CN220856595U - 一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构 - Google Patents
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Abstract
本申请公开一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，包括机台主体；所述机台主体上设置有臭氧区、加热区和冷却区；所述臭氧区为加热区提供制造高浓度臭氧，配合加热区对产品表面进行氧化；所述加热区对产品进行升温加热，以及配合臭氧区为产品表面制备氧化膜；所述冷却区对升温加热后制备好的产品进行放置冷却降温；所述臭氧区、加热区和冷却区通过驱动滚轮进行传输传动；本申请采用激光发射装置和臭氧发生装置配合，用高浓度臭氧气体配合激光能量对硅片表面进行瞬间氧化，通过激光功率与频率的调整，控制氧化效果，制备满足客户所需要的高质量的氧化膜及硅片，有利于匹配Topcon电池技术的发展，对我国高效电池片技术的发展与技术探索有长远意义。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏电池制造相关技术领域，具体涉及一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构。
背景技术
光伏应用中激光SE后进行碱抛，会导致激光掺杂处PN结受损，具体电性能表现为串联电阻Rs高，漏电大，严重时开路电压Voc和短路电流Isc偏低，臭氧具有强氧化性，可以降低电池硅片表面反射率，使硅片表面加厚氧化层，保护正面，提升氧化能力，对激光重掺区进行保护，但是臭氧需求的温度过高，臭氧量不易控制，在很大程度上造成了成本的浪费，氧化性能不易控制。
针对臭氧量不好控制从而造成氧化性能不易控制的问题，一般情况下采用链式臭氧于硅片浅表层进行氧化覆盖的方法来解决，但是氧化层较薄且均匀性差，无法进行监控及质量判定。
基于上述情况，如何来实现臭氧对硅片的氧化效果控制及调整，制备满足客户要求的产品，是公司需要考虑和解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，以解决现有技术中的问题。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，包括机台主体；
所述机台主体上设置有臭氧区、加热区和冷却区；
所述臭氧区为加热区提供制造高浓度臭氧，配合加热区对产品表面进行氧化；
所述加热区对产品进行升温加热，以及配合臭氧区为产品表面制备氧化膜；
所述冷却区对升温加热后制备好的产品进行放置冷却降温；
所述臭氧区、加热区和冷却区通过驱动滚轮进行传输传动。
优选的一种方案，所述臭氧区设置有至少一个臭氧发生装置；所述臭氧发生装置安装在所述驱动滚轮侧面，与所述加热区相邻。
优选的一种方案，所述加热区包括激光发射装置、加热板和台面；所述激光发射装置通过安装孔固定设置在所述加热板上；所述加热板下方设有用于所述激光发射装置持续输出的激光孔；所述台面设置在所述加热板下方，且与加热板之间通过所述驱动滚轮传输产品。
优选的一种方案，所述激光孔的形状包括长方形孔、条形孔或正方形孔的一种。
优选的一种方案，所述冷却区包括传送皮带；所述传送皮带设置在所述驱动滚轮两端，并由驱动滚轮带动传动。
优选的一种方案，所述冷却区还设有多根风冷管；所述风冷管包覆设置在所述传送皮带内，且与所述驱动滚轮平行设置。
优选的一种方案，所述机台主体外部还设有防护罩。
由于上述技术方案的运用，本申请与现有技术相比的有益效果在于：
本申请的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，通过机台主体上臭氧区、加热区和冷却区的设置，采用激光发射装置和臭氧发生装置配合，用高浓度臭氧气体配合激光能量对硅片表面进行瞬间氧化，通过激光功率与频率的调整，控制氧化效果，制备满足客户所需要的高质量的氧化膜及硅片，有利于匹配Topcon电池技术的发展和不同需求，对我国高效电池片技术的发展与技术探索有长远意义。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
附图1为本实用新型的Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构的示意图；
其中：1、机台主体；2、臭氧区；3、加热区；4、冷却区；5、驱动滚轮；6、臭氧发生装置；7、激光发射装置；8、加热板；9、台面；10、激光孔；11、传送皮带；12、风冷管；13、防护罩。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。
并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。
此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
实施例一
附图1为本实用新型所述的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，包括机台主体1；
