CN113061074A

CN113061074A - 一种六氟丁二烯的制备方法

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Publication number: CN113061074A
Application number: CN202110224766.8A
Authority: CN
Inventors: 李瑜哲; 吴高胜; 许保云; 艾波; 包春凤; 翟金国; 王世忠; 刘陈真
Original assignee: Shanghai Research Institute of Chemical Industry SRICI
Current assignee: Shanghai Research Institute of Chemical Industry SRICI
Priority date: 2021-03-01
Filing date: 2021-03-01
Publication date: 2021-07-02
Anticipated expiration: 2041-03-01
Also published as: CN113061074B

Abstract

本发明涉及一种六氟丁二烯的制备方法，该方法为：将3,4‑二氯六氟‑1‑丁烯原料及有机溶剂分别脱水后，与锌粉一起加入至脱氯反应釜中，经脱氯反应后得到脱氯产物，之后将脱氯产物进行精馏、催化转化后，得到六氟丁二烯产品。与现有技术相比，本发明中，使用催化剂将副产物重排为六氟丁二烯，并结合精馏提纯，得到的六氟丁二烯产品纯度高，显著降低了六氟丁二烯产品中六氟‑2‑丁炔及六氟环丁烯杂质的含量，可以减少下游生产高纯六氟丁二烯的难度，并且对3,4‑二氯六氟‑1‑丁烯原料的纯度要求从99.95％降低至99％，降低了对3,4‑二氯六氟‑1‑丁烯原料纯度的要求，大大减少了上游生产和投资的压力，可以大大降低生产3,4‑二氯六氟‑1‑丁烯的精馏塔的高度。

Description

一种六氟丁二烯的制备方法

技术领域

本发明属于六氟丁二烯制备技术领域，涉及一种以3,4-二氯六氟-1-丁烯为原料的六氟丁二烯的制备方法。

背景技术

电子信息产业是当今世界社会和经济发展的重要推动力量，而集成电路是电子信息产业的核心，我国集成电路相关产业发展迅速，规模越来越大，产业技术创新能力也有显著提高，但是在高纯电子产品方面，仍与发达国家存在较大差距。

六氟-1,3-丁二烯(C₄F₆，简称六氟丁二烯)是一种全氟化合物，常压沸点约为6℃，其最早应用于合成含氟高分子化合物中。目前作为电子蚀刻气体，主要应用在SiO的蚀刻制程中。由于在所有的电子蚀刻气体中，六氟丁二烯的C/F比最大，且不含H，在SiO蚀刻时，对衬底Si或SiN有极高的选择比，可以实现几乎垂直的刻蚀。同时，六氟丁二烯的大气寿命少于2天，GWP₁₀₀值仅290，是目前发现的既可满足刻蚀技术的发展要求，又可以最大程度地减少对环境影响的新型蚀刻气体。

目前制备六氟丁二烯的路线较多，例如1,2-二氟二氯乙烯法、三氟氯乙烯法和 3,4-二氯六氟-1-丁烯脱氯反应法等等。其中，3,4-二氯六氟-1-丁烯脱氯反应法具有反应简单、控制方便、易于工业化的特点。3,4-二氯六氟-1-丁烯主要通过三氟氯乙烯热裂解反应制得，裂解产物除3,4-二氯六氟-1-丁烯外，还包括1,2-二氯六氟环丁烷、2,3-二氯六氟-2-丁烯等物质。例如，由S.M.Ivanova,N.V.Zemlyanskaya等在 1986年出版的ZhurnalObshchey Khimii(第56册)中报道了在450-710℃及常压的条件下，三氟氯乙烯热裂解形成包含1,2-二氯六氟环丁烷与3,4-二氯六氟-1-丁烯的混合物。其中，1,2-二氯六氟环丁烷及2,3-二氯六氟-2-丁烯也会进行脱氯反应，生成六氟环丁烯及六氟-2-丁炔。实验证明，六氟环丁烯和六氟-2-丁炔与六氟丁二烯很难分离，因此，3,4-二氯六氟-1-丁烯脱氯反应法对3,4-二氯六氟-1-丁烯的纯度要求很高。

