CN113196656A - 弹性波装置 - Google Patents

弹性波装置 Download PDF

Info

Publication number
CN113196656A
CN113196656A CN201980081989.4A CN201980081989A CN113196656A CN 113196656 A CN113196656 A CN 113196656A CN 201980081989 A CN201980081989 A CN 201980081989A CN 113196656 A CN113196656 A CN 113196656A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
comb
electrode fingers
fingers
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201980081989.4A
Other languages
English (en)
Inventor
中泽秀太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Publication of CN113196656A publication Critical patent/CN113196656A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14538—Formation
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02992—Details of bus bars, contact pads or other electrical connections for finger electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14538—Formation
    • H03H9/14541—Multilayer finger or busbar electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/54—Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

本发明提供一种能够有效地抑制IMD的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电性基板(2)和设置在压电性基板(2)上的IDT电极(3)。IDT电极(3)具有包含多个第1电极指(16)的第1梳齿状电极(6)以及包含多个第2电极指(17)的第2梳齿状电极(7)。IDT电极(3)具有主电极层由第1金属构成的第1部分(A)和主电极层由第2金属构成的第2部分(B)。多个第1电极指(16)以及第2梳齿状电极(7)分别具有隔着间隙对置的第1对置部，多个第2电极指(17)以及第1梳齿状电极(6)分别具有隔着间隙对置的第2对置部。各第1对置部以及各第2对置部中的至少任一对置部为第2部分(B)，IDT电极(3)中的第2部分(B)以外的部分为第1部分(A)。第2金属的密度比第1金属的密度高。

