CN113246004A - 一种晶圆端面精磨装置 - Google Patents

Abstract

一种晶圆端面精磨装置，包括：支撑体、支撑组件、进料组件、转取组件、转移组件以及精磨组件。进料组件用于多个晶圆的放置，以及带动多个晶圆向内运动，转取组件用于夹持位于进料组件内的单片晶圆，并带动单片晶圆向转移组件运动，转移组件用于夹持被转取组件夹持的单片晶圆，并带动单片晶圆向精磨组件运动，以及用于单片晶圆的翻面，精磨组件用于多片晶圆的端面精磨。本发明方便进行晶圆的端面抛光操作，在进行晶圆的端面抛光中，方便进行晶圆的自动化进料，方便进行晶圆的自动化转移，方便进行晶圆的自动化翻转，方便进行晶圆的自动化放置，方便自动进行晶圆的端面磨抛操作，提高了晶圆端面抛光的自动化程度，提高了晶圆端面抛光的效率和质量。

Description

一种晶圆端面精磨装置

技术领域

本发明涉及芯片制备设备相关技术领域，尤其涉及一种晶圆端面精磨装置。

背景技术

芯片是半导体元件产品的统称，在电子学中是一种将电路小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。

随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增大。要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和洁净度，因此需要进行晶圆端面的抛光。

现有的晶圆端面抛光装置存在着自动化程度较低，因此在进行晶圆的抛光过程中不容易进行防尘处理，同时在晶圆抛光的过程中需要操作人员介入才能完成，而操作人员的介入一方面可能对晶圆的抛光效果造成影响，另一方面增大了操作人员的工作强度，降低了抛光效率。

发明内容

本发明提供一种晶圆端面精磨装置，以解决上述现有技术的不足，方便进行晶圆的端面抛光操作，在进行晶圆的端面抛光中，方便进行晶圆的自动化进料，方便进行晶圆的自动化转移，方便进行晶圆的自动化翻转，方便进行晶圆的自动化放置，方便自动进行晶圆的端面磨抛操作，提高了晶圆端面抛光的自动化程度，提高了晶圆端面抛光的效率和质量，具有较强的实用性。

为了实现本发明的目的，拟采用以下技术：

一种晶圆端面精磨装置，包括：

支撑体，包括箱体，箱体的两侧均开设有若干个散热窗，箱体的一侧开口，且开口的两侧均安装有铰链，位于同侧的铰链均安装有启闭门，箱体的上端设有工作台；

支撑组件，数量为四个，均设于支撑体的下端，包括设于箱体下端的支撑构件，支撑构件设有滑动机构；

进料组件，设于支撑体的一端，包括设于工作台一端的内移机构，内移机构设有放置构件；

转取组件，设于支撑体，位于支撑体的前侧，包括设于工作台的转动机构，转动机构连接有伸缩机构，伸缩机构设有夹取机构；

转移组件，设于支撑体，位于支撑体的后侧，包括设于工作台后侧的横移机构，横移机构设有一对升降机构，升降机构之间设有前推机构，前推机构设有夹持机构；

精磨组件，设于支撑体另一端，包括设于工作台另一端的调节机构与精磨机构，调节机构位于精磨机构的上方；

进料组件用于多个晶圆的放置，以及带动多个晶圆向内运动，转取组件用于夹持位于进料组件内的单片晶圆，并带动单片晶圆向转移组件运动，转移组件用于夹持被转取组件夹持的单片晶圆，并带动单片晶圆向精磨组件运动，以及用于单片晶圆的翻面，精磨组件用于多片晶圆的端面精磨。

进一步地，支撑构件包括安装于箱体外壁下端的外凸座，外凸座下端安装有底盘，底盘向下延伸地设有下伸杆，下伸杆的下端旋有调节支撑杆，调节支撑杆下端设有支撑底盘；

滑动机构包括一对支撑调节轴承座，支撑调节轴承座之间设有支撑导柱，位于上端的支撑调节轴承座安装有支撑调节电机，支撑调节电机的输出轴连接有支撑调节丝杆，支撑调节丝杆的下端设于位于下端的支撑调节轴承座，支撑调节丝杆旋有支撑调节座，支撑调节座的内侧端安装有支撑调节导套，支撑调节导套套设于支撑导柱，支撑调节导套的两侧均安装有第一外伸座，第一外伸座均向下延伸地设有支撑柱，支撑柱均穿有支撑外套，支撑外套均安装于外凸座，支撑柱的下端设有支撑底板，支撑底板向下延伸地设有滑动座，滑动座的下端设有一对滚轮。

进一步地，内移机构包括安装于工作台的一对凹形支撑件，凹形支撑件的长度方向与工作台的宽度方向平行，凹形支撑件的上端安装有内移底板，内移底板向上延伸地设有一对内移导板，内移导板的外壁均成形有内移导条，内移导板之间设有一对内移轴承座，内移轴承座均安装于内移底板，位于后侧的内移轴承座安装有内移电机，内移电机的输出轴连接有内移丝杆，内移丝杆旋有内移座，内移座的上端安装有内移上板，内移上板的两端均向下延伸地设有内移侧板，内移导条分别穿于内移侧板；

放置构件包括安装于内移上板的第一固定板，第一固定板的外侧端向上垂直延伸地设有上延竖板，上延竖板的内侧设有一对角撑板，角撑板均设于第一固定板，上延竖板向外延伸地设有三根外伸安装杆，每根外伸安装杆均沿其轴向呈等间隔阵列地设有安装块，安装块的内壁均成形有弧板，弧板的内壁均成形有弧槽，单片晶圆置于弧槽内。

进一步地，转动机构包括安装于工作台的安装台，安装台位于工作台的前侧，安装台向上延伸地设有一对第一转动轴承座，第一转动轴承座之间下端设有限位挡板，第一转动轴承座内穿有转动轴，转动轴的外侧端设有转动从动轮，转动从动轮设有转动传动带，转动传动带的下端设有转动驱动轮，转动驱动轮设有第二转动轴承座，第二转动轴承座安装于工作台，第二转动轴承座安装有转动电机，转动电机连接于转动驱动轮，转动轴设有转动板；

