CN202576549U - 镀膜靶台 - Google Patents
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Abstract
一种镀膜靶台，包括：支架；加热装置，设置在所述支架上；电源控制装置，设置所述支架底部，用于控制所述加热装置加热；粘靶台面，层叠地设置在所述加热装置上；靶材夹持件，嵌入式地设置在所述粘靶台面上；以及夹具结构，设置在所述支架上，用于夹持玻璃基板。在粘靶台面上设置靶材夹持件来代替通常的螺钉，能够防止螺钉、螺孔在加热的过程中造成的温度不均匀和可能出现的变形，使得热量能够充分均匀的被靶件吸收，提高了镀膜的效率和质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术，尤其涉及一种镀膜靶台。
背景技术
目前，许多工业产品表面都镀有功能薄膜以改善产品表面的各种性能，例如TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)表面也需要进行镀膜工艺。
镀膜工艺的硬件基础是镀膜靶台，传统的镀膜靶台中，铜备板是通过螺丝固定在靶台面上。在加热过程中，螺丝和螺孔会影响整个靶台面的温度分布，导致螺丝容易滑牙造成铜备板在加热过程中变形，进而造成加热过程中靶台面温度不均匀，加热效率差，从而影响镀膜效果。
实用新型内容
基于此，有必要针对靶台面在加热过程中受热不均匀的问题，提供一种热量较均匀的镀膜靶台。
一种镀膜靶台，包括：支架；加热装置，设置在所述支架上；电源控制装置，设置所述支架底部，用于控制所述加热装置加热；粘靶台面，层叠地设置在所述加热装置上；靶材夹持件，嵌入式地设置在所述粘靶台面上；以及夹具结构，设置在所述支架上，用于夹持玻璃基板。
在其中一个实施例中，所述靶材夹持件为双L形，所述L形开口朝内。
在其中一个实施例中，所述加热装置包括：加热件，产生热量的热源；导热件，与所述加热件连接，传导热量。
在其中一个实施例中，所述加热装置还包括：绝缘件，设置在所述加热件的底部，用于隔热。
在其中一个实施例中，所述加热件开设有收容槽，在所述收容槽中安装加热丝。
在其中一个实施例中，所述绝缘件内设有磁绝缘柱。
在其中一个实施例中，所述夹具结构包括：U形夹具，倒扣在所述支架上；玻璃基板夹具，设置在所述U形夹具内；以及紧固件，把所述玻璃基板夹具紧固在所述U形夹具内。
在其中一个实施例中，还包括挡板，所述挡板把所述支架包裹形成柜体。
在其中一个实施例中，还包括转轮，所述转轮设置在所述支架的端部。
在其中一个实施例中，还包括定位支架，所述定位支架设置在所述支架的底部。
在粘靶台面上设置靶材夹持件来代替通常的螺钉，能够防止螺钉、螺孔在加热的过程中造成的温度不均匀和可能出现的变形，使得热量能够充分均匀的被靶件吸收，提高了镀膜的效率和质量。
附图说明
图1为一个实施例中镀膜靶台的横向剖视图；
图2为一个实施例中镀膜靶台的纵向剖视图。
具体实施方式
现结合具体实施例，对镀膜靶台进行全面的阐述。
结合附图1～2，在一个实施例中，镀膜靶台包括：支架10，支架10是支撑镀膜靶台整体重量的框架体。支架10由强度较大的金属或合金制成，例如钢。
加热装置20，设置在支架10底部。加热装置20是在镀膜过程中必备的装置，一般是设置在支架10上。
电源控制装置30，设置支架10上，用于控制加热装置20加热。加热过程是通过电能转换成热能，加热的温度高低则由电源控制装置30进行调节控制，进而达到镀膜所需的温度值。
粘靶台面40，层叠的设置在加热装置20上。粘靶台面40是为靶材提供支持的平面，加热装置20通过粘靶台面40传递热量。
靶材夹持件50，嵌入式的设置在粘靶台面40上。靶材夹持件50设置在粘靶台面40上，用于夹持铜备板(图未示)，铜备板也能更好的与粘靶台面40接触。在其它实施例中，靶材夹持件50为双L形，相对设置，L形开口向内，形成卡合的收容空间。采用L形靶材夹持件50，省略了传统的用螺钉把铜备板固定在粘靶台面40的方案，使得铜备板能更好的与粘靶台面40接触，加热速度更快，均匀性更好。另外，L形靶材夹持件50可设置多组，优选的为2组，能够提高加工的速度，减少加工的时间，从而节省加工的成本。
夹具结构60，设置在支架10上，用于夹持玻璃基板。在其它实施例中，夹具结构60包括：
U形夹具61，倒扣在支架10上。具体地，U形夹具61的两端部扣夹在支架10上，内部中空，可用于放置需要镀膜的玻璃基板。
玻璃基板夹具65，设置在U形夹具61内。具体地，玻璃基板夹具65的主体在U形夹具61的内部，用于夹持玻璃基板。
紧固件63，把玻璃基板夹具65紧固在U形夹具61内。具体地，紧固件63穿过U形夹具61的顶部把玻璃基板夹具65紧固在U形夹具61内。
采用本方案的镀膜靶台，省略了螺丝或螺孔把，铜备板也能更好的与粘靶台面40接触，加热速度更快，均匀性更好。而且铜备板也不会发生形变，铜备板与靶材能够更好的粘在一起，掉靶或加热功率加不上的情况也大幅减少。另外，采用L形靶材夹持件50，拆装更加方便，大大提高了工作效率。
