CN2818496Y - 快速升降温加热器 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种快速升降温加热器，它由炉丝、支架、绝缘板、支撑杆、电极板、绝缘固定套、炉丝电极、隔热板和引出电极构成；炉丝通过支架安装在绝缘板上；电极板固定设置在绝缘板下方；炉丝通过炉丝电极与电极板连接；电极板下方设置若干隔热板；电极板上设有引出电极。本实用新型热容量小、升降温速度快、体积小功率大、加热均匀，非常适用于半导体领域的薄膜材料生产设备中，对衬底进行加热。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种加热器，尤其是涉及一种热容量小、升降温速度快、体积小功率大的应用于半导体领域的薄膜材料生长设备，用来对衬底进行加热的加热器。
背景技术
传统的用于半导体领域的薄膜材料生产设备中，对衬底进行加热的加热器升降温速率较慢，加热的均匀性难以保证，极限工作温度低，不宜在高温条件下连续工作，是由于其加热器的热容量大，炉丝排布不均匀，炉体结构不合理等原因造成的，这种加热器不适合在有急剧升温和快速降温要求的设备上应用。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种热容量小、升降温速度快、体积小、功率大、加热均匀的快速升降温加热器。
本实用新型快速升降温加热器，由炉丝、支架、绝缘板、支撑杆、电极板、绝缘固定套、炉丝电极、隔热板和引出电极构成；炉丝通过支架安装在绝缘板上；电极板固定设置在绝缘板下方；炉丝通过炉丝电极与电极板连接；电极板下方设置若干隔热板；电极板上设有引出电极。
所述的炉丝和支架为单层结构或多层结构，固定安装在绝缘板一侧或上下两侧。
所述的电极板由上、下电极板构成；上电极板通过支撑杆固定于绝缘板下方，下电极板通过绝缘固定套与上电极板固定连接。
所述的炉丝包括外炉丝和内炉丝，外炉丝通过支架绕成圆形，分布于绝缘板上下两侧；内炉丝采用平行往复的方式对称分布于外炉丝内侧。
所述的引出电极穿过若干隔热板与上电极板和下电极板固定连接。
本实用新型的优点效果如下：
1、本实用新型由于采用高温电阻加热材料，在1300℃以上可以连续工作，适用于常压或低压工作环境。
2、加热器单位面积功率密度大，表面功率密度可达到每平方厘米60瓦。
3、采用隔热板代替保温材料，使得加热器热容量很小，又能有效防止能量的辐射和对流，热量不易直接外排，从而达到快速升温的目的；由于隔热板采用金属材料，所以当停止加热时又能有效地进行热传导，达到快速降温的目的，这些功能可以满足特殊的工艺要求，从而制造出更好的薄膜材料。
附图说明：
图1是本实用新型结构示意图；
图2是本实用新型外炉丝与内炉丝安装结构示意图。
图中主要符号说明：
1、外炉丝；2、内炉丝；3、支架；4、绝缘板；5、支撑杆；6、上电极板；7、下电极板；8、绝缘固定套；9、炉丝电极；10、隔热板；11、引出电极。
具体实施方式
结合附图对本实用新型的具体实施例说明如下：
如图1所示，本实用新型快速升降温加热器，由炉丝、支架3、绝缘板4、支撑杆5、电极板、绝缘固定套8、炉丝电极9、隔热板10和引出电极11构成；炉丝包括外炉丝1和内炉丝2，外炉丝1和内炉丝2通过支架安装在绝缘板4上，绝缘板4为耐温绝缘的陶瓷板；电极板由上电极板6和下电极板7构成，上电极板6通过支撑杆5固定在绝缘板4的下方，下电极板7通过绝缘固定套8与上电极板6固定连接，绝缘固定套8为陶瓷套；外炉丝1与内炉丝2通过炉丝电极9与上电极板6和下电极板7连接，下电极板7的下方设置三层隔热板10；上电极板6和下电极板7上设有引出电极11，所述的引出电极11穿过三层隔热板10与上电极板6和下电极板7固定连接。
所述的电极板也可以由左电极板和右电极板构成；左电极板和右电极板通过支撑杆固定于绝缘板下方。
如图2所示，炉丝的排布方式如下：外炉丝1为两段，通过支架3绕成圆形，分布于绝缘板4上下两侧，内炉丝2采用平行往复的方式对称分布于外炉丝1内侧，炉丝和炉丝电极采用高温电热材料，如钽、钼、钨等。
所述的炉丝和支架可以为单层结构或多层结构，固定安装在绝缘板一侧或上下两侧。
Claims (5)
1、一种快速升降温加热器，其特征的于：由炉丝、支架、绝缘板、支撑杆、电极板、绝缘固定套、炉丝电极、隔热板和引出电极构成；炉丝通过支架安装在绝缘板上；电极板固定设置在绝缘板下方；炉丝通过炉丝电极与电极板连接；电极板下方设置若干隔热板；电极板上设有引出电极。
2、按照权利要求1所述的快速升降温加热器，其特征在于：所述的炉丝和支架为单层结构或多层结构，固定安装在绝缘板一侧或上下两侧。
3、按照权利要求1所述的快速升降温加热器，其特征在于：所述的电极板由上、下电极板构成；上电极板通过支撑杆固定于绝缘板下方，下电极板通过绝缘固定套与上电极板固定连接。
4、按照权利要求1所述的快速升降温加热器，其特征在于：所述的炉丝包括外炉丝和内炉丝，外炉丝通过支架绕成圆形，分布于绝缘板上下两侧；内炉丝采用平行往复的方式对称分布于外炉丝内侧。
5、按照权利要求1所述的快速升降温加热器，其特征在于：所述的引出电极穿过若干隔热板与上电极板和下电极板固定连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN 200520090384 CN2818496Y (zh) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | 快速升降温加热器 |
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| CN 200520090384 CN2818496Y (zh) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | 快速升降温加热器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN2818496Y true CN2818496Y (zh) | 2006-09-20 |
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| CN 200520090384 Expired - Fee Related CN2818496Y (zh) | 2005-04-20 | 2005-04-20 | 快速升降温加热器 |
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101899650A (zh) * | 2010-04-30 | 2010-12-01 | 苏州索乐机电设备有限公司 | 一种用于mocvd的基片加热炉 |
| CN102984836A (zh) * | 2012-12-07 | 2013-03-20 | 长沙市博垒德电子科技有限公司 | 一种可快速升降温的高功率加热器 |
| CN109429382A (zh) * | 2017-08-24 | 2019-03-05 | 江苏威能电气有限公司 | 快速升降温加热器 |
| CN113025999A (zh) * | 2019-12-24 | 2021-06-25 | 上海思擎企业管理合伙企业(有限合伙) | 加热器 |
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2005
- 2005-04-20 CN CN 200520090384 patent/CN2818496Y/zh not_active Expired - Fee Related
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