伸缩机构包括安装于转动板另一端的矩形块，矩形块的外壁安装有伸缩内板，伸缩内板的四个角均向外延伸地设有四根连接中杆，连接中杆的外侧端设有伸缩外板，伸缩外板向外延伸地设有外伸筒，外伸筒内穿有螺纹筒，螺纹筒的内侧端穿于矩形块，伸缩内板与伸缩外板之间设有伸缩从动轮，伸缩从动轮啮合有伸缩驱动轮，伸缩驱动轮连接有第一驱动电机，第一驱动电机安装有伸缩轴承座，伸缩轴承座安装于矩形块的上端，矩形块的内壁安装有第二安装板，第二安装板向外延伸地设有限位筒，限位筒的内壁成形有限位凸，螺纹筒内旋有螺纹头，螺纹头的向外延伸地设有伸缩杆，伸缩杆开设有限位凹槽，限位凸穿于限位凹槽内；

夹取机构包括安装于伸缩杆外侧端的夹持圆盘，夹持圆盘向外延伸地设有三根支板，支板均成形有穿孔，夹持圆盘的外壁安装有三个夹持气缸，夹持气缸的活动端均设有活动板，活动板均穿于穿孔内，活动板的另一端安装有夹持板，夹持板的夹持端面为向内凹陷的弧面。

进一步地，横移机构包括沿着工作台长度方向呈等间隔阵列的安装于工作台下侧的固定凹板，固定凹板上侧安装有横移底板，横移底板向上延伸地设有上延后板，上延后板后侧壁上端安装有横移导轨，上延后板的前侧两端分别安装有一个前伸板，前伸板之间设有横移导杆，横移底板的前侧两端向上延伸地设有一对横移轴承座，上延后板的一端安装有横移电机，横移轴承座均设有横移轮，横移轮套设有横移带，横移电机的输出轴连接于横移轮，横移导轨套设有横移套，横移套的上端设有横移上板，横移上板的另一端向下延伸地设有下伸安装台，横移导杆穿于下伸安装台，下伸安装台的下端安装有安装盖板，横移带固定于下伸安装台与安装盖板之间。

进一步地，升降机构包括安装于横移上板侧壁的外凸底座，外凸底座向上延伸地设有升降侧板，升降侧板开设有升降运动孔，升降侧板的外壁上下两端分别安装有一个升降轴承座，位于上端的升降轴承座安装有升降电机，升降电机的输出轴连接有升降丝杆，升降丝杆旋有升降座，升降座向内延伸地设有内插板，内插板穿于升降运动孔。

进一步地，前推机构包括安装于内插板之间的前推导向套，前推导向套内穿有前推齿条，前推齿条啮合有前推齿轮，前推齿轮的两端均设有前推轴承座，前推轴承座的下端均安装于前推导向套，前推齿轮的一端连接有前推从动轮，前推从动轮设有前推传动带，前推传动带的另一端设有前推驱动轮，前推驱动轮连接有前推电机，前推电机的一端安装有前推驱动轴承座，前推驱动轴承座安装于前推导向套，前推齿条的一端安装有前推板，前推板向后延伸地设有一对前推导杆，前推导杆均穿于前推导向套。

进一步地，夹持机构包括安装于前推板的凹形架，凹形架的一端安装有第一转动气缸，第一转动气缸的活动端安装有转动凹形板，转动凹形板设于凹形架内，转动凹形板内安装有翻转气缸，翻转气缸的活动端安装有转动固定板，转动固定板安装有一对外延固定板，外延固定板的另一端均倾斜的设有斜固板，斜固板的外侧端向上倾斜，斜固板均安装有夹持导框，夹持导框下端之间设有中连板，中连板安装有推动气缸，推动气缸的活动端设有夹持转动头，夹持导框内均穿有夹持导柱，夹持导柱的下端均竖直向下地设有下延柱，下延柱的下端均设有折形板，折形板的内壁均设有夹持定位块，夹持定位块的内壁为向内凹陷的第二弧槽，下延柱均铰接有一根铰接板，铰接板的另一端均铰接于夹持转动头。

进一步地，调节机构包括安装于工作台的一对凹形安装件，凹形安装件的上端安装有调节底板，每块调节底板的两端均设有一对调节轴承座，每对调节轴承座之间均设有四根调节导杆，位于外侧的调节轴承座均安装有调节电机，调节电机的输出轴均连接有调节丝杆，调节丝杆均旋有调节座，调节导杆均穿于调节座，调节座的上端安装有调节横板，调节横板安装有升降气缸，升降气缸的活动端安装有升降板，升降板的两侧向外延伸地设有一对升降翼板，升降翼板均向下延伸地设有升降穿柱，升降穿柱均穿于调节横板，升降板的另一端设有精磨圆盘，精磨圆盘的下侧设有抛光布。

进一步地，精磨机构包括安装于工作台端部的精磨驱动轴承座，精磨驱动轴承座安装有精磨驱动电机，精磨驱动电机的输出轴连接有精磨驱动轮，精磨驱动轮设有精磨驱动传动带，精磨驱动传动带的另一端设有精磨从动轮，工作台的上端安装有固定底盘，固定底盘呈圆周阵列且向上延伸地设有支撑圆杆，支撑圆杆的上端设有精磨底盘，精磨从动轮设于精磨底盘的下侧，精磨从动轮连接有太阳轮，太阳轮的外侧呈圆周阵列地啮合有多个行星轮，行星轮的外侧啮合有齿圈，齿圈安装于精磨底盘，每个行星轮上端均呈圆周阵列地成形有圆槽，圆槽的深度小于单片晶圆的厚度。

上述技术方案的优点在于：

本发明方便进行晶圆的端面抛光操作，在进行晶圆的端面抛光中，方便进行晶圆的自动化进料，方便进行晶圆的自动化转移，方便进行晶圆的自动化翻转，方便进行晶圆的自动化放置，方便自动进行晶圆的端面磨抛操作，提高了晶圆端面抛光的自动化程度，提高了晶圆端面抛光的效率和质量，具有较强的实用性。

附图说明

图1示出了其中一种实施例的立体结构图一。

图2示出了其中一种实施例的立体结构图二。

图3示出了其中一种实施例的立体结构图三。

图4示出了其中一种实施例的立体结构图四。

图5示出了其中一种实施例的立体结构图五。

图6示出了图2中的A处放大图。

图7示出了图2中的B处放大图。

图8示出了图2中的C处放大图。

图9示出了图2中的D处放大图。

图10示出了图3中的E处放大图。

图11示出了图3中的F处放大图。

图12示出了图3中的G处放大图。

图13示出了图4中的H处放大图。

图14示出了图4中的I处放大图。

图15示出了图4中的J处放大图。

图16示出了图4中的K处放大图。

图17示出了图4中的L处放大图。

图18示出了图4中的M处放大图。

图19示出了图5中的N处放大图。

附图标记说明：

支撑体-1，支撑组件-2，进料组件-3，转取组件-4，转移组件-5，精磨组件-6；

箱体-10，散热窗-11，铰链-12，启闭门-13，工作台-14；

支撑构件-20，外凸座-200，底盘-201，下伸杆-202，调节支撑杆-203，支撑底盘-204；

滑动机构-21，支撑调节轴承座-210，支撑导柱-211，支撑调节电机-212，支撑调节丝杆-213，支撑调节座-214，支撑调节导套-215，第一外伸座-216，支撑柱-217，支撑外套-218，支撑底板-219，滑动座-2190，滚轮-2191；

内移机构-30，凹形支撑件-300，内移底板-301，内移导板-302，内移轴承座-303，内移导条-3020，内移电机-304，内移丝杆-305，内移座-306，内移上板-307，内移侧板-308；

放置构件-31，第一固定板-310，上延竖板-311，角撑板-312，外伸安装杆-313安装块-314，弧板-315，弧槽-316；

转动机构-40，安装台-400，第一转动轴承座-401，限位挡板-402，转动轴-403，转动从动轮-404，转动传动带-405，转动驱动轮-406，第二转动轴承座-407，转动电机-408，转动板-409；

伸缩机构-41，矩形块-410，伸缩内板-411，连接中杆-412，伸缩外板-413外伸筒-414，螺纹筒-415，伸缩从动轮-416，伸缩驱动轮-417，伸缩轴承座-418，第一驱动电机-419，第二安装板-4190，限位筒-4191，伸缩杆-4192；

夹持圆盘-420，支板-421，穿孔-4210，夹持气缸-422，活动板-423，夹持板-424；

横移机构-50，固定凹板-500，横移底板-501，上延后板-502，横移导轨-503，前伸板-504，横移导杆-505，横移电机-506，横移轴承座-507，横移轮-508，横移带-509，横移套-5090，横移上板-5091，下伸安装台-5092，安装盖板-5093；

升降机构-51，外凸底座-510，升降侧板-511，升降运动孔-5110，升降轴承座-512，升降电机-513，升降丝杆-514，升降座-515，内插板-516；

前推机构-52，前推导向套-520，前推齿条-521，前推齿轮-522，前推轴承座-523，前推从动轮-524，前推传动带-525，前推驱动轮-526，前推驱动轴承座-527，前推电机-528，前推导杆-529，前推板-5290；

夹持机构-53，凹形架-530，第一转动气缸-531，转动凹形板-532，翻转气缸-533，外延固定板-534，推动气缸-535，夹持导框-536，中连板-537，夹持导柱-538，下延柱-539，折形板-5390，夹持定位块-5391，铰接板-5392，夹持转动头-5393；

调节机构-60，凹形安装件-600，调节底板-601，调节轴承座-602，调节导杆-603，调节电机-604，调节丝杆-605，调节座-606，调节横板-607，升降气缸-608，升降板-609，升降翼板-6090，升降穿柱-6091，精磨圆盘-6092；

精磨机构-61，精磨驱动轴承座-610，精磨驱动电机-611，精磨驱动轮-612，精磨驱动传动带-613，固定底盘-614，支撑圆杆-615，精磨底盘-616，太阳轮-617，行星轮-618，齿圈-619，圆槽-6180。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。如“平行”仅仅是指其方向相对“垂直”而言更加平行，并不是表示该结构一定要完全平行，而是可以稍微倾斜。

此外，“大致”、“基本”等用语旨在说明相关内容并不是要求绝对的精确，而是可以有一定的偏差。例如：“大致等于”并不仅仅表示绝对的等于，由于实际生产、操作过程中，难以做到绝对的“相等”，一般都存在一定的偏差。因此，除了绝对相等之外，“大致等于”还包括上述的存在一定偏差的情况。以此为例，其他情况下，除非有特别说明，“大致”、“基本”等用语均为与上述类似的含义。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1-图19所示，一种晶圆端面精磨装置，包括：支撑体1、支撑组件2、进料组件3、转取组件4、转移组件5以及精磨组件6。支撑组件2，数量为四个，均设于支撑体1的下端，进料组件3，设于支撑体1的一端，转取组件4，设于支撑体1，位于支撑体1的前侧，转移组件5，设于支撑体1，位于支撑体1的后侧，精磨组件6，设于支撑体1另一端。进料组件3用于多个晶圆的放置，以及带动多个晶圆向内运动，转取组件4用于夹持位于进料组件3内的单片晶圆，并带动单片晶圆向转移组件5运动，转移组件5用于夹持被转取组件4夹持的单片晶圆，并带动单片晶圆向精磨组件6运动，以及用于单片晶圆的翻面，精磨组件6用于多片晶圆的端面精磨。

支撑体1，包括箱体10，箱体10的两侧均开设有若干个散热窗11，箱体10的一侧开口，且开口的两侧均安装有铰链12，位于同侧的铰链12均安装有启闭门13，箱体10的上端设有工作台14。

支撑组件2包括设于箱体10下端的支撑构件20，支撑构件20设有滑动机构21。

进料组件3包括设于工作台14一端的内移机构30，内移机构30设有放置构件31。

转取组件4包括设于工作台14的转动机构40，转动机构40连接有伸缩机构41，伸缩机构41设有夹取机构。

转移组件5包括设于工作台14后侧的横移机构50，横移机构50设有一对升降机构51，升降机构51之间设有前推机构52，前推机构52设有夹持机构53。

精磨组件6包括设于工作台14另一端的调节机构60与精磨机构61，调节机构60位于精磨机构61的上方。

其中，支撑构件20包括安装于箱体10外壁下端的外凸座200，外凸座200下端安装有底盘201，底盘201向下延伸地设有下伸杆202，下伸杆202的下端旋有调节支撑杆203，调节支撑杆203下端设有支撑底盘204。

其中，滑动机构21包括一对支撑调节轴承座210，支撑调节轴承座210之间设有支撑导柱211，位于上端的支撑调节轴承座210安装有支撑调节电机212，支撑调节电机212的输出轴连接有支撑调节丝杆213，支撑调节丝杆213的下端设于位于下端的支撑调节轴承座210，支撑调节丝杆213旋有支撑调节座214，支撑调节座214的内侧端安装有支撑调节导套215，支撑调节导套215套设于支撑导柱211，支撑调节导套215的两侧均安装有第一外伸座216，第一外伸座216均向下延伸地设有支撑柱217，支撑柱217均穿有支撑外套218，支撑外套218均安装于外凸座200，支撑柱217的下端设有支撑底板219，支撑底板219向下延伸地设有滑动座2190，滑动座2190的下端设有一对滚轮2191。

其中，内移机构30包括安装于工作台14的一对凹形支撑件300，凹形支撑件300的长度方向与工作台14的宽度方向平行，凹形支撑件300的上端安装有内移底板301，内移底板301向上延伸地设有一对内移导板302，内移导板302的外壁均成形有内移导条3020，内移导板302之间设有一对内移轴承座303，内移轴承座303均安装于内移底板301，位于后侧的内移轴承座303安装有内移电机304，内移电机304的输出轴连接有内移丝杆305，内移丝杆305旋有内移座306，内移座306的上端安装有内移上板307，内移上板307的两端均向下延伸地设有内移侧板308，内移导条3020分别穿于内移侧板308。

其中，放置构件31包括安装于内移上板307的第一固定板310，第一固定板310的外侧端向上垂直延伸地设有上延竖板311，上延竖板311的内侧设有一对角撑板312，角撑板312均设于第一固定板310，上延竖板311向外延伸地设有三根外伸安装杆313，每根外伸安装杆313均沿其轴向呈等间隔阵列地设有安装块314，安装块314的内壁均成形有弧板315，弧板315的内壁均成形有弧槽316，单片晶圆置于弧槽316内。

其中，转动机构40包括安装于工作台14的安装台400，安装台400位于工作台14的前侧，安装台400向上延伸地设有一对第一转动轴承座401，第一转动轴承座401之间下端设有限位挡板402，第一转动轴承座401内穿有转动轴403，转动轴403的外侧端设有转动从动轮404，转动从动轮404设有转动传动带405，转动传动带405的下端设有转动驱动轮406，转动驱动轮406设有第二转动轴承座407，第二转动轴承座407安装于工作台14，第二转动轴承座407安装有转动电机408，转动电机408连接于转动驱动轮406，转动轴403设有转动板409。

其中，伸缩机构41包括安装于转动板409另一端的矩形块410，矩形块410的外壁安装有伸缩内板411，伸缩内板411的四个角均向外延伸地设有四根连接中杆412，连接中杆412的外侧端设有伸缩外板413，伸缩外板413向外延伸地设有外伸筒414，外伸筒414内穿有螺纹筒415，螺纹筒415的内侧端穿于矩形块410，伸缩内板411与伸缩外板413之间设有伸缩从动轮416，伸缩从动轮416啮合有伸缩驱动轮417，伸缩驱动轮417连接有第一驱动电机419，第一驱动电机419安装有伸缩轴承座418，伸缩轴承座418安装于矩形块410的上端，矩形块410的内壁安装有第二安装板4190，第二安装板4190向外延伸地设有限位筒4191，限位筒4191的内壁成形有限位凸，螺纹筒415内旋有螺纹头，螺纹头的向外延伸地设有伸缩杆4192，伸缩杆4192开设有限位凹槽，限位凸穿于限位凹槽内。

其中，夹取机构包括安装于伸缩杆4192外侧端的夹持圆盘420，夹持圆盘420向外延伸地设有三根支板421，支板421均成形有穿孔4210，夹持圆盘420的外壁安装有三个夹持气缸422，夹持气缸422的活动端均设有活动板423，活动板423均穿于穿孔4210内，活动板423的另一端安装有夹持板424，夹持板424的夹持端面为向内凹陷的弧面。

其中，横移机构50包括沿着工作台14长度方向呈等间隔阵列的安装于工作台14下侧的固定凹板500，固定凹板500上侧安装有横移底板501，横移底板501向上延伸地设有上延后板502，上延后板502后侧壁上端安装有横移导轨503，上延后板502的前侧两端分别安装有一个前伸板504，前伸板504之间设有横移导杆505，横移底板501的前侧两端向上延伸地设有一对横移轴承座507，上延后板502的一端安装有横移电机506，横移轴承座507均设有横移轮508，横移轮508套设有横移带509，横移电机506的输出轴连接于横移轮508，横移导轨503套设有横移套5090，横移套5090的上端设有横移上板5091，横移上板5091的另一端向下延伸地设有下伸安装台5092，横移导杆505穿于下伸安装台5092，下伸安装台5092的下端安装有安装盖板5093，横移带509固定于下伸安装台5092与安装盖板5093之间。

其中，升降机构51包括安装于横移上板5091侧壁的外凸底座510，外凸底座510向上延伸地设有升降侧板511，升降侧板511开设有升降运动孔5110，升降侧板511的外壁上下两端分别安装有一个升降轴承座512，位于上端的升降轴承座512安装有升降电机513，升降电机513的输出轴连接有升降丝杆514，升降丝杆514旋有升降座515，升降座515向内延伸地设有内插板516，内插板516穿于升降运动孔5110。

其中，前推机构52包括安装于内插板516之间的前推导向套520，前推导向套520内穿有前推齿条521，前推齿条521啮合有前推齿轮522，前推齿轮522的两端均设有前推轴承座523，前推轴承座523的下端均安装于前推导向套520，前推齿轮522的一端连接有前推从动轮524，前推从动轮524设有前推传动带525，前推传动带525的另一端设有前推驱动轮526，前推驱动轮526连接有前推电机528，前推电机528的一端安装有前推驱动轴承座527，前推驱动轴承座527安装于前推导向套520，前推齿条521的一端安装有前推板5290，前推板5290向后延伸地设有一对前推导杆529，前推导杆529均穿于前推导向套520。

