CN112897990A - 一种用于制备高密度ito靶材的离心喷雾造粒工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，属于ITO靶材加工技术领域，该离心喷雾造粒工艺包括以下步骤：S1、称取In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到浆料；S2、将浆料通过砂磨机球磨，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；S3、通过风机抽取外界空气，以使空气依次经过滤器、加热器和集气管后通过造粒用的罐体内的布气管排入罐体，直至罐体内布满温度为130‑240℃的热气；将待造粒浆液通过进料管输送，以使待造粒浆液通过雾化器雾化后喷入罐体，从而得到所需造粒粉。本发明解决了ITO靶材喷雾干燥过程中，雾状原料干燥速率较慢的问题。

Description

一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺
技术领域
本发明涉及ITO靶材加工技术领域，更具体地说，它涉及一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺。
背景技术
ITO靶材是制备ITO导电玻璃的重要原料。ITO靶材除应用在液晶显示器(LCD)面板外，还可应用在许多电子产品上，如触摸屏、有机发光平面显示器、等离子体显示器、汽车防热除雾玻璃、太阳能电池、光电转换器、透明加热器防静电膜、红外线反射装置等。ITO靶材经溅射后可在玻璃上形成透明ITO导电薄膜，其性能是决定导电玻璃产品质量、生产效率、成品率的关键因素。导电玻璃生产商要求生产过程中能够稳定连续地生产出电阻和透过率均匀、不波动的导电玻璃，故ITO靶材应在整个镀膜过程中保持性能不变。
经成形工艺处理后的ITO素坯只是半成品，素坯需要进行进一步的烧结处理，以得到ITO靶材。ITO素坯的烧结方法主要包括热等静压法、热压法和常压烧结法。常压烧结法又称气氛烧结法，是指以预压方式制造高密度的靶坯，在一定的气氛和温度下烧结的方法。常压烧结法由于对气氛和温度分别进行了严格的控制，避免了晶粒的长大，提高了晶粒分布的均匀性。该法具备生产成本低、靶材密度高、可制备大尺寸靶材等优点。
高密度ITO靶材加工过程中需要通过离心喷雾造粒机进行喷雾造粒，以形成ITO颗粒。然而传统离心喷雾造粒机造粒过程中，由于原料从雾化喷嘴喷出，而用来干燥的气体只从罐体一侧进入，因此除这一侧外，其余罐体位置的雾状原料与气体接触面积小，干燥速率较慢，从而降低了ITO靶材的喷雾干燥质量。
有鉴于此，本发明提高一种新型的用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其解决了ITO靶材喷雾干燥过程中，雾状原料干燥速率较慢的问题。
为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：
一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，包括以下步骤：
S1、按照In2O3/SnO2质量比为9：1的比例，称取纯度大于99.99％的In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到浆料；
S2、将步骤S1中的所述浆料通过砂磨机球磨10-30min，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；
S3、通过风机抽取外界空气，以使空气依次经过滤器、加热器和集气管后通过造粒用的罐体内的布气管排入罐体，直至所述罐体内布满温度为130-240℃的热气；将步骤S2中的所述待造粒浆液通过进料管输送，以使所述待造粒浆液通过雾化器雾化后喷入所述罐体，雾化后的所述待造粒浆液在所述罐体内与热气接触后，形成造粒粉，并从所述罐体上的出料口离心排出，从而得到所需造粒粉。
进一步优选为：所述待造粒浆液雾化后喷入所述罐体过程中，开启所述罐体底部的电机，以使电机带动所述罐体内底部的托盘转动，所述托盘转动过程中，所述布气管在所述罐体内上下移动。
进一步优选为：所述托盘上开设有用于热气通过的气孔，所述罐体内的热气通过出气口向外排出，所述出气口位于所述托盘下方且设置在所述罐体侧壁上。
进一步优选为：所述罐体为圆筒状，所述托盘的俯视投影为圆形且直径与所述罐体内径相同，所述托盘顶面的水平高度由中心向四周逐渐减小，所述出料口位于所述托盘边缘一侧。
进一步优选为：所述托盘顶面固定有沿所述托盘径向方向设置的隔板，所述隔板设置有多个，多个所述隔板均布在所述托盘上。
