CN113192872A - 晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法 - Google Patents

晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法 Download PDF

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Abstract

本申请涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法，该晶圆盒包括：盒体、晶圆扫描装置、盒盖。盒体上设有与盒体内部相连通的开口。晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置，晶圆扫描装置设置于盒体的内壁上，用于扫描盒体内晶圆的存放情况。盒盖扣设于开口处。晶圆盒的盒体的内壁上设有晶圆扫描装置，晶圆扫描装置实时扫描确认晶圆盒内的晶圆的存放情况。取代了晶圆盒每次上机台时，都需要机台的机械手臂对晶圆盒中的晶圆进行扫描，确认晶圆盒内的晶圆的存放情况。如此，可以节约大量时间，进而提高产能。并且，无需购买一套相对完整的机械手臂设备，节约了设备成本。无需设置机械手臂设备，节约了机台上的空间。

Description

晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法
技术领域
本申请涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法。
背景技术
先进的集成电路制造工艺一般都包含几百步的工序，任何环节的微小错误都将导致整个芯片的失效，特别是随着电路关键尺寸的不断缩小，其对工艺控制的要求就越严格。为了避免造成误操作的情况产生，晶圆盒上机台以及离开机台之前都需要对晶圆盒中的晶圆进行扫描，确认晶圆的位置和数量。
在现有技术中，采用机械手臂对晶圆的位置和数量进行扫描，每次扫描大约需要十几秒的时间，如此，在整个制造工艺中，浪费了大量时间，降低了产能。
发明内容
基于此，有必要针对现有技术中的采用机械手臂对晶圆的位置和数量进行扫描而浪费时间的问题，提供一种晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法。
本申请实施例提供了一种晶圆盒，所述晶圆盒包括：
盒体，所述盒体上设有与所述盒体内部相连通的开口；
晶圆扫描装置，所述晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置，所述晶圆扫描装置设置于所述盒体的内壁上，用于扫描所述盒体内晶圆的存放情况；
盒盖，扣设于所述开口处。
在其中一个实施例中，所述第一晶圆扫描装置包括：
第一滑动组件，位于所述盒体的内壁上，所述第一滑动组件沿所述盒体的高度方向延伸；
信号发射器，位于所述第一滑动组件上，可沿所述第一滑动组件滑动；所述信号发射器用于发射探测信号；
第二滑动组件，位于所述盒体的内壁上，与所述第一滑动组件相对设置；所述第二滑动组件沿所述盒体的高度方向延伸；
信号接收器，位于所述第二滑动组件上，可沿所述第二滑动组件滑动；所述信号接收器用于接收所述探测信号；
驱动装置，与所述信号发射器及所述信号接收器相连接，用于驱动所述信号发射器及所述信号接收器同步滑动。
在其中一个实施例中，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件均包括滑动导轨或滑动架。
在其中一个实施例中，所述信号发射器包括红外信号发射器；所述信号接收器包括红外信号接收器。
在其中一个实施例中，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件均自所述盒体的顶部延伸至所述盒体的底部。
在其中一个实施例中，还包括多组用于支撑晶圆的支撑组件，固定于所述容纳空间的内壁上，多组所述支撑组件沿所述盒体的高度方向平行间隔排布；各组所述支撑组件均包括多个支撑块，多个所述支撑块沿所述容纳空间的周向间隔排布。
在其中一个实施例中，所述晶圆扫描装置还包括：
第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述第二晶圆扫描装置用于在所述晶圆传送至所述盒体内时扫描并记录所述晶圆的背刻号。
