CN112981342B

CN112981342B - 一种一体成型管靶的生产工艺

Info

Publication number: CN112981342B
Application number: CN202110156015.7A
Authority: CN
Inventors: 宋海涛; 宋爱谋
Original assignee: Shandong Hao Xuan Electronic Ceramic Materials Co ltd
Current assignee: Shandong Hao Xuan Electronic Ceramic Materials Co ltd
Priority date: 2021-02-04
Filing date: 2021-02-04
Publication date: 2022-02-18
Anticipated expiration: 2041-02-04
Also published as: CN112981342A

Abstract

本申请涉及靶材制造技术的领域，具体公开了一种一体成型管靶的生产工艺，包括以下步骤：装填：将铌粉装填进入包套内，将包套内抽至真空；热等静压：将装有铌粉的包套放入热等静压炉内进行热等静压，热等静压过程中热等静压炉内保持持续抽气；机加工：热等静压后的包套进行机加工得到最终管靶。本申请的制备方法具有减少靶材氧化，从而提高靶管纯度优点。

Description

一种一体成型管靶的生产工艺

技术领域

本申请涉及靶材制造技术的领域，更具体地说，它涉及一种一体成型管靶的生产工艺。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。通过带功能的粒子轰击靶材，从而使靶材材料溅射在基板上形成各种功能薄膜。

相关技术中，管靶包括衬管，衬管上同轴固定连接有靶管。管靶生产采用热喷涂法将靶管涂覆于衬管上。

热喷涂法生产的靶管因靶材材料氧化严重，导致靶管纯度低只能用于玻璃镀膜等要求不高的镀膜行业，而无法满足液晶显示和触控屏行业要求。

发明内容

为了减少靶材氧化，从而提高靶管纯度，进而符合液晶显示和触控屏行业要求，本申请提供一种一体成型管靶的生产工艺。

本申请提供的一种一体成型管靶的生产工艺采用如下的技术方案：

一种一体成型管靶的生产工艺，包括以下步骤：

装填：将铌粉预压成圆管状靶材装填进入包套内，包套包括衬管，衬管上同轴套设有外管，外管两端均同轴固定连接有固定环，固定环内壁固定连接于衬管侧壁，外管、固定环和内管形成容纳靶材的容纳腔，外管壁厚小于内管壁厚，所述外管内径与衬管外径之差为靶材厚度的2.2倍，外管侧壁一端固定有抽气管，外管侧壁另一端固定连接有进气管，抽气管与进气管均与容纳腔内连通，将进气管封闭后通过抽气管将容纳腔内气体抽出，再将抽气管封闭；热等静压：将装有靶材的包套放入热等静压炉内进行热等静压，所述热等静压温度为1100～1300℃，压力为120～150Mpa，时间为4～6小时；

机加工：热等静压后的包套进行机加工，数控车床将固定环车削除去，将外管从衬管上抽出，得到一体成型管靶，一体成型管靶包括衬管和成型于衬管侧壁的靶管，对靶管外周侧壁进行车削得到最终管靶。

通过采用上述技术方案，由于先将铌粉预压为圆管状靶材装填于包套内，将包套内抽真空后进行热等静压，因此，有效减少氧气对铌粉的氧化，从而提高靶材纯度的效果。

可选的，还包括以下步骤，通过抽气管将容纳腔内气体抽出后，通过抽气管向容纳腔内通氩气，再将进气管封闭，通过抽气管将氩气抽出，最后将抽气管封闭。

通过采用上述技术方案，氩气对容纳腔内进行清洗，从而进一步减少容纳腔内残存的氧气，减少靶材氧化。

可选的，所述装填包括以下步骤：

先将铌粉预压为管状靶材，将一个固定环同轴焊接于外管一端，然后将衬管一端穿过固定环与外管同轴设置，将固定环与衬管焊接，将外管上的抽气管和进气管关闭，向容纳腔内放置靶材，在外管另一端焊接另一个固定环，固定环内壁焊接于衬管侧壁，其中靶材内壁抵接于衬管外壁，靶材外壁与外管内壁间隔设置。

