CN112895181A - 一种晶圆自动切割装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种晶圆自动切割装置，包括底座、固定杆、驱动机构、切割机构和推料机构，该晶圆自动切割装置，通过驱动机构驱动推料机构间歇运行，从而实现自动间歇推料，同时驱动切割机构间歇运行，使得切割盘间歇移动，同时运行切割组件实现切割盘的旋转，从而对工件进行切割，与现有的切割装置相比，该装置通过一个输出端实现切割机构的移动和推料机构的运行，节省了能源，同时切割机构和推料机构采用联动，实现了工件的在线推料和切割，提高了效率，且该联动采用纯机械结构，提高了装置的稳定性和使用寿命，与现有的夹持机构相比，该机构采用柔性夹持，避免了刚性夹持划花工件，对工件实现保护。

Description

一种晶圆自动切割装置

技术领域

本发明涉及一种晶圆自动切割装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅晶圆的原始材料是硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，晶圆制造厂再把此多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，硅晶棒需要经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光和激光刻，即可加工出晶圆。

晶圆一般使用切割装置对硅晶棒进行切割成型，而现有的晶圆切割装置一般需要多个输出端分别对切割机构和推料机构进行驱动，能源消耗较大，同时现有的切割机构一般采用刚性夹持，容易划花工件，甚至造成工件损坏。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种晶圆自动切割装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆自动切割装置，包括底座、固定杆、驱动机构、切割机构和推料机构，所述固定杆设置在底座的一端，所述驱动机构设置在底座上，所述切割机构设置在固定杆上，所述推料机构设置在驱动机构的一侧；

所述驱动机构包括第一电机和半齿轮，所述第一电机水平设置在底座上，所述半齿轮安装在第一电机上；

所述切割机构包括拉动组件和切割组件，所述拉动组件包括固定轴、第一转齿轮、线盘、拉绳、移动杆和第一弹簧，所述固定轴设置在第一电机的一侧，所述固定轴与第一电机的输出轴平行，所述第一转齿轮套设在固定轴上，所述第一转齿轮与固定轴键连接，所述第一转齿轮与半齿轮啮合，所述线盘套设在固定轴上，所述线盘与固定轴键连接，所述固定杆上设有滑槽，所述移动杆的一端位于滑槽内，所述移动杆与滑槽滑动连接，所述第一弹簧设置在滑槽内，所述第一弹簧的一端与滑槽连接，所述第一弹簧的另一端与移动杆连接，所述拉绳的一端与线盘连接，所述拉绳的另一端与移动杆连接，所述拉绳绕设在线盘上，所述切割组件包括第二电机和切割盘，所述第二电机水平设置在移动杆上，所述切割盘安装在第二电机上；

所述推料机构包括限位组件、推料组件和锁定组件，所述限位组件包括固定管、限位管、压块、第二弹簧和夹持单元，所述限位管设置在底座上方，所述固定管设置在限位管的一侧，所述固定管与限位管同轴设置，所述切割盘位于固定管和限位管之间，所述压块设置在限位管内，所述压块与限位管滑动连接，所述第二弹簧设置在限位管内，所述第二弹簧的一端与限位管连接，所述第二弹簧的另一端与压块连接，所述夹持单元设置在固定管靠近限位管的一端，所述夹持单元有四个，相邻的两个夹持单元形成的夹角为90°，所述夹持单元包括套管、夹杆和第三弹簧，所述套管设置在固定管上，所述夹杆的一端位于套管内，所述夹杆的另一端伸出套管外，所述夹杆与套管滑动连接，所述第三弹簧设置在套管内，所述第三弹簧的一端与套管连接，所述第三弹簧的另一端与夹杆连接，所述推料组件包括转轴、第二转齿轮、齿条、推杆和推块，所述转轴设置在电机远离固定轴的一侧，所述转轴与固定轴平行，所述第二转齿轮套设在转轴上，所述第二转齿轮与转轴键连接，所述第二转齿轮与半齿轮啮合，所述齿条设置在第二半齿轮的一侧，所述齿条与第二转齿轮啮合，所述推块设置在固定管内，所述推块与固定管滑动连接，所述推杆的一端位于固定管内与推块连接，所述推杆的另一端伸出固定管外，所述推杆与固定管滑动连接，所述推杆位于固定管外的一端与齿条连接，所述锁定组件包括转盘和锁定单元，所述转盘套设在转轴上，所述转盘与转轴键连接，所述锁定单元设置在底座上，所述锁定单元包括锁管、锁杆和第四弹簧，所述锁管设置在底座上，所述锁杆的一端位于锁管内，所述锁杆的另一端伸出锁管外，所述锁杆与锁管滑动连接，所述第四弹簧设置在锁管内，所述第四弹簧的一端与锁杆连接，所述转盘上设有锁槽，所述锁杆位于锁管外的一端伸入锁槽内。

