CN220907642U - 镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜技术领域，提供一种镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台，镀膜机自动出料冷却装置包括：下料机构，下料机构设置有与PECVD镀膜机的出料口相对设置的下料口，下料口的上方和/或所述PECVD镀膜机的出料口上方设置有冷却风扇；传送机构，包括用于输送石墨舟的传送带，传送带设置于PECVD镀膜机的出料口和下料机构的下料口之间；冷却风扇的送风方向平行于传送带的传送方向。本实用新型的技术方案实现了提高出舟过程中的石墨舟冷却效率，缩短镀膜机台的出舟时长，提升镀膜工序产能。

Description

镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台。

背景技术

镀膜工序在晶体硅太阳电池的生产制造过程中起着至关重要的作用。PECVD镀膜机台是等离子增强型化学气相沉积设备。PECVD镀膜机台主要用于镀膜，具有节能、环保、高效率、高产量、低成本等优点，在光学、太阳能、半导体、装饰、玻璃等行业领域应用广泛。

镀膜工序完成后，需进行出舟工序，由石墨舟作为载体的产品从PECVD镀膜机台产出。在实际生产过程中，PECVD镀膜机台内部提供的冷却方式往往不足以使石墨舟达到设定温度，因此石墨舟常需要停滞在下料口自然冷却到设定温度后方能进入下料机构，导致镀膜机台出舟时长较长，影响镀膜工序产能。

实用新型内容

本实用新型提供一种镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台，用以解决现有技术中，由于石墨舟难以散热，导致镀膜机台出舟时长较长，影响镀膜工序产能的缺陷，实现提高出舟过程中的石墨舟冷却效率，缩短镀膜机台的出舟时长，提升镀膜工序产能。

本实用新型提供一种镀膜机自动出料冷却装置，包括：下料机构，所述下料机构设置有与PECVD镀膜机的出料口相对设置的下料口，所述下料口的上方和/或所述PECVD镀膜机的出料口上方设置有冷却风扇；传送机构，包括用于输送石墨舟的传送带，所述传送带设置于所述PECVD镀膜机的所述出料口和所述下料机构的所述下料口之间；所述冷却风扇的送风方向平行于所述传送带的传送方向。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，所述传送机构包括用于检测所述石墨舟的输送位置的位置传感器。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，所述位置传感器设置于所述下料口的入口处；或者，所述位置传感器设置于所述传送带的一侧，且所述位置传感器与所述出料口之间的距离大于所述石墨舟的长度。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，包括控制器；所述冷却风扇连接于所述控制器，以在所述控制器的控制下运行；所述控制器连接于所述位置传感器，以从所述位置传感器获取位置检测信号。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，所述传送机构包括用于检测所述石墨舟的温度的温控仪；所述传送带连接于所述控制器，以在所述控制器的控制下运行；所述控制器连接于所述温控仪，以从所述温控仪获取温度检测信号。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，所述冷却风扇的出风口处设置有导风结构；所述导风结构的导流方向平行于所述传送带的传送方向。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，所述冷却风扇的风机类型为离心式、轴流式、斜流式和横流式中的任意一种。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，所述传送带的至少一侧设置有蜂窝沸石板。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，所述下料口的周围和/或所述PECVD镀膜机的出料口周围设置有多个所述冷却风扇；多个所述冷却风扇的送风方向均平行于所述传送带的传送方向。

本实用新型还提供一种镀膜机台，包括PECVD镀膜机，以及以上任一种实施方式所述的镀膜机自动出料冷却装置。

本实用新型提供的镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台，通过PECVD镀膜机与下料机构之间加装一套冷却装置提升降温速率，实现提升机台稼动率，提升产能的效果。具体地，传送机构的传送带设置于PECVD镀膜机的出料口和下料机构的下料口之间，石墨舟从出料口送出后，在传送带的输送下朝下料口移动。设置于下料口上方和/或PECVD镀膜机的出料口上方的冷却风扇能够提供平行于传送带的传送方向的冷却风，从而在未对石墨舟中的物料造成直吹的情况下，促使石墨舟上方的空气加速流动，从而提高出舟过程中的石墨舟冷却效率，缩短镀膜机台的出舟时长，提升镀膜工序产能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的镀膜机自动出料冷却装置的结构示意图；

图2是本实用新型提供的镀膜机自动出料冷却装置和PECVD镀膜机的结构框图；

附图标记：

下料机构10；下料口11；冷却风扇12；传送机构20；传送带21；位置传感器22；温控仪23。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连接”应作广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