进一步优选为：所述隔板上固定有端面凸轮，所述端面凸轮中心轴与所述罐体、托盘中心轴重合，所述布气管底部安装有滚轮，所述滚轮与所述端面凸轮顶部的轮廓曲线面接触，所述布气管与所述罐体上下滑动配合。
进一步优选为：所述布气管包括管体和固定块；
所述管体上下两端均为封闭端，所述管体包括圆弧侧板和与所述圆弧侧板固定的平面侧板，所述平面侧板位于所述圆弧侧板靠近所述罐体内壁一侧，所述圆弧侧板上开设有用于热气排出的通孔，所述平面侧板上开设有开口，所述集气管与所述布气管通过进气管连接，所述进气管穿过所述罐体侧壁后通过所述开口伸入所述管体内；
所述固定块固定在所述平面侧板的上下两端，所述固定块上固定有第一滑块，所述罐体内壁开设有沿所述管体长度方向设置的第一滑槽，所述第一滑块嵌在所述第一滑槽内且与所述第一滑槽滑动配合。
进一步优选为：所述布气管还包括封口板和弹簧；
所述封口板设置有两个，两个所述封口板分别位于所述进气管的上下且分别与所述进气管的顶面和底面抵紧，所述封口板和所述圆弧侧板分别位于所述平面侧板的相对两侧，所述封口板与所述平面侧板上下滑动配合；
所述弹簧固定在所述固定块和所述封口板之间，所述封口板用于封闭所述开口。
进一步优选为：所述平面侧板在远离所述圆弧侧板一侧设置有第二滑槽，所述第二滑槽长度方向与所述管体长度方向相一致，所述封口板在靠近所述平面侧板一侧固定有与所述第二滑槽相适配的第二滑块，所述第二滑块嵌在所述第二滑槽内且与所述第二滑槽滑动配合。
进一步优选为：所述布气管至少设置有两个，两个所述布气管分别位于所述罐体内部的相对两侧。
综上所述，本发明具有以下有益效果：过滤器可对外界空气进行杂质过滤，以使空气中的颗粒杂质、悬浮杂质等通过过滤器滤除，经过滤器过滤后，气体将通过加热器加热，以使气体温度为130-240℃。集气管用于汇集热气，便于通过集气管将热气分配到两个不同的进气管内，以便通过罐体相对两侧的两个布气管将热气排入罐体内，提高热气在罐体内分布的均匀性。雾化后的待造粒浆液喷出后，将与布气管喷出的热气充分接触，从而形成造粒粉，以便快速干燥，提高了干燥效率和造粒质量。形成的造粒粉将落入到托盘内，由于管体内布满热气，因此托盘也具有较高的温度，从而能对造粒粉进行二次干燥。落入到托盘上的造粒粉将分布在相邻两个隔板之间，电机启动后，转轴将带动托盘转动，在托盘转动下，造粒粉将将沿着托盘顶面通过是出料口向外离心排出。
托盘转动时，端面凸轮将随托盘绕其中心轴转动，由于布气管与罐体上下滑动连接，封口板与平面侧板上下滑动连接，因此端面凸轮转动时，布气管底部滚轮将在端面凸轮的轮廓曲线面转动，而布气管的水平高度将随轮廓曲线面的高度变化而变化，由于热气通过布气管上的通孔排出，因此布气管上下移动过程中，热气的喷出口也将随轮廓曲线面的高度变化而变化，从而使得热气能全方位的喷向罐体，减少死角，提高热气与雾化后造粒浆液的充分接触，提高造粒质量和速率。
附图说明
图1是实施例的结构示意图，主要用于体现离心喷雾造粒过程中，各装置之间的连接关系；
图2是实施例的结构示意图，主要用于体现罐体的结构；
图3是实施例的剖视示意图，主要用于体现罐体的内部结构；
图4是实施例的俯视示意图，主要用于体现罐体的内部结构；
图5是实施例的结构示意图，主要用于体现布气管、端面凸轮和托盘之间的连接结构；
图6是实施例的结构示意图，主要用于体现布气管的结构；
图7是实施例的局部结构示意图，主要用于体现布气管的结构。
图中，1、罐体；2、出气斗；3、支腿；4、出料口；5、电机；6、转轴；7、进料管；8、雾化器；9、布气管；91、管体；911、圆弧侧板；912、平面侧板；92、通孔；93、滚轮；94、固定块；95、封口板；96、弹簧；97、开口；98、第二滑槽；99、第一滑块；10、进气管；11、加热器；12、过滤器；13、风机；14、出气口；15、第一滑槽；16、托盘；17、气孔；18、隔板；19、集气管；20、端面凸轮。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明进行详细描述。
实施例1：一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，如图1-7所示，包括以下步骤：
S1、按照In2O3/SnO2质量比为9：1的比例，称取纯度大于99.99％的In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到固含量为65％的浆料；
S2、将步骤S1中的浆料通过砂磨机球磨20min，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；
S3、通过风机13抽取外界空气，以使空气依次经过滤器12、加热器11和集气管19后通过造粒用的罐体1内的布气管9排入罐体1，直至罐体1内布满温度为180℃的热气；将步骤S2中的待造粒浆液通过进料管7输送，以使待造粒浆液通过雾化器8雾化后喷入罐体1内，雾化后的待造粒浆液在罐体1内与热气接触后，形成造粒粉，并从罐体1上的出料口4离心排出，从而得到所需造粒粉。
