CN112946125A - 氟气中氟化氢的分析装置及分析方法 - Google Patents

氟气中氟化氢的分析装置及分析方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112946125A
CN112946125A CN202110142239.2A CN202110142239A CN112946125A CN 112946125 A CN112946125 A CN 112946125A CN 202110142239 A CN202110142239 A CN 202110142239A CN 112946125 A CN112946125 A CN 112946125A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
valve
hydrogen fluoride
column
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110142239.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112946125B (zh
Inventor
杨建中
华小林
申黎明
李嘉磊
陈施华
于睿洁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujian Deer Technology Corp
Original Assignee
Fujian Deer Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujian Deer Technology Corp filed Critical Fujian Deer Technology Corp
Priority to CN202110142239.2A priority Critical patent/CN112946125B/zh
Publication of CN112946125A publication Critical patent/CN112946125A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112946125B publication Critical patent/CN112946125B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
    • G01N30/16—Injection
    • G01N30/20—Injection using a sampling valve
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/26—Conditioning of the fluid carrier; Flow patterns
    • G01N30/38—Flow patterns
    • G01N30/46—Flow patterns using more than one column
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/86—Signal analysis
    • G01N30/8675—Evaluation, i.e. decoding of the signal into analytical information
    • G01N30/8679—Target compound analysis, i.e. whereby a limited number of peaks is analysed
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02—Column chromatography
    • G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
    • G01N30/16—Injection
    • G01N30/20—Injection using a sampling valve
    • G01N2030/201—Injection using a sampling valve multiport valves, i.e. having more than two ports

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Library & Information Science (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)

Abstract

本发明提供了一种氟气中氟化氢的分析装置及分析方法，所述分析方法包括以下步骤：将十二通阀切换到a、b断开，a、f导通的状态，并通入待测气体到定量杯定量；将十二通阀切换到a、b导通，a、f断开的状态，并通过载气罐推动定量后的样品经过f、e阀门进入氟醚油柱进行氟化氢的分离；在出峰前打开第一GC‑GC二维色谱，通过自动校正好的灵敏度衰减，测定氟化氢的峰面积S1以及其他剩余组分的总峰面积S2；通过氯化钾柱将氟气转化为氯气，并通过氧化铝柱和X担体柱去除其他酸性气体并二次分离；在出峰前打开第二GC‑GC二维色谱，通过自动校正好的灵敏度衰减，氯气的的峰面积S3以及其他剩余气体的峰面积；根据上述数据获取氟化氢以及氟气的含量。