一种晶圆传送系统，所述晶圆传送系统包括：
如上述任一项实施例所述的晶圆盒；
机台，包括承载台及晶圆传送装置；所述晶圆盒位于所述承载台上，所述晶圆传送装置用于向所述晶圆盒内传送所述晶圆；
控制系统，与所述第一晶圆扫描装置及所述机台相连接，用于驱动所述第一晶圆扫描装置在所述晶圆盒内移动，以对所述盒体内部进行扫描，根据所述第一晶圆扫描装置的扫描结果得到所述晶圆盒中的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至所述机台，所述晶圆信息包括所述晶圆盒中所述晶圆的数量及位置。
在其中一个实施例中，还包括通讯装置，所述通讯装置与所述控制相连接，用于将所述的扫描结果发送至所述控制系统。
在其中一个实施例中，所述晶圆传送装置包括机械手臂。
在其中一个实施例中，所述晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述第二晶圆扫描装置用于在所述晶圆传送至所述盒体内时扫描并记录所述晶圆的背刻号；
所述控制系统还与所述第二晶圆扫描装相连接，所述控制系统还用于将所述背刻号扫描装置扫描并记录的背刻号与目标背刻号进行比对，并在比对结果不符时向所述机台发送报警控制信息，所述机台收到所述报警控制信息后报警并停止晶圆的传送。
在其中一个实施例中，所述控制系统包括所述机台的中控系统。
一种基于如上述任一项实施例所述的晶圆传送系统的晶圆传送方法，所述方法包括：
使用所述第一晶圆扫描装置对盒体内部进行扫描，根据所述晶圆扫描装置的扫描结果得到所述晶圆盒中的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至所述机台，所述晶圆信息包括所述晶圆盒中所述晶圆的数量及位置。
在其中一个实施例中，所述晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述晶圆传送方法还包括：
在所述晶圆传送至所述盒体内时，使用所述第二晶圆扫描装置扫描并记录所述晶圆的背刻号；
将所述背刻号扫描装置扫描并记录的背刻号与目标背刻号进行比对，并在比对结果不符时向所述机台发送报警控制信息。
在其中一个实施例中，所述晶圆传送方法还包括：
所述机台收到所述报警控制信息后报警并停止晶圆的传送。
上述的晶圆盒、晶圆传送系统及晶圆传送方法，晶圆盒的盒体的内壁上设有晶圆扫描装置，晶圆扫描装置实时扫描盒体内晶圆的存放数量和存放位置。取代了晶圆盒每次上机台时，都需要机台的机械手臂对晶圆盒中的晶圆进行扫描，确认晶圆的存放数量和存放位置。如此，可以节约大量时间，进而提高产能，并且，无需购买一套相对完整的机械手臂设备，节约了设备成本。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为一个实施例中晶圆盒的内部结构示意图；
图2为一个实施例中晶圆盒的内部结构俯视图；
图3为另一个实施例中的晶圆传送系统的示意图；
图4为一个实施例中具有背刻号的晶圆背的示意图；
图5为又一个实施例中晶圆传送系统的示意图。
附图标记说明：100、晶圆盒；102、盒体；104、第一晶圆扫描装置；1042、第一滑动组件；1044、第二滑动组件；1046、信号发射器；1048、信号接收器；106、第二晶圆扫描装置；108、支撑组件；1082、支撑块；200、机台；300、控制系统；400、晶圆传送装置；500、晶圆；502、背刻号。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明权利要求所限定的各种实施例进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例，其包含各种特定的细节以助于该理解，但这些细节应当被视为仅是示范性的。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相应地，本领域普通技术人员将认识到，在不背离由随附的权利要求所限定的本发明的范围的情况下，可以对本文所描述的各种实施例作出变化和改进。此外，为了清楚和简洁起见，可能省略对熟知的功能和构造的描述。
对本领域技术人员显而易见的是，提供对本发明的各种实施例的下列描述，仅是为了解释的目的，而不是为了限制由随附的权利要求所限定的本发明。