为了对移动杆的移动进行更好的限位，所述移动杆上设有滑块，所述滑槽内设有条形槽，所述滑块位于条形槽内，所述滑块与条形槽滑动连接。

为了对移动杆的移动进行更好的限位，所述滑块有两个，两个滑块分别设置在移动杆的两侧，所述条形槽有两个，两个滑块分别位于两个条形槽内。

为了对移动杆的移动进行更好的限位，所述滑块的截面为燕尾型，所述条形槽为燕尾槽。

为了对推块的移动进行更好的限位，所述推块上设有限位块，所述固定管内设有限位槽，所述限位块位于限位槽内，所述限位块与限位槽滑动连接。

为了减小摩擦，所述推杆位于套管外的一端设有滑轮。

为了减小摩擦，所述锁杆位于锁槽内的一端设有滚轮。

为了实现更好的夹持效果，所述第三弹簧处于压缩状态。

为了实现更好的锁定效果，所述第四弹簧处于压缩状态。

为了对工件实现更好的定位效果，所述推块上设有卡槽。

本发明的有益效果是，该晶圆自动切割装置，通过驱动机构驱动推料机构间歇运行，从而实现自动间歇推料，同时驱动切割机构间歇运行，使得切割盘间歇移动，同时运行切割组件实现切割盘的旋转，从而对工件进行切割，与现有的切割装置相比，该装置通过一个输出端实现切割机构的移动和推料机构的运行，节省了能源，同时切割机构和推料机构采用联动，实现了工件的在线推料和切割，提高了效率，且该联动采用纯机械结构，提高了装置的稳定性和使用寿命，与现有的夹持机构相比，该机构采用柔性夹持，避免了刚性夹持划花工件，对工件实现保护。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的晶圆自动切割装置的结构示意图；

图2是本发明的晶圆自动切割装置的驱动机构与拉动组件的连接结构示意图；

图3是本发明的晶圆自动切割装置的移动杆与固定杆的连接结构示意图；

图4是本发明的晶圆自动切割装置的驱动机构与锁定组件的连接结构示意图；

图5是本发明的晶圆自动切割装置的夹持单元与固定管的连接结构示意图；

图中：1.底座，2.固定杆，3.第一电机，4.半齿轮，5.固定轴，6.第一转齿轮，7.线盘，8.拉绳，9.移动杆，10.第一弹簧，11.第二电机，12.切割盘，13.固定管，14.限位管，15.压块，16.第二弹簧，17.套管，18.夹杆，19.第三弹簧，20.转轴，21.第二转齿轮，22.齿条，23.推杆，24.推块，25.转盘，26.锁管，27.锁杆，28.第四弹簧，29.滑块，30.限位块。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图1所示，一种晶圆自动切割装置，包括底座1、固定杆2、驱动机构、切割机构和推料机构，所述固定杆2设置在底座1的一端，所述驱动机构设置在底座1上，所述切割机构设置在固定杆2上，所述推料机构设置在驱动机构的一侧；

该装置使用时，将工件安装在推料机构内，运行驱动机构，驱动机构驱动推料机构和切割机构依次运行，使得推料机构推动工件间歇移动，同时驱动机构驱动切割机构间歇移动，运行切割机构，从而使得切割机构对工件进行切割，从而实现工件的切割成型。

