CN112967952A - 一种晶圆压膜机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆压膜机，其结构包括压膜主机、箱门、传输皮带、支撑架、控制面板，压膜主机前端表面与箱门相铰接，刮板底部与晶圆的上表面进行抵触，通过扭力轴的转动调节，使得刮板进行微转动，避免对晶圆表面造成刮伤，通过滑动块在导向框内部进行滑动，伸缩软管进行伸缩，将伸缩软管内部的气压挤入导气管内部，最后从喷嘴内部进行分散喷出，将晶圆表面剔除后的尖锐的凸块进行吹除，防止膜发生破损，晶圆顺着导向片停留在托盘表面，压膜辊再将膜压在晶圆表面的过程中，两端的连动杆绕着导向弹簧杆进行弧形转动，确保托盘表面放置的晶圆进行平稳的下降，从而避免托盘上表面放置的晶圆与压膜辊之间的挤压力过大，避免晶圆发生破损。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆涂膜领域，更具体地说，尤其是涉及到一种晶圆压膜机。
背景技术
晶圆片上的电路层制作完成后，需要对晶圆片的背面进行减薄，使其达到所需的厚度，超薄厚度的晶圆片容易弯曲，因此需要使用到压膜机对晶圆片进行贴膜，通过膜棒的旋转，从而将膜贴附在晶圆片的表面，但是由于晶圆片在进行减薄的过程中，会产生部分的废屑，废屑容易残留在晶圆片的表面，在晶圆片的表面形成尖锐的凸块，直接传输进入到压膜台上进行压膜，尖锐的凸块与膜棒上的膜发生接触，容易将膜刺破，导致膜发生破损，同时膜棒与晶圆片上尖锐的凸块之间形成的挤压力度增大，这时晶圆片自身容易发生破裂。
发明内容
本发明实现技术目的所采用的技术方案是：该一种晶圆压膜机，其结构包括压膜主机、箱门、传输皮带、支撑架、控制面板，所述压膜主机前端表面与箱门相铰接，所述传输皮带安装在支撑架内侧端，并且支撑架贯穿于压膜主机下端内部，所述传输皮带位于压膜主机内部，所述控制面板设在支撑架右端前表面，并且控制面板与压膜主机电连接，所述压膜主机包括机箱、放卷辊、压膜辊、收卷辊、清理装置、下沉装置，所述支撑架贯穿于机箱下端内部，并且放卷辊设在机箱左侧内部，所述收卷辊安装在机箱中部，并且收卷辊位于下沉装置正上方，所述收卷辊设在机箱右侧内部，所述清理装置固定安装在机箱左侧内部，并且清理装置位于放卷辊正下方，所述清理装置下端位于传输皮带上方，所述下沉装置安装在传输皮带中部。
作为本发明的进一步改进，所述清理装置包括调节喷气机构、刮除机构，所述调节喷气机构外侧端固定安装在机箱左侧内部，所述调节喷气机构内部下端与刮除机构外侧端相固定，并且刮除机构下端位于传输皮带上方，所述刮除机构呈左端低右端高的倾斜角度安装在调节喷气机构的下端。
作为本发明的进一步改进，所述调节喷气机构包括导向框、滑动块、伸缩软管、导气管、喷嘴，所述滑动块滑动安装在导向框下端内部，并且滑动块与刮除机构外侧端相固定，所述滑动块与伸缩软管下端相固定，所述伸缩软管安装在导向框内部，并且伸缩软管与导气管内部相贯通，所述导气管与导向框上端相固定，所述导气管下端设有喷嘴并且相贯通，所述导向框、滑动块和伸缩软管均设有两个，分别与导气管的两端进行连接，并且伸缩软管呈褶皱型结构，采用橡胶材质，具有一定的回弹性，所述喷嘴共设有十个，并且等距分布在导气管的下端。
作为本发明的进一步改进，所述刮除机构包括升降柱、扭力轴、刮板、刮片，所述升降柱外侧端与滑动块相焊接，所述刮板上端通过扭力轴与升降柱内部相铰接，所述刮板底部设有刮片，所述刮板下端呈倒圆角结构，并且底部的刮片呈三棱柱结构。
作为本发明的进一步改进，所述下沉装置包括固定底座、导向片、承托机构，所述固定底座固定安装在传输皮带中部，所述导向片设在固定底座上端外侧，所述承托机构采用间隙配合安装在固定底座上端内部，并且固定底座位于导向片内侧，所述导向片共设有两个，呈三棱柱结构，并且两个导向片左右对称，安装在固定底座上表面左右两端。
作为本发明的进一步改进，所述承托机构包括托盘、滑杆、滑块、连动杆、导向弹簧杆，所述托盘采用间隙配合安装在固定底座上端内部，并且托盘底部设有滑杆，所述滑块滑动安装在滑杆外部，并且滑块顶部与托盘底面相固定，所述滑块与连动杆上端相铰接，所述导向弹簧杆固定安装在固定底座内部，并且导向弹簧杆采用间隙配合贯穿于连动杆内部，所述滑杆、滑块和连动杆均设有两个，并且呈左右对称结构，两个连动杆呈V字型结构。