所述机台主体1上设置有臭氧区2、加热区3和冷却区4；
所述臭氧区2为加热区3提供制造高浓度臭氧，配合加热区3对产品表面进行氧化；所述臭氧区2设置有至少一个臭氧发生装置6，可以是在驱动滚轮5上下两侧各设置一个臭氧发生装置6，进一步的提高为加热区3提供臭氧的浓度和效果；所述臭氧发生装置6安装在所述驱动滚轮5侧面，与所述加热区3相邻，方便臭氧的供给；
所述加热区3对产品进行升温加热，以及配合臭氧区2为产品表面制备氧化膜；所述加热区3包括激光发射装置7、加热板8和台面9；所述激光发射装置7通过安装孔固定设置在所述加热板8上，能够合理的利用有限的空间，使激光发射装置7不占用多余空间，确保整体结构的合理尺寸大小；所述加热板8下方设有用于所述激光发射装置7持续输出的激光孔10，所述激光孔10的形状包括长方形孔、条形孔或正方形孔的一种，保证激光发生装置能够保持持续的激光能量输出，通过激光孔10作用于硅片产品表面，具有可施工性和可改造型的特点；所述台面9设置在所述加热板8下方，且与加热板8之间通过所述驱动滚轮5传输产品，台面9的设置保证了加热区3的加热范围，也能方便控制硅片产品配合驱动滚轮5在加热区3范围及加热时间；
所述冷却区4对升温加热后制备好的产品进行放置冷却降温；所述冷却区4包括传送皮带11；所述传送皮带11设置在所述驱动滚轮5两端，并由驱动滚轮5带动传动，传送皮带11的传动控制可以将加工好的硅片产品进行速度控制，以方便产品的冷却，所述冷却区4还设有多根风冷管12；所述风冷管12包覆设置在所述传送皮带11内，且与所述驱动滚轮5平行设置；风冷管12能够进一步的对产品进行冷却降温处理，保证产品冷却速度，并通过传送皮带11进行输送下料，进入下一工序；
所述臭氧区2、加热区3和冷却区4通过驱动滚轮5进行传输传动，能够保证每个区域每一步加工工序的输送稳定性能，保证加工是顺利进行。
所述机台主体1外部还设有防护罩13，进一步的将整个链氧机台结构保护起来，防止外界因素影响加工生产。
具体进行加工时，硅片产品通过驱动滚轮5输送，先进过臭氧区2，由臭氧发生装置6对硅片表面提供高浓度臭氧，然后驱动滚轮5输送硅片至加热区3，加热板8对硅片进行加热升温到一定温度，比如300℃，再配合激光发射装置7发射的激光能量和臭氧对硅片表面进行瞬间氧化，使硅片表面生产氧化膜，氧化膜的质量和厚度通过调整激光发射装置7的激光功率和频率来控制，满足客户对氧化膜的要求；完成硅片表面氧化膜加工工序后，驱动滚轮5将硅片输送至冷却区4，硅片通过传送皮带11及风冷管12进行降温冷却，降温冷却后输送至下一工序加工。
本申请的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，通过机台主体1上臭氧区2、加热区3和冷却区4的设置，采用激光发射装置7和臭氧发生装置6配合，用高浓度臭氧气体配合激光能量对硅片表面进行瞬间氧化，通过激光功率与频率的调整，控制氧化效果，制备满足客户所需要的高质量的氧化膜及硅片，有利于匹配Topcon电池技术的发展和不同需求，对我国高效电池片技术的发展与技术探索有长远意义。
最后应说明的是，以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，其特征在于：包括机台主体；
所述机台主体上设置有臭氧区、加热区和冷却区；
所述臭氧区为加热区提供制造高浓度臭氧，配合加热区对产品表面进行氧化；
所述加热区对产品进行升温加热，以及配合臭氧区为产品表面制备氧化膜；
所述冷却区对升温加热后制备好的产品进行放置冷却降温；
所述臭氧区、加热区和冷却区通过驱动滚轮进行传输传动；
所述加热区包括激光发射装置、加热板和台面；所述激光发射装置通过安装孔固定设置在所述加热板上；所述加热板下方设有用于所述激光发射装置持续输出的激光孔；所述台面设置在所述加热板下方，且与加热板之间通过所述驱动滚轮传输产品。
2.如权利要求1所述的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，其特征在于：所述臭氧区设置有至少一个臭氧发生装置；所述臭氧发生装置安装在所述驱动滚轮侧面，与所述加热区相邻。
3.如权利要求1所述的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，其特征在于：所述激光孔的形状包括长方形孔、条形孔或正方形孔的一种。
4.如权利要求1所述的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，其特征在于：所述冷却区包括传送皮带；所述传送皮带设置在所述驱动滚轮两端，并由驱动滚轮带动传动。
5.如权利要求4所述的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，其特征在于：所述冷却区还设有多根风冷管；所述风冷管包覆设置在所述传送皮带内，且与所述驱动滚轮平行设置。
6.如权利要求1所述的一种Topcon电池附加氧化层用链氧机台结构，其特征在于：所述机台主体外部还设有防护罩。
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