贯穿本申请文件的说明书和权利要求，词语“包括”和“包含”以及词语的变型，例如“包括有”和“包括”意味着“包含但不限于”，而不意在(且不会)排除其他部件、整体或步骤。结合本发明的特定的方面、实施例或示例所描述的特征、整体或特性将被理解为可应用于本文所描述的任意其他方面、实施例或示例，除非与其不兼容。
应当理解的是，单数形式“一”、“一个”和“该”包含复数的指代，除非上下文明确地另有其他规定。在本发明中所使用的表述“包含”和/或“可以包含”意在表示相对应的功能、操作或元件的存在，而非意在限制一个或多个功能、操作和/或元件的存在。此外，在本发明中，术语“包含”和/或“具有”意在表示申请文件中公开的特性、数量、操作、元件和部件，或它们的组合的存在。因此，术语“包含”和/或“具有”应当被理解为，存在一个或多个其他特性、数量、操作、元件和部件、或它们的组合的额外的可能性。
在本发明中，表述“或”包含一起列举的词语的任意或所有的组合。例如，“A或B”可以包含A或者B，或可以包含A和B两者。
应当理解的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件；当一个元件被认为是“连接”或“耦合”另一个元件，它可以是直接或耦合到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
文中提到的“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员所通常理解的含义相同。还应理解的是，术语(比如常用词典中限定的那些术语)，应解释为具有与相关领域和本说明书的上下文中一致的含义，并且不应以理想化或过于形式化的意义来解释，除非在本文中明确地这样限定。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种元件，但这些元件不受这些术语限制。这些术语仅用于将第一个元件与另一个元件区分。
如图1至图3所示，本发明一实施例中，提供一种晶圆盒100，晶圆盒100包括：盒体102、晶圆扫描装置、盒盖。盒体102上设有与盒体102内部相连通的开口。晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置104，晶圆扫描装置设置于盒体102的内壁上，用于扫描盒体102内晶圆500的存放情况。盒盖扣设于开口处。
具体地，盒体102上设有与盒体102内部相连通的开口，能够让晶圆500通过该开口进入盒体102内部，并通过该开口离开晶圆盒100体。在晶圆盒100体的内壁上设有晶圆扫描装置，该晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置104。当晶圆盒100上机台200时以及离开机台200之前，晶圆扫描装置对晶圆盒100中的晶圆进500行扫描，确认晶圆盒100内的晶圆500的存放情况。在晶圆盒100体的开口处设有盒盖，盒盖可在晶圆500进入与离开盒体102内部时开启或关闭，盒盖使晶圆盒100体内部空间与外部环境隔离，能够避免盒内晶圆500受到污染。
具体地，晶圆盒100的盒体102的内壁上设有晶圆扫描装置，晶圆扫描装置实时扫描确认晶圆盒100内的晶圆500的存放情况。取代了晶圆盒100每次上机台200时，都需要机台200的机械手臂对晶圆盒100中的晶圆500进行扫描，确认晶圆盒100内的晶圆500的存放情况。如此，可以节约大量时间，进而提高产能。并且，无需购买一套相对完整的机械手臂设备，节约了设备成本。无需设置机械手臂设备，节约了机台200上的空间。
在其中一个实施例中，第一晶圆扫描装置104包括：第一滑动组件1042、信号发射器1046、第二滑动组件1044、信号接收器1048、驱动装置。其中，第一滑动组件1042位于盒体102的内壁上，第一滑动组件1042沿盒体102的高度方向延伸。信号发射器1046位于第一滑动组件1042上，可沿第一滑动组件1042滑动，信号发射器1046用于发射探测信号。第二滑动组件1044位于盒体102的内壁上，与第一滑动组件1042相对设置，第二滑动组件1044沿盒体102的高度方向延伸。信号接收器1048位于第二滑动组件1044上，可沿第二滑动组件1044滑动，信号接收器1048用于接收探测信号。驱动装置与信号发射器1046及信号接收器1048相连接，用于驱动信号发射器1046及信号接收器1048同步滑动。