优选的，在步骤S1中，分散剂为In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末总粉体质量的2％。
优选的，在步骤S2中，粘结剂质量为浆料质量的3％；消泡剂质量为浆料质量的1％；In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末粒径均为100nm。
优选的，在步骤S3中，待造粒浆液雾化后喷入罐体1过程中，开启罐体1底部的电机5，以使电机5带动罐体1内底部的托盘16转动，托盘16转动过程中，布气管9在罐体1内上下移动。
优选的，在步骤S3中，布气管9至少设置有两个，两个布气管9分别位于罐体1内部的相对两侧，以使热气通过布气管9均匀排出，从而提高热气与雾化后的待造粒浆液的接触面积，以使充分干燥，提高干燥速率和造粒质量。具体的，在本实施例中，布气管9设置有两个，过滤器12、加热器11和集气管19均位于罐体1外部，集气管19与布气管9之间通过进气管10连接。雾化器8安装在罐体1顶部中心，进料管7与雾化器8连接，以使待造粒浆液雾化后从罐体1顶部中心向下喷出。
参照图1-7，具体的，罐体1为圆筒状，托盘16的俯视投影为圆形且直径与罐体1内径相同。为加快造粒粉排出，优选的，托盘16顶面的水平高度由中心向四周逐渐减小。出料口4开设在罐体1一侧，出料口4位于托盘16边缘一侧，以使造粒粉沿托盘16顶面向外离心排出。托盘16上开设有用于热气通过的圆形气孔17，托盘16顶面固定有沿托盘16径向方向设置的隔板18，隔板18设置有多个，多个隔板18均布在托盘16上。气孔17位于相邻隔板18之间，相邻隔板18之间设置有若干个气孔17。罐体1内的热气通过出气口14向外排出，出气口14位于托盘16下方且设置在罐体1侧壁上。具体的，罐体1底部设置有出气斗2，出气口14位于出气斗2一侧。电机5安装在出气斗2下方，电机5输出轴上固定有转轴6，转轴6下端与电机5输出轴连接，上端穿过出气斗2并与托盘16固定，转轴6中心轴与托盘16、罐体1中心轴重合。
在上述技术方案中，过滤器12可对外界空气进行杂质过滤，以使空气中的颗粒杂质、悬浮杂质等通过过滤器12滤除，经过滤器12过滤后，气体将通过加热器11加热，以使气体温度为130-240℃。集气管19用于汇集热气，便于通过集气管19将热气分配到两个不同的进气管10内，以便通过罐体1相对两侧的两个布气管9将热气排入罐体1内，提高热气在罐体1内分布的均匀性。雾化后的待造粒浆液喷出后，将与布气管9喷出的热气充分接触，从而形成造粒粉，以便快速干燥，提高了干燥效率和造粒质量。形成的造粒粉将落入到托盘16内，由于管体91内布满热气，因此托盘16也具有较高的温度，从而能对造粒粉进行二次干燥。落入到托盘16上的造粒粉将分布在相邻两个隔板18之间，电机5启动后，转轴6将带动托盘16转动，在托盘16转动下，造粒粉将将沿着托盘16顶面通过是出料口4向外离心排出。
参照图1-7，隔板18上固定有端面凸轮20，端面凸轮20为圆管状且上端面为轮廓曲线面，端面凸轮20向布气管9方向的水平投影为顶面为斜边的直角梯形。端面凸轮20中心轴与罐体1、托盘16中心轴重合，布气管9为竖直设置且与罐体1侧壁靠近，布气管9底部安装有滚轮93，滚轮93转动连接在布气管9下端，滚轮93与端面凸轮20顶部的轮廓曲线面接触。布气管9与罐体1侧壁上下滑动配合，优选的，布气管9包括管体91、固定块94、封口板95和弹簧96。管体91上下两端均为封闭端，管体91包括圆弧侧板911和与圆弧侧板911固定的平面侧板912，平面侧板912位于圆弧侧板911靠近罐体1内壁一侧。圆弧侧板911上开设有用于热气排出的圆形通孔92，通孔92上下设置有多个，多个通孔92呈等间距设置。
参照图1-7，固定块94固定在平面侧板912的上下两端，固定块94上固定有第一滑块99，罐体1内壁开设有沿管体91长度方向设置的第一滑槽15，第一滑块99嵌在第一滑槽15内且与第一滑槽15滑动配合，以使管体91能在罐体1内上下移动。平面侧板912上开设有开口97，进气管10穿过罐体1侧壁后通过开口97伸入管体91内，封口板95用于封闭开口97。优选的，开口97为条形口且长度方向与布气管9长度方向相同，封口板95设置有两个，两个封口板95分别位于进气管10的上下且分别与进气管10的顶面和底面抵紧，以使两个封口板95分别封堵住布气管9上下两侧的开口97裸露部位。封口板95和圆弧侧板911分别位于平面侧板912的相对两侧，封口板95与平面侧板912上下滑动配合。具体的，平面侧板912在远离圆弧侧板911一侧设置有第二滑槽98，第二滑槽98长度方向与管体91长度方向相一致，封口板95在靠近平面侧板912一侧固定有与第二滑槽98相适配的第二滑块，第二滑块嵌在第二滑槽98内且与第二滑槽98滑动配合。第一滑槽15和第二滑槽98均为“T”型滑槽，第一滑块99和第二滑块均为“T”型滑块。弹簧96固定在固定块94和封口板95之间，以使两个封口板95能与进气管10的顶、底部紧密接触。开口97裸露部位通过封口板95封堵后，可有效防止热气向布气管9与罐体1内壁之间的间隙喷出，以便热气尽可能通过通孔92向罐体1内部中心排出，提高了热气与雾化后造粒浆液的接触。