Description

氟气中氟化氢的分析装置及分析方法
技术领域
本发明涉及一种氟气中氟化氢的分析装置及分析方法。
背景技术
目前，国内外在高纯氟气的分析中，对氟化氢的定量存在一定难度。由于氟化氢的特性在氟气中会存在一定的粘黏性，导致氟气在进入分离柱后很难与氟化氢进行有效分离，且分离柱过长(超过10米)会导致分析时间过长，因此无法高效且精确的对氟化氢进行定量，从而对氟气纯度无法进行准确测量，直接影响后续其他产品的生产效率。
发明内容
本发明提供了一种氟气中氟化氢的分析装置及分析方法，可以有效解决上述问题。
本发明是这样实现的：
本发明提供一种氟气中氟化氢的分析装置，包括：
进样单元，包括进气管道、十二通阀、定量杯、第一吸附罐、与所述第一吸附罐连接的真空泵、第二吸附罐、第三吸附罐以及载气罐，其中，所述十二通阀内圈顺序设置a、b、c、d、e、f阀门、外圈顺序设置g、h、i、j、k、l阀门；所述进气管道与a阀门连接，所述定量杯连接于c、f阀门之间，所述第一吸附罐与b阀门连接，所述第二吸附罐与l阀门连接；
分离单元，包括一端连接e阀门的氟醚油柱,以及顺序串联的氯化钾柱，氧化铝柱和X担体柱，所述氯化钾柱的另一端与j阀门连接；
分析单元，包括第一GC-GC二维色谱以及第二GC-GC二维色谱，所述第一GC-GC二维色谱的参考通道分别连接所述载气罐以及k阀门，所述第一GC-GC二维色谱的测量通道分别连接所述氟醚油柱以及i阀门；所述第二GC-GC二维色谱的参考通道分别连接所述载气罐以及d阀门，所述第二GC-GC二维色谱的测量通道分别连接所述X担体柱以及所述第三吸附罐。
作为进一步改进的，所述载气单元为He气载气单元。
作为进一步改进的，所述氟醚油柱中固定液比固定相的质量比为0.3～0.5:1，且固定液为YLVAC06/16，固定相为401担体。
作为进一步改进的，所述氟醚油柱中固定液比固定相的质量比为0.4:1。
作为进一步改进的，所述氟醚油柱的长度为1～1.5米,所述氯化钾柱的长度为1～1.5米，所述氧化铝柱的长度为0.6～1米，所述X担体柱的长度为1.4～1.6米。
本发明进一步提供一种上述的氟气中氟化氢的分析装置的分析方法，包括以下步骤：
S1，将十二通阀切换到a、b断开，a、f导通的状态，并进气管道通入待测气体到定量杯定量；
S2，将十二通阀切换到a、b导通，a、f断开的状态，并通过载气罐推动定量后的样品经过f、e阀门进入氟醚油柱进行氟化氢的分离；
S3，在出峰前打开第一GC-GC二维色谱，通过自动校正好的灵敏度衰减，测定氟化氢的峰面积S1以及其他剩余组分的总峰面积S2；
S4，通过氯化钾柱将氟气转化为氯气，并通过氧化铝柱和X担体柱去除其他酸性气体并二次分离；
S5，在出峰前打开第二GC-GC二维色谱，通过自动校正好的灵敏度衰减，氯气的的峰面积S3以及其他剩余气体的峰面积；
S6，根据步骤S3以及S5的数据获取氟化氢以及氟气的含量。
作为进一步改进的，载气罐中载气流速为25～35mL/min，温度为80～100℃。
作为进一步改进的，在步骤S6中，所述根据步骤S3以及S5的数据获取氟化氢以及氟气的含量的步骤包括：
S61，根据VHF％＝S1/(S2+S1)％获取所述氟化氢的含量，并根据VF2％＝S3/(S2+S1)％获取所述氟气的含量。
本发明的有益效果是：其一、本发明通过氟醚油柱可以对所述氟气和氟化氢进行有效良好的分离，从而解决氟气和氟化氢强粘黏性不易分离的技术问题，并且可以大大减小分离柱的长度(从10米到1.5米左右)，大大提高检测和分析的准确性及效率；其二，通过将氟气转化为氯气进一步有利于氯气与其他成分(如，空气)的有效分离，并且还可以进一步大大减小分离柱的长度(从20米到2.5米左右)、缩短保留时间，进一步提高检测和分析的准确性及效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1-2是本发明实施例提供的氟气中氟化氢的分析装置使用时的结构示意图。
图3是本发明实施例提供的氟气中氟化氢的分析方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
参照图1所示，本发明实施例提供一种氟气中氟化氢的分析装置，包括：
进样单元10，包括进气管道101、十二通阀102、定量杯103、第一吸附罐104、与所述第一吸附罐104连接的真空泵105、第二吸附罐106、第三吸附罐107以及载气罐108，其中，所述十二通阀102内圈顺序设置a、b、c、d、e、f阀门、外圈顺序设置g、h、i、j、k、l阀门；所述进气管道101与a阀门连接，所述定量杯103连接于c、f阀门之间，所述第一吸附罐104与b阀门连接，所述第二吸附罐106与l阀门连接；
分离单元12，包括一端连接e阀门的氟醚油柱121,以及顺序串联的氯化钾柱122，氧化铝柱123和X担体柱124，所述氯化钾柱122的另一端与j阀门连接；
分析单元11，包括第一GC-GC二维色谱112以及第二GC-GC二维色谱111，所述第一GC-GC二维色谱112的参考通道分别连接所述载气罐108以及k阀门，所述第一GC-GC二维色谱112的测量通道分别连接所述氟醚油柱121以及i阀门；所述第二GC-GC二维色谱111的参考通道分别连接所述载气罐108以及d阀门，所述第二GC-GC二维色谱111的测量通道分别连接所述X担体柱124以及所述第三吸附罐107。
所述十二通阀102中a、b、c、d、e、f阀门有两种切换状态，其一，a、b联通，c、d联通，e、f联通状态，此时b、c断开，d、e断开，f、a断开；其二，a、b断开，c、d断开，e、f断开状态，此时b、c联通，d、e联通，f、a联通。所述十二通阀102中g、h、i、j、k、l阀门有两种切换状态，其一，g、h联通，i、j联通，k、l联通状态，此时h、i断开，i、j断开，l、g断开；其二，i、j断开，k、l断开，g、h断开状态，此时h、i联通，i、j联通，l、g联通。可以理解，通过所述十二通阀102的设置及切换，从而避免人为操作影响检测的准确性。所述定量杯103的体积为5～10毫升，在其中一个实施例中，所述定量杯103的体积为5。作为进一步改进的，所述载气单元21为He气载气单元。所述第一吸附罐104以及所述真空泵105用于将管道中残余的气体去除。