通过采用上述技术方案，固定环将靶材限位于容纳腔内，靶材在容纳腔内因烧结而收缩，外管受热膨胀，从而有效增加二者间距，降低靶材粘附于外管上的概率，从而方便将外管从衬管上拆下。

可选的，所述包套与数控车床主轴同轴设置，数控车床的三爪卡盘将衬管一端夹持，衬管另一端被数控车床的尾座抵紧，数控车床上设置有用于支撑包套的支撑装置，所述支撑装置包括固定连接于数控车床侧壁的支撑块，所述支撑块朝向数控车床的车刀的一侧固定连接有中心架，所述中心架为圆环形且与数控车床的主轴同轴设置，所述中心架内转动连接有夹持外管的夹持装置，所述包套转动轴线、夹持装置转动轴线和中心架轴向同轴设置，所述支撑架上设置有驱动夹持装置转动的驱动装置，所述夹持装置转动时与数控车床的三爪卡盘保持相对静止。

通过采用上述技术方案，夹持装置将外管侧壁夹持，衬管被数控车床和三爪卡盘和尾座固定，从而使衬管与数控车床主轴同轴，数控车床的车刀对固定环进行车削的过程中，夹持装置与驱动装置使外管与靶材保持相对静止且间隔设置的状态，从而减少车削过程中外管与靶材之间的碰撞，减少车削过程中靶材的损耗。

可选的，所述中心架内壁同轴转动连接有支撑环，所述驱动装置驱动支撑环转动，所述支撑环转动角速度等于数控车床三爪卡盘的转动角速度，所述夹持装置包括同轴固定连接于支撑环内的卡盘体，所述卡盘体形状为圆柱形，所述卡盘体轴线与数控车床主轴轴线同轴设置，所述卡盘体上同轴开设有供包套通过的通孔，所述卡盘体一端沿卡盘体径向滑动连接有多个卡爪，多个卡爪以卡盘体轴线为圆心周向设置，所述卡盘体内设置有多个卡爪同步滑移的驱动机构，当多个卡爪均与外管侧壁抵接时，所述包套与数控车床主轴同轴设置。

通过采用上述技术方案，包套穿过通孔与卡盘体保持同轴设置，驱动机构驱动卡爪滑移将外管侧壁抵紧，支撑环转动通过夹持装置带动包套转动，当外管与衬管分离后，夹持装置使外管与靶管保持同轴且间隔设置，有效减少外管对衬管碰撞造成的损伤。

可选的，所述卡盘体一端沿卡盘体径向开设有多个导向槽，所述卡爪滑动连接于导向槽内，多个导向槽以卡盘体轴线为圆心周向设置，所述驱动机构包括同轴转动连接于卡盘体内的平面螺纹盘，所述平面螺纹盘朝向卡爪一侧开设有阿基米德螺旋槽，所述卡爪朝向平面螺纹盘一侧固定连接有驱动齿，所述驱动齿与阿基米德螺旋槽啮合，所述平面螺纹盘背离卡爪一侧同轴固定连接有锥齿轮，所述卡盘体内转动连接有碟形伞齿轮，所述碟形伞齿轮与锥齿轮啮合。

通过采用上述技术方案，转动碟形伞齿轮通过锥齿轮驱动平面螺纹盘转动，平面螺纹盘通过驱动齿驱动卡爪滑移，多个卡爪同时滑移将包套抵紧，实现对包套的固定。

可选的，所述支撑环外径等于数控车床三爪卡盘的外径，所述驱动装置包括转动连接于支撑块上的连接杆，所述连接杆轴线与中心架轴线平行，所述支撑环外周侧壁同轴固定连接有第一齿轮，数控车床的三爪卡盘外周侧壁同轴固定有第一齿轮，所述连接杆上同轴固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮啮合，所述每个第一齿轮均有一个第二齿轮与之啮合。