在上述技术方案中，托盘16转动时，端面凸轮20将随托盘16绕其中心轴转动，由于布气管9与罐体1上下滑动连接，封口板95与平面侧板912上下滑动连接，因此端面凸轮20转动时，布气管9底部滚轮93将在端面凸轮20的轮廓曲线面转动，而布气管9的水平高度将随轮廓曲线面的高度变化而变化，由于热气通过布气管9上的通孔92排出，因此布气管9上下移动过程中，热气的喷出口也将随轮廓曲线面的高度变化而变化，从而使得热气能全方位的喷向罐体1，减少死角，提高热气与雾化后造粒浆液的充分接触，提高造粒质量和速率。
实施例2：一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，与实施例1的区别在于，包括以下步骤：
S1、按照In2O3/SnO2质量比为9：1的比例，称取纯度大于99.99％的In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到固含量为60％的浆料；
S2、将步骤S1中的浆料通过砂磨机球磨10min，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；
S3、通过风机13抽取外界空气，以使空气依次经过滤器12、加热器11和集气管19后通过造粒用的罐体1内的布气管9排入罐体1，直至罐体1内布满温度为130℃的热气；将步骤S2中的待造粒浆液通过进料管7输送，以使待造粒浆液通过雾化器8雾化后喷入罐体1内，雾化后的待造粒浆液在罐体1内与热气接触后，形成造粒粉，并从罐体1上的出料口4离心排出，从而得到所需造粒粉。
优选的，在步骤S1中，分散剂为In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末总粉体质量的0.5％。
优选的，在步骤S2中，粘结剂质量为浆料质量的2％；消泡剂质量为浆料质量的0.2％；In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末粒径均为20nm。
实施例3：一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，与实施例1的区别在于，包括以下步骤：
S1、按照In2O3/SnO2质量比为9：1的比例，称取纯度大于99.99％的In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到固含量为70％的浆料；
S2、将步骤S1中的浆料通过砂磨机球磨30min，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；
S3、通过风机13抽取外界空气，以使空气依次经过滤器12、加热器11和集气管19后通过造粒用的罐体1内的布气管9排入罐体1，直至罐体1内布满温度为240℃的热气；将步骤S2中的待造粒浆液通过进料管7输送，以使待造粒浆液通过雾化器8雾化后喷入罐体1内，雾化后的待造粒浆液在罐体1内与热气接触后，形成造粒粉，并从罐体1上的出料口4离心排出，从而得到所需造粒粉。
优选的，在步骤S1中，分散剂为In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末总粉体质量的4％。
优选的，在步骤S2中，粘结剂质量为浆料质量的4％；消泡剂质量为浆料质量的3％；In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末粒径均为300nm。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和修饰，这些改进和修饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：包括以下步骤：
S1、按照In2O3/SnO2质量比为9：1的比例，称取纯度大于99.99％的In2O3纳米粉末和SnO2纳米粉末，加入去离子水和分散剂，搅拌均匀，得到浆料；
S2、将步骤S1中的所述浆料通过砂磨机球磨10-30min，然后加入粘结剂和消泡剂，混合均匀后，得到待造粒浆液；