如图2所示，所述驱动机构包括第一电机3和半齿轮4，所述第一电机3水平设置在底座1上，所述半齿轮4安装在第一电机3上；

运行第一电机3，第一电机3驱动半齿轮4旋转。

如图2-3所示，所述切割机构包括拉动组件和切割组件，所述拉动组件包括固定轴5、第一转齿轮6、线盘7、拉绳8、移动杆9和第一弹簧10，所述固定轴5设置在第一电机3的一侧，所述固定轴5与第一电机3的输出轴平行，所述第一转齿轮6套设在固定轴5上，所述第一转齿轮6与固定轴5键连接，所述第一转齿轮6与半齿轮4啮合，所述线盘7套设在固定轴5上，所述线盘7与固定轴5键连接，所述固定杆2上设有滑槽，所述移动杆9的一端位于滑槽内，所述移动杆9与滑槽滑动连接，所述第一弹簧10设置在滑槽内，所述第一弹簧10的一端与滑槽连接，所述第一弹簧10的另一端与移动杆9连接，所述拉绳8的一端与线盘7连接，所述拉绳8的另一端与移动杆9连接，所述拉绳8绕设在线盘7上，所述切割组件包括第二电机11和切割盘12，所述第二电机11水平设置在移动杆9上，所述切割盘12安装在第二电机11上；

当半齿轮4与第一转齿轮6啮合时，半齿轮4驱动第一转齿轮6旋转，第一转齿轮6驱动固定轴5旋转，固定轴5驱动线盘7旋转，将拉绳8绕上线盘7，从而使得拉绳8拉动移动杆9移动，移动杆9驱动第二电机11移动，第二电机11驱动切割盘12移动，运行第二电机11，第二电机11驱动切割盘12旋转，从而使得切割盘12向下旋转移动，从而对工件进行切割，当半齿轮4不与第一转齿轮6啮合时，此时第一弹簧10处于压缩状态，第一弹簧10的回复力对移动杆9产生向上的推力，从而使得移动杆9在第一弹簧10的回复力作用下反向移动，从而使得第二电机11反向移动，从而使得切割盘12反向移动，从而实现切割盘12移出工件，回复到初始位置。

移动杆9移动驱动滑块29移动，滑块29位于燕尾槽内，从而使得滑块29只能沿着燕尾槽的轴线方向移动，从而对滑块29的移动进行限位，从而对移动杆9的移动进行更好的限位。

如图4-5所示，所述推料机构包括限位组件、推料组件和锁定组件，所述限位组件包括固定管13、限位管14、压块15、第二弹簧16和夹持单元，所述限位管14设置在底座1上方，所述固定管13设置在限位管14的一侧，所述固定管13与限位管14同轴设置，所述切割盘12位于固定管13和限位管14之间，所述压块15设置在限位管14内，所述压块15与限位管14滑动连接，所述第二弹簧16设置在限位管14内，所述第二弹簧16的一端与限位管14连接，所述第二弹簧16的另一端与压块15连接，所述夹持单元设置在固定管13靠近限位管14的一端，所述夹持单元有四个，相邻的两个夹持单元形成的夹角为90°，所述夹持单元包括套管17、夹杆和第三弹簧19，所述套管17设置在固定管13上，所述夹杆的一端位于套管17内，所述夹杆的另一端伸出套管17外，所述夹杆与套管17滑动连接，所述第三弹簧19设置在套管17内，所述第三弹簧19的一端与套管17连接，所述第三弹簧19的另一端与夹杆连接，所述推料组件包括转轴20、第二转齿轮21、齿条22、推杆23和推块24，所述转轴20设置在电机远离固定轴5的一侧，所述转轴20与固定轴5平行，所述第二转齿轮21套设在转轴20上，所述第二转齿轮21与转轴20键连接，所述第二转齿轮21与半齿轮4啮合，所述齿条22设置在第二半齿轮4的一侧，所述齿条22与第二转齿轮21啮合，所述推块24设置在固定管13内，所述推块24与固定管13滑动连接，所述推杆23的一端位于固定管13内与推块24连接，所述推杆23的另一端伸出固定管13外，所述推杆23与固定管13滑动连接，所述推杆23位于固定管13外的一端与齿条22连接，所述锁定组件包括转盘25和锁定单元，所述转盘25套设在转轴20上，所述转盘25与转轴20键连接，所述锁定单元设置在底座1上，所述锁定单元包括锁管26、锁杆27和第四弹簧28，所述锁管26设置在底座1上，所述锁杆27的一端位于锁管26内，所述锁杆27的另一端伸出锁管26外，所述锁杆27与锁管26滑动连接，所述第四弹簧28设置在锁管26内，所述第四弹簧28的一端与锁杆27连接，所述转盘25上设有锁槽，所述锁杆27位于锁管26外的一端伸入锁槽内。