包括PERC、TOPCon在内的晶体硅太阳电池目前仍是光伏市场的主导，而镀膜工序在其中又起着至关重要的作用。在实际生产过程中，主机台内部提供的冷却方式往往不足以使石墨舟达到设定温度，因此石墨舟常需要停滞在下料口前，自然冷却到设定温度后方能进入下料机构，对镀膜工序的产出效率影响较大，导致产能受限。而如果石墨舟冷却时间过短，石墨舟温度过高，与外部环境温差较大，容易造成硅片翘曲形变增加碎片率；同时硅片温度过高，机械手取片时容易造成吸盘印，影响晶硅电池的良率。

本实用新型提出一种用于PECVD镀膜机自动化出料的镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台，该冷却装置加装在PECVD镀膜机与下料机构之间，可以缩短出舟所需冷却时间，提升产能。

下面结合图1和图2描述本实用新型的镀膜机自动出料冷却装置和镀膜机台的具体实施方式。

本实用新型提供一种镀膜机自动出料冷却装置，如图1和图2所示，包括：下料机构10，下料机构10设置有与PECVD镀膜机的出料口相对设置的下料口11，下料口11的上方和/或PECVD镀膜机的出料口上方设置有冷却风扇12；传送机构20，包括用于输送石墨舟的传送带21，传送带21设置于PECVD镀膜机的出料口和下料机构10的下料口11之间；冷却风扇12的送风方向平行于传送带21的传送方向。

上述实施方式通过PECVD镀膜机与下料机构10之间加装一套风冷冷却装置提升降温速率，实现提升机台稼动率，提升产能的效果。具体地，传送机构20的传送带21设置于PECVD镀膜机(图中未展示)的出料口和下料机构10的下料口11之间，石墨舟从出料口送出后，在传送带21的输送下朝下料口11移动。设置于下料口11上方和/或PECVD镀膜机的出料口上方的冷却风扇12能够提供平行于传送带21的传送方向的冷却风，从而在未对石墨舟中的物料造成直吹的情况下，促使石墨舟上方的空气加速流动，从而提高出舟过程中的石墨舟冷却效率，缩短镀膜机台的出舟时长，提升镀膜工序产能。

其中，通过设计冷却风扇12的风向平行于石墨舟的移动方向，从而使冷却风平吹石墨舟上表面，在生产过程中达到冷却效果的同时减少了冷却风对石墨舟所承载的硅片的直吹，并减少扬尘对硅片良率的影响。

如图2所示，冷却风扇12可以设置于PECVD镀膜机(图中左侧框形)的出料口上方，也可设置于下料机构10的下料口11上方。其中，出料口上方的冷却风扇12在石墨舟从出料口送出的过程中起到较为有效的冷却作用，下料口11上方的冷却风扇12在石墨舟进入下料口11的过程中起到较为有效的冷却作用。优选情况下，冷却风扇12至少设置于下料口11上方，由于石墨舟临近下料口11处的温度最高，设置于下料口11上方的冷却风扇12能够实现较高降温效率。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，传送机构20优选包括用于检测石墨舟的输送位置的位置传感器22。具体来说，本实施例提供了一种通过位置传感器22监控石墨舟在传送带21上的运动位置，从而能够准确把控出舟进度。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，上述位置传感器22优选设置于下料口11的入口处；或者，位置传感器22设置于传送带21的一侧，且位置传感器22与出料口之间的距离大于石墨舟的长度。具体来说，位置传感器22与出料口之间的距离大于石墨舟的长度，能够在石墨舟完全移出镀膜机的出料口后给予位置反馈。可以理解的是，位置传感器22的数量也可以设置有多个，分别在传送机构20的不同传送位置节点上监控石墨舟的输送位置。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，优选还包括控制器；冷却风扇12连接于控制器，以在控制器的控制下运行；控制器连接于位置传感器22，以从位置传感器22获取位置检测信号。具体地，在实际应用中，控制器可根据位置传感器22反馈的位置检测信号，对冷却风扇12进行控制，以使冷却风扇12能够在较短的运行时长里，发挥更为有效的散热效果。

例如图1所示，位置传感器22靠近下料口11，当石墨舟移动至靠近下料口的位置时，控制器根据位置检测信号，控制下料口11上方的冷却风扇12运行。

如图2所示，在镀膜机的出料口和下料机构10的下料口11上方均设置有冷却风扇12的情况下，控制器还可控制冷却风扇12交替运行。例如，出料过程中，出料口上方的冷却风扇12先运行，当石墨舟移动至靠近下料口的位置时，控制器根据位置检测信号，控制出料口上方的冷却风扇12停止运行，并控制下料口11上方的冷却风扇12运行。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，上述通过控制器实现冷却风扇12基于石墨舟的输送位置切换启停状态的运行方式，也可通过继电器开关或带有继电模块的PLC(可编程逻辑控制器)来实现。例如，冷却风扇12的供电线路上设置有第一继电器开关；位置传感器22连接于第一继电器开关；在石墨舟进入位置传感器22的感应范围时，第一继电器开关接通冷却风扇12的供电线路；在石墨舟脱离位置传感器22的感应范围时，第一继电器开关断开冷却风扇12的供电线路。

