CN203181249U - 平面靶材绑定用加热平台 - Google Patents
平面靶材绑定用加热平台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203181249U CN203181249U CN 201320127912 CN201320127912U CN203181249U CN 203181249 U CN203181249 U CN 203181249U CN 201320127912 CN201320127912 CN 201320127912 CN 201320127912 U CN201320127912 U CN 201320127912U CN 203181249 U CN203181249 U CN 203181249U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- heating platform
- conducting plate
- plate
- planar targets
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种平面靶材绑定用加热平台。平面靶材绑定用加热平台，包括支架（1）,支架（1）上设置有绝缘陶瓷板，陶瓷板上装有电阻丝（2），电阻丝（2）上方从下到上依次设置有导热石墨板（3）、铝合金导热板（4）、柔性导热板（5）、保温罩（6）。本实用新型在铝合金板上再设置一层柔性的导热板，其质地较柔软且导热良好，软性的导热板，用来导热，同时可以防止绑定时硬的铝板对靶材的刮伤，可保证产品的品质。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种加热装置，具体是指一种平面靶材绑定用加热平台。
背景技术
靶材与背板的贴合过程中，需要使用加热装置。其中，现有技术中的加热装置的导热板通常采用铝合金板，在靶材的贴合中，特别关键的是加热的速率和均匀性，速率和均匀性保证不好，容易引起靶材（尤其是陶瓷靶材）的内部应力变化，造成靶材开裂；同时，加热时直接将靶材放置在铝合金板上，由于铝合金板是金属，靶材在其上面非常容易刮花，容易给靶材带来损伤，可能造成崩边、缺角或者微裂纹等影响产品品质的情况。
上述论述内容目的在于向读者介绍可能与下面将被描述和/或主张的本实用新型的各个方面相关的技术的各个方面，相信该论述内容有助于为读者提供背景信息，以有利于更好地理解本实用新型的各个方面，因此，应了解是以这个角度来阅读这些论述，而不是承认现有技术。
实用新型内容
本实用新型的目的在于避免现有技术中的不足而提供一种平面靶材绑定用加热平台，其不会导致靶材刮花且导热保温效果良好，可保证靶材贴合作业的品质。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现：
提供一种平面靶材绑定用加热平台，包括支架,支架上设置有绝缘陶瓷板，陶瓷板上装有电阻丝，电阻丝上方从下到上依次设置有导热石墨板、铝合金导热板、柔性导热板、保温罩。
其中，还包括用于测定铝合金导热板温度的热电偶。
其中，所述热电偶插在铝合金导热板中。
其中，还包括用于测定柔性导热板表面温度的表面温度计。
其中，所述保温罩由包裹着保温石棉的薄铝片构成。
其中，所述支架的四个脚设置有四个带刹车片的万向轮。
其中，所述万向轮上设置有可以调节水平的螺丝底座。
本实用新型的有益效果：本实用新型在加热电阻丝上有一层石墨导热板，其导热效果良好，且将一般的电阻丝与铝合金板的小面积面-面接触转变成了石墨板与铝合金板的大面积的面-面接触，使得导热的速度与导热均匀性大大提高，同时铝合金板上再设置一层柔性的导热板，其质地较柔软且导热良好，软性的导热板，用来导热，同时可以防止绑定时硬的铝板对靶材的可能造成崩边、缺角、刮伤或者微裂纹等影响产品的品质的情况。
附图说明
利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
图１是平面靶材绑定用加热平台的结构示意图。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细的描述，需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
本实用新型的核心在于提供一种平面靶材绑定用加热平台，其不会导致靶材刮花，可保证产品的品质。
如图1所示，本实用新型所述的平面靶材绑定用加热平台，包括支架1,支架1的四个脚设置有四个带刹车片的万向轮10，方便加热平台的移动，在万向轮的上面有可以调节水平的螺丝底座11，用来调整加热平台的水平。支架1上设置有绝缘陶瓷板，陶瓷板上设置有三组加热的电阻丝2，电阻丝的成本较低，取材方便，属于常见的升温材料，且通过电流加热的电阻丝可以通过一组控制箱9很容易控制其温度的高低。电阻丝2上方从下到上依次设置有导热石墨板3、铝合金导热板4、柔性导热板5、保温罩6。石墨板位于电阻丝上，其导热性良好，且热量分布均匀是理想的导热材料，可以很好的将热量均匀的传递给铝合金板。铝合金板位于石墨板上，电阻丝通电后产生的热量通过石墨板非常好的传递到铝合金板上，在铝合金板上再设置一层柔性的导热板5，其质地较柔软且导热良好。软性的加热板，用来导热，同时可以防止靶材贴合时硬的铝板对靶材的刮伤。
优选的，还包括用于测定铝合金导热板4温度的热电偶7和用于测定柔性导热板5表面温度的表面温度计8。在铝合金板上钻盲孔，插入热电偶7，热电偶用来测量铝合金板的温度，表面温度计8可以精确测量柔性导热板上的温度。热电偶和表面温度计测量的温度信号输入给控制箱9。
为了更好的对靶材加热的前期阶段的温度控制和保证热量的尽量少的散失，在柔性导热板5上加装一个保温罩6，所述保温罩6由包裹着保温石棉的薄铝片构成，可以对铝合金加热板起到很到的保温作用。可以在靶材贴合的预升温过程中，保证加热平台空间内温度的稳定性与均匀性。
上面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
总之，本实用新型虽然例举了上述优选实施方式，但是应该说明，虽然本领域的技术人员可以进行各种变化和改型，除非这样的变化和改型偏离了本实用新型的范围，否则都应该包括在本实用新型的保护范围内。
Claims (7)
1.一种平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：包括支架（1）,支架（1）上设置有绝缘陶瓷板，陶瓷板上装有电阻丝（2），电阻丝（2）上方从下到上依次设置有导热石墨板（3）、铝合金导热板（4）、柔性导热板（5）、保温罩（6）。
2.根据权利要求1所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：还包括用于测定铝合金导热板（4）温度的热电偶（7）。