在一实施例中，加热装置20包括：
加热件21，产生热量的热源。加热件21是镀膜靶台重要的加热器件，传统的是通过电能转换成热能的方式产生热源。加热件21的材料也会影响影响到加热源热量的传递，一般的应当使用高热导率的材料，例如铝或者铜。
在其它实施例中，加热件21开设有收容槽211，在收容槽211中安装加热丝。加热件21主要是通过加热丝发热产生热量，故可以根据加热的需要开设多个收容了加热丝的收容槽211，该加热丝可以是陶瓷管加热丝。为了能够使陶瓷管加热丝的热量充分而快速的传递，使用的时候，应当在收容槽211内涂一层导热胶。
导热件23，与加热件21连接，传导热量。导热件23传导加热件21所产生的热量，故导热件23一般都是由高热导率的材料做成，例如铜或铝。为了提高热量的传导速度，在加热件21与导热件23的接触面涂一层导热胶。
在其它实施例中，加热装置20还包括绝缘件25，设置在所述加热件21的底部，用于隔热。因为陶瓷管加热丝的非绝缘部分的材料占的比重相对较少，因此陶瓷管加热丝的热导率相对一般的加热源也很高。使用陶瓷管加热丝加热，热量能够快速的传递。为了防止热量的流失，在加热件21底部设置绝缘件25，防止热量从底部流失。在其它实施例中，绝缘件25内设有磁绝缘柱251，能够进一步的提高隔热的效果。
在一实施例中，镀膜靶台还包括挡板70，挡板70把支架10包裹形成柜体。因为支架10内中空，通过挡板70把支架10的四周以及底部包裹形成柜体。柜体的四周的挡板70设置为可灵活开启的活动门，里面可以以放置通常镀膜需要的工具，节省了镀膜设备所占的空间。
在一实施例中，镀膜靶台还包括转轮80，设置在支架10的端部。在支架10四个角的端部分别设置转轮80，该转轮80可以是多角度旋转，方便镀膜靶台的移动。在其它实施例中，可以根据镀膜靶台的设置，支架10可以设置为是三个角，则其端部就设置三个转轮80。
在一实施例中，镀膜靶台还包括定位支架90，设置在支架10的底部。当镀膜靶台移动至确定的位置，需要对镀膜靶台进行固定，防止其滑动，因此需要设置定位支架90。定位支架90通过旋转向地面延伸，把镀膜靶台支撑起来，防止镀膜靶台滑动。
通过在加热件21中安装的加热丝，加热的时候热量能够迅速、高效的从加热丝传递到粘靶台面40，同时，通过在粘靶台面40上设置靶材夹持件50来代替通常的螺钉，能够防止螺钉、螺孔在加热的过程中造成的温度不均匀和可能出现的变形，使得热量能够充分均匀的被靶件吸收，提高了镀膜的效率和质量。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种镀膜靶台，其特征在于，包括：
支架；
加热装置，设置在所述支架上；
电源控制装置，设置所述支架底部，用于控制所述加热装置加热；
粘靶台面，层叠地设置在所述加热装置上；
靶材夹持件，嵌入式地设置在所述粘靶台面上；以及
夹具结构，设置在所述支架上，用于夹持玻璃基板。
2.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，所述靶材夹持件为双L形，所述L形开口朝内。
3.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，所述加热装置包括：
加热件，产生热量的热源；
导热件，与所述加热件连接，传导热量。
4.根据权利要求3所述的镀膜靶台，其特征在于，所述加热装置还包括：
绝缘件，设置在所述加热件的底部，用于隔热。
5.根据权利要求4所述的镀膜靶台，其特征在于，所述加热件开设有收容槽，在所述收容槽中安装加热丝。
6.根据权利要求4所述的镀膜靶台，其特征在于，所述绝缘件内设有磁绝缘柱。
7.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，所述夹具结构包括：
U形夹具，倒扣在所述支架上；
玻璃基板夹具，设置在所述U形夹具内；以及
紧固件，把所述玻璃基板夹具紧固在所述U形夹具内。
8.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，还包括挡板，所述挡板把所述支架包裹形成柜体。
9.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，还包括转轮，所述转轮设置在所述支架的端部。
10.根据权利要求1所述的镀膜靶台，其特征在于，还包括定位支架，所述定位支架设置在所述支架的底部。
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| CN110017318A (zh) * | 2019-03-27 | 2019-07-16 | 先导薄膜材料（广东）有限公司 | 弹性绑定靶材的装置及方法 |
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