在移动导杆6的上部，内加热装置5及移动导杆6的上部活动插设于背管1的内腔中，以实现通过移动导杆6及内加热装置5相对背管1移动而改变内加热装置5相对背管1的位置。移动导杆6为中空的钢管，内加热装置5为中空的筒状体，筒状体内安装有发热元件。移动导杆6的上部固定连接内加热装置5，移动导杆6的下部伸出在背管1的下方，在浇铸过程中移动导杆6相对背管1向内移动。

背管1的外缘活动套设有外加热装置3，外加热装置3的上端部开设有浇口2，在背管1和外加热装置3之间形成一用于浇铸并形成金属层8的浇铸空间，以实现浇铸形成的金属层8固定在该背管1的外表面。外加热装置3的长度为背管1的1/n，n为自然数，1≤n≤20。

移动定位器7设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管1的下部插设并固定于定位器，以实现驱动背管1相对外加热装置3或内加热装置5上下移动。背管1的外缘设置有定位架，外加热装置3固定于定位架，外加热装置3相对内加热装置5的位置保持不变。

在浇铸空间中浇铸完成一节金属层8之后，通过移动定位器7向下移动背管1，外加热装置3和内加热装置5相对上移一节外加热装置3的高度，即在外加热装置3和内加热装置5每次相对背管1向上移动设定距离的过程中，外加热装置3和内加热装置5的相对位置保持不变，以实现在背管1的外缘形成一连结下一节金属层8的浇铸空间，以实现使依次成型在背管1的表面的相邻两节金属层8连结成一体。通过浇涛工艺在金属层8外缘再浇涛形成一靶材层4，靶材层4同样通过分节浇涛的方式形成。

本实用新型能够生产任意长度的背管成型靶材，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据靶材的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。

对于长度较长的旋转靶，特别是长度在10米以上的旋转靶，可以在背管1的表面分10次或20次成型靶材，即分节绑定，每次绑定成型的靶材的长度很短，能够更好地控制靶材的成型过程和成型质量，既能够提高靶材成型质量，且能够将靶材的形变降低到最小。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：包括用于定位及竖直安装背管(1)的移动定位器(7)、外加热装置(3)、移动导杆(6)和内加热装置(5)，

背管(1)的下部插设于移动定位器(7)中，且背管(1)的下部定位固定于移动定位器(7)；

内加热装置(5)固定在移动导杆(6)的上部，内加热装置(5)及移动导杆(6)的上部活动插设于背管(1)的内腔中，以实现通过移动导杆(6)及内加热装置(5)相对背管(1)移动而改变内加热装置(5)相对背管(1)的位置；

背管(1)的外缘活动套设有外加热装置(3)，外加热装置(3)的上端部开设有浇口(2)，在背管(1)和外加热装置(3)之间形成一用于浇铸并形成金属层(8)的浇铸空间，以实现浇铸形成的金属层(8)固定在该背管(1)的外表面；

在外加热装置(3)和内加热装置(5)每次相对背管(1)向上移动设定距离的过程中，外加热装置(3)和内加热装置(5)的相对位置保持不变，以实现在背管(1)的外缘形成一连结下一节金属层(8)的浇铸空间，以实现使依次成型在背管(1)的表面的相邻两节金属层(8)连结成一体。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述移动定位器(7)设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管(1)的下部插设并固定于定位器，以实现驱动背管(1)相对外加热装置(3)或内加热装置(5)上下移动。

3.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述背管(1)的外缘设置有定位架，外加热装置(3)固定于定位架，外加热装置(3)相对内加热装置(5)的位置保持不变。

4.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述外加热装置(3)的长度为所述背管(1)的1/n，n为自然数，1≤n≤20。

5.根据权利要求1至4之一所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述移动导杆(6)的上部固定连接内加热装置(5)，移动导杆(6)的下部伸出在所述背管(1)的下方，在浇铸过程中移动导杆(6)相对背管(1)向内移动。

6.根据权利要求5所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述移动导杆(6)为中空的钢管，内加热装置(5)为中空的筒状体，筒状体内安装有发热元件。

7.根据权利要求5所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述移动定位器(7)设置有震动装置。

8.根据权利要求5所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述移动导杆(6)的下部连接有用于驱动移动导杆(6)上下移动的升降机构，以实现驱动移动导杆(6)插入背管(1)或从背管(1)中移出。