具体地，第一滑动组件1042沿晶圆盒100的高度方向延伸，设置于晶圆盒100的内壁上，信号发射器1046可沿第一滑动组件1042滑动地设置于第一滑动组件1042上。第二滑动组件1044亦沿晶圆盒100的高度方向延伸设置于晶圆盒100内壁，并且与第一滑动组件1042相对设置，信号接收器1048可滑动地设置于第二滑动组件1044上。驱动装置连接信号发射器1046及信号接收器1048，驱动装置驱动信号发射器1046及信号接收器1048分别在第一滑动组件1042与第二滑动组件1044上同步运动。
具体地，信号发射器1046用于发射探测信号，信号接收器1048用于接收信号发射器1046发射的探测信号，其中，探测信号可以为红外线或者其他探测信号在此不做限定。驱动装置驱动信号发射器1046及信号接收器1048分别在第一滑动组件1042与第二滑动组件1044上同步运动，其中，信号发射器1046及信号接收器1048同步运动，是为了确保在第二滑动组件1044内运动的信号接收器1048，能够接收到在第一滑动组件1042内同步运动过程中发射的探测信号。
驱动装置驱动信号发射器1046及信号接收器1048同步运动过程中，信号发射器1046发射的探测信号被晶圆盒100内的晶圆500遮挡，形成强度变化的探测信号，信号接收器1048根据接收到的强度变化的探测信号，记录晶圆盒100内晶圆500的存放情况。如此设计，取代了晶圆盒100每次上机台200时，都需要机台200的机械手臂对晶圆盒100中的晶圆500进行扫描，确认晶圆盒100内的晶圆500的存放情况。可以节约大量机械手臂扫描时间，进而提高产能。
在其中一个实施例中，第一滑动组件1042及第二滑动组件1044均包括滑动导轨或滑动架。
具体地，第一滑动组件1042及第二滑动组件1044为滑动导轨，滑动导轨沿晶圆盒100的高度方向延伸，相对设置于晶圆盒100的内壁上，信号发射器1046及信号接收器1048分别可滑动地设置于滑动导轨上。信号发射器1046及信号接收器1048相对设置，保证信号发射器1046发射的探测信号经过晶圆盒100内的晶圆500后，被信号接收器1048接收。滑动导轨确保信号发射器1046及信号接收器1048在驱动装置的驱动下沿晶圆盒100的高度方向运动，滑动导轨也可采用其他滑动组件，在此不做限定。
具体地，第一滑动组件1042及第二滑动组件1044为滑动架，滑动架沿晶圆盒100的高度方向延伸，相对设置于晶圆盒100的内壁上，信号发射器1046及信号接收器1048分别可滑动地设置于滑动架上。信号发射器1046及信号接收器1048相对设置，保证信号发射器1046发射的探测信号经过晶圆盒100内的晶圆500后，被信号接收器1048接收。滑动架确保信号发射器1046及信号接收器1048在驱动装置的驱动下沿晶圆盒100的高度方向运动，滑动架也可采用其他滑动组件，在此不做限定。
在其中一个实施例中，信号发射器1046包括红外信号发射器1046；信号接收器1048包括红外信号接收器1048。
具体地，信号发射器1046为红外信号发射器1046，信号接收器1048为红外信号接收器1048。红外信号发射器1046及红外信号接收器1048在驱动装置的驱动下，分别在第一滑动组件1042与第二滑动组件1044上同步运动过程中，红外信号发射器1046发射的红外探测信号，红外探测信号在晶圆盒100内传输过程中，被晶圆盒100内的晶圆500遮挡形成强度变化的红外探测信号，红外信号接收器1048根据接收到的被晶圆500遮挡形成的强度变化的红外探测信号，记录晶圆盒100内晶圆500的存放情况。如此实现了红外信号发射器1046及红外信号接收器1048对晶圆盒100中的晶圆500进行扫描，确认晶圆盒100内的晶圆500的存放情况。
请参阅图2，在其中一个实施例中，第一滑动组件1042及第二滑动组件1044均自盒体102的顶部延伸至盒体102的底部。
具体地，第一滑动组件1042及第二滑动组件1044沿晶圆盒100的高度方向延伸，设置于晶圆盒100的内壁上。其中，第一滑动组件1042及第二滑动组件1044均自盒体102的顶部延伸至盒体102的底部。如此设计，使设置于第一滑动组件1042上的信号发射器1046以及设置于第二滑动组件1044上的信号接收器1048，均能够沿盒体102的顶部滑动至盒体102的底部，确保晶圆扫描装置能够扫描到晶圆盒100体内所有放置的晶圆500。使扫描得到的晶圆500存放情况更加准确，保证了生产效率。