其中，在石墨舟进入位置传感器22的感应范围时，石墨舟输送到达或靠近下料口11的入口处，此时位置传感器22发送的电信号触发第一继电器开关，使冷却风扇12的供电线路被接通，冷却风扇12开始工作。在石墨舟继续移动至下料口11内，且尾端脱离位置传感器22的感应范围时，位置传感器22停止发送电信号，第一继电器开关恢复断开状态，冷却风扇12停止工作。根据本实施方式，实现了冷却风扇12的自动启动和停止，节约能耗。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，传送机构20包括用于检测石墨舟的温度的温控仪23；传送带21连接于前文记载的控制器，以在控制器的控制下运行；控制器连接于温控仪23，以从温控仪23获取温度检测信号。温控仪23优选与位置传感器22相邻设置。

具体地，在石墨舟进入位置传感器22的感应范围时，石墨舟输送到达位置传感器22处，此时位置传感器22发送的电信号至控制器，控制器切断传送带21的供电线路，传送带21停止传送，冷却风扇12持续工作以对石墨舟进行充分降温。在石墨舟的温度降低至温控仪23的触发温度范围时，例如石墨舟的温度降低20℃-40℃之间时，石墨舟的温度基本满足下料要求，温控仪23发送电信号，控制器恢复传送带21的供电线路，传送带21继续传送，将石墨舟送入下料机构10的下料口11。

上述在控制器的控制下，传送带21能够基于石墨舟的输送位置停止，以及能够基于石墨舟的温度变化启动的实施方式，也可通过继电器开关或带有继电模块的PLC(可编程逻辑控制器)来实现。例如，传送带21的供电线路上设置有第二继电器开关；第二继电器开关分别连接于位置传感器22和温控仪23；在石墨舟进入位置传感器22的感应范围时，第二继电器开关切断传送带21的供电线路；在石墨舟的温度降低至温控仪23的触发温度范围时，第二继电器开关接通传送带21的供电线路。

其中，在石墨舟进入位置传感器22的感应范围时，石墨舟输送到达或靠近下料口11的入口处，此时位置传感器22发送的电信号触发第二继电器开关切断传送带21的供电线路，传送带21停止传送，冷却风扇12持续工作以对石墨舟进行降温。在石墨舟的温度降低至温控仪23的触发温度范围时，例如石墨舟的温度降低20℃-40℃之间时，石墨舟的温度基本满足下料要求，温控仪23发送电信号触发第二继电器开关恢复传送带21的供电线路，传送带21继续传送，将石墨舟送入下料机构10的下料口11。

根据本实用新型的一种优选的实施方式，通过设计上述冷却风扇12、位置传感器22、温控仪23安装于临近下料口11处，由于石墨舟临近下料口11处的温度最高，从而有助于提升降温效率，减少设备运行能耗。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，冷却风扇12的出风口处设置有导风结构；导风结构的导流方向平行于传送带21的传送方向。具体来说，本实施例提供了一种通过导风结构辅助控制冷却风的流向的实施方式。在限定冷却风扇12的送风方向的基础上，通过导风结构进一步提供对冷却风的导向作用，使冷却风能在更大的送风范围内保持风向。上述导风结构可以为导风栅格、导风叶、导风板等。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，冷却风扇12的风机类型为离心式、轴流式、斜流式和横流式中的任意一种。具体来说，本实施例提供了几种冷却风扇12的不同风机类型的实施方式，具体风机类型可根据实际应用工况选择。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，传送带21的至少一侧设置有蜂窝沸石板。具体来说，本实施例提供了一种利用蜂窝沸石板吸附扬尘的实施方式。在传送带21的至少一侧设置有蜂窝沸石板，能够吸附传送机构20周围的扬尘，进一步减小空气中的扬尘对镀膜良品率的影响。其中，蜂窝沸石可以在高温条件下保持稳定性，不易失去吸附性能。