这里安装工件时，拉动压块15，使得压块15和推块24之间留出足够的空间，将工件插入固定管13内，工件的端部插入卡槽内，然后松开压块15，此时第二弹簧16处于压缩状态，第二弹簧16的回复力对压块15产生推力，从而使得压块15和推块24对工件的两端进行夹紧，这里工件压动滑轮，滑轮压动夹杆移动，夹杆使得第三弹簧19压缩，第二弹簧16的回复力对夹杆产生向外的推力，夹杆对滑轮产生向下的推力，从而使得滑轮压紧工件的四侧，从而实现工件的夹紧固定，切割盘12移动时，切割盘12移动至固定管13和限位管14之间，从而对固定管13和限位管14之间的工件进行切割，这里的夹持单元靠近切割部，从而对工件的切割部实现一个预压的功能，从而使得工件切割的更加稳定。

当半齿轮4与第二转齿轮21啮合时，半齿轮4驱动第二转齿轮21旋转，第二转齿轮21驱动齿条22移动，齿条22驱动推杆23移动，推杆23驱动推块24移动，从而使得推块24驱动工件移动，从而使得工件依次移动至切割盘12下方，实现推料，当半齿轮4不与第二转齿轮21啮合时，半齿轮4无法驱动第二转齿轮21旋转，从而使得推块24保持固定状态，从而使得工件保持固定状态，这里第四弹簧28处于压缩状态，第四弹簧28的回复力对锁杆27产生向上的推力，从而使得锁杆27卡入锁槽内，从而对转盘25进行锁定，使得转盘25保持固定状态，从而使得推块24更好的保持固定状态，从而使得工件更好的保持固定状态进行切割，当半齿轮4与第二转齿轮21啮合时，此时半齿轮4对第二转齿轮21产生的驱动力大于第四弹簧28的回复力，从而使得转盘25旋转时，压动锁杆27移入锁管26内，从而使得锁杆27无法阻挡转盘25的旋转。

这里当半齿轮4与第一转齿轮6啮合时，半齿轮4不与第二转齿轮21啮合，从而使得当切割盘12移动时，工件保持固定状态进行切割，当半齿轮4不与第一转齿轮6啮合时，半齿轮4与第二转齿轮21啮合，从而使得工件在进行推料的过程中，切割盘12移开工件。

这里推块24移动驱动限位块30移动，限位块30位于限位槽内，从而使得限位块30只能沿着限位槽的轴线方向移动，从而对限位块30的移动进行限位，从而对推块24的移动进行更好的限位。