在其中一个实施例中，还包括多组用于支撑晶圆500的支撑组件108，固定于容纳空间的内壁上，多组支撑组件108沿盒体102的高度方向平行间隔排布；各组支撑组件108均包括多个支撑块1082，多个支撑块1082沿容纳空间的周向间隔排布。
具体地，晶圆盒100还包括多组用于支撑晶圆500的支撑组件108。多组支撑组件108沿盒体102的高度方向间隔设置，且每组支撑组件108之间平行，各组支撑组件108的多个支撑块1082沿容纳空间的周向间隔排布。第一滑动组件1042及第二滑动组件1044相对设置于晶圆盒100的内壁，与各组中相对设置的支撑组件108相邻，在各组支撑组件108中与第一滑动组件1042及第二滑动组件1044相邻的支撑组件108，沿与探测信号平行的方向设置。
如此设计，使放置于每组支撑组件108上的晶圆500，能够沿盒体102高度方向平行间隔地设置于晶圆盒100内部，使信号发射器1046及信号接收器1048在沿晶圆盒100高度方向同步运动过程中，信号发射器1046发射的探测信号被晶圆500遮挡，产生强度变化的探测信号，进而记录晶圆500的存放情况。其中，在各组支撑组件108中与第一滑动组件1042及第二滑动组件1044相邻的支撑组件108，沿与探测信号平行的方向设置，防止由于支撑组件108遮挡探测信号而导致晶圆500的存放情况不准确。
在其中一个实施例中，晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置106。第二晶圆扫描装置106设置于盒体102的底部，且位于开口处；第二晶圆扫描装置106用于在晶圆500传送至盒体102内时扫描并记录晶圆500的背刻号502。
具体地，第二晶圆扫描装置106设置于盒体102开口处的底部，在晶圆500传送至盒体102时，扫描记录晶圆500的背刻号502。确保传送的晶圆500与帐料相符，避免误传送错误，减少人员工作量，节约生产成本，进一步提高传送效率。
请参阅图3，本申请还提供一种晶圆传送系统，晶圆传送系统包括：如上述任一项实施例的晶圆盒100、机台200及控制系统300。其中，机台200包括承载台及晶圆传送装置400；晶圆盒100位于承载台上，晶圆传送装置400用于向晶圆盒100内传送晶圆500。控制系统300与第一晶圆扫描装置104及机台200相连接，用于驱动第一晶圆扫描装置104在晶圆盒100内移动，以对盒体102内部进行扫描，根据第一晶圆扫描装置104的扫描结果得到晶圆盒100中的晶圆信息，并将晶圆信息发送至机台200，晶圆信息包括晶圆盒100中晶圆500的数量及位置。
具体地，晶圆盒100位于承载台上，控制系统300与第一晶圆扫描装置104及机台200相连接。控制系统300驱动信号发射器1046及信号接收器1048同步运动过程中，信号发射器1046发射的探测信号被晶圆盒100内的晶圆500遮挡，形成强度变化的探测信号，信号接收器1048根据接收到的强度变化的探测信号，以对盒体102内部进行扫描。根据第一晶圆扫描装置104的扫描结果得到晶圆盒100中的晶圆信息，晶圆信息包括晶圆盒100中晶圆500的数量及位置，并将晶圆信息发送至机台200。
通过第一扫描装置对晶圆盒100进行扫描，记录晶圆盒100内晶圆500的存放情况。如此设计，取代了晶圆盒100每次上机台200时，都需要机台200的机械手臂对晶圆盒100中的晶圆500进行扫描，确认晶圆盒100内的晶圆500的存放情况。可以节约大量机械手臂扫描时间，进而提高产能。
在其中一个实施例中，还包括通讯装置，通讯装置与控制系统300相连接，用于将的扫描结果发送至控制系统300。其中，通讯装置可以是有线通讯设备或无线通讯设备，在此不做限定。通讯装置将扫描结果，即晶圆盒100内的晶圆500的存放情况发送至控制系统300。
在其中一个实施例中，晶圆传送装置400包括机械手臂。晶圆传送装置400将晶圆500传送至晶圆盒100内，或者将晶圆500传出晶圆盒100。
请参阅图3，在其中一个实施例中，晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置106，设置于盒体102的底部，且位于开口处；第二晶圆扫描装置106用于在晶圆传送至盒体102内时扫描并记录晶圆500的背刻号502；控制系统300还与第二晶圆扫描装相连接，控制系统300还用于将背刻号502扫描装置扫描并记录的背刻号502与目标背刻号502进行比对，并在比对结果不符时向机台200发送报警控制信息，机台200收到报警控制信息后报警并停止晶圆500的传送。