Description

弹性波装置
技术领域
本发明涉及弹性波装置。
背景技术
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。在该弹性波装置中，在LiTaO3基板上设置有IDT电极(Interdigital Transducer，叉指换能器)。IDT电极包含A1-Cu合金。像这样，IDT电极的电极指一样地由相同的材料形成。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-314366号公报
发明内容
发明要解决的课题
近年来，要求进一步改善弹性波装置的滤波器特性。然而，在像专利文献1记载的那样的弹性波装置中，难以充分抑制IMD(Inter Moulation Distortion，交调失真)。
本发明的目的在于，提供一种能够有效地抑制IMD的弹性波装置。
用于解决课题的技术方案
在本发明涉及的弹性波装置的某个广泛的方面，具备压电性基板和设置在所述压电性基板上的IDT电极，所述IDT电极具有分别包含主电极层的第1梳齿状电极以及第2梳齿状电极，所述第1梳齿状电极具有第1汇流条和一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指，所述第2梳齿状电极具有第2汇流条和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指，所述IDT电极具有由第1金属构成了所述主电极层的第1部分和由第2金属构成了所述主电极层的第2部分，所述多个第1电极指以及所述第2梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第1对置部，所述多个第2电极指以及所述第1梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第2对置部，所述多个第1电极指的所述第1对置部、所述第2梳齿状电极的所述第1对置部、所述多个第2电极指的所述第2对置部以及所述第1梳齿状电极的所述第2对置部中的至少任一对置部为所述第2部分，所述IDT电极中的所述第2部分以外的部分为所述第1部分，所述第2金属的密度比所述第1金属的密度高。
在本发明涉及的弹性波装置的另一个广泛的方面，具备压电性基板和设置在所述压电性基板上的IDT电极，所述IDT电极具有分别包含主电极层的第1梳齿状电极以及第2梳齿状电极，所述第1梳齿状电极具有第1汇流条和一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指，所述第2梳齿状电极具有第2汇流条和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指，所述IDT电极具有由第1金属构成了所述主电极层的第1部分和由第2金属构成了所述主电极层的第2部分，所述多个第1电极指以及所述第2梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第1对置部，所述多个第2电极指以及所述第1梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第2对置部，所述多个第1电极指的所述第1对置部、所述第2梳齿状电极的所述第1对置部、所述多个第2电极指的所述第2对置部以及所述第1梳齿状电极的所述第2对置部中的至少任一对置部为所述第2部分，所述IDT电极中的所述第2部分以外的部分为所述第1部分，所述第2金属的杨氏模量比所述第1金属的杨氏模量高。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够有效地抑制IMD的弹性波装置。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。
图3是本发明的第1实施方式的第1变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
图4是本发明的第1实施方式的第2变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
图5是本发明的第1实施方式的第3变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
图6是本发明的第1实施方式的第4变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
图7是本发明的第1实施方式的第5变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
图8是本发明的第1实施方式的第6变形例涉及的弹性波装置的、相当于图2所示的部分的剖视图。
图9是本发明的第1实施方式的第7变形例涉及的弹性波装置的、相当于图2所示的部分的剖视图。
图10是本发明的第1实施方式的第8变形例涉及的弹性波装置的、相当于图2所示的部分的剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，由此明确本发明。
另外，需要指出的是，本说明书记载的各实施方式为例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或者组合。
图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。图2是沿着图1中的I-I线的剖视图。在图1中，通过影线示出后述的第2部分。另外，在图1以外的各俯视图中也是同样的。
如图1所示，弹性波装置1具有压电性基板2。在本实施方式中，压电性基板2是仅由压电体层构成的压电基板。对于压电性基板2，能够使用适当的压电单晶、压电陶瓷。更具体地，作为压电性基板2的材料，例如，能够使用铌酸锂、钽酸锂、氧化锌、氮化铝、石英(SiO2)或者蓝宝石等。不过，压电性基板2也可以是包含压电体层的层叠体。