本发明的有益效果在于：
1.刮板底部与晶圆的上表面进行抵触，通过扭力轴的转动调节，使得刮板进行微转动，避免对晶圆表面造成刮伤，通过滑动块在导向框内部进行滑动，伸缩软管进行伸缩，将伸缩软管内部的气压挤入导气管内部，最后从喷嘴内部进行分散喷出，将晶圆表面剔除后的尖锐的凸块进行吹除，确保晶圆表面保持洁净，防止膜发生破损。
2.通过导向片的倾斜导向，这时晶圆顺着导向片停留在托盘表面，压膜辊再将膜压在晶圆表面的过程中，通过托盘下压，两端的连动杆绕着导向弹簧杆进行弧形转动，确保托盘表面放置的晶圆进行平稳的下降，从而避免托盘上表面放置的晶圆与压膜辊之间的挤压力过大，避免晶圆发生破损。
附图说明
图1为本发明一种晶圆压膜机的结构示意图。
图2为本发明一种压膜主机的内部结构示意图。
图3为本发明一种清理装置的立体结构示意图。
图4为本发明一种调节喷气机构的局部内部结构示意图。
图5为本发明一种刮除机构的内部结构示意图。
图6为本发明一种下沉装置的立体结构示意图。
图7为本发明一种承托机构的结构示意图。
图中：压膜主机-1、箱门-2、传输皮带-3、支撑架-4、控制面板-5、机箱-11、放卷辊-12、压膜辊-13、收卷辊-14、清理装置-15、下沉装置-16、调节喷气机构-151、刮除机构-152、导向框-51a、滑动块-51b、伸缩软管-51c、导气管-51d、喷嘴-51e、升降柱-52a、扭力轴-52b、刮板-52c、刮片-52d、固定底座-161、导向片-162、承托机构-163、托盘-63a、滑杆-63b、滑块-63c、连动杆-63d、导向弹簧杆-63e。
具体实施方式
以下结合附图对本发明做进一步描述：
实施例1：
如附图1至附图5所示：
本发明一种晶圆压膜机，其结构包括压膜主机1、箱门2、传输皮带3、支撑架4、控制面板5，所述压膜主机1前端表面与箱门2相铰接，所述传输皮带3安装在支撑架4内侧端，并且支撑架4贯穿于压膜主机1下端内部，所述传输皮带3位于压膜主机1内部，所述控制面板5设在支撑架4右端前表面，并且控制面板5与压膜主机1电连接，所述压膜主机1包括机箱11、放卷辊12、压膜辊13、收卷辊14、清理装置15、下沉装置16，所述支撑架4贯穿于机箱11下端内部，并且放卷辊12设在机箱11左侧内部，所述收卷辊14安装在机箱11中部，并且收卷辊14位于下沉装置16正上方，所述收卷辊14设在机箱11右侧内部，所述清理装置15固定安装在机箱11左侧内部，并且清理装置15位于放卷辊12正下方，所述清理装置15下端位于传输皮带3上方，所述下沉装置16安装在传输皮带3中部。
其中，所述清理装置15包括调节喷气机构151、刮除机构152，所述调节喷气机构151外侧端固定安装在机箱11左侧内部，所述调节喷气机构151内部下端与刮除机构152外侧端相固定，并且刮除机构152下端位于传输皮带3上方，所述刮除机构152呈左端低右端高的倾斜角度安装在调节喷气机构151的下端，倾斜的角度利于将晶圆表面残留的尖锐的凸块进行剔除。
其中，所述调节喷气机构151包括导向框51a、滑动块51b、伸缩软管51c、导气管51d、喷嘴51e，所述滑动块51b滑动安装在导向框51a下端内部，并且滑动块51b与刮除机构152外侧端相固定，所述滑动块51b与伸缩软管51c下端相固定，所述伸缩软管51c安装在导向框51a内部，并且伸缩软管51c与导气管51d内部相贯通，所述导气管51d与导向框51a上端相固定，所述导气管51d下端设有喷嘴51e并且相贯通，所述导向框51a、滑动块51b和伸缩软管51c均设有两个，分别与导气管51d的两端进行连接，并且伸缩软管51c呈褶皱型结构，采用橡胶材质，具有一定的回弹性，利于进行挤压伸缩从而改变自身内部的气压，将气压挤压进入到导气管51d内部，所述喷嘴51e共设有十个，并且等距分布在导气管51d的下端，利于将导气管51d内部的气体进行分散喷出，从而对晶圆表面残留的尖锐的凸块进行吹除，提高晶圆表面的洁净度。
其中，所述刮除机构152包括升降柱52a、扭力轴52b、刮板52c、刮片52d，所述升降柱52a外侧端与滑动块51b相焊接，所述刮板52c上端通过扭力轴52b与升降柱52a内部相铰接，所述刮板52c底部设有刮片52d，所述刮板52c下端呈倒圆角结构，并且底部的刮片52d呈三棱柱结构，提高对部分细小的凸块进行剔除的效果，同时对晶圆表面起到一定的保护作用。