然而，1,2-二氯六氟环丁烷与3,4-二氯六氟-1-丁烯的分离难度较大。中国台湾专利 TW200540140A公开了一种使用间歇精馏塔分离三氟氯乙烯热裂解产物的方法。方法如下：使用直径为50mm、高度5000mm的不锈钢精馏管，填充高性能栅状填料，通过六个不同馏分的分离，可得到99.9％的1,2-二氯六氟环丁烷与3,4-二氯六氟-1-丁烯，其单批次处理能力为15公斤。该方法可分离得到目标产品，但使用50 mm间歇精馏塔分离，处理能力低，塔内填充的高性能栅状填料仅适合实验室研究，无法应用于工业化生产，不具备工业放大的能力。

中国专利CN111530114A公开了一种分离3,4-二氯六氟-1-丁烯的方法，通过规整填料和半连续精馏方法的配合，在降低精馏塔高和操作时间的情况下，得到纯度99.95％以上的3,4-二氯六氟-1-丁烯产品。中国专利CN111659149A公开了一种分离3,4-二氯六氟-1-丁烯的方法，通过规整填料和5塔连续精馏方法，在降低精馏塔高的情况下，同样得到纯度99.95％以上的3,4-二氯六氟-1-丁烯产品。然而，其产品中均仍可能含有不超过0.05％(500ppm)的1,2-二氯六氟环丁烷，经过脱氯反应后的产物会对脱氯后的分离造成较大困难。进一步地，虽然与中国台湾专利 TW200540140A相比，上述两个专利均具有工业可行性，采用了特殊的规整填料，但是分离3,4-二氯六氟-1-丁烯的精馏塔的高度仍在15米以上，对场地要求依旧较高，设备投资较大。

中国专利CN108083972A公开了一种反应精馏合成六氟丁二烯的方法，制备方法包括将1,2,3,4-四氯-1,1,2,3,4,4-六氟丁烷和占1,2,3,4-四氯-1,1,2,3,4,4-六氟丁烷质量百分比含量500～1000的有机溶剂混合均匀，从精馏段和提馏段连续加入催化蒸馏塔进行反应，再经冷凝、萃取、吸附，得到六氟丁二烯产品。该方法通过锌- 镁-铼金属复合催化剂催化1,2,3,4-四氯-1,1,2,3,4,4-六氟丁烷脱氯制备六氟丁二烯，但是其催化剂载体为ZSM-5型分子筛，存在酸性中心可将六氟丁二烯催化为六氟 -2-丁炔。同时该方法在反应精馏后采用X型分子筛、A型分子筛、活性炭等吸附六氟丁二烯中的杂质，该过程存在一些问题，即X型分子筛对六氟丁二烯有剧烈的催化效果，A型分子筛含有酸性中心同样会进行催化反应。因此，该专利技术并没有考虑如何在制备过程中减少重排反应的发生，同时也没有考虑如何去除生成的六氟-2-丁炔。

因此，亟需开发一种六氟丁二烯的制备方法，以降低3,4-二氯六氟-1-丁烯原料中杂质的负面影响，减少产品中六氟-2-丁炔与六氟环丁烯的含量，进而降低高纯六氟丁二烯生产的难度。

发明内容

本发明的目的是提供一种六氟丁二烯的制备方法，该方法对3,4-二氯六氟-1- 丁烯纯度的要求降低至99％，得到的六氟丁二烯纯度在99％以上，六氟环丁烯和六氟-2-丁炔的含量在100ppm以下，水分含量在5ppm以下。

本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种六氟丁二烯的制备方法，该方法为：将3,4-二氯六氟-1-丁烯原料及有机溶剂分别脱水后，与锌粉一起加入至脱氯反应釜中，经脱氯反应后得到脱氯产物，之后将脱氯产物进行精馏、催化转化后，得到六氟丁二烯产品。

优选地，3,4-二氯六氟-1-丁烯原料及有机溶剂均使用分子筛脱除水分。

优选地，在脱氯反应进行前，向脱氯反应釜中一次性加入脱水后的有机溶剂、锌粉及引发剂，脱水后的有机溶剂一次性加入体积为脱氯反应釜有效体积的 30％-80％，锌粉一次性加入质量为脱氯反应每小时消耗锌粉量的10％-200％，引发剂的加入量为锌粉质量的1％-10％。在脱氯反应进行时，向脱氯反应釜中连续加入脱水后的3,4-二氯六氟-1-丁烯原料，并连续或者间歇地补充脱水后的有机溶剂及锌粉，且连续地从釜底采出反应后的混合物。