3.根据权利要求2所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述热电偶（7）插在铝合金导热板（4）中。
4.根据权利要求1或2或3所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：还包括用于测定柔性导热板（5）表面温度的表面温度计（8）。
5.根据权利要求1或2或3所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述保温罩（6）由包裹着保温石棉的薄铝片构成。
6.根据权利要求1或2或3所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述支架（1）的四个脚设置有四个带刹车片的万向轮（10）。
7.根据权利要求6所述的平面靶材绑定用加热平台，其特征在于：所述万向轮（10）上设置有可以调节水平的螺丝底座（11）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320127912 CN203181249U (zh) | 2013-03-20 | 2013-03-20 | 平面靶材绑定用加热平台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201320127912 CN203181249U (zh) | 2013-03-20 | 2013-03-20 | 平面靶材绑定用加热平台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203181249U true CN203181249U (zh) | 2013-09-04 |
Family
ID=49077901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201320127912 Expired - Fee Related CN203181249U (zh) | 2013-03-20 | 2013-03-20 | 平面靶材绑定用加热平台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203181249U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104400765A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-03-11 | 常州利普金属制品有限公司 | 电加热的工作台 |
| CN110230032A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-09-13 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种平面靶材的绑定装置和方法 |
| CN111361261A (zh) * | 2020-04-10 | 2020-07-03 | 秦皇岛晟成自动化设备有限公司 | 一种太阳能组件层压机用分块电加热平台 |
-
2013
- 2013-03-20 CN CN 201320127912 patent/CN203181249U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104400765A (zh) * | 2014-12-02 | 2015-03-11 | 常州利普金属制品有限公司 | 电加热的工作台 |
| CN110230032A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-09-13 | 广西晶联光电材料有限责任公司 | 一种平面靶材的绑定装置和方法 |
| CN111361261A (zh) * | 2020-04-10 | 2020-07-03 | 秦皇岛晟成自动化设备有限公司 | 一种太阳能组件层压机用分块电加热平台 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203181249U (zh) | 平面靶材绑定用加热平台 | |
| CN104111269A (zh) | 一种用于高温大热流环境的热流传感器标定装置 | |
| CN106807466A (zh) | 多尺寸球形烧杯通用电热套 | |
| US20170303710A1 (en) | Heat retaining dish assembly and method of heating same | |
| CN203881448U (zh) | 一种用于红外热像仪现场标定的恒温标定炉 | |
| CN205482351U (zh) | 分体式热震炉及抗热震性实验装置 | |
| CN202497894U (zh) | 冷热可调式恒温试管架 | |
| CN201348294Y (zh) | 电磁炉温度传感器 | |
| CN202576549U (zh) | 镀膜靶台 | |
| CN104198525B (zh) | 一种测量冶金保温材料保温效果的方法——对比法 | |
| CN202171578U (zh) | 导热仪 | |
| CN205317706U (zh) | 一种用于导热仪的调温装置 | |
| CN102944212B (zh) | 一种瓷砖平整度反弹性的检测方法 | |
| CN201315137Y (zh) | Led显示屏的控温装置 | |
| CN209400455U (zh) | 一种散热性能数据量化检测装置 | |
| CN201828347U (zh) | 热处理炉温测定专用架 | |
| CN204422460U (zh) | 一种单面法测量材料导热系数的装置 | |
| CN206118055U (zh) | 圆筒形加热板 | |
| CN205606660U (zh) | 一种适应广泛锅具的电磁炉 | |
| CN203356432U (zh) | 一种pcb板的高温压合机 | |
| CN204358946U (zh) | 一种干式温育器 | |
| CN217084769U (zh) | 一种稳态法测量不良导体导热系数实验装置 | |
| CN209311373U (zh) | 一种用于玻璃收缩率测试的热处理装置 | |
| CN205320314U (zh) | 一种恒温加热器 | |
| CN207528537U (zh) | 一种材料冷热循环测试装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20130904 Termination date: 20170320 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |