CN113203233B - 一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置 - Google Patents

一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及硅片制造技术领域，尤其是一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带，第一传送带的顶侧设有硅片，第一传送带的顶侧设有冷却盒，冷却盒的两侧分别设有进油管、出油管，进油管、出油管的一侧分别设有第一转换管、第二转换管，第一转换管、第二转换管的底侧分别设有第一真空泵、第二真空泵，第一真空泵的输出端设有连通管，连通管的一侧设有换热器，第一传送带的底侧设有冷却油箱，换热器的一侧设有导油管，第二真空泵的输入端设有吸油管，该节能高效的硅片烘烤用冷却装置，一分二运输物料，冷却循环利用，节能高效，操作方便，冷却效果优异。

Description

一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置
技术领域
本发明涉及硅片制造技术领域，尤其涉及一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置。
背景技术
地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片制造的过程中需要进行烘烤，对其表面的包浆进行烘干，烘烤之后需要用冷却装置，进行冷却，然后在进行下一步操作。
现有的冷却装置，大多数采用为液氮充斥冷却，但是这种冷却方法消耗能源过大，效果很好但是消耗过大，普通的冷却不能使其冷却均匀，也就是散热不均，运输的过程中，硅片也会因为自身两个硅片同时运输所产生热能相对，运输的过程中也会受到热量相并，冷却效果不佳，因此，我们设计了一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在现有的冷却装置，大多数采用为液氮充斥冷却，但是这种冷却方法消耗能源过大，效果很好但是消耗过大，普通的冷却不能使其冷却均匀，也就是散热不均，运输的过程中，硅片也会因为自身两个硅片同时运输所产生热能相对，运输的过程中也会受到热量相并，冷却效果不佳的缺点，而提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
设计一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带，所述第一传送带的顶侧活动连接设有若干硅片，所述第一传送带的顶侧一端通过卡扣可拆卸式连接设有冷却盒，所述冷却盒底侧固定设有散热导向结构，所述冷却盒的两侧分别固定连接设有进油管、出油管，所述进油管、出油管的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有第一转换管、第二转换管，所述第一转换管、第二转换管的底侧分别固定设有第一真空泵、第二真空泵，所述第一真空泵的输出端通过螺纹转动连接设有连通管，所述连通管的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有换热器，所述第一传送带的底侧且与冷却盒相对的位置固定连接设有冷却油箱，所述换热器的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有导油管，所述导油管的一侧转动连接在冷却油箱的一侧，所述第二真空泵的输入端通过卡扣可拆卸式连接设有吸油管，所述吸油管的一侧转动连接在冷却油箱的一侧，所述第一传送带的一侧且位于冷却油箱的顶侧固定连接设有第二传送带，所述第一传送带的一侧固定设有第三传送带，所述第三传送带远离第一传送带的一侧固定设有第四传送带，所述第二传送带远离第一传送带的一侧固定连接设有风冷箱，所述风冷箱为空腔结构，所述风冷箱的内侧从上至下依次固定连接设有第五传送带、第六传送带，所述风冷箱的底侧固定连接设有支撑腿，所述风冷箱的一侧固定设有若干安装孔，所述安装孔的内侧通过卡扣可拆卸式连接设有风扇。
优选的，所述第一传送带、第二传送带、第三传送带、第四传送带、第五传送带、第六传送带及风扇均通过导线电性连接外接电源。
优选的，所述散热导向结构包括：滚珠槽、滚珠，所述冷却盒的底侧固定设有若干滚珠槽，所述滚珠槽的内侧转动连接设有滚珠。
优选的，所述冷却盒远离第二传送带的一侧固定连接设有导向分隔柱，所述导向分隔柱的两侧呈弧形结构设置，所述导向分隔柱远离冷却盒的一侧固定设有凸块。
优选的，所述风冷箱的内侧且与风扇相对的位置固定连接设有弧形板。
优选的，所述第二传送带与第三传送带呈相对并排设置，所述第二传送带呈斜角六十度设置，所述第三传送带的顶侧且靠近第二传送带的位置固定连接设有挡料板。
优选的，所述第五传送带与第六传送带均采用为滚轴传送带。
优选的，所述风冷箱的底侧固定连接设有若干通风孔。
本发明提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，有益效果在于：通过设置冷却盒、进油管、出油管、第一转换管、第二转换管、第一真空泵、第二真空泵、连通管、换热器、导油管、冷却油箱、吸油管、滚珠槽、滚珠，第一真空泵由吸油管向冷却油箱内进行吸油，然后经过第一转换管流过进油管，进入冷却盒内侧，使冷却盒内侧存在冷性冷却油，当硅片运输，硅片触碰到滚珠，滚珠接触硅片吸收热量，然后由滚珠槽传导到冷却盒中的冷却油，然后热油再由第二真空泵经过出油管与第二转换管吸入通过连通管送入换热器，再由换热器进行冷却送入冷却油箱中，对硅片提供一个一次冷却功能，冷却油循环利用，减少能源消耗，节能方便，通过设置第一传送带、第二传送带、第三传送带、第四传送带、风冷箱、第五传送带、第六传送带，当硅片在第一传送带上运输，然后在一分二的分别向第二传送带、第三传送带进行运输，然后第三传送带将硅片运输到第四传送带上，最后第二传送带上的硅片运送到第五传送带上，第四传送带上的硅片运送到第六传送带，形成上下同时运输，在风冷箱内进行风冷，上下分层运输，可以更有效的进行全面散热，将一条线上的并列物料分层运输，可以防止物料之间的热性对流，提高物料的散热效果，从而达到更好的冷却效果，通过设置风扇、弧形板，风扇进行风冷，实为对硅片的二次冷却，风扇吹出的风流经由弧形板形成一种底侧斜型风流，使硅片在一分二的运输中收到的风流冷却更加均匀，配合制一次冷却，使硅片的冷却效果更加优异，更加高效冷却，该节能高效的硅片烘烤用冷却装置，一分二运输物料，冷却循环利用，节能高效，操作方便，冷却效果优异。
附图说明
图1为本发明提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置的正面轴测结构示意图；
图2为本发明提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置的侧面剖切轴测结构示意图；
图3为本发明提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置的正面剖切轴测结构示意图；
图4为本发明提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置的正面剖切轴测中A的结构示意图；
图5为本发明提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置的背面轴测结构示意图；
图6为本发明提出的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置的右面轴测结构示意图。
图中：1第一传送带、2硅片、3冷却盒、4进油管、5出油管、6第一转换管、7第二转换管、8第一真空泵、9第二真空泵、10连通管、11换热器、12导油管、13冷却油箱、14吸油管、15第二传送带、16第三传送带、17第四传送带、18风冷箱、19第五传送带、20第六传送带、21支撑腿、22安装孔、23风扇、24弧形板、25滚珠槽、26滚珠、27导向分隔柱、28挡料板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-6，一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带1，第一传送带1的顶侧活动连接设有若干硅片2，第一传送带1的顶侧一端通过卡扣可拆卸式连接设有冷却盒3，冷却盒3底侧固定设有散热导向结构，冷却盒3的两侧分别固定连接设有进油管4、出油管5，进油管4、出油管5的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有第一转换管6、第二转换管7，第一转换管6、第二转换管7的底侧分别固定设有第一真空泵8、第二真空泵9，第一真空泵8的输出端通过螺纹转动连接设有连通管10，连通管10的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有换热器11，第一传送带1的底侧且与冷却盒3相对的位置固定连接设有冷却油箱13，换热器11的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有导油管12，导油管12的一侧转动连接在冷却油箱13的一侧，第二真空泵9的输入端通过卡扣可拆卸式连接设有吸油管14，吸油管14的一侧转动连接在冷却油箱13的一侧，第一传送带1的一侧且位于冷却油箱13的顶侧固定连接设有第二传送带15，第一传送带1的一侧固定设有第三传送带16，第三传送带16远离第一传送带1的一侧固定设有第四传送带17，第二传送带15远离第一传送带1的一侧固定连接设有风冷箱18，风冷箱18为空腔结构，风冷箱18的内侧从上至下依次固定连接设有第五传送带19、第六传送带20，风冷箱18的底侧固定连接设有支撑腿21，风冷箱18的一侧固定设有若干安装孔22，安装孔22的内侧通过卡扣可拆卸式连接设有风扇23。
具体的，第一传送带1、第二传送带15、第三传送带16、第四传送带17、第五传送带19、第六传送带20及风扇23均通过导线电性连接外接电源。
具体的，散热导向结构包括：滚珠槽25、滚珠26，冷却盒3的底侧固定设有若干滚珠槽25，滚珠槽25的内侧转动连接设有滚珠26。
具体的，冷却盒3远离第二传送带15的一侧固定连接设有导向分隔柱27，导向分隔柱27的两侧呈弧形结构设置，导向分隔柱27远离冷却盒3的一侧固定设有凸块。
具体的，风冷箱18的内侧且与风扇23相对的位置固定连接设有弧形板24。
具体的，第二传送带15与第三传送带16呈相对并排设置，第二传送带15呈斜角六十度设置，第三传送带16的顶侧且靠近第二传送带15的位置固定连接设有挡料板28。
具体的，第五传送带19与第六传送带20均采用为滚轴传送带。
具体的，风冷箱18的底侧固定连接设有若干通风孔。
本发明使用时，通过设置冷却盒3、进油管4、出油管5、第一转换管6、第二转换管7、第一真空泵8、第二真空泵9、连通管10、换热器11、导油管12、冷却油箱13、吸油管14、滚珠槽25、滚珠26，第一真空泵8由吸油管14向冷却油箱13内进行吸油，然后经过第一转换管6流过进油管4，进入冷却盒3内侧，使冷却盒3内侧存在冷性冷却油，当硅片2运输，硅片2触碰到滚珠26，滚珠26接触硅片2吸收热量，然后由滚珠槽25传导到冷却盒3中的冷却油，然后热油再由第二真空泵9经过出油管5与第二转换管7吸入通过连通管10送入换热器11，再由换热器11进行冷却送入冷却油箱13中，对硅片2提供一个一次冷却功能，冷却油循环利用，减少能源消耗，节能方便；
通过设置第一传送带1、第二传送带15、第三传送带16、第四传送带17、风冷箱18、第五传送带19、第六传送带20，当硅片2在第一传送带1上运输，然后在一分二的分别向第二传送带15、第三传送带16进行运输，然后第三传送带16将硅片2运输到第四传送带17上，最后第二传送带15上的硅片2运送到第五传送带19上，第四传送带17上的硅片2运送到第六传送带20，形成上下同时运输，在风冷箱18内进行风冷，上下分层运输，可以更有效的进行全面散热，将一条线上的并列物料分层运输，可以防止物料之间的热性对流，提高物料的散热效果，从而达到更好的冷却效果；
通过设置风扇23、弧形板24，风扇23进行风冷，实为对硅片2的二次冷却，风扇23吹出的风流经由弧形板24形成一种底侧斜型风流，使硅片2在一分二的运输中收到的风流冷却更加均匀，配合制一次冷却，使硅片2的冷却效果更加优异，更加高效冷却，该节能高效的硅片烘烤用冷却装置，一分二运输物料，冷却循环利用，节能高效，操作方便，冷却效果优异。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，包括第一传送带(1)，其特征在于，所述第一传送带(1)的顶侧活动连接设有若干硅片(2)，所述第一传送带(1)的顶侧一端通过卡扣可拆卸式连接设有冷却盒(3)，所述冷却盒(3)底侧固定设有散热导向结构，所述冷却盒(3)的两侧分别固定连接设有进油管(4)、出油管(5)，所述进油管(4)、出油管(5)的一侧分别通过卡扣可拆卸式连接设有第一转换管(6)、第二转换管(7)，所述第一转换管(6)、第二转换管(7)的底侧分别固定设有第一真空泵(8)、第二真空泵(9)，所述第一真空泵(8)的输出端通过螺纹转动连接设有连通管(10)，所述连通管(10)的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有换热器(11)，所述第一传送带(1)的底侧且与冷却盒(3)相对的位置固定连接设有冷却油箱(13)，所述换热器(11)的一侧通过卡扣可拆卸式连接设有导油管(12)，所述导油管(12)的一侧转动连接在冷却油箱(13)的一侧，所述第二真空泵(9)的输入端通过卡扣可拆卸式连接设有吸油管(14)，所述吸油管(14)的一侧转动连接在冷却油箱(13)的一侧，所述第一传送带(1)的一侧且位于冷却油箱(13)的顶侧固定连接设有第二传送带(15)，所述第一传送带(1)的一侧固定设有第三传送带(16)，所述第三传送带(16)远离第一传送带(1)的一侧固定设有第四传送带(17)，所述第二传送带(15)远离第一传送带(1)的一侧固定连接设有风冷箱(18)，所述风冷箱(18)为空腔结构，所述风冷箱(18)的内侧从上至下依次固定连接设有第五传送带(19)、第六传送带(20)，所述风冷箱(18)的底侧固定连接设有支撑腿(21)，所述风冷箱(18)的一侧固定设有若干安装孔(22)，所述安装孔(22)的内侧通过卡扣可拆卸式连接设有风扇(23)，所述第二传送带(15)与第三传送带(16)呈相对并排设置，所述第二传送带(15)上的硅片(2)运送到第五传送带(19)上，所述第四传送带(17)上的硅片(2)运送到第 六传送带(20)上。
2.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述第一传送带(1)、第二传送带(15)、第三传送带(16)、第四传送带(17)、第五传送带(19)、第六传送带(20)及风扇(23)均通过导线电性连接外接电源。
3.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述散热导向结构包括：滚珠槽(25)、滚珠(26)，所述冷却盒(3)的底侧固定设有若干滚珠槽(25)，所述滚珠槽(25)的内侧转动连接设有滚珠(26)。
4.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述冷却盒(3)远离第二传送带(15)的一侧固定连接设有导向分隔柱(27)，所述导向分隔柱(27)的两侧呈弧形结构设置，所述导向分隔柱(27)远离冷却盒(3)的一侧固定设有凸块。
5.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述风冷箱(18)的内侧且与风扇(23)相对的位置固定连接设有弧形板(24)。
6.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述第二传送带(15)呈斜角六十度设置，所述第三传送带(16)的顶侧且靠近第二传送带(15)的位置固定连接设有挡料板(28)。
7.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述第五传送带(19)与第六传送带(20)均采用为滚轴传送带。
8.根据权利要求1所述的一种节能高效的硅片烘烤用冷却装置，其特征在于，所述风冷箱(18)的底侧固定连接设有若干通风孔。
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203277480U (zh) * 2013-05-08 2013-11-06 江苏爱多光伏科技有限公司 一种太阳能硅片冷却装置
CN204303851U (zh) * 2015-01-07 2015-04-29 浙江尚源实业有限公司 一种硅片冷却回收装置
CN207676883U (zh) * 2017-11-17 2018-07-31 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种硅片冷却装置
CN111129222A (zh) * 2019-12-24 2020-05-08 浙江芯能光伏科技股份有限公司 一种太阳能多晶硅片的生产装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110303290A1 (en) * 2010-06-14 2011-12-15 Korea Institute Of Energy Research Method and apparatus for manufacturing silicon substrate with excellent surface quality using inert gas blowing

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203277480U (zh) * 2013-05-08 2013-11-06 江苏爱多光伏科技有限公司 一种太阳能硅片冷却装置
CN204303851U (zh) * 2015-01-07 2015-04-29 浙江尚源实业有限公司 一种硅片冷却回收装置
CN207676883U (zh) * 2017-11-17 2018-07-31 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种硅片冷却装置
CN111129222A (zh) * 2019-12-24 2020-05-08 浙江芯能光伏科技股份有限公司 一种太阳能多晶硅片的生产装置

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