CN111804066A - 一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，通过在暂存腔内设置风机过滤模块实现，其特征在于，所述风机过滤机组模块包括控制系统、粒子浓度探头和风机过滤机组，粒子浓度探头设于暂存腔的侧壁上，用于采集暂存腔的洁净度数据并反馈给控制系统；风机过滤机组包括上过滤风机和下过滤风机，下过滤风机位于暂存腔的底部，用于将空气过滤后吸入暂存腔内，上过滤风机位于暂存腔的顶部，用于将暂存腔内的热空气和尘埃微粒加速排出暂存腔；控制系统获取粒子浓度探头反馈的洁净度数据，根据数据控制风机过滤机组的转速，该方法可改善暂存冷却腔室的洁净度达到千级标准，从而提升光伏电池良率，还可极大的节约成本。
Description
技术领域
本发明属于太阳能光伏行业领域，尤其涉及一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法。
背景技术
随着新能源技术的发展，晶硅太阳能电池发展迅猛，晶硅太阳能电池是一种可以将太阳光能转化成为电能的电子元器件。晶体硅类太阳能电池的制备一般经过制绒、扩散、镀膜、丝网印刷、烧结等工序。高温炉管机台是目前光伏工艺处理中经常使用的一种机台，主要分为主机台反应腔：对产品进行高温反应的密闭腔室，工艺后暂存腔：工艺后产品表面温度仍然很高，需暂存冷却到室温，自动化装卸腔：自动化机械手装卸腔，可以用于进行扩散、氧化、退火等多种光伏工艺处理。
其中高温炉管机台的暂存腔室内存放有垂直放置的石英舟，高温工艺处理后的硅片沿石英舟开口方向垂直插入石英舟内暂存降温，由于存放量大，硅片放置位之间的间距较小，导致石英舟及硅片之间气体流动均匀性变差，从而造成散热不均匀，洁净度变差，使得各硅片上有浮落异物，严重影响硅片成品的良率，现有技术可以通过建造更高的高温炉管机台来实现增加石英舟的间距，从而提高散热，但是受车间环境条件限制难以实现，同时成本巨大。
发明内容
鉴于以上，本发明提供一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，可以在不提高重新设计机台的前提下，改善暂存冷却腔室的洁净度达到千级标准，从而提升光伏电池良率，还可极大的节约成本。具体技术方案如下。
一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，通过在暂存腔内设置风机过滤模块实现，其特征在于，所述风机过滤机组模块包括控制系统、粒子浓度探头和风机过滤机组，
粒子浓度探头设于暂存腔的侧壁上，用于采集暂存腔的洁净度数据并反馈给控制系统；
风机过滤机组包括上过滤风机和下过滤风机，下过滤风机位于暂存腔的底部，用于将空气过滤后吸入暂存腔内，上过滤风机位于暂存腔的顶部，用于将暂存腔内的热空气和尘埃微粒加速排出暂存腔；
控制系统获取粒子浓度探头反馈的洁净度数据，根据数据控制风机过滤机组的转速。
进一步，所述控制系统收到粒子浓度探头反馈的数据后，判断当粒子浓度达到万级时，提高风机过滤机组的转速，当粒子浓度达到千级后，降低风机过滤机组的转速，保持暂存腔的千级洁净度。
进一步，所述控制系统刚开机时，主动控制风机过滤机组逐步提高转速，实现快速清洁暂存腔内空气。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
图1为本发明高温炉管暂存腔内设置风机过滤模块的结构示意图；
图2为本发明高温炉管暂存腔的洁净度控制方法的流程示意图；
其中，1为暂存腔，2为上过滤风机，3为石英舟存放区，4为粒子浓度探头，5为下过滤风机。
具体实施方式
以下描述用于揭露本发明以使本领域技术人员能够实现本发明。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本发明的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本发明的精神和范围的其他技术方案。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语 “顶”、“底”、“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
参照图1、2，本实施例中一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，通过在暂存腔1内设置风机过滤模块实现，风机过滤机组模块包括控制系统、粒子浓度探头4和风机过滤机组，
粒子浓度探头4设于暂存腔1的侧壁上，用于采集暂存腔的洁净度数据并反馈给控制系统；
风机过滤机组包括上过滤风机2和下过滤风机5，下过滤风机5位于暂存腔1的底部，用于将空气过滤后吸入暂存腔1内，上过滤风机2位于暂存腔1的顶部，用于将暂存腔1内的热空气和尘埃微粒加速排出暂存腔1；
控制系统获取粒子浓度探头4反馈的洁净度数据，根据数据控制风机过滤机组的转速。
进一步，控制系统收到粒子浓度探头4反馈的数据后，判断当粒子浓度达到万级时，提高上过滤风机2和下过滤风机5的转速，当粒子浓度达到千级时，降低上过滤风机2和下过滤风机5的转速，保持暂存腔的千级洁净度。
进一步，控制系统刚开机时，会主动控制风机过滤机组逐步提高转速，同时粒子浓度探头4工作，收集粒子浓度数据并反馈给控制系统，控制系统进行数字滤波实时控制上过滤风机2和下过滤风机5转速，实现快速清洁暂存腔内空气。
其中暂存腔1内部是石英舟存放区3，用于容纳垂直放置石墨舟。本实施例中的上过滤风机2和下过滤风机5优选高效空气过滤器风机，下过滤风机5将空气中的大颗粒的尘埃微粒子过滤掉，把洁净后新风以0.45/s±10％的风速均匀送到暂存冷却腔室，用于提供洁净的净化风从而加快高温工艺处理后的硅片冷却，上过滤风机5则用于加快热气流的排出，令暂存腔1内硅片均匀散热的同时保持其千级洁净度，确保电池硅片的良品率。
另外需要说明的是，本发明中没有对控制系统做具体的展示，然而根据发明的相关内容可以理解，粒子浓度探头4、上过滤风机2和下过滤风机5需要与其电性连接，并在其控制下完成整个暂存腔洁净工作，在本实施例中控制模组可以为基于可编程控制器PLC（Programmable Logic Controller）的工控机或计算机，因其为成熟技术且不影响本发明的理解，故在此不作具体展开说明。
本发明的有益效果是：在不需要改变高温炉管机台和硅片放置距离的基础上，大幅提升石英舟及硅片之间气体流动均匀性，实现均匀散热，进一步改善暂存冷却腔室的洁净度，节约成本，同时风机过滤机组在控制系统的智能控制下，摆脱人工开关防护门破坏机台洁净度，实现了根据环境洁净度状况，进行动态有针对性的风机过滤机组转速调节，为暂存冷却腔室提供保持一个千级标准的洁净度，从而提升光伏电池的整体良率。
本领域的技术人员应理解，尽管参照本发明的示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。
Claims (3)
1.一种高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，通过在暂存腔内设置风机过滤模块实现，其特征在于，所述风机过滤机组模块包括控制系统、粒子浓度探头和风机过滤机组，
粒子浓度探头设于暂存腔的侧壁上，用于采集暂存腔的洁净度数据并反馈给控制系统；
风机过滤机组包括上过滤风机和下过滤风机，下过滤风机位于暂存腔的底部，用于将空气过滤后吸入暂存腔内，上过滤风机位于暂存腔的顶部，用于将暂存腔内的热空气和尘埃微粒加速排出暂存腔；
控制系统获取粒子浓度探头反馈的洁净度数据，根据数据控制风机过滤机组的转速。
2.根据要求1所述的高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，其特征在于，所述控制系统收到粒子浓度探头反馈的数据后，判断当粒子浓度达到万级时，提高风机过滤机组的转速，当粒子浓度达到千级后，降低风机过滤机组的转速，保持暂存腔的千级洁净度。
3.根据要求1所述的高温炉管暂存腔的洁净度控制方法，其特征在于，所述控制系统刚开机时，主动控制风机过滤机组逐步提高转速，实现快速清洁暂存腔内空气。
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