具体地，第二晶圆扫描装置106设置于盒体102开口处的底部。控制系统300控制第二晶圆扫描装置106在晶圆500传送至盒体102时，扫描记录晶圆500的背刻号502。控制系统300将扫描得到的背刻号502与目标背刻号502进行比对，在比对结果不符时向机台200发送报警控制信息，机台200收到报警控制信息后报警并停止晶圆500的传送。通过将扫描得到的背刻号502与目标背刻号502进行比对，确保传送的晶圆500与帐料相符，避免误传送错误，减少人员工作量，进一步提高传送效率。
请参阅图5，在其中一个实施例中，控制系统300包括机台200的中控系统。
具体地，中控系统驱动信号发射器1046及信号接收器1048同步运动过程中，信号发射器1046发射的探测信号被晶圆盒100内的晶圆500遮挡，形成强度变化的探测信号，信号接收器1048根据接收到的强度变化的探测信号，中控系统生成晶圆盒100中的晶圆信息，晶圆信息包括晶圆盒100中晶圆500的数量及位置，并将晶圆信息发送至机台200。
具体地，中控系统控制第二晶圆扫描装置106在晶圆500传送至盒体102时，扫描记录晶圆500的背刻号502。中控系统将扫描得到的背刻号502与目标背刻号502进行比对，在比对结果不符时向机台200发送报警控制信息，机台200收到报警控制信息后报警并停止晶圆500的传送。通过将扫描得到的背刻号502与目标背刻号502进行比对，确保传送的晶圆500与帐料相符，避免误传送错误，减少人员工作量，进一步提高传送效率。
本申请还提供一种基于如上述任一项实施例的晶圆传送系统的晶圆传送方法，方法包括：使用第一晶圆扫描装置104对盒体102内部进行扫描，根据晶圆扫描装置的扫描结果得到晶圆盒100中的晶圆信息，并将晶圆信息发送至机台200，晶圆信息包括晶圆盒100中晶圆500的数量及位置。
具体地，控制系统300控制第一晶圆扫描装置104对盒体102内部进行扫描，并生成晶圆盒100中的晶圆信息，其中，晶圆信息为晶圆盒100中晶圆的数量及位置，并将晶圆信息发送至机台200。如此无需在晶圆盒100每次上机台200时，都需要机台200的机械手臂对晶圆盒100中的晶圆500进行扫描，确认晶圆盒100内的晶圆500的存放情况。可以节约大量机械手臂扫描时间，进而提高产能。
在其中一个实施例中，晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置106，设置于盒体102的底部，且位于开口处；晶圆传送方法还包括：在晶圆500传送至盒体102内时，使用第二晶圆扫描装置106扫描并记录晶圆500的背刻号502；将背刻号502扫描装置扫描并记录的背刻号502与目标背刻号502进行比对，并在比对结果不符时向机台200发送报警控制信息。
具体地，使用第二晶圆扫描装置106扫描并记录晶圆500的背刻号502，将扫描得到的背刻号502与目标背刻号502进行比对，并在比对结果不符时向机台200发送报警控制信息。通过将扫描得到的背刻号502与目标背刻号502进行比对，确保传送的晶圆500与帐料相符，避免误传送错误，减少人员工作量，进一步提高传送效率。
在其中一个实施例中，晶圆传送方法还包括：机台200收到报警控制信息后报警并停止晶圆500的传送。
具体地，机台200收到报警控制信息后报警并停止晶圆500的传送，确保传送的晶圆500与帐料相符，避免误传送错误。
应该理解的是，除非本文中有明确的说明，的步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，的步骤的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些子步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (15)

1.一种晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒包括：
盒体，所述盒体上设有与所述盒体内部相连通的开口；
晶圆扫描装置，所述晶圆扫描装置包括第一晶圆扫描装置，所述晶圆扫描装置设置于所述盒体的内壁上，用于扫描所述盒体内晶圆的存放情况；
盒盖，扣设于所述开口处。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一晶圆扫描装置包括：
第一滑动组件，位于所述盒体的内壁上，所述第一滑动组件沿所述盒体的高度方向延伸；
