CN113024098A - 金属掩膜版切割防护设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了金属掩膜版切割防护设备，涉及掩膜版切割防护设备技术领域，具体为金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定套接有驱动盘，所述驱动盘正面的边缘处固定连接有驱动柱，所述驱动柱的外表面活动套接有驱动套杆的一端。该金属掩膜版切割防护设备，通过卡爪的上表面为平整的矩形，所述卡爪上表面向内的一侧开设有固定槽口与第二液压伸缩杆、承载台、升降套管、棘轮之间相互配合能够使得被拨动杆运输过来的掩膜版被承载台运输到卡爪上，能够实现切割掩膜版在防护机箱的内腔中和取拿掩膜版在防护机箱的外侧，可以有效的解决切割掩膜版时会迸溅碎料而存在隐患。

Description

金属掩膜版切割防护设备

技术领域

本发明涉及掩膜版切割防护设备技术领域，具体为金属掩膜版切割防护设备。

背景技术

业内又称光掩模版、掩膜版，英文名称MASK或PHOTOMASK，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，在其切割时会迸溅碎料而存在隐患，而且其切割过程中产生的粉尘会对工作人员的身体健康造成危害，而且掩膜版的材质为石英玻璃衬底，在切割前夹持时容易造成划伤，故而这里提出金属掩膜版切割防护设备来解决上述问题。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了金属掩膜版切割防护设备，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出轴上固定套接有驱动盘，所述驱动盘正面的边缘处固定连接有驱动柱，所述驱动柱的外表面活动套接有驱动套杆的一端，所述驱动套杆的另一端活动套接有驱动块，所述驱动块的顶部固定连接有动力杆，所述动力杆的右端固定连接有固定块，所述固定块的内腔中活动套接有旋转短柱，所述固定块内腔中活动套接的旋转短柱外表面活动套接有运输块，所述运输块的正上方设置有盛放箱，所述盛放箱的右侧活动连接有防护机箱，所述防护机箱的内腔中开设有固定槽，所述防护机箱内腔中开设的固定槽中固定连接有限位套管，所述限位套管的内腔中固定连接有限位弹簧的一端，所述限位弹簧的另一端固定连接有限位柱，所述限位柱的正下方设置有第一液压伸缩杆，所述第一液压伸缩杆的输出轴上活动套接有驱动臂，所述驱动臂的顶部固定套接有夹持臂，所述驱动臂的内侧活动套接有驱动环，所述驱动环的内腔中活动套接有切割台，所述切割台的右侧固定连接有运输轨道，所述运输轨道的后侧设置有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴上固定套接有拨动杆，所述拨动杆的左下设置有第二液压伸缩杆，所述第二液压伸缩杆的输出轴上固定连接有承载台，所述承载台的正上方设置有升降套管，所述升降套管的内腔中活动套接有棘轮，所述棘轮的外表面活动套接有卡爪，所述升降套管的内腔中活动套接有限位杆。

可选的，所述驱动套杆的下端开设有驱动槽，所述驱动柱活动套接在驱动套杆下端开设驱动槽中，所述驱动套杆下端开设的驱动槽四边为弧形。

可选的，所述驱动套杆正面的上端开设有圆形柱，所述驱动块的中部开设有与驱动套杆正面上端开设的圆形柱相适配的矩形槽孔。

可选的，所述运输块的形状为L形，所述运输块向内凹陷的一侧朝向左边。

可选的，所述盛放箱的下端开设有与运输块相适配的活动槽，所述盛放箱的右侧下方开设有与掩膜版相适配的输出槽，所述防护机箱的内腔中开设有与盛放箱上开设的输出槽相适配的运输槽。

可选的，所述限位柱的左端活动套接有弧形限位块，所述弧形限位块的右侧为竖直形，所述弧形限位块与限位柱只有向下单方向活动套接。

可选的，所述驱动臂的形状为F形，所述驱动臂内侧的支臂活动套接在驱动环上。

可选的，所述运输轨道的形状为弧形，所述运输轨道的宽度与切割台的宽度相等。

可选的，所述卡爪的上表面为平整的矩形，所述卡爪上表面向内的一侧开设有固定槽口。

可选的，所述限位杆活动套接在升降套管的内腔中，所述限位杆位于卡爪向外一侧的正上方。

本发明提供了金属掩膜版切割防护设备，具备以下有益效果：

1、该金属掩膜版切割防护设备，通过驱动套杆的下端开设有驱动槽，所述驱动柱活动套接在驱动套杆下端开设驱动槽中，所述驱动套杆下端开设的驱动槽四边为弧形与第一伺服电机、驱动盘、驱动块、动力杆、固定块之间的相互配合能够为实现驱动柱发生偏转运动，从而为动力杆提供动力，使得动力杆能够进行伸缩运动，继而使得盛放箱中的掩膜版可以不断的进入防护机箱的内腔中进行加工，能够有效的实现对掩膜版的连续运输增加掩膜版的切割效率，大大的提高了该装置的实用性。

2、该金属掩膜版切割防护设备，通过卡爪的上表面为平整的矩形，所述卡爪上表面向内的一侧开设有固定槽口与第二液压伸缩杆、承载台、升降套管、棘轮之间相互配合能够使得被拨动杆运输过来的掩膜版被承载台运输到卡爪上，能够实现切割掩膜版在防护机箱的内腔中和取拿掩膜版在防护机箱的外侧，可以有效的解决切割掩膜版时会迸溅碎料而存在隐患，产生的粉尘会对工作人员的身体健康造成危害的问题。

3、该金属掩膜版切割防护设备，通过驱动臂的形状为F形，驱动臂内侧的支臂活动套接在驱动环上，通过与第一液压伸缩杆、驱动环、切割台之间相互配合，能够为驱动环,提供动力，使得驱动环能够在切割台上进行移动，从而使得夹持臂进行左右移动，继而使得夹持臂对掩膜版进行固定夹持，与限位柱之间相互配合能够对掩膜版进行不同方位的固定，能够有效地防止掩膜版由于固定不牢靠而导致偏移，增加掩膜版的切割精度。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明防护机箱剖析的结构示意图；

图3为本发明驱动套杆处立体的结构示意图；

图4为本发明限位弹簧处立体爆炸的结构示意图；

图5为本发明拨动杆处立体的结构示意图；

图6为本发明棘轮处立体爆炸的结构示意图。

图中：1、第一伺服电机；2、驱动盘；3、驱动柱；4、驱动套杆；5、驱动块；6、动力杆；7、固定块；8、运输块；9、盛放箱；10、防护机箱；11、限位套管；12、限位弹簧；13、限位柱；14、驱动臂；15、夹持臂；16、驱动环；17、切割台；18、运输轨道；19、第二伺服电机；20、拨动杆；21、第二液压伸缩杆；22、承载台；23、升降套管；24、棘轮；25、卡爪；26、限位杆；27、第一液压伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1至图6，本发明提供技术方案：金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机1，第一伺服电机1的输出轴上固定套接有驱动盘2，驱动盘2正面的边缘处固定连接有驱动柱3，驱动柱3的外表面活动套接有驱动套杆4的一端，通过驱动套杆4的下端开设有驱动槽，驱动柱3活动套接在驱动套杆4下端开设驱动槽中，驱动套杆4下端开设的驱动槽四边为弧形与第一伺服电机1、驱动盘2、驱动块5、动力杆6、固定块7之间的相互配合能够为实现驱动柱3发生偏转运动，从而为动力杆6提供动力，使得动力杆6能够进行伸缩运动，继而使得盛放箱9中的掩膜版可以不断的进入防护机箱10的内腔中进行加工，能够有效的实现对掩膜版的连续运输增加掩膜版的切割效率，驱动套杆4的另一端活动套接有驱动块5，驱动块5的顶部固定连接有动力杆6，动力杆6的右端固定连接有固定块7，固定块7的内腔中活动套接有旋转短柱，固定块7内腔中活动套接的旋转短柱外表面活动套接有运输块8，运输块8的正上方设置有盛放箱9，盛放箱9的右侧活动连接有防护机箱10，防护机箱10的内腔中开设有固定槽，防护机箱10内腔中开设的固定槽中固定连接有限位套管11，限位套管11的内腔中固定连接有限位弹簧12的一端，限位弹簧12的另一端固定连接有限位柱13，限位柱13的正下方设置有第一液压伸缩杆27，第一液压伸缩杆27的输出轴上活动套接有驱动臂14，驱动臂14的顶部固定套接有夹持臂15，驱动臂14的内侧活动套接有驱动环16，驱动环16的内腔中活动套接有切割台17，切割台17的右侧固定连接有运输轨道18，运输轨道18的后侧设置有第二伺服电机19，第二伺服电机19的输出轴上固定套接有拨动杆20，拨动杆20的左下设置有第二液压伸缩杆21，第二液压伸缩杆21的输出轴上固定连接有承载台22，承载台22的正上方设置有升降套管23，升降套管23的内腔中活动套接有棘轮24，棘轮24的外表面活动套接有卡爪25，升降套管23的内腔中活动套接有限位杆26。

其中，驱动套杆4的下端开设有驱动槽，驱动柱3活动套接在驱动套杆4下端开设驱动槽中，驱动套杆4下端开设的驱动槽四边为弧形，能够有效的使驱动柱3在驱动套杆4下端开设的驱动槽中更加舒畅的滑动，能够有效的避免驱动柱3在滑动的驱动槽的边缘处被卡死的现象出现。

其中，驱动套杆4正面的上端开设有圆形柱，驱动块5的中部开设有与驱动套杆4正面上端开设的圆形柱相适配的矩形槽孔，通过与第一伺服电机1、驱动盘2、驱动柱3之间相互配合能够为动力杆6提供动力，从而实现运输盛放箱9中的掩膜版。

其中，运输块8的形状为L形，运输块8向内凹陷的一侧朝向左边，当运输块8运输掩膜版时，运输块8的下端会被动力杆6的上表面阻挡，从而可以推动掩膜版，当运输块8返回时由于运输块8的上端会被掩膜版所抵挡而倾斜，规避了掩膜版的抵挡，从而可以顺利的返回。

其中，盛放箱9的下端开设有与运输块8相适配的活动槽，盛放箱9的右侧下方开设有与掩膜版相适配的输出槽，防护机箱10的内腔中开设有与盛放箱9上开设的输出槽相适配的运输槽，能够有效的使得掩膜版在运输过程中实现固定与限位，能够有效的防止掩膜版被切割固定前发生倾斜。

其中，限位柱13的左端活动套接有弧形限位块，弧形限位块的右侧为竖直形，弧形限位块与限位柱13只有向下单方向活动套接，当掩膜版进入防护机箱10的内腔后会挤压限位柱13左侧的弧形限位块，此时限位弹簧12会发生形变，从而使得限位柱13向右偏移，此时弧形限位块会向下转动，存入使得掩膜版进入固定槽中，而且无法返回，通过与夹持臂15配合能够保证掩膜版被切割前被固定。

其中，驱动臂14的形状为F形，驱动臂14内侧的支臂活动套接在驱动环16上，通过与第一液压伸缩杆27、驱动环16、切割台17之间相互配合，能够使得夹持臂15对掩膜版进行固定夹持，与限位柱13之间相互配合能够对掩膜版进行不同方位的固定，能够有效地防止掩膜版由于固定不牢靠而导致偏移，继而影响切割精度的问题。

其中，运输轨道18的形状为弧形，运输轨道18的宽度与切割台17的宽度相等，能够有效的保证掩膜版被切割完成后，在被运输的同时依然被限位，有效的防止掩膜版掉落的问题。

其中，卡爪25的上表面为平整的矩形，卡爪25上表面向内的一侧开设有固定槽口，通过与第二液压伸缩杆21、承载台22、升降套管23、棘轮24之间相互配合能够使得被拨动杆20运输过来的掩膜版被承载台22运输到卡爪25上，能够实现切割掩膜版在防护机箱10的内腔中和取拿掩膜版在防护机箱10的外侧，可以有效的解决切割掩膜版时会迸溅碎料而存在隐患，产生的粉尘会对工作人员的身体健康造成危害的问题。

其中，限位杆26活动套接在升降套管23的内腔中，限位杆26位于卡爪25向外一侧的正上方，在卡爪25对掩膜版进行承载后卡爪25的外侧会向上翘起，通过限位杆26能够有效的卡爪25进行限位，从而使得卡爪25不断的对掩膜版进行不断运输。

综上所述，该金属掩膜版切割防护设备，使用时，首先工作人员需要启动第一伺服电机1，通过驱动套杆4的下端开设有驱动槽，驱动柱3活动套接在驱动套杆4下端开设驱动槽中，驱动套杆4下端开设的驱动槽四边为弧形与第一伺服电机1、驱动盘2、驱动块5、动力杆6、固定块7之间的相互配合能够为实现驱动柱3发生偏转运动，从而为动力杆6提供动力，使得动力杆6能够进行伸缩运动，继而使得盛放箱9中的掩膜版可以不断的进入防护机箱10的内腔中进行加工，被加工完成的掩膜版会被拨动杆20和承载台22、卡爪25运输到防护机箱10的外侧，然后进行取拿，如此即可。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.金属掩膜版切割防护设备，包括第一伺服电机（1），其特征在于：所述第一伺服电机（1）的输出轴上固定套接有驱动盘（2），所述驱动盘（2）正面的边缘处固定连接有驱动柱（3），所述驱动柱（3）的外表面活动套接有驱动套杆（4）的一端，所述驱动套杆（4）的另一端活动套接有驱动块（5），所述驱动块（5）的顶部固定连接有动力杆（6），所述动力杆（6）的右端固定连接有固定块（7），所述固定块（7）的内腔中活动套接有旋转短柱，所述固定块（7）内腔中活动套接的旋转短柱外表面活动套接有运输块（8），所述运输块（8）的正上方设置有盛放箱（9），所述盛放箱（9）的右侧活动连接有防护机箱（10），所述防护机箱（10）的内腔中开设有固定槽，所述防护机箱（10）内腔中开设的固定槽中固定连接有限位套管（11），所述限位套管（11）的内腔中固定连接有限位弹簧（12）的一端，所述限位弹簧（12）的另一端固定连接有限位柱（13），所述限位柱（13）的正下方设置有第一液压伸缩杆（27），所述第一液压伸缩杆（27）的输出轴上活动套接有驱动臂（14），所述驱动臂（14）的顶部固定套接有夹持臂（15），所述驱动臂（14）的内侧活动套接有驱动环（16），所述驱动环（16）的内腔中活动套接有切割台（17），所述切割台（17）的右侧固定连接有运输轨道（18），所述运输轨道（18）的后侧设置有第二伺服电机（19），所述第二伺服电机（19）的输出轴上固定套接有拨动杆（20），所述拨动杆（20）的左下设置有第二液压伸缩杆（21），所述第二液压伸缩杆（21）的输出轴上固定连接有承载台（22），所述承载台（22）的正上方设置有升降套管（23），所述升降套管（23）的内腔中活动套接有棘轮（24），所述棘轮（24）的外表面活动套接有卡爪（25），所述升降套管（23）的内腔中活动套接有限位杆（26）。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述驱动套杆（4）的下端开设有驱动槽，所述驱动柱（3）活动套接在驱动套杆（4）下端开设驱动槽中，所述驱动套杆（4）下端开设的驱动槽四边为弧形。

3.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述驱动套杆（4）正面的上端开设有圆形柱，所述驱动块（5）的中部开设有与驱动套杆（4）正面上端开设的圆形柱相适配的矩形槽孔。

4.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述运输块（8）的形状为L形，所述运输块（8）向内凹陷的一侧朝向左边。

5.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述盛放箱（9）的下端开设有与运输块（8）相适配的活动槽，所述盛放箱（9）的右侧下方开设有与掩膜版相适配的输出槽，所述防护机箱（10）的内腔中开设有与盛放箱（9）上开设的输出槽相适配的运输槽。

6.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述限位柱（13）的左端活动套接有弧形限位块，所述弧形限位块的右侧为竖直形，所述弧形限位块与限位柱（13）只有向下单方向活动套接。

7.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述驱动臂（14）的形状为F形，所述驱动臂（14）内侧的支臂活动套接在驱动环（16）上。

8.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述运输轨道（18）的形状为弧形，所述运输轨道（18）的宽度与切割台（17）的宽度相等。

9.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述卡爪（25）的上表面为平整的矩形，所述卡爪（25）上表面向内的一侧开设有固定槽口。

10.根据权利要求1所述的金属掩膜版切割防护设备，其特征在于：所述限位杆（26）活动套接在升降套管（23）的内腔中，所述限位杆（26）位于卡爪（25）向外一侧的正上方。

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