为了对移动杆9的移动进行更好的限位，所述移动杆9上设有滑块29，所述滑槽内设有条形槽，所述滑块29位于条形槽内，所述滑块29与条形槽滑动连接。

为了对移动杆9的移动进行更好的限位，所述滑块29有两个，两个滑块29分别设置在移动杆9的两侧，所述条形槽有两个，两个滑块29分别位于两个条形槽内。

为了对移动杆9的移动进行更好的限位，所述滑块29的截面为燕尾型，所述条形槽为燕尾槽。

为了对推块24的移动进行更好的限位，所述推块24上设有限位块30，所述固定管13内设有限位槽，所述限位块30位于限位槽内，所述限位块30与限位槽滑动连接。

为了减小摩擦，所述推杆23位于套管17外的一端设有滑轮。

为了减小摩擦，所述锁杆27位于锁槽内的一端设有滚轮。

为了实现更好的夹持效果，所述第三弹簧19处于压缩状态。

为了实现更好的锁定效果，所述第四弹簧28处于压缩状态。

为了对工件实现更好的定位效果，所述推块24上设有卡槽。

该装置使用时，拉动压块15，使得压块15和推块24之间留出足够的空间，然后将工件插入固定管13内，工件的两端通过压块15和推块24进行夹持，从而实现工件的固定，通过第二弹簧16的回复力对夹杆产生向外的推力，从而使得滚轮贴紧工件，实现对工件的夹持，同时夹持单元位于工件的切割部，从而对工件进行预压，当转齿轮与第一转齿轮6啮合时，转齿轮驱动第一转齿轮6旋转，第一转齿轮6驱动线盘7旋转，使得拉绳8绕上线盘7，从而使得拉绳8拉动移动杆9移动，运行第二电机11，第二电机11驱动切割盘12旋转，移动杆9移动驱动第二电机11移动，第二电机11驱动切割盘12移动，从而使得切割盘12转动着向下移动，从而对下方的工件进行切割，从而实现晶圆的切割成型，此时半齿轮4不与第二转齿轮21啮合，从而使得第二转齿轮21保持固定状态，使得转轴20保持固定状态，同时第四弹簧28处于压缩状态，第四弹簧28的回复力对锁杆27产生向外的推力，从而使得第四弹簧28推动锁杆27卡在锁槽内，从而使得转盘25保持固定状态，从而使得转轴20保持固定状态，从而使得推块24保持固定状态，从而使得工件更好的保持夹紧固定状态，当半齿轮4不与第一转齿轮6啮合时，在第一弹簧10的回复力作用下，第一弹簧10推动移动杆9反向移动，从而使得切割盘12反向移动至初始位置，从而使得切割盘12移开工件，同时半齿轮4与第二转齿轮21啮合，半齿轮4对第二转齿轮21的驱动轮大于第四弹簧28的回复力，从而使得锁杆27压入锁管26内，解除对转盘25的锁定状态，半齿轮4驱动第二转齿轮21旋转，从而使得齿条22移动，从而使得推块24移动，推块24驱动工件移动，从而使得工件依次移动至切割盘12下方，实现间歇推料，从而实现晶圆的自动化的切割，提高了效率。

与现有技术相比，该晶圆自动切割装置，通过驱动机构驱动推料机构间歇运行，从而实现自动间歇推料，同时驱动切割机构间歇运行，使得切割盘12间歇移动，同时运行切割组件实现切割盘12的旋转，从而对工件进行切割，与现有的切割装置相比，该装置通过一个输出端实现切割机构的移动和推料机构的运行，节省了能源，同时切割机构和推料机构采用联动，实现了工件的在线推料和切割，提高了效率，且该联动采用纯机械结构，提高了装置的稳定性和使用寿命，与现有的夹持机构相比，该机构采用柔性夹持，避免了刚性夹持划花工件，对工件实现保护。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种晶圆自动切割装置，其特征在于，包括底座(1)、固定杆(2)、驱动机构、切割机构和推料机构，所述固定杆(2)设置在底座(1)的一端，所述驱动机构设置在底座(1)上，所述切割机构设置在固定杆(2)上，所述推料机构设置在驱动机构的一侧；

所述驱动机构包括第一电机(3)和半齿轮(4)，所述第一电机(3)水平设置在底座(1)上，所述半齿轮(4)安装在第一电机(3)上；

所述切割机构包括拉动组件和切割组件，所述拉动组件包括固定轴(5)、第一转齿轮(6)、线盘(7)、拉绳(8)、移动杆(9)和第一弹簧(10)，所述固定轴(5)设置在第一电机(3)的一侧，所述固定轴(5)与第一电机(3)的输出轴平行，所述第一转齿轮(6)套设在固定轴(5)上，所述第一转齿轮(6)与固定轴(5)键连接，所述第一转齿轮(6)与半齿轮(4)啮合，所述线盘(7)套设在固定轴(5)上，所述线盘(7)与固定轴(5)键连接，所述固定杆(2)上设有滑槽，所述移动杆(9)的一端位于滑槽内，所述移动杆(9)与滑槽滑动连接，所述第一弹簧(10)设置在滑槽内，所述第一弹簧(10)的一端与滑槽连接，所述第一弹簧(10)的另一端与移动杆(9)连接，所述拉绳(8)的一端与线盘(7)连接，所述拉绳(8)的另一端与移动杆(9)连接，所述拉绳(8)绕设在线盘(7)上，所述切割组件包括第二电机(11)和切割盘(12)，所述第二电机(11)水平设置在移动杆(9)上，所述切割盘(12)安装在第二电机(11)上；