根据本实用新型提供的一种镀膜机自动出料冷却装置，下料口11的周围和/或PECVD镀膜机的出料口周围设置有多个冷却风扇12；多个冷却风扇12的送风方向均平行于传送带21的传送方向。具体来说，本实施例提供了一种通过增加冷却风扇12的数量以提高冷却效率的实施方式。送风方向平行的多个冷却风扇12能够进一步提高石墨舟周围的空气流通速率，从而提高出舟冷却效率。优选情况下，多个冷却风扇12均设置于下料口11的周围，且其中至少一个设置于下料口11的上方。

本实用新型还提供一种镀膜机台，包括PECVD镀膜机，以及以上任一种实施方式的镀膜机自动出料冷却装置。

可以理解的是，镀膜机台可以通过设置中央控制器，以编辑更为智能的控制逻辑，协调控制传送带21、位置传感器22、温控仪23及冷却风扇12的运行。

具体地，在PECVD镀膜机与下料机构10之间加装以上任一种实施方式的镀膜机自动出料冷却装置。该冷却装置包括位置传感器22、温控仪23及冷却风扇12，通过上述中央控制器控制传送带21、位置传感器22、温控仪23及冷却风扇12的运行。

在生产过程中，石墨舟需要发往下料机构10完成上下料的装卸工作。首先PECVD镀膜机发送给中央控制器出舟信号，石墨舟通过传送带21运输发往下料机构10；位置传感器22感应到石墨舟到达后，发送信号给中央控制器，随即传送带21停止运行，冷却风扇12开始运行。温控仪23实时监测石墨舟的温度，当石墨舟的温度达到20-40℃时，温控仪23发送信号给中央控制器，传送带21继续运行，输送石墨舟发往下料机构10。当位置传感器22感应到石墨舟离开后，发送信号给中央控制器，冷却风扇12停止运行。位置传感器22、温控仪23设计位于临近下料口11处，冷却风扇12位于下料口11上方，根据实际的工艺情况，石墨舟临近下料口11处，温度通常最高，这样设计有助于提升降温效率，减少运行能耗。在生产环境中可能存在较多悬浮颗粒物以及粉尘，直接吹向石墨舟中的硅片容易使得硅片附着部分悬浮颗粒物，经过高温处理后会对硅片良率造成影响。设计冷却风扇12风向平行于石墨舟，平吹石墨舟上表面，可以达到带走热量同时避免风扇直接吹向石墨舟中的硅片。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“方式”、“具体方式”、或“一些方式”等的描述意指结合该实施例或方式描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或方式中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或方式。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或方式中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或方式以及不同实施例或方式的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，包括：

下料机构(10)，所述下料机构(10)设置有与PECVD镀膜机的出料口相对设置的下料口(11)，所述下料口(11)的上方和/或所述PECVD镀膜机的出料口上方设置有冷却风扇(12)；

传送机构(20)，包括用于输送石墨舟的传送带(21)，所述传送带(21)设置于所述PECVD镀膜机的所述出料口和所述下料机构(10)的所述下料口(11)之间；

所述冷却风扇(12)的送风方向平行于所述传送带(21)的传送方向。

2.根据权利要求1所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，所述传送机构(20)包括用于检测所述石墨舟的输送位置的位置传感器(22)。

3.根据权利要求2所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，所述位置传感器(22)设置于所述下料口(11)的入口处；

或者，所述位置传感器(22)设置于所述传送带(21)的一侧，且所述位置传感器(22)与所述出料口之间的距离大于所述石墨舟的长度。

4.根据权利要求2所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，包括控制器；

所述冷却风扇(12)连接于所述控制器，以在所述控制器的控制下运行；

所述控制器连接于所述位置传感器(22)，以从所述位置传感器(22)获取位置检测信号。

5.根据权利要求4所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，所述传送机构(20)包括用于检测所述石墨舟的温度的温控仪(23)；

所述传送带(21)连接于所述控制器，以在所述控制器的控制下运行；

所述控制器连接于所述温控仪(23)，以从所述温控仪(23)获取温度检测信号。

6.根据权利要求1所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，所述冷却风扇(12)的出风口处设置有导风结构；

所述导风结构的导流方向平行于所述传送带(21)的传送方向。

7.根据权利要求1所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，所述冷却风扇(12)的风机类型为离心式、轴流式、斜流式和横流式中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，所述传送带(21)的至少一侧设置有蜂窝沸石板。

9.根据权利要求1-8中的任一项所述的镀膜机自动出料冷却装置，其特征在于，所述下料口(11)的周围和/或所述PECVD镀膜机的出料口周围设置有多个所述冷却风扇(12)；

多个所述冷却风扇(12)的送风方向均平行于所述传送带(21)的传送方向。

10.一种镀膜机台，其特征在于，包括PECVD镀膜机，以及权利要求1至9中的任一项所述的镀膜机自动出料冷却装置。