信号发射器，位于所述第一滑动组件上，可沿所述第一滑动组件滑动；所述信号发射器用于发射探测信号；
第二滑动组件，位于所述盒体的内壁上，与所述第一滑动组件相对设置；所述第二滑动组件沿所述盒体的高度方向延伸；
信号接收器，位于所述第二滑动组件上，可沿所述第二滑动组件滑动；所述信号接收器用于接收所述探测信号；
驱动装置，与所述信号发射器及所述信号接收器相连接，用于驱动所述信号发射器及所述信号接收器同步滑动。
3.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件均包括滑动导轨或滑动架。
4.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述信号发射器包括红外信号发射器；所述信号接收器包括红外信号接收器。
5.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述第一滑动组件及所述第二滑动组件均自所述盒体的顶部延伸至所述盒体的底部。
6.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，还包括多组用于支撑晶圆的支撑组件，固定于所述容纳空间的内壁上，多组所述支撑组件沿所述盒体的高度方向平行间隔排布；各组所述支撑组件均包括多个支撑块，多个所述支撑块沿所述容纳空间的周向间隔排布。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的晶圆盒，其特征在于，所述晶圆扫描装置还包括：
第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述第二晶圆扫描装置用于在所述晶圆传送至所述盒体内时扫描并记录所述晶圆的背刻号。
8.一种晶圆传送系统，其特征在于，所述晶圆传送系统包括：
如权利要求1至6中任一项所述的晶圆盒；
机台，包括承载台及晶圆传送装置；所述晶圆盒位于所述承载台上，所述晶圆传送装置用于向所述晶圆盒内传送所述晶圆；
控制系统，与所述第一晶圆扫描装置及所述机台相连接，用于驱动所述第一晶圆扫描装置在所述晶圆盒内移动，以对所述盒体内部进行扫描，根据所述第一晶圆扫描装置的扫描结果得到所述晶圆盒中的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至所述机台，所述晶圆信息包括所述晶圆盒中所述晶圆的数量及位置。
9.根据权利要求8所述的晶圆传送系统，其特征在于，还包括通讯装置，所述通讯装置与所述控制相连接，用于将所述的扫描结果发送至所述控制系统。
10.根据权利要求8所述的晶圆传送系统，其特征在于，所述晶圆传送装置包括机械手臂。
11.根据权利要求8所述的晶圆传送系统，其特征在于，所述晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述第二晶圆扫描装置用于在所述晶圆传送至所述盒体内时扫描并记录所述晶圆的背刻号；
所述控制系统还与所述第二晶圆扫描装相连接，所述控制系统还用于将所述背刻号扫描装置扫描并记录的背刻号与目标背刻号进行比对，并在比对结果不符时向所述机台发送报警控制信息，所述机台收到所述报警控制信息后报警并停止晶圆的传送。
12.根据权利要求8至11中任一项所述的晶圆传送系统，其特征在于，所述控制系统包括所述机台的中控系统。
13.一种基于如权利要求8至12中任一项所述的晶圆传送系统的晶圆传送方法，其特征在于，所述方法包括：
使用所述第一晶圆扫描装置对盒体内部进行扫描，根据所述晶圆扫描装置的扫描结果得到所述晶圆盒中的晶圆信息，并将所述晶圆信息发送至所述机台，所述晶圆信息包括所述晶圆盒中所述晶圆的数量及位置。
14.根据权利要求13所述的晶圆传送方法，其特征在于，所述晶圆扫描装置还包括：第二晶圆扫描装置，设置于所述盒体的底部，且位于所述开口处；所述晶圆传送方法还包括：
在所述晶圆传送至所述盒体内时，使用所述第二晶圆扫描装置扫描并记录所述晶圆的背刻号；
将所述背刻号扫描装置扫描并记录的背刻号与目标背刻号进行比对，并在比对结果不符时向所述机台发送报警控制信息。
15.根据权利要求14所述的晶圆传送方法，其特征在于，所述晶圆传送方法还包括：
所述机台收到所述报警控制信息后报警并停止晶圆的传送。
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