在压电性基板2上设置有IDT电极3。通过对IDT电极3施加交流电压，从而激励弹性波。在压电性基板2上的IDT电极3的弹性波传播方向两侧设置有一对反射器4以及反射器5。像这样，本实施方式的弹性波装置1是弹性波谐振器。不过，本发明涉及的弹性波装置1也可以是包含弹性波谐振器的滤波器装置等。
IDT电极3具有第1梳齿状电极6以及第2梳齿状电极7。第1梳齿状电极6具有第1汇流条14和多个第1电极指16，多个第1电极指16的一端分别与第1汇流条14连接。第2梳齿状电极7具有第2汇流条15和多个第2电极指17，多个第2电极指17的一端分别与第2汇流条15连接。多个第1电极指16和多个第2电极指17彼此相互交错对插。多个第1电极指16隔着第1间隙G1与第2梳齿状电极7对置。多个第2电极指17隔着第2间隙G2与第1梳齿状电极6对置。
第1梳齿状电极6具有多个第1虚设电极指18，多个第1虚设电极指18的一端分别与第1汇流条14连接，并隔着第2间隙G2与多个第2电极指17对置。第2梳齿状电极7具有多个第2虚设电极指19，多个第2虚设电极指19的一端分别与第2汇流条15连接，并隔着第1间隙G1与多个第1电极指16对置。
在此，多个第1电极指16以及第2梳齿状电极7分别具有作为隔着第1间隙G1相互对置的部分的第1对置部。多个第1电极指16的第1对置部为多个第1电极指16的前端部。在本实施方式中，第2梳齿状电极7的第1对置部为多个第2虚设电极指19的前端部。
同样地，多个第2电极指17以及第1梳齿状电极6分别具有作为隔着第2间隙G2相互对置的部分的第2对置部。多个第2电极指17的第2对置部为多个第2电极指17的前端部。在本实施方式中，第1梳齿状电极6的第2对置部为多个第1虚设电极指18的前端部。另外，IDT电极3未必一定要具有第1虚设电极指18以及第2虚设电极指19。
第1梳齿状电极6以及第2梳齿状电极7分别具有主电极层。在本说明书中，所谓主电极层，是指占50重量％以上的电极层。如图2所示，IDT电极3具有由第1金属构成了主电极层8的第1部分A和由第2金属构成了主电极层9的第2部分B。更具体地，如图1所示，IDT电极3的第2部分B为多个第1电极指16、多个第2电极指17、多个第1虚设电极指18以及多个第2虚设电极指19各自的前端部。像这样，在本实施方式中，多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的两者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的两者为第2部分B。
另外，只要多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的至少一者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的至少一者为第2部分B即可。或者，只要多个第1电极指16的第1对置部、第2梳齿状电极7的第1对置部、多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的至少任一对置部为第2部分B即可。
另一方面，IDT电极3中的第2部分B以外的部分为第1部分A。更具体地，在本实施方式中，多个第1电极指16、多个第2电极指17、多个第1虚设电极指18以及多个第2虚设电极指19各自的前端部以外的部分和第1汇流条14以及第2汇流条15为第1部分A。
可是，有时在IDT电极3的第1汇流条14上以及第2汇流条15上没置与其它元件等连接的布线电极的电极层。需要指出的是，该布线电极的电极层和本发明中的IDT电极3的第1汇流条14以及第2汇流条15是分开的。
在弹性波装置1中，第2金属的密度比第1金属的密度高，且第2金属的杨氏模量比第1金属的杨氏模量高。另外，第1金属以及第2金属的关系只要是第2金属的密度比第1金属的密度高的关系以及第2金属的杨氏模量比第1金属的杨氏模量高的关系中的至少一种关系即可。更具体地，例如，在第1金属为Al的情况下，作为第2金属，能够选择Ti、Cu、Mo、Cr、Ru、W、Pt、Ta、Co、Ni、Au或者Mn等中的任一种。不过，第1金属以及第2金属也可以是合金。
IDT电极3例如能够通过溅射法或者真空蒸镀法等形成。可以在形成了第1部分A之后形成第2部分B，也可以在形成了第2部分B之后形成第1部分A。
在本实施方式中，IDT电极3的第1部分A以及第2部分B分别由单层的金属层构成。反射器4以及反射器5也同样地由单层的金属层构成。另外，IDT电极3的第1部分A以及第2部分B和反射器4以及反射器5也可以由层叠了多个金属层的层叠金属膜构成。
本实施方式的特征在于，具有以下的结构。1)IDT电极3具有由第1金属构成了主电极层的第1部分A和由第2金属构成了主电极层的第2部分B。2)多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的至少一者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的至少一者为第2部分B。3)IDT电极3中的第2部分B以外的部分为第1部分A。4)第1金属以及第2金属的关系为第2金属的密度比第1金属的密度高的关系以及第2金属的杨氏模量比第1金属的杨氏模量高的关系中的至少一种关系。由此，能够有效地抑制IMD。以下对此进行说明。
IMD的信号中的二阶非线性信号主要在IDT电极3中的第1间隙G1以及第2间隙G2产生。在本实施方式中，IDT电极3自身具有由相互不同的金属构成的第1部分A以及第2部分B。第1部分A和第2部分B连续地形成并电连接。IDT电极3中的隔着上述各间隙对置的第1对置部以及第2对置部是由第1金属以及第2金属中的更重或者杨氏模量更高的第2金属构成了主电极层9的第2部分B。即，在IDT电极3中的与上述各间隙相接的区域中，较重或者杨氏模量较高的第2金属直接地配置在压电性基板2上。像这样，在与上述各间隙相接的区域中，通过将较重或者杨氏模量较高的第2金属配置在靠近压电性基板2的位置，从而能够有效地抑制上述各间隙中的失真，能够有效地抑制二阶非线性信号。因此，能够有效地抑制IMD。