进一步地，所述的3,4-二氯六氟-1-丁烯原料中含有3,4-二氯六氟-1-丁烯及杂质，所述的杂质包括1,2-二氯六氟环丁烷、2,3-二氯六氟-2-丁烯、水中的多种；所述的 3,4-二氯六氟-1-丁烯原料中，3,4-二氯六氟-1-丁烯的质量分数≥99％；脱氯反应釜中还加入引发剂，所述的引发剂为氯化锌；脱氯反应釜中的温度为30-100℃，脱氯反应过程中进行搅拌。

优选地，所述的有机溶剂为极性溶剂，进一步优选为乙醇、异丙醇等醇类中的一种或多种。

进一步地，催化转化过程中，在催化剂的存在下，副产物转化为六氟丁二烯；所述的副产物包括六氟环丁烯、六氟-2-丁炔中的一种或两种。

进一步地，催化剂为铱钳催化剂或CsF/KF催化剂中的一种；当催化剂为铱钳催化剂时，催化转化温度为15-80℃；当催化剂为CsF/KF催化剂时，催化转化温度为510-590℃。催化剂还可选用其它能够将副产物转化为六氟丁二烯的催化剂。

进一步地，所述的脱氯产物依次经脱除重组分、催化转化、脱除轻组分后，过滤得到六氟丁二烯产品。

进一步地，脱除重组分过程在脱重塔中进行，催化转化过程在催化塔中进行，脱除轻组分过程在脱轻塔中进行；脱除重组分过程中，塔釜温度为50-90℃，塔顶温度为-5℃至15℃，操作压力为70-200kPaA(优选为90-120kPaA)，脱重塔的回流比为0.5-2；催化转化过程中，催化剂为铱钳催化剂或CsF/KF催化剂中的一种，温度由所使用的催化剂决定，操作压力为70-300kPaA，空速为50-500h^-1；脱除轻组分过程中，塔釜温度为-5℃至40℃，塔顶温度为-10℃至35℃，操作压力为 70-250kPaA(优选为90-110kPaA)，脱轻塔的回流比为3-15；采用50-300目(优选为100-200目)的过滤器进行过滤。

其中，脱氯反应后生成的产物A(即脱氯产物)通过脱重塔去除重组分、夹带的金属和盐类，得到产物B；产物B在催化塔中与催化剂接触，将其中的副产物重排为六氟丁二烯，得到产物C；产物C通过脱轻塔去除轻组分，得到99％以上的六氟丁二烯产品。脱重塔的塔顶馏出物中，重组分的质量分数不超过0.5％。

重组分包括有机溶剂、3,4-二氯六氟-1-丁烯、1,2-二氯六氟环丁烷及其他常压沸点高于六氟丁二烯的物质；轻组分包括副产物及其他常压沸点低于六氟丁二烯的物质；产物A主要为六氟丁二烯，还包含金属、盐类、重组分及轻组分；产物B 主要为六氟丁二烯，还包含轻组分和少量重组分；产物C主要为六氟丁二烯，还包含少量轻组分和少量重组分。

进一步地，为提高六氟丁二烯的收率，将脱重塔的塔釜馏出物循环加入至脱氯反应釜中，继续进行脱氯反应；将部分脱轻塔的塔顶馏出物循环加入至催化塔中，继续进行催化转化。

或者，采用反应精馏的方法制备六氟丁二烯，同时进行脱氯产物的精馏和催化转化，使脱氯反应之后的步骤更简洁地实现，即所述的脱氯产物在反应精馏塔中进行反应精馏，由反应精馏塔侧线采出得到99％以上的六氟丁二烯产品。反应精馏塔塔底下降液相返回至脱氯反应釜，反应精馏塔塔顶采出轻组分。

进一步地，所述的反应精馏塔包括1个反应段及多个填料段，所述的反应段的下方存在至少一个填料段，反应精馏塔侧线采出点位于相邻两个填料段之间，所述的反应段装填有催化剂，该催化剂为铱钳催化剂。脱氯产物从填料段下部进入反应精馏塔。

优选地，所述的反应精馏塔直接座于脱氯反应釜之上，或反应精馏塔的塔釜通过管道与脱氯反应釜连接。

优选地，所述的反应段上部安装除沫装置。

进一步地，所述的反应精馏塔的操作压力为70-300kPaA(优选为80-250kPaA，进一步优选为90-200kPaA，更进一步优选为100-150kPaA)，回流比为1-50(优选为5-40，进一步优选为10-30，更进一步优选为15-20)，所述的反应段的温度为15-80℃，所述的填料段的温度为-5℃至100℃。

与现有技术相比，本发明具有以下特点：

1)本发明中，使用催化剂将副产物重排为六氟丁二烯，并结合精馏提纯，得到的六氟丁二烯产品纯度高，显著降低了六氟丁二烯产品中六氟-2-丁炔及六氟环丁烯杂质的含量，可以减少下游生产高纯六氟丁二烯的难度，并且对3,4-二氯六氟 -1-丁烯原料的纯度要求从99.95％降低至99％，降低了对3,4-二氯六氟-1-丁烯原料纯度的要求，大大减少了上游生产和投资的压力，可以大大降低生产3,4-二氯六氟 -1-丁烯的精馏塔的高度。

2)本发明可结合反应精馏方法，采用一个反应精馏塔实现副产物的重排、轻组分和重组分的分离，设备投资小，操作简单，效率高。

附图说明

图1为实施例1中六氟丁二烯的制备流程示意图；

图2为实施例2中反应精馏塔反应段与填料段的排列方式示意图；

图3为实施例3中反应精馏塔反应段与填料段的排列方式示意图；

图中标记说明：

1—脱氯反应釜、2—脱重塔、3—催化塔、4—脱轻塔、5—反应段、6—填料段。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。本实施例以本发明技术方案为前提进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。

本发明在具体实施过程中，3,4-二氯六氟-1-丁烯原料及有机溶剂均使用分子筛脱除水分。例如：3,4-二氯六氟-1-丁烯原料及有机溶剂使用3A分子筛脱除水分至5ppm；或者，3,4-二氯六氟-1-丁烯原料及有机溶剂使用4A分子筛脱除水分至1ppm，使用脱水后的有机溶剂对脱氯反应釜进行清洗、置换，降低设备内水分；或者，3,4- 二氯六氟-1-丁烯原料及有机溶剂使用5A分子筛脱除水分至5ppm，使用高纯氮气吹扫脱氯反应釜、脱轻塔、催化塔及脱重塔，降低设备内水分。

本发明在采用反应精馏方法时，脱氯反应之后的步骤可以更好更简洁地实现，包括步骤：1)反应生成的产物A进入反应精馏塔，从反应精馏塔侧线采出得到99％以上的六氟丁二烯产品；2)反应精馏塔塔底下降液相返回至脱氯反应釜1，反应精馏塔塔顶采出轻组分。产物A从填料段6下部进入反应精馏塔，反应精馏塔的塔釜通过管道与脱氯反应釜1连接。

需要特别指出的是，反应精馏塔中，反应段5的位置对于工艺过程有关键性影响。由于副产物的常压沸点低于六氟丁二烯，按照精馏理论，在精馏塔中副产物会在反应精馏塔塔顶富集。按附图2所示，反应段5的位置位于反应精馏塔侧线产品采出点的上方，则催化剂能够接触到浓度相对较高的副产物，催化剂的效率相对较高。同时，反应精馏塔塔顶的回流会使未反应的副产物循环回反应段5，与催化剂接触，提高副产物的综合转化率。但是，考虑到塔顶温度应在催化剂使用温度的范围内，该反应精馏塔需要加压操作。相对地，按附图3所示，反应段5的位置位于反应精馏塔侧线产品采出点的下方，此时催化剂只能接触到浓度相对较低的副产物，且反应精馏塔塔顶回流中的未反应的副产物无法再次与催化剂接触，催化剂效率较低，但是反应精馏塔可以选择在常压或减压下操作。

下述实施例中，3,4-二氯六氟-1-丁烯原料的组成如表1所示：

表1原料组成

原料组成	R-1	R-2
			1,2-二氯六氟环丁烷	0.85％	0.035％
3,4-二氯六氟-1-丁烯	99％	99.95％
			2,3-二氯六氟-2-丁烯	0.05％	0.005％
水	0.05％	0.005％
			其他	0.05％	0.005％

实施例1：

采用图1所示的流程，脱氯反应使用的脱氯反应釜1为机械搅拌式立式夹套反应釜，反应釜体积为250升。原料为表1中的R-1。

有机溶剂选择乙醇，乙醇和3,4-二氯六氟-1-丁烯原料均使用3A分子筛脱水至2ppm。使用脱水后的乙醇连续清洗脱氯反应釜1直至从脱氯反应釜1中流出的乙醇的水分含量低于3ppm。

脱氯反应开始前，向脱氯反应釜1内加入150升乙醇、5千克锌粉、0.25千克氯化锌。将脱氯反应釜1加热至40℃，搅拌速度为250转/分钟。

3,4-二氯六氟-1-丁烯原料通过调节阀门控制，连续缓慢地滴入脱氯反应釜1中，速度为10千克/小时。滴入脱氯反应釜1后，脱氯反应随即开始。反应开始后，使用螺杆连续地向脱氯反应釜1内补充锌粉，速度为2.8千克/小时。反应时使用夹套控制脱氯反应釜1的温度在35-40℃。

反应开始后，从脱氯反应釜底1以5.8千克/小时的速度采出混合物。当脱氯反应釜1的釜底内液位下降至反应开始前的90％以下，补充乙醇使釜内液位回升至反应开始前的数值。

脱氯反应得到的产物A从脱氯反应釜1顶部出口采出，之后进行反应产物分离。

脱重塔2、脱轻塔4及催化塔3使用高纯氮气吹扫至出口的氮气中水分含量在 1ppm以下。

脱重塔2的操作压力为110kPaA，塔釜温度为70℃，塔顶温度为4℃，回流比为0.6，填料高度为3米。脱轻塔4的操作压力为70kPaA，塔釜温度为5℃，塔顶温度为-5℃，回流比为8，填料高度为5米。催化塔3的操作压力为200kPaA，温度为20℃，空速为300h^-1。脱轻塔4塔顶馏出物的90％循环回催化塔3。六氟丁二烯产品采用200目过滤器过滤。从脱轻塔4得到的六氟丁二烯产品命名为产品1。

实施例2：

采用图2所示排列方式的反应精馏塔处理实施例1中的产物A。反应精馏塔使用高纯氮气吹扫至出口的氮气中水分含量在1ppm以下。

反应精馏塔自上而下的排列为反应段5、第一节填料段6、第二节填料段6。第一节填料段6的高度为4米，第二节填料段6的高度为2米，反应段5高度为 0.5米。侧线采出点位于第一节填料段6与第二节填料段6之间。反应精馏塔的塔釜通过气相管道和液相管道与脱氯反应釜1连接。液相管道设置有溢流装置，反应精馏塔塔底下降液相经过该管道返回脱氯反应釜1。产物A从脱氯反应釜经过气相管道进入反应精馏塔的第二节填料段6下方。

反应精馏塔的操作压力为160kPaA，此时反应段5的温度为17℃，第一节填料段6的温度为18℃，第二节填料段6的温度为80℃。反应精馏塔的侧线采出率为58％，塔顶采出率为10％，塔顶回流比为25。得到的六氟丁二烯产品命名为产品2。

实施例3：

采用图3所示排列方式的反应精馏塔处理实施例1中的产物A，反应精馏塔自上而下的排列为第一节填料段6、第二节填料段6、反应段5、第三节填料段6。第一节填料段6的高度为3米，第二节填料段6的高度为1米，第三节填料段6的高度为2米，反应段5的高度为0.5米。

反应精馏塔的操作压力为160kPaA，此时反应段5的温度为20℃，第一节填料段6的温度为16℃，第二节填料段6的温度为18℃，第三节填料段6的温度为 80℃。其他同实施例2。得到的六氟丁二烯产品命名为产品3。