S3、通过风机(13)抽取外界空气，以使空气依次经过滤器(12)、加热器(11)和集气管(19)后通过造粒用的罐体(1)内的布气管(9)排入罐体(1)，直至所述罐体(1)内布满温度为130-240℃的热气；将步骤S2中的所述待造粒浆液通过进料管(7)输送，以使所述待造粒浆液通过雾化器(8)雾化后喷入所述罐体(1)，雾化后的所述待造粒浆液在所述罐体(1)内与热气接触后，形成造粒粉，并从所述罐体(1)上的出料口(4)离心排出，从而得到所需造粒粉。
2.根据权利要求1所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述待造粒浆液雾化后喷入所述罐体(1)过程中，开启所述罐体(1)底部的电机(5)，以使电机(5)带动所述罐体(1)内底部的托盘(16)转动，所述托盘(16)转动过程中，所述布气管(9)在所述罐体(1)内上下移动。
3.根据权利要求2所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述托盘(16)上开设有用于热气通过的气孔(17)，所述罐体(1)内的热气通过出气口(14)向外排出，所述出气口(14)位于所述托盘(16)下方且设置在所述罐体(1)侧壁上。
4.根据权利要求3所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述罐体(1)为圆筒状，所述托盘(16)的俯视投影为圆形且直径与所述罐体(1)内径相同，所述托盘(16)顶面的水平高度由中心向四周逐渐减小，所述出料口(4)位于所述托盘(16)边缘一侧。
5.根据权利要求4所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述托盘(16)顶面固定有沿所述托盘(16)径向方向设置的隔板(18)，所述隔板(18)设置有多个，多个所述隔板(18)均布在所述托盘(16)上。
6.根据权利要求5所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述隔板(18)上固定有端面凸轮(20)，所述端面凸轮(20)中心轴与所述罐体(1)、托盘(16)中心轴重合，所述布气管(9)底部安装有滚轮(93)，所述滚轮(93)与所述端面凸轮(20)顶部的轮廓曲线面接触，所述布气管(9)与所述罐体(1)上下滑动配合。
7.根据权利要求6所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述布气管(9)包括管体(91)和固定块(94)；
所述管体(91)上下两端均为封闭端，所述管体(91)包括圆弧侧板(911)和与所述圆弧侧板(911)固定的平面侧板(912)，所述平面侧板(912)位于所述圆弧侧板(911)靠近所述罐体(1)内壁一侧，所述圆弧侧板(911)上开设有用于热气排出的通孔(92)，所述平面侧板(912)上开设有开口(97)，所述集气管(19)与所述布气管(9)通过进气管(10)连接，所述进气管(10)穿过所述罐体(1)侧壁后通过所述开口(97)伸入所述管体(91)内；
所述固定块(94)固定在所述平面侧板(912)的上下两端，所述固定块(94)上固定有第一滑块(99)，所述罐体(1)内壁开设有沿所述管体(91)长度方向设置的第一滑槽(15)，所述第一滑块(99)嵌在所述第一滑槽(15)内且与所述第一滑槽(15)滑动配合。
8.根据权利要求7所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述布气管(9)还包括封口板(95)和弹簧(96)；
所述封口板(95)设置有两个，两个所述封口板(95)分别位于所述进气管(10)的上下且分别与所述进气管(10)的顶面和底面抵紧，所述封口板(95)和所述圆弧侧板(911)分别位于所述平面侧板(912)的相对两侧，所述封口板(95)与所述平面侧板(912)上下滑动配合；
所述弹簧(96)固定在所述固定块(94)和所述封口板(95)之间，所述封口板(95)用于封闭所述开口(97)。
9.根据权利要求8所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述平面侧板(912)在远离所述圆弧侧板(911)一侧设置有第二滑槽(98)，所述第二滑槽(98)长度方向与所述管体(91)长度方向相一致，所述封口板(95)在靠近所述平面侧板(912)一侧固定有与所述第二滑槽(98)相适配的第二滑块，所述第二滑块嵌在所述第二滑槽(98)内且与所述第二滑槽(98)滑动配合。
10.根据权利要求6所述的一种用于制备高密度ITO靶材的离心喷雾造粒工艺，其特征在于：所述布气管(9)至少设置有两个，两个所述布气管(9)分别位于所述罐体(1)内部的相对两侧。
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