其中，夹持机构53包括安装于前推板5290的凹形架530，凹形架530的一端安装有第一转动气缸531，第一转动气缸531的活动端安装有转动凹形板532，转动凹形板532设于凹形架530内，转动凹形板532内安装有翻转气缸533，翻转气缸533的活动端安装有转动固定板，转动固定板安装有一对外延固定板534，外延固定板534的另一端均倾斜的设有斜固板5340，斜固板5340的外侧端向上倾斜，斜固板5340均安装有夹持导框536，夹持导框536下端之间设有中连板537，中连板537安装有推动气缸535，推动气缸535的活动端设有夹持转动头5393，夹持导框536内均穿有夹持导柱538，夹持导柱538的下端均竖直向下地设有下延柱539，下延柱539的下端均设有折形板5390，折形板5390的内壁均设有夹持定位块5391，夹持定位块5391的内壁为向内凹陷的第二弧槽，下延柱539均铰接有一根铰接板5392，铰接板5392的另一端均铰接于夹持转动头5393。

其中，调节机构60包括安装于工作台14的一对凹形安装件600，凹形安装件600的上端安装有调节底板601，每块调节底板601的两端均设有一对调节轴承座602，每对调节轴承座602之间均设有四根调节导杆603，位于外侧的调节轴承座602均安装有调节电机604，调节电机604的输出轴均连接有调节丝杆605，调节丝杆605均旋有调节座606，调节导杆603均穿于调节座606，调节座606的上端安装有调节横板607，调节横板607安装有升降气缸608，升降气缸608的活动端安装有升降板609，升降板609的两侧向外延伸地设有一对升降翼板6090，升降翼板6090均向下延伸地设有升降穿柱6091，升降穿柱6091均穿于调节横板607，升降板609的另一端设有精磨圆盘6092，精磨圆盘6092的下侧设有抛光布。

其中，精磨机构61包括安装于工作台14端部的精磨驱动轴承座610，精磨驱动轴承座610安装有精磨驱动电机611，精磨驱动电机611的输出轴连接有精磨驱动轮612，精磨驱动轮612设有精磨驱动传动带613，精磨驱动传动带613的另一端设有精磨从动轮，工作台14的上端安装有固定底盘614，固定底盘614呈圆周阵列且向上延伸地设有支撑圆杆615，支撑圆杆615的上端设有精磨底盘616，精磨从动轮设于精磨底盘616的下侧，精磨从动轮连接有太阳轮617，太阳轮617的外侧呈圆周阵列地啮合有多个行星轮618，行星轮618的外侧啮合有齿圈619，齿圈619安装于精磨底盘616，每个行星轮618上端均呈圆周阵列地成形有圆槽6180，圆槽6180的深度小于单片晶圆的厚度。

该装置根据现有技术中存在的问题，通过支撑体1、支撑组件2、进料组件3、转取组件4、转移组件5以及精磨组件6相互配合完成晶圆端面的抛光操作。其中，支撑体1为整个装置起着支撑的作用，为了进行防尘处理，可在其上端加设防尘罩。支撑组件2能够进行支撑体1下端的支撑，同时能够调节支撑体1的水平程度，以及方便支撑体1移动。进料组件3能够进行晶圆的放置，同时能够带动放置的晶圆向防尘罩内移动，从而方便进行晶圆的进料。转取组件4能够对放置在进料组件3内的晶圆进行夹持，同时能够将晶圆从进料组件13内转出，并转移至转移组件5处，而后进行转移组件5的转移操作。转移组件5方便进行晶圆的转移，在晶圆转移时方便进行晶圆的姿态调整，如将呈竖向的晶圆调整为呈水平方式，并将晶圆放置在精磨组件6内，同时当晶圆的一面精磨抛光完成后，能够进行晶圆的翻面。精磨组件6能够进行多块晶圆的精磨抛光操作。

在具体的操作，先将多块晶圆放置在进料组件3内，而后，通过进料组件3将晶圆转移至防尘罩内，而后，通过转取组件4逐个地将晶圆转移至转移组件5处，而后通过转移组件5逐个地进行晶圆的姿态调整，而后将晶圆放置在精磨组件6内，而后启动精磨组件6进行晶圆的端面磨抛操作，当晶圆的一面完成磨抛操作后，转移组件5对晶圆进行翻面，当晶圆的端面磨抛完成后，通过转移组件5将晶圆转移至晶圆的放置区，等待下一个工序段的加工。

具体地，支撑构件20在进行支撑体1的平衡度的调节时，可以转动调节支撑杆203，使得调节支撑杆203伸长或者缩短，从而达到调节平衡度的目的，而底盘201起着支撑的作用。

具体地，滑动机构21当对整个装置的位置进行移动时，启动支撑调节电机212，在支撑调节电机212的带动下支撑调节丝杆213进行转动，而支撑调节丝杆213的转动将带动支撑调节座214沿着支撑导柱211的长度方向进行运动，而支撑调节座214的运动将带动支撑柱217沿着支撑外套218的长度方向向下运动，而支撑柱217的向下运动将使得滚轮2191与地面接触，从而方便进行整个装置的移动，其中，支撑外套218对支撑柱217的运动起着导向的作用，同时确保了支撑的稳定性和可靠性。

具体地，内移机构30带动放置构件31进行运动时，启动内移电机304，在内移电机304的带动下内移丝杆305进行转动，而内移丝杆305的转动将带动内移座306沿着内移导板302的长度方向进行运动，而内移座306的运动将带动放置构件31进行运动，其中内移侧板308对内移座306的运动起着导向的作用，而内移座306的运动可带动放置构件31向内或者向外运动，从而方便进行晶圆的进料操作。

具体地，放置构件31可放置多片晶圆，其中弧槽316的设计对晶圆进行限位，避免相邻两块晶圆碰撞，而影响晶圆的质量，同时为了避免对晶圆的弧面造成划伤，弧板315和安装块314为塑料制品，且弧槽316内均光滑。

具体地，转动机构40带动伸缩机构41进行转动，并将晶圆从放置构件31转出时，启动转动电机408，在转动电机408的带动下转动驱动轮406进行转动，而转动驱动轮406的转动将通过转动传动带405带动转动从动轮404的转动，而转动从动轮404的转动将带动转动轴403进行转动，而转动轴403的转动将带动转动板409进行转动，而一般地转动板409的转动角度为180度，而限位挡板402对转动板409的转动角度进行限位，避免出现过转，从而提高晶圆转移时的精度。

具体地，伸缩机构41带动夹取机构进行运动时，启动第一驱动电机419，在第一驱动电机419的带动下伸缩驱动轮417进行转动，而伸缩驱动轮417的转动将带动伸缩从动轮416的转动，而伸缩从动轮416的转动将带动螺纹筒415的转动，而螺纹筒415的转动将使得螺纹头沿着螺纹筒415的轴向进行运动，而螺纹头的运动将带动伸缩杆4192进行运动。其中外伸筒414对螺纹筒415的转动起着限位和稳定转动的作用，而限位筒4191对伸缩杆4192的运动方向起着限位的作用，从而使得伸缩杆4192在螺纹头的带动下只能沿其轴向进行运动，而这种运动能够调节夹取机构的位置，从而方便对放置构件31内的晶圆进行夹持，同时也方便和转动机构40配合将晶圆从放置构件31内转出，同时也方便将晶圆转移至转移组件5处。

具体地，夹取机构在进行晶圆的夹持时，转动机构40带动伸缩机构41进行转动，从而使得夹持圆盘420位于放置构件31内，而后通过伸缩机构41的位置，直至夹持圆盘420位于最外侧的晶圆处为止，而后启动夹持气缸422，在夹持气缸422的带动下夹持板424向内运动，最终完成晶圆的夹持，当晶圆夹持完成后，启动转动机构40，在转动机构40的带动下被夹持的晶圆向外运动，当晶圆运动至转动从动轮404的另外一侧时，伸缩机构41调节晶圆的位置，等待被转移组件5的夹持，其中，伸缩机构41能够根据晶圆的具体位置对晶圆逐个的进行转移。其中为了确保夹持的稳定性，因此将夹持板424的夹持端面为向内凹陷的弧面。

具体地，横移机构50带动升降机构51进行横移运动时，启动横移电机506，在横移电机506的带动下横移轮508进行转动，而横移轮508的转动将带动横移带509进行运动，而横移带509的运动将带动下伸安装台5092沿着横移导杆505的轴向进行运动，而下伸安装台5092的运动将带动横移上板5091的运动，而横移上板5091的运动将带动升降机构51进行运动，其中横移导轨503对横移上板5091的运动起着进一步导向的作用，从而确保横向运动的稳定性。

具体地，升降机构51调节前推机构52的高度时，启动升降电机513，在升降电机513的带动下升降丝杆514进行转动，而升降丝杆514的转动将带动升降座515沿着升降侧板511的长度方向进行运动，而升降座515的运动将带动前推机构52进行升降运动。

具体地，前推机构52调节夹持机构53的位置时，启动前推电机528，在前推电机528的带动下前推驱动轮526进行转动，而前推驱动轮526的转动将通过前推传动带525带动前推从动轮524的转动，而前推从动轮524的转动将带动前推齿轮522进行转动，而前推齿轮522的转动将带动前推齿条521在前推导向套520的导向下进行运动，其中，前推导杆529对前推齿条521的运动起着导向和限位的作用。

具体地，夹持机构53在进行晶圆的夹持时，启动推动气缸535，在推动气缸535的带动下夹持转动头5393向下运动，而夹持转动头5393的向下运动将通过铰接板5392带动下延柱539向下运动，而下延柱539在向下运动时位于上端的夹持导柱538将在夹持导框536的限位下向外运动，而夹持导框536为倾斜设计，因此在夹持导柱538向下运动时，夹持定位块5391将彼此靠近，最后将晶圆夹持在夹持定位块5391之间，其中为了确保夹持的稳定性，在夹持定位块5391的内壁为向内凹陷的第二弧槽，这种夹持方式响应速度块，且能够对晶圆进行稳定的夹持。其中，第一转动气缸531启动时用于调节晶圆的姿态，从而使得晶圆从水平状态变化为竖直状态，或者进行逆向调节。翻转气缸533能够进行晶圆的翻面操作，从而方便进行晶圆的端面磨抛操作。

具体地，调节机构60在进行精磨圆盘6092位置的调节时，启动调节电机604，在调节电机604的带动下调节丝杆605进行转动，而调节丝杆605的转动将带动调节座606沿着调节导杆603的轴向进行运动，而调节座606的运动将带动精磨圆盘6092向内或者向外进行运动，通过这种方式方便进行晶圆的磨抛以及晶圆的放置或者取出，而升降气缸608启动时，将带动精磨圆盘6092进行升降运动，进而使得抛光布和晶圆端面接触，从而方便进行晶圆的磨抛操作，其中精磨圆盘6092上端应设置有自动控制抛光膏和抛光液的装置或者系统，在抛光中自动地进行抛光膏的更换以及抛光液流速的控制，同时抛光布方便拆卸的设置在精磨圆盘6092的下侧。

具体地，精磨机构61在进行晶圆端面磨抛时，启动精磨驱动电机611，在精磨驱动电机611的带动下精磨驱动轮612进行转动，而精磨驱动轮612的转动将通过精磨驱动传动带613带动精磨从动轮进行转动，而精磨从动轮的转动将带动太阳轮617的转动，而太阳轮617的转动将带动下端相互连接的各个行星轮618进行转动，这种转动除自身进行转动外，各个行星轮618绕着太阳轮617的轴向进行公转，而行星轮618在转动时，将完成晶圆的端磨操作，其中为了方便晶圆的取出夹持，因此将圆槽6180的深度小于单片晶圆的厚度。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种晶圆端面精磨装置，其特征在于，包括：

支撑体（1），包括箱体（10），箱体（10）的两侧均开设有若干个散热窗（11），箱体（10）的一侧开口，且开口的两侧均安装有铰链（12），位于同侧的铰链（12）均安装有启闭门（13），箱体（10）的上端设有工作台（14）；

支撑组件（2），数量为四个，均设于支撑体（1）的下端，包括设于箱体（10）下端的支撑构件（20），支撑构件（20）设有滑动机构（21）；

进料组件（3），设于支撑体（1）的一端，包括设于工作台（14）一端的内移机构（30），内移机构（30）设有放置构件（31）；

转取组件（4），设于支撑体（1），位于支撑体（1）的前侧，包括设于工作台（14）的转动机构（40），转动机构（40）连接有伸缩机构（41），伸缩机构（41）设有夹取机构；

转移组件（5），设于支撑体（1），位于支撑体（1）的后侧，包括设于工作台（14）后侧的横移机构（50），横移机构（50）设有一对升降机构（51），升降机构（51）之间设有前推机构（52），前推机构（52）设有夹持机构（53）；

精磨组件（6），设于支撑体（1）另一端，包括设于工作台（14）另一端的调节机构（60）与精磨机构（61），调节机构（60）位于精磨机构（61）的上方；

进料组件（3）用于多个晶圆的放置，以及带动多个晶圆向内运动，转取组件（4）用于夹持位于进料组件（3）内的单片晶圆，并带动单片晶圆向转移组件（5）运动，转移组件（5）用于夹持被转取组件（4）夹持的单片晶圆，并带动单片晶圆向精磨组件（6）运动，以及用于单片晶圆的翻面，精磨组件（6）用于多片晶圆的端面精磨。

2.根据权利要求1所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于：

支撑构件（20）包括安装于箱体（10）外壁下端的外凸座（200），外凸座（200）下端安装有底盘（201），底盘（201）向下延伸地设有下伸杆（202），下伸杆（202）的下端旋有调节支撑杆（203），调节支撑杆（203）下端设有支撑底盘（204）；

滑动机构（21）包括一对支撑调节轴承座（210），支撑调节轴承座（210）之间设有支撑导柱（211），位于上端的支撑调节轴承座（210）安装有支撑调节电机（212），支撑调节电机（212）的输出轴连接有支撑调节丝杆（213），支撑调节丝杆（213）的下端设于位于下端的支撑调节轴承座（210），支撑调节丝杆（213）旋有支撑调节座（214），支撑调节座（214）的内侧端安装有支撑调节导套（215），支撑调节导套（215）套设于支撑导柱（211），支撑调节导套（215）的两侧均安装有第一外伸座（216），第一外伸座（216）均向下延伸地设有支撑柱（217），支撑柱（217）均穿有支撑外套（218），支撑外套（218）均安装于外凸座（200），支撑柱（217）的下端设有支撑底板（219），支撑底板（219）向下延伸地设有滑动座（2190），滑动座（2190）的下端设有一对滚轮（2191）。

3.根据权利要求1所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于：

内移机构（30）包括安装于工作台（14）的一对凹形支撑件（300），凹形支撑件（300）的长度方向与工作台（14）的宽度方向平行，凹形支撑件（300）的上端安装有内移底板（301），内移底板（301）向上延伸地设有一对内移导板（302），内移导板（302）的外壁均成形有内移导条（3020），内移导板（302）之间设有一对内移轴承座（303），内移轴承座（303）均安装于内移底板（301），位于后侧的内移轴承座（303）安装有内移电机（304），内移电机（304）的输出轴连接有内移丝杆（305），内移丝杆（305）旋有内移座（306），内移座（306）的上端安装有内移上板（307），内移上板（307）的两端均向下延伸地设有内移侧板（308），内移导条（3020）分别穿于内移侧板（308）；

放置构件（31）包括安装于内移上板（307）的第一固定板（310），第一固定板（310）的外侧端向上垂直延伸地设有上延竖板（311），上延竖板（311）的内侧设有一对角撑板（312），角撑板（312）均设于第一固定板（310），上延竖板（311）向外延伸地设有三根外伸安装杆（313），每根外伸安装杆（313）均沿其轴向呈等间隔阵列地设有安装块（314），安装块（314）的内壁均成形有弧板（315），弧板（315）的内壁均成形有弧槽（316），单片晶圆置于弧槽（316）内。

4.根据权利要求1所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于：

转动机构（40）包括安装于工作台（14）的安装台（400），安装台（400）位于工作台（14）的前侧，安装台（400）向上延伸地设有一对第一转动轴承座（401），第一转动轴承座（401）之间下端设有限位挡板（402），第一转动轴承座（401）内穿有转动轴（403），转动轴（403）的外侧端设有转动从动轮（404），转动从动轮（404）设有转动传动带（405），转动传动带（405）的下端设有转动驱动轮（406），转动驱动轮（406）设有第二转动轴承座（407），第二转动轴承座（407）安装于工作台（14），第二转动轴承座（407）安装有转动电机（408），转动电机（408）连接于转动驱动轮（406），转动轴（403）设有转动板（409）；

伸缩机构（41）包括安装于转动板（409）另一端的矩形块（410），矩形块（410）的外壁安装有伸缩内板（411），伸缩内板（411）的四个角均向外延伸地设有四根连接中杆（412），连接中杆（412）的外侧端设有伸缩外板（413），伸缩外板（413）向外延伸地设有外伸筒（414），外伸筒（414）内穿有螺纹筒（415），螺纹筒（415）的内侧端穿于矩形块（410），伸缩内板（411）与伸缩外板（413）之间设有伸缩从动轮（416），伸缩从动轮（416）啮合有伸缩驱动轮（417），伸缩驱动轮（417）连接有第一驱动电机（419），第一驱动电机（419）安装有伸缩轴承座（418），伸缩轴承座（418）安装于矩形块（410）的上端，矩形块（410）的内壁安装有第二安装板（4190），第二安装板（4190）向外延伸地设有限位筒（4191），限位筒（4191）的内壁成形有限位凸，螺纹筒（415）内旋有螺纹头，螺纹头的向外延伸地设有伸缩杆（4192），伸缩杆（4192）开设有限位凹槽，限位凸穿于限位凹槽内；

夹取机构包括安装于伸缩杆（4192）外侧端的夹持圆盘（420），夹持圆盘（420）向外延伸地设有三根支板（421），支板（421）均成形有穿孔（4210），夹持圆盘（420）的外壁安装有三个夹持气缸（422），夹持气缸（422）的活动端均设有活动板（423），活动板（423）均穿于穿孔（4210）内，活动板（423）的另一端安装有夹持板（424），夹持板（424）的夹持端面为向内凹陷的弧面。

5.根据权利要求1所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于，横移机构（50）包括沿着工作台（14）长度方向呈等间隔阵列的安装于工作台（14）下侧的固定凹板（500），固定凹板（500）上侧安装有横移底板（501），横移底板（501）向上延伸地设有上延后板（502），上延后板（502）后侧壁上端安装有横移导轨（503），上延后板（502）的前侧两端分别安装有一个前伸板（504），前伸板（504）之间设有横移导杆（505），横移底板（501）的前侧两端向上延伸地设有一对横移轴承座（507），上延后板（502）的一端安装有横移电机（506），横移轴承座（507）均设有横移轮（508），横移轮（508）套设有横移带（509），横移电机（506）的输出轴连接于横移轮（508），横移导轨（503）套设有横移套（5090），横移套（5090）的上端设有横移上板（5091），横移上板（5091）的另一端向下延伸地设有下伸安装台（5092），横移导杆（505）穿于下伸安装台（5092），下伸安装台（5092）的下端安装有安装盖板（5093），横移带（509）固定于下伸安装台（5092）与安装盖板（5093）之间。

6.根据权利要求5所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于，升降机构（51）包括安装于横移上板（5091）侧壁的外凸底座（510），外凸底座（510）向上延伸地设有升降侧板（511），升降侧板（511）开设有升降运动孔（5110），升降侧板（511）的外壁上下两端分别安装有一个升降轴承座（512），位于上端的升降轴承座（512）安装有升降电机（513），升降电机（513）的输出轴连接有升降丝杆（514），升降丝杆（514）旋有升降座（515），升降座（515）向内延伸地设有内插板（516），内插板（516）穿于升降运动孔（5110）。

7.根据权利要求6所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于，前推机构（52）包括安装于内插板（516）之间的前推导向套（520），前推导向套（520）内穿有前推齿条（521），前推齿条（521）啮合有前推齿轮（522），前推齿轮（522）的两端均设有前推轴承座（523），前推轴承座（523）的下端均安装于前推导向套（520），前推齿轮（522）的一端连接有前推从动轮（524），前推从动轮（524）设有前推传动带（525），前推传动带（525）的另一端设有前推驱动轮（526），前推驱动轮（526）连接有前推电机（528），前推电机（528）的一端安装有前推驱动轴承座（527），前推驱动轴承座（527）安装于前推导向套（520），前推齿条（521）的一端安装有前推板（5290），前推板（5290）向后延伸地设有一对前推导杆（529），前推导杆（529）均穿于前推导向套（520）。

8.根据权利要求7所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于，夹持机构（53）包括安装于前推板（5290）的凹形架（530），凹形架（530）的一端安装有第一转动气缸（531），第一转动气缸（531）的活动端安装有转动凹形板（532），转动凹形板（532）设于凹形架（530）内，转动凹形板（532）内安装有翻转气缸（533），翻转气缸（533）的活动端安装有转动固定板，转动固定板安装有一对外延固定板（534），外延固定板（534）的另一端均倾斜的设有斜固板（5340），斜固板（5340）的外侧端向上倾斜，斜固板（5340）均安装有夹持导框（536），夹持导框（536）下端之间设有中连板（537），中连板（537）安装有推动气缸（535），推动气缸（535）的活动端设有夹持转动头（5393），夹持导框（536）内均穿有夹持导柱（538），夹持导柱（538）的下端均竖直向下地设有下延柱（539），下延柱（539）的下端均设有折形板（5390），折形板（5390）的内壁均设有夹持定位块（5391），夹持定位块（5391）的内壁为向内凹陷的第二弧槽，下延柱（539）均铰接有一根铰接板（5392），铰接板（5392）的另一端均铰接于夹持转动头（5393）。

9.根据权利要求1所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于，调节机构（60）包括安装于工作台（14）的一对凹形安装件（600），凹形安装件（600）的上端安装有调节底板（601），每块调节底板（601）的两端均设有一对调节轴承座（602），每对调节轴承座（602）之间均设有四根调节导杆（603），位于外侧的调节轴承座（602）均安装有调节电机（604），调节电机（604）的输出轴均连接有调节丝杆（605），调节丝杆（605）均旋有调节座（606），调节导杆（603）均穿于调节座（606），调节座（606）的上端安装有调节横板（607），调节横板（607）安装有升降气缸（608），升降气缸（608）的活动端安装有升降板（609），升降板（609）的两侧向外延伸地设有一对升降翼板（6090），升降翼板（6090）均向下延伸地设有升降穿柱（6091），升降穿柱（6091）均穿于调节横板（607），升降板（609）的另一端设有精磨圆盘（6092），精磨圆盘（6092）的下侧设有抛光布。

10.根据权利要求9所述的晶圆端面精磨装置，其特征在于，精磨机构（61）包括安装于工作台（14）端部的精磨驱动轴承座（610），精磨驱动轴承座（610）安装有精磨驱动电机（611），精磨驱动电机（611）的输出轴连接有精磨驱动轮（612），精磨驱动轮（612）设有精磨驱动传动带（613），精磨驱动传动带（613）的另一端设有精磨从动轮，工作台（14）的上端安装有固定底盘（614），固定底盘（614）呈圆周阵列且向上延伸地设有支撑圆杆（615），支撑圆杆（615）的上端设有精磨底盘（616），精磨从动轮设于精磨底盘（616）的下侧，精磨从动轮连接有太阳轮（617），太阳轮（617）的外侧呈圆周阵列地啮合有多个行星轮（618），行星轮（618）的外侧啮合有齿圈（619），齿圈（619）安装于精磨底盘（616），每个行星轮（618）上端均呈圆周阵列地成形有圆槽（6180），圆槽（6180）的深度小于单片晶圆的厚度。

Images