像本实施方式那样，优选多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极7的第1对置部中的两者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极6的第2对置部中的两者为第2部分B。由此，能够更进一步抑制第1间隙G1以及第2间隙G2中的失真，能够更进一步抑制IMD。
参照下述的图3以及图4，示出第2部分的配置与第1实施方式不同的、第1实施方式的第1变形例以及第2变形例。更具体地，在第1变形例以及第2变形例中，多个第1电极指的第1对置部以及第2梳齿状电极的第1对置部中的一者和多个第2电极指的第2对置部以及第1梳齿状电极的第2对置部中的一者为第2部分。即使在第1变形例以及第2变形例中，也能够有效地抑制第1间隙以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。
图3是第1实施方式的第1变形例涉及的弹性波装置的俯视图。图4是第1实施方式的第2变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
如图3所示，在第1变形例中，第2部分B1为多个第1电极指16的前端部以及多个第2电极指17的前端部。第1部分A1为多个第1电极指16以及多个第2电极指17各自的前端部以外的部分和多个第1虚设电极指28、多个第2虚设电极指29、第1汇流条14以及第2汇流条15。不过，也可以是，多个第1电极指16的前端部以及多个第2电极指17的前端部中的至少一者为第2部分B1。
如图4所示，在第2变形例中，第2部分B2为多个第1虚设电极指18的前端部以及多个第2虚设电极指19的前端部。第1部分A2为多个第1虚设电极指18以及多个第2虚设电极指19各自的前端部以外的部分和多个第1电极指26、多个第2电极指27、第1汇流条14以及第2汇流条15。
如上所述，IDT电极也可以不具有第1虚设电极指以及第2虚设电极指。以下，示出不具有第1虚设电极指以及第2虚设电极指的、第1实施方式的第3变形例～第5变形例。即使在第3变形例～第5变形例中，也能够有效地抑制第1间隙以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。
如图5所示，在第3变形例中，多个第1电极指16以及第2汇流条35隔着第1间隙G1对置。像这样，在本变形例中，第2梳齿状电极37的第1对置部为第2汇流条35的与各第1电极指16对置的部分。多个第1电极指16的第1对置部为多个第1电极指16的前端部。
同样地，多个第2电极指17以及第1汇流条34隔着第2间隙G2对置。像这样，在本变形例中，第1梳齿状电极36的第2对置部为第1汇流条34的与各第2电极指17对置的部分。多个第2电极指17的第2对置部为多个第2电极指17的前端部。即使在下述的第4变形例以及第5变形例中，各第1对置部以及各第2对置部也与本变形例相同。
在本变形例中，多个第1电极指16的第1对置部以及第2梳齿状电极37的第1对置部中的两者和多个第2电极指17的第2对置部以及第1梳齿状电极36的第2对置部中的两者为第2部分B3。另一方面，多个第1电极指16以及多个第2电极指17各自的前端部以外的部分为第1部分A3。进而，第1汇流条34的与各第2电极指17对置的部分以外的部分以及第2汇流条35的与各第1电极指16对置的部分以外的部分也为第1部分A3。
如图6所示，在第4变形例中，第2部分B4为多个第1电极指16的前端部以及多个第2电极指17的前端部。第1部分A4为多个第1电极指16以及多个第2电极指17各自的前端部以外的部分和第1汇流条14以及第2汇流条15。
如图7所示，在第5变形例中，第1汇流条34的与各第2电极指27对置的部分和第2汇流条35的与各第1电极指26对置的部分为第2部分B5。另一方面，多个第1电极指26以及多个第2电极指27为第1部分A5。进而，第1汇流条34的与各第2电极指27对置的部分以外的部分以及第2汇流条35的与各第1电极指26对置的部分以外的部分也为第1部分A5。
如图2所示，在第1实施方式中，IDT电极3由单层的金属层构成。另外，IDT电极3也可以具有主电极层以外的层。在图8所示的第1实施方式的第6变形例中，IDT电极43具有设置在第1部分A6的主电极层8以及第2部分B6的主电极层9与压电性基板2之间的密接层44。由此，能够更可靠地提高IDT电极43和压电性基板2的密接性。即使在本变形例中，在IDT电极3中的与各间隙相接的区域中，较重或者杨氏模量较高的第2金属也配置在靠近压电性基板2的位置，因此与第1实施方式同样地，能够有效地抑制第1间隙G1以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。
如上所述，第2部分的主电极层由第2金属构成。在此，由第2金属构成的金属层也可以到达第1部分。在图9所示的第1实施方式的第7变形例中，由第2金属构成的金属层49从第2部分B到达第1部分A7的主电极层8上。到达第1部分A7的上述金属层49与第2部分B的主电极层9设置为一体。另外，也可以是，由第1金属构成的金属层从第1部分A7到达第2部分B的主电极层9上。
另一方面，在图10所示的第1实施方式的第8变形例中，由第2金属构成的金属层49从第2部分B到达第1部分A8的主电极层8与压电性基板2之间。到达第1部分A8的上述金属层49与第2部分B的主电极层9设置为一体。
即使在第7变形例以及第8变形例中，也与第1实施方式同样地，能够有效地抑制第1间隙G1以及第2间隙中的失真，能够有效地抑制IMD。
附图标记说明
1：弹性波装置；
2：压电性基板；
3：IDT电极；
4：反射器；
5：反射器；
6：第1梳齿状电极；
7：第2梳齿状电极；
8：主电极层；
9：主电极层；
14：第1汇流条；
15：第2汇流条；
16：第1电极指；
17：第2电极指；
18：第1虚设电极指；
19：第2虚设电极指；
26：第1电极指；
27：第2电极指；
28：第1虚设电极指；
29：第2虚设电极指；
34：第1汇流条；
35：第2汇流条；
36：第1梳齿状电极；
37：第2梳齿状电极；
43：IDT电极；
44：密接层；
49：金属层；
A、A1～A8：第1部分；
B、B1～B6：第2部分。