作为进一步改进的，所述氟醚油柱121中固定液比固定相的质量比为0.3～0.5:1，且固定液为YLVAC06/16，固定相为401担体。在其中一个实施例中，所述氟醚油柱121中固定液比固定相的质量比为0.4:1。作为进一步改进的，优选的，所述氟醚油柱121的长度为1～1.5米,所述氯化钾柱122的长度为1～1.5米，所述氧化铝柱123的长度为0.6～1米，所述X担体柱124的长度为1.4～1.6米。通过反复测试，所述氟醚油柱121的长度达到1～1.5米就可以使所述氟化氢和氟气完全分离，更优选的，所述氟醚油柱121的长度达到1.1～1.2米。所述氯化钾柱122用于将氟气转化为氯气，从而使后续氯气与氧气、氮气可以进行良好的分离。通过多次试验，所述氯化钾柱122的长度为1～1.5米就可以使氟气完全转化为氯气，更优选的，所述氟醚油柱121的长度达到1.2～1.4米。通过将氟气转化为氯气，从而可以减少后续分离柱的长度，从原来的分离长度20米，减少到2.5米左右。在其中一个实施例中，所述氟醚油柱121的长度为1.2米,所述氯化钾柱122的长度为1.2米，所述氧化铝柱123的长度为0.8米，所述X担体柱124的长度为1.5米。
请参照图3，本发明实施例进一步提供一种氟气中氟化氢的分析装置的分析方法，包括以下步骤：
S1，将十二通阀102切换到a、b断开，a、f导通的状态，并进气管道101通入待测气体到定量杯22定量；
S2，将十二通阀102切换到a、b导通，a、f断开的状态，并通过载气罐108推动定量后的样品经过f、e阀门进入氟醚油柱121进行氟化氢的分离；
S3，在出峰前打开第一GC-GC二维色谱112，通过自动校正好的灵敏度衰减，测定氟化氢的峰面积S1以及其他剩余组分的总峰面积S2；
S4，通过氯化钾柱122将氟气转化为氯气，并通过氧化铝柱123和X担体柱124去除其他酸性气体并二次分离；
S5，在出峰前打开第二GC-GC二维色谱111，通过自动校正好的灵敏度衰减，氯气的的峰面积S3以及其他剩余气体的峰面积；
S6，根据步骤S3以及S5的数据获取氟化氢以及氟气的含量。
作为进一步改进的，载气罐108中载气流速为25～35mL/min，温度为80～100℃。
作为进一步改进的，在步骤S6中，所述根据步骤S3以及S5的数据获取氟化氢以及氟气的含量的步骤包括：
S61，根据VHF％＝S1/(S2+S1)％获取所述氟化氢的含量，并根据VF2％＝S3/(S2+S1)％获取所述氟气的含量。
以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种氟气中氟化氢的分析装置，其特征在于，包括：
进样单元(10)，包括进气管道(101)、十二通阀(102)、定量杯(103)、第一吸附罐(104)、与所述第一吸附罐(104)连接的真空泵(105)、第二吸附罐(106)、第三吸附罐(107)以及载气罐(108)，其中，所述十二通阀(102)内圈顺序设置a、b、c、d、e、f阀门、外圈顺序设置g、h、i、j、k、l阀门；所述进气管道(101)与a阀门连接，所述定量杯(103)连接于c、f阀门之间，所述第一吸附罐(104)与b阀门连接，所述第二吸附罐(106)与l阀门连接；
分离单元(12)，包括一端连接e阀门的氟醚油柱(121),以及顺序串联的氯化钾柱(122)，氧化铝柱(123)和X担体柱(124)，所述氯化钾柱(122)的另一端与j阀门连接；
分析单元(11)，包括第一GC-GC二维色谱(112)以及第二GC-GC二维色谱(111)，所述第一GC-GC二维色谱(112)的参考通道分别连接所述载气罐(108)以及k阀门，所述第一GC-GC二维色谱(112)的测量通道分别连接所述氟醚油柱(121)以及i阀门；所述第二GC-GC二维色谱(111)的参考通道分别连接所述载气罐(108)以及d阀门，所述第二GC-GC二维色谱(111)的测量通道分别连接所述X担体柱(124)以及所述第三吸附罐(107)。
2.如权利要求1所述的氟气中氟化氢的分析装置，其特征在于，所述载气单元(21)为He气载气单元。
3.如权利要求1所述的氟气中氟化氢的分析装置，其特征在于，所述氟醚油柱(121)中固定液比固定相的质量比为0.3～0.5:1，且固定液为YLVAC06/16，固定相为401担体。
4.如权利要求1所述的氟气中氟化氢的分析装置，其特征在于，所述氟醚油柱(121)中固定液比固定相的质量比为0.4:1。
5.如权利要求1所述的氟气中氟化氢的分析装置，其特征在于，所述氟醚油柱(121)的长度为1～1.5米,所述氯化钾柱(122)的长度为1～1.5米，所述氧化铝柱(123)的长度为0.6～1米，所述X担体柱(124)的长度为1.4～1.6米。
6.一种如权利要求1所述的氟气中氟化氢的分析装置的分析方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，将十二通阀(102)切换到a、b断开，a、f导通的状态，并进气管道(101)通入待测气体到定量杯(22)定量；
S2，将十二通阀(102)切换到a、b导通，a、f断开的状态，并通过载气罐(108)推动定量后的样品经过f、e阀门进入氟醚油柱(121)进行氟化氢的分离；
S3，在出峰前打开第一GC-GC二维色谱(112)，通过自动校正好的灵敏度衰减，测定氟化氢的峰面积S1以及其他剩余组分的总峰面积S2；
S4，通过氯化钾柱(122)将氟气转化为氯气，并通过氧化铝柱(123)和X担体柱(124)去除其他酸性气体并二次分离；
S5，在出峰前打开第二GC-GC二维色谱(111)，通过自动校正好的灵敏度衰减，氯气的的峰面积S3以及其他剩余气体的峰面积；
S6，根据步骤S3以及S5的数据获取氟化氢以及氟气的含量。
7.一种如权利要求6所述的氟气中氟化氢的分析装置的分析方法，其特征在于，载气罐(108)中载气流速为25～35mL/min，温度为80～100℃。
8.一种如权利要求6所述的氟气中氟化氢的分析装置的分析方法，其特征在于，在步骤S6中，所述根据步骤S3以及S5的数据获取氟化氢以及氟气的含量的步骤包括：
S61，根据VHF％＝S1/(S2+S1)％获取所述氟化氢的含量，并根据VF2％＝S3/(S2+S1)％获取所述氟气的含量。
CN202110142239.2A 2021-02-02 2021-02-02 氟气中氟化氢的分析装置及分析方法 Active CN112946125B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110142239.2A CN112946125B (zh) 2021-02-02 2021-02-02 氟气中氟化氢的分析装置及分析方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110142239.2A CN112946125B (zh) 2021-02-02 2021-02-02 氟气中氟化氢的分析装置及分析方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112946125A true CN112946125A (zh) 2021-06-11
CN112946125B CN112946125B (zh) 2021-11-16

Family

ID=76241409

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110142239.2A Active CN112946125B (zh) 2021-02-02 2021-02-02 氟气中氟化氢的分析装置及分析方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112946125B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114200039A (zh) * 2021-11-25 2022-03-18 天津海嘉斯迪新材料合伙企业(有限合伙) 一种检测氟气中hf含量的方法
CN114814039A (zh) * 2022-05-24 2022-07-29 福建德尔科技股份有限公司 氟气中杂质含量分析方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1639058A (zh) * 2001-06-29 2005-07-13 昭和电工株式会社 高纯氟气体、其生产方法和用途和分析高纯氟气体中的痕量不纯物的方法
KR20100099611A (ko) * 2009-03-03 2010-09-13 (주)원익머트리얼즈 불소가스 불순물 분석 장치
CN102574682A (zh) * 2009-10-16 2012-07-11 苏威氟有限公司 高纯度氟气、其生产和用途、以及用于监测氟气中杂质的方法
CN104914172A (zh) * 2014-03-10 2015-09-16 福建省邵武市永晶化工有限公司 一种气相色谱法测量含氟混合气体中氟气含量的方法
CN107290437A (zh) * 2016-03-31 2017-10-24 中核新能核工业工程有限责任公司 利用色谱仪间接测量氟气含量的方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1639058A (zh) * 2001-06-29 2005-07-13 昭和电工株式会社 高纯氟气体、其生产方法和用途和分析高纯氟气体中的痕量不纯物的方法
KR20100099611A (ko) * 2009-03-03 2010-09-13 (주)원익머트리얼즈 불소가스 불순물 분석 장치
CN102574682A (zh) * 2009-10-16 2012-07-11 苏威氟有限公司 高纯度氟气、其生产和用途、以及用于监测氟气中杂质的方法
CN104914172A (zh) * 2014-03-10 2015-09-16 福建省邵武市永晶化工有限公司 一种气相色谱法测量含氟混合气体中氟气含量的方法
CN107290437A (zh) * 2016-03-31 2017-10-24 中核新能核工业工程有限责任公司 利用色谱仪间接测量氟气含量的方法

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
KNOWLES J G ET AL.: "A method for the simultaneous detection of hydrogen fluoride and fluorine", 《TALANTA》 *
刘渊 等: "色谱法氟气纯度分析仪的研制", 《原子能科学技术》 *
张习林 等: "氟气分析仪的研究", 《全国铀转化学术交流会论文集》 *
沈敏新 等: "氟气纯度的气相色谱分析", 《原子能科学技术》 *
王子鹏 等: "电子捕获检测器气相色谱法分析氟化氢", 《分析化学》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114200039A (zh) * 2021-11-25 2022-03-18 天津海嘉斯迪新材料合伙企业(有限合伙) 一种检测氟气中hf含量的方法
CN114814039A (zh) * 2022-05-24 2022-07-29 福建德尔科技股份有限公司 氟气中杂质含量分析方法
CN114814039B (zh) * 2022-05-24 2022-11-11 福建德尔科技股份有限公司 氟气中杂质含量分析方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112946125B (zh) 2021-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112946125B (zh) 氟气中氟化氢的分析装置及分析方法
CN112255355B (zh) 非甲烷总烃分析方法
CN102374989A (zh) 水中氨氮的自动分析仪和自动分析方法
CN112240918A (zh) 一种非甲烷总烃和苯系物的检测系统
CN113567609A (zh) 一种气相色谱法测定医用及航空呼吸用氧分析系统
CN109633181A (zh) 一种血浆中变肾上腺素和去甲变肾上腺素的检测试剂盒
CN213903428U (zh) 非甲烷总烃分析装置
Olsen et al. Memory effect in deuterium analysis by continuous flow isotope ratio measurement
CN111257473A (zh) 非甲烷总烃在线检测装置
CN101509904B (zh) 同时分析水样中硅酸盐和磷酸盐的低压离子色谱法
CN208953348U (zh) 一种天然气中汞的分离、提纯系统
CN205679577U (zh) 一种色谱仪气样稳定进样器
CN102967678B (zh) 一种用于简单测定水中氧稳定同位素比率的离线前处理装置和方法
CN104897814A (zh) 采用dnph-硅胶吸附小柱结合hplc-uv检测大气醛酮浓度的方法
CN112129855A (zh) 一种气相色谱法测定空气中氯乙酸浓度的方法及其应用
CN212586315U (zh) 一种天然气中烃类气体组分碳同位素分离富集装置
CN104267198B (zh) 一种用于挥发性有机物分析仪的自动标定设备及方法
JP2008241517A (ja) 試料分析装置
CN101975830B (zh) 一种可同时测定气体中氧气和氮气的气相色谱仪
CN213986335U (zh) 一种非甲烷总烃和苯系物的检测系统
CN103776931A (zh) 工作场所空气中的乙胺的测定方法
Kubasik et al. Rapid analysis for total mercury in urine and plasma by flameless atomic absorption analysis
CN212180698U (zh) 非甲烷总烃的在线分析装置
CN113588881A (zh) 一种有机液体储氢材料可用氢气量的在线监测方法
CN209656614U (zh) 一种气体组分在线测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: No. 6, Gongye Road, Jiaoyang industrial concentration zone, Jiaoyang Town, Shanghang County, Longyan City, Fujian Province, 364204

Patentee after: Fujian del Technology Co.,Ltd.

Address before: No. 6, Gongye Road, Jiaoyang industrial concentration zone, Jiaoyang Town, Shanghang County, Longyan City, Fujian Province, 364000

Patentee before: FUJIAN DEER TECHNOLOGY CO.,LTD.

CP03 Change of name, title or address