所述推料机构包括限位组件、推料组件和锁定组件，所述限位组件包括固定管(13)、限位管(14)、压块(15)、第二弹簧(16)和夹持单元，所述限位管(14)设置在底座(1)上方，所述固定管(13)设置在限位管(14)的一侧，所述固定管(13)与限位管(14)同轴设置，所述切割盘(12)位于固定管(13)和限位管(14)之间，所述压块(15)设置在限位管(14)内，所述压块(15)与限位管(14)滑动连接，所述第二弹簧(16)设置在限位管(14)内，所述第二弹簧(16)的一端与限位管(14)连接，所述第二弹簧(16)的另一端与压块(15)连接，所述夹持单元设置在固定管(13)靠近限位管(14)的一端，所述夹持单元有四个，相邻的两个夹持单元形成的夹角为90°，所述夹持单元包括套管(17)、夹杆(18)和第三弹簧(19)，所述套管(17)设置在固定管(13)上，所述夹杆(18)的一端位于套管(17)内，所述夹杆(18)的另一端伸出套管(17)外，所述夹杆(18)与套管(17)滑动连接，所述第三弹簧(19)设置在套管(17)内，所述第三弹簧(19)的一端与套管(17)连接，所述第三弹簧(19)的另一端与夹杆(18)连接，所述推料组件包括转轴(20)、第二转齿轮(21)、齿条(22)、推杆(23)和推块(24)，所述转轴(20)设置在电机远离固定轴(5)的一侧，所述转轴(20)与固定轴(5)平行，所述第二转齿轮(21)套设在转轴(20)上，所述第二转齿轮(21)与转轴(20)键连接，所述第二转齿轮(21)与半齿轮(4)啮合，所述齿条(22)设置在第二半齿轮(4)的一侧，所述齿条(22)与第二转齿轮(21)啮合，所述推块(24)设置在固定管(13)内，所述推块(24)与固定管(13)滑动连接，所述推杆(23)的一端位于固定管(13)内与推块(24)连接，所述推杆(23)的另一端伸出固定管(13)外，所述推杆(23)与固定管(13)滑动连接，所述推杆(23)位于固定管(13)外的一端与齿条(22)连接，所述锁定组件包括转盘(25)和锁定单元，所述转盘(25)套设在转轴(20)上，所述转盘(25)与转轴(20)键连接，所述锁定单元设置在底座(1)上，所述锁定单元包括锁管(26)、锁杆(27)和第四弹簧(28)，所述锁管(26)设置在底座(1)上，所述锁杆(27)的一端位于锁管(26)内，所述锁杆(27)的另一端伸出锁管(26)外，所述锁杆(27)与锁管(26)滑动连接，所述第四弹簧(28)设置在锁管(26)内，所述第四弹簧(28)的一端与锁杆(27)连接，所述转盘(25)上设有锁槽，所述锁杆(27)位于锁管(26)外的一端伸入锁槽内。

2.如权利要求1所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述移动杆(9)上设有滑块(29)，所述滑槽内设有条形槽，所述滑块(29)位于条形槽内，所述滑块(29)与条形槽滑动连接。

3.如权利要求2所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述滑块(29)有两个，两个滑块(29)分别设置在移动杆(9)的两侧，所述条形槽有两个，两个滑块(29)分别位于两个条形槽内。

4.如权利要求3所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述滑块(29)的截面为燕尾型，所述条形槽为燕尾槽。

5.如权利要求1所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述推块(24)上设有限位块(30)，所述固定管(13)内设有限位槽，所述限位块(30)位于限位槽内，所述限位块(30)与限位槽滑动连接。

6.如权利要求1所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述推杆(23)位于套管(17)外的一端设有滑轮。

7.如权利要求1所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述锁杆(27)位于锁槽内的一端设有滚轮。

8.如权利要求1所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述第三弹簧(19)处于压缩状态。

9.如权利要求1所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述第四弹簧(28)处于压缩状态。

10.如权利要求1所述的晶圆自动切割装置，其特征在于，所述推块(24)上设有卡槽。

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