Claims (7)

1.一种弹性波装置，具备：
压电性基板；和
IDT电极，设置在所述压电性基板上，
所述IDT电极具有分别包含主电极层的第1梳齿状电极以及第2梳齿状电极，
所述第1梳齿状电极具有第1汇流条和一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指，所述第2梳齿状电极具有第2汇流条和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指，
所述IDT电极具有由第1金属构成了所述主电极层的第1部分和由第2金属构成了所述主电极层的第2部分，
所述多个第1电极指以及所述第2梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第1对置部，所述多个第2电极指以及所述第1梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第2对置部，
所述多个第1电极指的所述第1对置部、所述第2梳齿状电极的所述第1对置部、所述多个第2电极指的所述第2对置部以及所述第1梳齿状电极的所述第2对置部中的至少任一对置部为所述第2部分，所述IDT电极中的所述第2部分以外的部分为所述第1部分，
所述第2金属的密度比所述第1金属的密度高。
2.一种弹性波装置，具备：
压电性基板；和
IDT电极，设置在所述压电性基板上，
所述IDT电极具有分别包含主电极层的第1梳齿状电极以及第2梳齿状电极，
所述第1梳齿状电极具有第1汇流条和一端与所述第1汇流条连接的多个第1电极指，所述第2梳齿状电极具有第2汇流条和一端与所述第2汇流条连接且与所述多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指，
所述IDT电极具有由第1金属构成了所述主电极层的第1部分和由第2金属构成了所述主电极层的第2部分，
所述多个第1电极指以及所述第2梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第1对置部，所述多个第2电极指以及所述第1梳齿状电极分别具有作为隔着间隙相互对置的部分的第2对置部，
所述多个第1电极指的所述第1对置部、所述第2梳齿状电极的所述第1对置部、所述多个第2电极指的所述第2对置部以及所述第1梳齿状电极的所述第2对置部中的至少任一对置部为所述第2部分，所述IDT电极中的所述第2部分以外的部分为所述第1部分，
所述第2金属的杨氏模量比所述第1金属的杨氏模量高。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
所述IDT电极具有：
多个第1虚设电极指，一端与所述第1汇流条连接，并隔着间隙与所述多个第2电极指对置；和
多个第2虚设电极指，一端与所述第2汇流条连接，并隔着间隙与所述多个第1电极指对置。
4.根据权利要求3所述的弹性波装置，其中，
所述多个第1虚设电极指的前端部以及所述多个第2虚设电极指的前端部为所述第2部分。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述多个第1电极指的前端部以及所述多个第2电极指的前端部中的至少一者为所述第2部分。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述多个第1电极指的所述第1对置部以及所述第2梳齿状电极的所述第1对置部中的两者和所述多个第2电极指的所述第2对置部以及所述第1梳齿状电极的所述第2对置部中的两者为所述第2部分。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述IDT电极具有：密接层，设置在所述主电极层与所述压电性基板之间。
CN201980081989.4A 2018-12-13 2019-10-28 弹性波装置 Pending CN113196656A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018-233247 2018-12-13
JP2018233247 2018-12-13
PCT/JP2019/042190 WO2020121663A1 (ja) 2018-12-13 2019-10-28 弾性波装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113196656A true CN113196656A (zh) 2021-07-30