本实施例的具体使用方式与作用：
本发明中，将晶圆放置在左端的传输皮带3上，通过传输皮带3对晶圆进行传输，传输的过程中，刮板52c底部与晶圆的上表面进行抵触，抵触的过程中，通过扭力轴52b的转动调节，使得刮板52c进行微转动，避免对晶圆表面造成刮伤，同时通过刮片52d提高对晶圆表面细小的尖锐的凸块进行剔除，抵触的同时升降柱52a进行升降，通过滑动块51b在导向框51a内部进行滑动，提高升降柱52a升降的平稳度，同时滑动块51b对伸缩软管51c进行挤压，这时伸缩软管51c进行伸缩，内部的气压发生改变，从而将伸缩软管51c内部的气压挤入导气管51d内部，最后从喷嘴51e内部进行分散喷出，将晶圆表面剔除后的尖锐的凸块进行吹除，对晶圆表面再次进行清理，确保晶圆表面保持洁净，接着晶圆传导到压膜辊13的正下端，通过放卷辊12对膜进行放卷，而压膜辊13将膜压在晶圆的表面，从而对晶圆表面进行压膜工作，防止膜发生破损。
实施例2：
如附图6至附图7所示：
其中，所述下沉装置16包括固定底座161、导向片162、承托机构163，所述固定底座161固定安装在传输皮带3中部，所述导向片162设在固定底座161上端外侧，所述承托机构163采用间隙配合安装在固定底座161上端内部，并且固定底座161位于导向片162内侧，所述导向片162共设有两个，呈三棱柱结构，并且两个导向片162左右对称，安装在固定底座161上表面左右两端，对左侧的传输皮带3上进行传输的晶圆进行导向移动传输到承托机构163表面，同时将晶圆从承托机构163再到导向传输到右侧的传输皮带3上。
其中，所述承托机构163包括托盘63a、滑杆63b、滑块63c、连动杆63d、导向弹簧杆63e，所述托盘63a采用间隙配合安装在固定底座161上端内部，并且托盘63a底部设有滑杆63b，所述滑块63c滑动安装在滑杆63b外部，并且滑块63c顶部与托盘63a底面相固定，所述滑块63c与连动杆63d上端相铰接，所述导向弹簧杆63e固定安装在固定底座161内部，并且导向弹簧杆63e采用间隙配合贯穿于连动杆63d内部，所述滑杆63b、滑块63c和连动杆63d均设有两个，并且呈左右对称结构，两个连动杆63d呈V字型结构，通过连动杆63d之间角度的改变，使得托盘63a进行平稳的下沉，从而避免托盘63a上表面放置的晶圆与压膜辊13之间的挤压力过大，避免晶圆发生破损。
本实施例的具体使用方式与作用：
本发明中，通过传输皮带3将晶圆传输到导向片162上，通过导向片162的倾斜导向，这时晶圆顺着导向片162停留在托盘63a表面，通过固定底座161两端呈弧面凹面，避免与进行转动的传输皮带3发生碰撞，确保传输皮带3对晶圆进行正常的传输，压膜辊13再将膜压在晶圆表面的过程中，通过托盘63a下压，这时滑块63c在滑杆63b进行滑动，从而使得两端的连动杆63d绕着导向弹簧杆63e进行弧形转动，确保托盘63a表面放置的晶圆进行平稳的下降，从而避免托盘63a上表面放置的晶圆与压膜辊13之间的挤压力过大，避免晶圆发生破损。
利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种晶圆压膜机，其结构包括压膜主机(1)、箱门(2)、传输皮带(3)、支撑架(4)、控制面板(5)，所述压膜主机(1)前端表面与箱门(2)相铰接，所述传输皮带(3)安装在支撑架(4)内侧端，并且支撑架(4)贯穿于压膜主机(1)下端内部，所述传输皮带(3)位于压膜主机(1)内部，所述控制面板(5)设在支撑架(4)右端前表面，并且控制面板(5)与压膜主机(1)电连接，其特征在于：
所述压膜主机(1)包括机箱(11)、放卷辊(12)、压膜辊(13)、收卷辊(14)、清理装置(15)、下沉装置(16)，所述支撑架(4)贯穿于机箱(11)下端内部，并且放卷辊(12)设在机箱(11)左侧内部，所述收卷辊(14)安装在机箱(11)中部，并且收卷辊(14)位于下沉装置(16)正上方，所述收卷辊(14)设在机箱(11)右侧内部，所述清理装置(15)固定安装在机箱(11)左侧内部，并且清理装置(15)位于放卷辊(12)正下方，所述清理装置(15)下端位于传输皮带(3)上方，所述下沉装置(16)安装在传输皮带(3)中部。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述清理装置(15)包括调节喷气机构(151)、刮除机构(152)，所述调节喷气机构(151)外侧端固定安装在机箱(11)左侧内部，所述调节喷气机构(151)内部下端与刮除机构(152)外侧端相固定，并且刮除机构(152)下端位于传输皮带(3)上方。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述调节喷气机构(151)包括导向框(51a)、滑动块(51b)、伸缩软管(51c)、导气管(51d)、喷嘴(51e)，所述滑动块(51b)滑动安装在导向框(51a)下端内部，并且滑动块(51b)与刮除机构(152)外侧端相固定，所述滑动块(51b)与伸缩软管(51c)下端相固定，所述伸缩软管(51c)安装在导向框(51a)内部，并且伸缩软管(51c)与导气管(51d)内部相贯通，所述导气管(51d)与导向框(51a)上端相固定，所述导气管(51d)下端设有喷嘴(51e)并且相贯通。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述刮除机构(152)包括升降柱(52a)、扭力轴(52b)、刮板(52c)、刮片(52d)，所述升降柱(52a)外侧端与滑动块(51b)相焊接，所述刮板(52c)上端通过扭力轴(52b)与升降柱(52a)内部相铰接，所述刮板(52c)底部设有刮片(52d)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述下沉装置(16)包括固定底座(161)、导向片(162)、承托机构(163)，所述固定底座(161)固定安装在传输皮带(3)中部，所述导向片(162)设在固定底座(161)上端外侧，所述承托机构(163)采用间隙配合安装在固定底座(161)上端内部，并且固定底座(161)位于导向片(162)内侧。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆压膜机，其特征在于：所述承托机构(163)包括托盘(63a)、滑杆(63b)、滑块(63c)、连动杆(63d)、导向弹簧杆(63e)，所述托盘(63a)采用间隙配合安装在固定底座(161)上端内部，并且托盘(63a)底部设有滑杆(63b)，所述滑块(63c)滑动安装在滑杆(63b)外部，并且滑块(63c)顶部与托盘(63a)底面相固定，所述滑块(63c)与连动杆(63d)上端相铰接，所述导向弹簧杆(63e)固定安装在固定底座(161)内部，并且导向弹簧杆(63e)采用间隙配合贯穿于连动杆(63d)内部。
Priority Applications (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114543619A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-05-27 | 靳雪姣 | 一种地质灾害预防用裂缝大小检测装置 |
| CN115364654A (zh) * | 2022-08-04 | 2022-11-22 | 朱庭伟 | 一种工业炉窑烟气的湿法脱硫脱硝设备 |
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2021
- 2021-02-03 CN CN202110147593.4A patent/CN112967952A/zh not_active Withdrawn
Cited By (2)
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| CN114543619A (zh) * | 2022-02-15 | 2022-05-27 | 靳雪姣 | 一种地质灾害预防用裂缝大小检测装置 |
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