对比例1：

采用图1所示的流程，但不含催化塔3，其他同实施例1。从脱轻塔4得到的六氟丁二烯产品命名为产品4。

对比例2：

采用图1所示的流程，但不含催化塔3，原料为表1中的R-2。连续脱氯反应及反应产物分离过程同实施例1。得到的六氟丁二烯产品命名为产品5。

表2产品组成

由表2的产品组成可见，实施例1与实施例2相比，不但反应精馏塔的设备和流程简单，且效果要略优于实施例1。同时，在填料总高和操作参数相同的情况下，实施例2与实施例3相比可知，在加压操作的情况下，反应段5位于侧线采出点之上的反应精馏塔效果优于反应段5位于侧线采出之下。在处理相同产物A时，实施例1存在催化塔3的情况下，产品中六氟环丁烯和六氟-2-丁炔的含量要远远低于不含催化塔3的对比例1，说明催化塔3对降低六氟环丁烯和六氟-2-丁炔的含量起了关键作用。对比例1与对比例2相比，说明了提高原料纯度可以明显减少产品中六氟环丁烯和六氟-2-丁炔的含量。但是从实施例1和对比例2可以看出，即使实施例1中的原料纯度低，但是得到的产品含量仍略优于对比例2中的产品。

上述实施例与对比例说明，采用本发明中的方法制备六氟丁二烯，使用的原料纯度更低，产品中的杂质含量更少，能显著降低上游分离3,4-二氯六氟-1-丁烯的难度，而且还可以减少下游高纯六氟丁二烯的生产难度。

上述的对实施例的描述是为便于该技术领域的普通技术人员能理解和使用发明。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本发明不限于上述实施例，本领域技术人员根据本发明的揭示，不脱离本发明范畴所做出的改进和修改都应该在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，该方法为：将3,4-二氯六氟-1-丁烯原料及有机溶剂分别脱水后，与锌粉一起加入至脱氯反应釜中，经脱氯反应后得到脱氯产物，之后将脱氯产物进行精馏、催化转化后，得到六氟丁二烯产品。

2.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，所述的3,4-二氯六氟-1-丁烯原料中含有3,4-二氯六氟-1-丁烯及杂质，所述的杂质包括1,2-二氯六氟环丁烷、2,3-二氯六氟-2-丁烯、水中的多种；所述的3,4-二氯六氟-1-丁烯原料中，3,4-二氯六氟-1-丁烯的质量分数≥99％；脱氯反应釜中还加入引发剂，所述的引发剂为氯化锌；脱氯反应釜中的温度为30-100℃。

3.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，催化转化过程中，在催化剂的存在下，副产物转化为六氟丁二烯；所述的副产物包括六氟环丁烯、六氟-2-丁炔中的一种或两种。

4.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，催化转化过程中，催化剂为铱钳催化剂或CsF/KF催化剂中的一种；当催化剂为铱钳催化剂时，催化转化温度为15-80℃；当催化剂为CsF/KF催化剂时，催化转化温度为510-590℃。

5.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，所述的脱氯产物依次经脱除重组分、催化转化、脱除轻组分后，过滤得到六氟丁二烯产品。

6.根据权利要求5所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，脱除重组分过程在脱重塔中进行，催化转化过程在催化塔中进行，脱除轻组分过程在脱轻塔中进行；脱除重组分过程中，塔釜温度为50-90℃，塔顶温度为-5℃至15℃，操作压力为70-200kPaA，脱重塔的回流比为0.5-2；催化转化过程中，催化剂为铱钳催化剂或CsF/KF催化剂中的一种，操作压力为70-300kPaA，空速为50-500h^-1；脱除轻组分过程中，塔釜温度为-5℃至40℃，塔顶温度为-10℃至35℃，操作压力为70-250kPaA，脱轻塔的回流比为3-15；采用50-300目的过滤器进行过滤。

7.根据权利要求6所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，将脱重塔的塔釜馏出物循环加入至脱氯反应釜中，继续进行脱氯反应；将部分脱轻塔的塔顶馏出物循环加入至催化塔中，继续进行催化转化。

8.根据权利要求1所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，所述的脱氯产物在反应精馏塔中进行反应精馏，由反应精馏塔侧线采出得到六氟丁二烯产品。

9.根据权利要求8所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，所述的反应精馏塔包括1个反应段及多个填料段，所述的反应段的下方存在至少一个填料段，反应精馏塔侧线采出点位于相邻两个填料段之间，所述的反应段装填有催化剂，该催化剂为铱钳催化剂。

10.根据权利要求9所述的一种六氟丁二烯的制备方法，其特征在于，所述的反应精馏塔的操作压力为70-300kPaA，回流比为1-50，所述的反应段的温度为15-80℃，所述的填料段的温度为-5℃至100℃。