通过采用上述技术方案，数控车床的三爪卡盘转动时通过第一齿轮和第二齿轮带动连接杆转动，连接杆通过第二齿轮和支撑环上的第一齿轮带动夹持装置转动，从而实现外管与靶管保持相对静止且间隔设置，减少车削过程中外管与靶管的碰撞。

可选的，所述中心架设置为两组，两组中心架间隔设置，所述中心架内均设置有一组夹持装置，数控车床的三爪卡盘通过驱动装置驱动两组夹持装置转动。

通过采用上述技术方案，将外管两端进行固定，提高包套夹持的稳定性。

综上所述，本申请具有以下有益效果：

1、由于本申请采用静压烧结的工艺，且将容纳腔内与靶材接触的气体抽出，减少生产过程中靶材的氧化，减少氧化物杂质生成，提高管靶纯度。

2、本申请中通过靶材与外管间隔设置，并通过烧结使二者间隙进一步增大，在将外管拆下时，只需对固定环进行车削，固定环车削完成后，将外管直接从管靶上滑出即可，操作方便。

3、本申请中，通过数控车床的三爪卡盘和尾座将衬管固定，夹持装置将外管固定，且驱动装置使外管和衬管分离后认可保持相对静止，从而降低外管撞击靶管的概率，进而减少靶管的损伤，减少靶材的浪费。

附图说明

图1是本申请中包套的剖视图；

图2是图1中A部分的局部放大示意图，主要用于展示衬管、外管和靶材连接关系；

图3是本申请实施例5整体结构示意图；

图4是本申请实施例5部分结构示意图，主要用于展示支撑装置；

图5是本申请实施例5部分结构剖视示意图，主要用于展示夹持装置；

图6是本申请实施例5部分结构剖视示意图，主要用于展示第一齿轮、中心架和、支撑环和卡盘体连接关系；

图7是图6中B部分的局部放大示意图，主要用于展示连接机构；

图8是本申请实施例5部分结构剖视示意图，主要用于展示驱动壮装置。

附图标记：1、包套；11、衬管；12、外管；13、固定环；14、进气管；15、抽气管；16、封闭杆；17、容纳腔；18、靶材；21、溜板箱；22、三爪卡盘；23、尾座；24、车刀；3、支撑装置；31、支撑块；32、中心架；321、环槽；322、连接槽；323、滑槽；4、夹持装置；41、卡盘体；42、通孔；43、导向槽；44、卡爪；45、空腔；46、驱动机构；461、平面螺纹盘；462、驱动齿；463、阿基米德螺旋槽；464、锥齿轮；465、碟形伞齿轮；47、操作孔；5、驱动装置；51、连接杆；52、第一齿轮；53、第二齿轮；6、连接机构；61、支撑环；62、连接环；63、滚珠。

具体实施方式

铌粉采购自河北益瑞合金焊接材料有限公司，纯度为99.95％，粒径为D₅₀＝48微米。

衬管11、外管12和固定环13材质均为304不锈钢。

以下结合附图和实施例对本申请作进一步详细说明。

制备例

参照图1，制备装有靶材18的包套1

制备例1

1、选取衬管11、外管12和固定环13：其中衬管11内径为125mm，衬管11外径为133mm，衬管11长度为1000mm，外管12内径为155mm，外管12外径为158mm，外管12长度为800mm，外管12侧壁一端固定连接有进气管14，外管12侧壁远离进气管14一端固定连接有抽气管15，进气管14与抽气管1515均与外管12内连通，固定环13内径等于衬管11外径，固定环13外径等于外管12外径；

3、外管12同轴套设于衬管11上，在外管12一端焊接固定环13，固定环13内壁抵接于衬管11外壁，固定环13抵接于外管12一端，固定环13、外管12和衬管11三者同轴，进气管14内同轴滑动连接有封闭杆16，封闭杆16侧壁抵接于进气管14内壁，抽气管15内同轴滑动连接有封闭杆16，封闭杆16侧壁抵接于抽气管15内壁；

4、将铌粉预压为内径为133mm、内径为153mm，轴向长度为800mm的圆管状靶材18，将靶材18套设于衬管11上，靶材18一端抵接于固定环13；

5、在衬管11上再次焊接一个固定环13，固定环13内壁焊接于衬管11外壁，固定环13外壁与外管12外壁焊接，此时外管12、衬管11和两个固定环13形成容纳腔17，靶材18位于容纳腔17内；

6、将抽气管15内的封闭杆16取出，将容纳腔17内气体抽出使容纳腔17内真空度降至0.01Pa，将封闭杆16滑入抽气管15内并将封闭杆16焊死在抽气管15内，制得装有靶材18的包套1。

制备例2

与制备例1不同之处在于：

将容纳腔17内气体抽出使容纳腔17内真空度降至0.01Pa后，将进气管14内的封闭杆16取出，从进气管14向容纳腔17内通入氩气并从抽气管15处排出，通气5min后将封闭杆16滑入进气管14内并焊死在进气管14内，从抽气管15内将氩气抽出直至容纳腔17内真空度降至0.01Pa，将封闭杆16滑入抽气管15内并将封闭杆16焊死在抽气管15内，制得装有靶材18的包套1。

制备例3

1、选取衬管11、外管12和固定环13：其中衬管11内径为125mm，衬管11外径为133mm，衬管11长度为1000mm，外管12内径为155mm，外管12外径为158mm，外管12长度为800mm，固定环13内径等于衬管11外径，固定环13外径等于外管12外径；

3、外管12同轴套设于衬管11上，在外管12一端焊接固定环13，固定环13内壁抵接于衬管11外壁，固定环13抵接于外管12一端，固定环13、外管12和衬管11三者同轴；

5、在衬管11上再次焊接一个固定环13，固定环13内壁焊接于衬管11外壁，固定环13外壁与外管12外壁焊接，此时外管12、衬管11和两个固定环13形成容纳腔17，靶材18位于容纳腔17内。

实施例

实施例1

将制备例1制得的装有靶材18的包套1放置于热等静压炉内进行热等静压，其中热等静压温度为1100℃，压力为120Mpa，时间为4小时。

热等静压后的包套1进行机加工，数控车床将固定环13车削除去，将外管12从衬管11上抽出，得到一体成型管靶；一体成型管靶包括衬管11和成型于衬管11侧壁的靶管，对靶管外周侧壁进行车削得到最终管靶。

实施例2

将制备例1制得的装有靶材18的包套1放置于热等静压炉内进行热等静压，其中热等静压温度为1200℃，压力为140Mpa，时间为5小时。

实施例3

将制备例1制得的装有靶材18的包套1放置于热等静压炉内进行热等静压，其中热等静压温度为1300℃，压力为150Mpa，时间为6小时。

实施例4

将制备例2制得的装有靶材18的包套1放置于热等静压炉内进行热等静压，其中热等静压温度为1200℃，压力为140Mpa，时间为5小时。

对比例

对比例1

与实施例2不同之处在于，将制备例3制得的装有靶材18的包套1放置于热等静压炉内进行热等静压。

对比例2

通过热喷涂法将铌粉喷涂于衬管11上形成靶管，衬管11内径为125mm，衬管11外径为133mm，衬管11长度为1000mm，对靶管进行机加工制得最终管靶。

性能检测试验

将实施例1-4和对比例制得的管靶进行车削，外层靶管车削所得粒块利用ICP电感耦合等离子光谱发生仪对所得粒块纯度进行检测，具体检测数据见表1。

表1纯度检测数据表

结合对比例1和对比例2并结合表1可以看出，将铌粉压制成靶材放置于容纳腔内，有效减少铌粉接触的氧气，从而减少铌粉氧化，提高靶管纯度。

结合实施例2和对比例1并结合表1可以看出，将铌粉压制成靶材放置于容纳腔内并对容纳腔内进行抽真空处理，有效减少靶材所接触的氧化，从而减少靶材氧化，提高靶管纯度。

结合实施例4和实施例2并结合表1可以看出，通过氩气对容纳腔进行清洗，从而进一步减少容纳腔内残存的氧气，减少对靶材的氧化，提高靶管纯度。

实施例5

本申请实施例1-4使用的数控车床。

参照图1，包括固定连接于数控车床侧壁的支撑装置3，支撑装置3位于数控车床的溜板箱21上方，在水平方向上支撑装置3位于数控车床的三爪卡盘22和尾座23之间，支撑装置3上转动连接有用于夹持外管12的夹持装置4，当外管12夹持于夹持装置4内时，衬管11两端被数控车床的三爪卡盘22和尾座23夹持，衬管11轴线与数控车床的三爪卡盘22轴线同轴设置，支撑装置3上设置有用于驱动夹持装置4的驱动装置5，数控车床的三爪卡盘22通过驱动装置5驱动夹持转动，当数控车床的三爪卡盘22转动时，夹持装置4与其保持相对静止状态。

夹持装置4将外管12夹持，数控车床的三爪卡盘22和尾座23将衬管11夹持，当数控车床的三爪卡盘22转动时通过驱动装置5驱动夹持装置4转动，二者保持相对静止状态，数控车床的车刀24对固定环13进行切削，固定环13被切削掉后，衬管11和外管12仍保持相对静止状态，靶管与外管12间隔设置，有效降低靶管与外管12之间碰撞的概率，从而减少靶管的损伤，减少靶材18的浪费。

参照图1，支撑装置3包括固定连接于数控车床侧壁的支撑块31，支撑块31朝向数控车床的车刀24一侧固定连接有两个圆环形的中心架32，中心架32轴线与数控车床主轴同轴设置，两个中心架32间隔设置。

参照图1，夹持装置4包括通过连接机构6同轴转动连接于中心架32内的卡盘体41，卡盘体41形状为圆柱形，卡盘体41上沿卡盘体41轴线开设有供包套1穿过圆形通孔42，通孔42与卡盘体41同轴设置。卡盘体41背离数控车床的三爪卡盘22一侧沿卡盘体41径向开设有三个导向槽43，三个导向槽43以卡盘体41轴线为圆心周向设置，导向槽43内均滑动连接有卡爪44，卡盘体41内开设有空腔45，空腔45内设置有驱动三个卡爪44同步滑移的驱动机构46。

参照图1，驱动机构46包括同轴转动连接于空腔45内的平面螺纹盘461，平面螺纹盘461平面螺纹盘461朝向卡爪44一侧开设有阿基米德螺旋槽463，卡爪44朝向平面螺纹盘461一侧固定连接有驱动齿462，驱动齿462与阿基米德螺旋槽463啮合。平面螺纹盘461背离卡爪44一侧同轴固定连接有锥齿轮464，卡盘体41内转动连接有三个碟形伞齿轮465，三个碟形伞齿轮465以圆盘体轴线为圆心周向设置，三个碟形伞齿轮465均与锥齿轮464啮合。卡盘体41侧壁对应三个碟形伞齿轮465开设有三个操作孔47，通过操作孔47转动碟形伞齿轮465。

包套1穿过通孔42呈水平放置，转动碟形伞齿轮465从而驱动锥齿轮464转动，锥齿轮464带动平面螺纹盘461转动，进而通过阿基米德螺旋槽463和驱动齿462驱动卡爪44滑移将外管12抵紧。

参照图1，连接机构6包括同轴固定连接于卡盘体41侧壁的支撑环61，中心架32内壁同轴开设有环槽321，支撑环61同轴转动连接于环槽321内。支撑环61两端均同轴固定连接有连接环62，环槽321侧壁同轴开设有连接槽322，连接环62转动连接于连接槽322内。通过连接环62增加支撑环61在中心架32上的稳定性，进而增加夹持机构在中心架32上的转动稳定性。

参照图1，连接环62内周侧壁和外周侧壁均转动连接有多个滚珠63，连接槽322侧壁同轴开设有滑槽323，滚珠63滚动连接于滑槽323内。

参照图6和图8，驱动装置5包括转动连接于支撑块31上的连接杆51，连接杆51轴线与数控车床主轴线平行，两个支撑环61外周侧壁均同轴固定连接有第一齿轮52，支撑环61上的第一齿轮52转动连接于环槽321内，数控车床三爪卡盘22外周侧壁同轴固定连接有相同的第一齿轮52，连接杆51上同轴固定连接有三个第二齿轮53，每个第一齿轮52均有一个第二齿轮53与之啮合。

数控车床的三爪卡盘22转动时通过第一齿轮52和第二齿轮53驱动连接杆51转动，连接杆51带动另外两个第二齿轮53转动，并通过第一齿轮52带动支撑环61转动，支撑环61通过夹持装置4与数控车床的三爪卡盘22保持相对静止。

本申请实施例5的实施原理为：包套1穿过两个卡盘体41的通孔42，数控车床的三爪卡盘22和尾座23将衬管11夹持并保持同轴。转动碟形伞齿轮465驱动锥齿轮464转动，锥齿轮464带动平面螺纹盘461转动进而通过阿基米德螺旋槽463和驱动齿462驱动卡爪44滑移将外管12抵紧。

数控车床启动后，数控车床的三爪卡盘22通过驱动装置5驱动夹持装置4转动。数控车床的车刀24对包套1的固定环13进行车削，将两个固定环13车削结束后，数控车床停止运行。将包覆有靶材18的衬管11和外管12取下，外管12从衬管11上抽出，实现外管12与衬管11的分离。

本具体实施例仅仅是对本申请的解释，其并不是对本申请的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本申请的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims

1.一种一体成型管靶的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：

装填：将铌粉预压成圆管状靶材（18）装填进入包套（1）内，包套（1）包括衬管（11），衬管（11）上同轴套设有外管（12），外管（12）两端均同轴固定连接有固定环（13），固定环（13）内壁固定连接于衬管（11）侧壁，外管（12）、固定环（13）和内管形成容纳靶材（18）的容纳腔（17），外管（12）壁厚小于内管壁厚，所述外管（12）内径与衬管（11）外径之差为靶材（18）厚度的2.2倍，外管（12）侧壁一端固定有抽气管（15），外管（12）侧壁另一端固定连接有进气管（14），抽气管（15）与进气管（14）均与容纳腔（17）内连通，将进气管（14）封闭后通过抽气管（15）将容纳腔（17）内气体抽出，再将抽气管（15）封闭；热等静压：将装有靶材（18）的包套（1）放入热等静压炉内进行热等静压，所述热等静压温度为1100～1300℃，压力为120～150Mpa，时间为4～6小时；

机加工：热等静压后的包套（1）进行机加工，数控车床将固定环（13）车削除去，将外管（12）从衬管（11）上抽出，得到一体成型管靶，一体成型管靶包括衬管（11）和成型于衬管（11）侧壁的靶管，对靶管外周侧壁进行车削得到最终管靶；

所述装填包括以下步骤：

先将铌粉预压为管状靶材（18），将一个固定环（13）同轴焊接于外管（12）一端，然后将衬管（11）一端穿过固定环（13）与外管（12）同轴设置，将固定环（13）与衬管（11）焊接，将外管（12）上的抽气管（15）和进气管（14）关闭，向容纳腔（17）内放置靶材（18），在外管（12）另一端焊接另一个固定环（13），固定环（13）内壁焊接于衬管（11）侧壁，其中靶材（18）内壁抵接于衬管（11）外壁，靶材（18）外壁与外管（12）内壁间隔设置；

所述包套（1）与数控车床主轴同轴设置，数控车床的三爪卡盘（22）将衬管（11）一端夹持，衬管（11）另一端被数控车床的尾座（23）抵紧，数控车床上设置有用于支撑包套（1）的支撑装置（3），所述支撑装置（3）包括固定连接于数控车床侧壁的支撑块（31），所述支撑块（31）朝向数控车床的车刀（24）的一侧固定连接有中心架（32），所述中心架（32）为圆环形且与数控车床的主轴同轴设置，所述中心架（32）内转动连接有夹持外管（12）的夹持装置（4），所述包套（1）转动轴线、夹持装置（4）转动轴线和中心架（32）轴向同轴设置，所述支撑架上设置有驱动夹持装置（4）转动的驱动装置（5），所述夹持装置（4）转动时与数控车床的三爪卡盘（22）保持相对静止；

所述中心架（32）内壁同轴转动连接有支撑环（61），所述驱动装置（5）驱动支撑环（61）转动，所述支撑环（61）转动角速度等于数控车床三爪卡盘（22）的转动角速度，所述夹持装置（4）包括同轴固定连接于支撑环（61）内的卡盘体（41），所述卡盘体（41）形状为圆柱形，所述卡盘体（41）轴线与数控车床主轴轴线同轴设置，所述卡盘体（41）上同轴开设有供包套（1）通过的通孔（42），所述卡盘体（41）一端沿卡盘体（41）径向滑动连接有多个卡爪（44），多个卡爪（44）以卡盘体（41）轴线为圆心周向设置，所述卡盘体（41）内设置有多个卡爪（44）同步滑移的驱动机构（46），当多个卡爪（44）均与外管（12）侧壁抵接时，所述包套（1）与数控车床主轴同轴设置；

所述卡盘体（41）一端沿卡盘体（41）径向开设有多个导向槽（43），所述卡爪（44）滑动连接于导向槽（43）内，多个导向槽（43）以卡盘体（41）轴线为圆心周向设置，所述驱动机构（46）包括同轴转动连接于卡盘体（41）内的平面螺纹盘（461），所述平面螺纹盘（461）朝向卡爪（44）一侧开设有阿基米德螺旋槽（463），所述卡爪（44）朝向平面螺纹盘（461）一侧固定连接有驱动齿（462），所述驱动齿（462）与阿基米德螺旋槽（463）啮合，所述平面螺纹盘（461）背离卡爪（44）一侧同轴固定连接有锥齿轮（464），所述卡盘体（41）内转动连接有碟形伞齿轮（465），所述碟形伞齿轮（465）与锥齿轮（464）啮合；

所述支撑环（61）外径等于数控车床三爪卡盘（22）的外径，所述驱动装置（5）包括转动连接于支撑块（31）上的连接杆（51），所述连接杆（51）轴线与中心架（32）轴线平行，所述支撑环（61）外周侧壁同轴固定连接有第一齿轮（52），数控车床的三爪卡盘（22）外周侧壁同轴固定有第一齿轮（52），所述连接杆（51）上同轴固定连接有第二齿轮（53），所述第二齿轮（53）与第一齿轮（52）啮合；

所述中心架（32）设置为两组，两组中心架（32）间隔设置，所述中心架（32）内均设置有一组夹持装置（4），数控车床的三爪卡盘（22）通过驱动装置（5）驱动两组夹持装置（4）转动。

2.根据权利要求1所述的一种一体成型管靶的生产工艺，其特征在于，还包括以下步骤，通过抽气管（15）将容纳腔（17）内气体抽出后，通过抽气管（15）向容纳腔（17）内通氩气，再将进气管（14）封闭，通过抽气管（15）将氩气抽出，最后将抽气管（15）封闭。