Family

ID=71077167

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201980081989.4A Pending CN113196656A (zh) 2018-12-13 2019-10-28 弹性波装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11811388B2 (zh)
CN (1) CN113196656A (zh)
WO (1) WO2020121663A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020179906A1 (ja) * 2019-03-06 2020-09-10 株式会社村田製作所 フィルタ、マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102204092A (zh) * 2009-02-25 2011-09-28 松下电器产业株式会社 弹性波元件和弹性波滤波器
CN102823130A (zh) * 2010-05-13 2012-12-12 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN205725680U (zh) * 2013-12-26 2016-11-23 株式会社村田制作所 弹性波装置
US20170170808A1 (en) * 2015-12-14 2017-06-15 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave resonator, filter, and duplexer
CN107005227A (zh) * 2015-01-07 2017-08-01 株式会社村田制作所 弹性波装置
WO2017187724A1 (ja) * 2016-04-27 2017-11-02 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN107404303A (zh) * 2016-04-25 2017-11-28 株式会社村田制作所 弹性波装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3498215B2 (ja) 2001-04-09 2004-02-16 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ、弾性表面波装置および通信装置
JP2007235711A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置
JP6632481B2 (ja) 2016-06-22 2020-01-22 太陽誘電株式会社 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ
JP6741082B2 (ja) * 2017-01-13 2020-08-19 株式会社村田製作所 弾性波装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102204092A (zh) * 2009-02-25 2011-09-28 松下电器产业株式会社 弹性波元件和弹性波滤波器
CN102823130A (zh) * 2010-05-13 2012-12-12 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN205725680U (zh) * 2013-12-26 2016-11-23 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN107005227A (zh) * 2015-01-07 2017-08-01 株式会社村田制作所 弹性波装置
US20170170808A1 (en) * 2015-12-14 2017-06-15 Taiyo Yuden Co., Ltd. Acoustic wave resonator, filter, and duplexer
CN107404303A (zh) * 2016-04-25 2017-11-28 株式会社村田制作所 弹性波装置
WO2017187724A1 (ja) * 2016-04-27 2017-11-02 株式会社村田製作所 弾性波装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20210328572A1 (en) 2021-10-21
WO2020121663A1 (ja) 2020-06-18
US11811388B2 (en) 2023-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10425058B2 (en) Elastic wave device
JP6602729B2 (ja) 弾性波デバイス
US9413330B2 (en) Elastic wave resonator including a constant pitch region with a tapering width
WO2006109591A1 (ja) 弾性波素子
JP4760911B2 (ja) 弾性境界波装置
JP2019165284A (ja) 弾性波装置
US20220216846A1 (en) Acoustic wave device
JP6813108B2 (ja) 弾性波装置
JP6888691B2 (ja) 弾性波装置
JP5083469B2 (ja) 弾性表面波装置
JP6874861B2 (ja) 弾性波装置
CN113872562A (zh) 表面声波元件
CN113348625B (zh) 弹性波装置及多工器
CN114430886A (zh) 弹性波装置
CN113196656A (zh) 弹性波装置
US20190372551A1 (en) Surface acoustic wave element
JPWO2006123518A1 (ja) 弾性境界波装置
JP6276354B2 (ja) インタデジタルトランスデューサ
CN116508261A (zh) 弹性波装置及梯型滤波器
CN115699574A (zh) 弹性波装置
WO2022250016A1 (ja) 弾性波装置
WO2023085347A1 (ja) 弾性波装置
JPWO2021200469A5 (zh)
CN115362629A (zh) 弹性波装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination